CN107479329A - 一种喷嘴和涂布机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种喷嘴,所述喷嘴包括:第一壳体、第二壳体和多个探针;所述第一壳体和第二壳体围成一个腔体,多个所述探针垂直设置于所述腔体内,多个所述探针用于使光阻从多个所述探针的间隙中流出;所述第一壳体包括第一端,所述第二壳体包括第二端,所述第一端和第二端围成所述喷嘴的喷口,所述喷口与所述腔体贯通;所述第一端内侧包括滑动部,多个所述探针与滑动部连接并随滑动部在所述喷口内滑动。本发明还提供一种涂布机,所述涂布机包括上述喷嘴、连接喷嘴的光阻存储器及承载玻璃基板的承载台。本发明在喷嘴中设置了探针,探针所处的位置没有光阻吐出,达到了只涂布玻璃基板目标区域的目的,减少了生产中的成本浪费。
Description
技术领域
本发明涉及显示屏制造技术领域,特别涉及一种喷嘴和涂布机。
背景技术
在现有的显示屏制造技术领域中,利用涂布机对彩膜玻璃基板涂布光刻胶是必不可少的一道工序。目前的涂布机主要为两半组合结构,涂布机喷嘴主要为光阻吐出单元,光阻经喷嘴吐出后均匀涂布在玻璃基板上。然而,这种涂布机只能对玻璃基板进行整体式的涂布,将不需要涂布的区域也涂布光阻,随后再经过曝光显影的形式洗掉多余部分的光阻,造成了大量的成本浪费。
发明内容
本发明提供一种喷嘴和涂布机,用于对玻璃基板表面涂布光阻,以达到对玻璃基板间隔区域不涂布,只涂布玻璃基板产品区域的目的。
本发明提供一种喷嘴,所述喷嘴包括:第一壳体、第二壳体和多个探针;所述第一壳体和第二壳体围成一个腔体,多个所述探针垂直设置于所述腔体内,多个所述探针用于使光阻从多个所述探针的间隙中流出;所述第一壳体包括第一端,所述第二壳体包括第二端,所述第一端和第二端围成所述喷嘴的喷口,所述喷口与所述腔体贯通;所述第一端内侧包括滑动部,多个所述探针与滑动部连接并随滑动部在所述喷口内滑动。
其中,所述滑动部包括滑轨和滑动装于所述滑轨的连接体,所述探针位于所述连接体上,所述滑轨的滑动方向与所述探针的延伸方向垂直。
其中,所述喷嘴还包括沿水平面设置的标尺,所述标尺用于标识多个所述探针在所述喷嘴中的位置。
其中,所述标尺设置于所述滑动部、第一壳体外表面或第二壳体外表面靠近所述喷口的位置。
其中,所述喷嘴还包括控制器,所述控制器用于控制所述探针在所述腔体内的位置。
其中,所述第一壳体和第二壳体上设有注入口,所述注入口用于将光阻注入所述腔体内。
其中,所述探针在所述腔体内的顶部位置高于所述注入口的位置。
其中,所述探针采用耐磨材料制成。
本发明还提供一种涂布机,所述涂布机包括上述喷嘴、连接喷嘴的喷涂液存储器及玻璃基板的承载台。
其中,所述涂布机还包括驱动马达,所述驱动马达用于驱动所述喷嘴向玻璃基板表面涂布光阻。
本发明在喷嘴中设置了探针和标尺,依据不同的产品尺寸,所述标尺精确标识所述探针的位置,当所述喷嘴进行光阻涂布时,所述探针所处的位置没有光阻吐出,达到了对玻璃基板间隔区域不涂布,只涂布玻璃基板产品区域的目的,从而节省了涂布后曝光显影的工序,减少了显示面板生产过程中的成本浪费。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明所述喷嘴的立体图。
图2是图1所述喷嘴的内部结构图。
图3是图1所述喷嘴的剖面图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1至图3,本发明提供一种喷嘴100,用于涂布光阻,以实现根据产品尺寸仅对产品目标区域进行涂布的目的。所述喷嘴100包括第一壳体10、第二壳体20和多个探针30。所述第一壳体10和第二壳体20围成一个腔体40,所述腔体40用于存储光阻;多个所述探针30垂直位于所述腔体40内,多个所述探针30使光阻从多个所述探针30的间隙中流出;所述第一壳体10包括第一端11,所述第二壳体20包括第二端21,所述第一端11和第二端21围成所述喷嘴100的喷口50,所述喷口50与所述腔体40贯通,所述喷嘴50用于向下方喷涂光阻;所述第一端11内侧包括滑动部12,所述滑动部12包括滑轨和滑动装于所述滑轨的连接体,多个所述探针30位于所述连接体上,所述滑轨的滑动方向与所述探针30的延伸方向垂直,多个所述探针30位于所述连接体上沿所述滑轨在所述喷口50内滑动。鉴于多个所述探针30需要沿所述滑轨在所述喷口50内滑动,长时间运作之后会有一定的磨损,因此多个所述探针30可以采用耐磨的材料制成。多个所述探针30还可设计成长柱状,如圆柱体等。本实施例中,多个所述探针30为圆柱状。
所述喷嘴100还包括沿水平面设置的标尺,所述标尺用于标识多个所述探针30的定位,从而可以根据产品的尺寸设定多个所述探针之间的间距。所述标尺设置于所述滑动部12、第一壳体10外表面或第二壳体20外表面靠近所述喷口50的位置,也就意味着所述滑动部12、第一壳体10外表面或第二壳体20外表面靠近所述喷口50的位置上设有刻度,用于测量多个所述探针30在所述喷口50中的位置。
所述喷嘴100还包括控制器,所述控制器用于控制多个所述探针30在所述喷口50内的具体位置。在利用所述喷嘴100向产品进行涂布之前,根据产品的尺寸在所述控制器中设定多个所述探针30的目标位置,多个所述探针30沿所述滑动部12的滑轨滑动至目标位置后,再进行涂布,此时多个所述探针30所在位置没有光阻吐出,光阻仅从多个所述探针30的间隙处流出,从而达到了对仅产品目标区域进行涂布的目的。
另外,所述第一壳体10和第二壳体20上设有注入口13,所述注入口13用于将光阻注入所述腔体40内,且当光阻充满所述腔体40时,所述注入口13还能保证光阻在所述腔体40内压力均匀分布。所述注入口13可为多个。为保证所述探针30所在位置在所述喷嘴100进行涂布过程中没有光阻吐出,所述探针30在所述腔体40内的顶部位置高于所述注入口13的位置。本实施例中,所述注入口13为两个,对称设置于所述第一壳体10上。
具体的,当所述喷嘴100进行涂布之前,根据产品的实际尺寸在所述控制器中设定所述探针30的目标位置,所述探针30沿所述滑动部11滑动到目标位置后,光阻从所述注入口13注入所述腔体40内,当光阻充满所述腔体40后,待所述腔体40内的光阻压力均匀后,所述喷嘴100再进行涂布。
当需要对所述喷嘴100进行保养时,向所述控制器设定所述探针30的目标位置为所述腔体40的一侧,在所述探针30沿所述滑动部12的滑动过程中,所述探针30对所述喷嘴100的内壁进行了刮拭,从而大大减少了仪器的保养次数,降低了保养过程中杂质的带入,也减少了保养人员因频繁直接接触光阻及显影液对人体的损害程度,而所述腔体40可采用季保的方式拆开清洗。
本发明还提供一种涂布机,用于向玻璃基板表面涂布光阻。所述涂布机包括上述喷嘴100、连接喷嘴的光阻存储器及承载玻璃基板的承载台。所述存储器与所述喷嘴100之间采用管道连接,所述存储器中的光阻通过所述管道从所述喷嘴100中的注入口13中注入所述腔体40中,再经所述喷口40向玻璃基板表面进行涂布。所述涂布机还包括驱动马达,所述驱动马达用于驱动所述喷嘴100向玻璃基板表面涂布光阻。
本发明所述涂布机在喷嘴中设置探针和标尺,根据不同的产品,所述探针根据所述标尺精确控制位置,进行光阻涂布时,探针所处的位置没有光阻吐出,实现了对玻璃基板间隔区域不涂布,只涂布玻璃基板产品区域,节省了涂布后曝光显影的工序,减少了显示面板生产过程中的成本浪费。而且在后续的保养过程中,探针在移动过程中对喷嘴的腔室进行了刮拭,可大大减少人工保养的次数,降低了保养过程中杂质的进入,也减少了保养人员因频繁直接接触光阻及显影液对人体的损害程度。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本发明权利要求所作的等同变化,仍属于发明所涵盖的范围。
Claims (10)
1.一种喷嘴,用于涂布光阻,其特征在于,所述喷嘴包括:第一壳体、第二壳体和多个探针;所述第一壳体和第二壳体围成一个腔体,多个所述探针垂直设置于所述腔体内,多个所述探针用于使光阻从多个所述探针的间隙中流出;所述第一壳体包括第一端,所述第二壳体包括第二端,所述第一端和第二端围成所述喷嘴的喷口,所述喷口与所述腔体贯通;所述第一端内侧包括滑动部,多个所述探针与滑动部连接并随滑动部在所述喷口内滑动。
2.如权利要求1所述的喷嘴,其特征在于,所述滑动部包括滑轨和滑动装于所述滑轨的连接体,所述探针位于所述连接体上,所述滑轨的滑动方向与所述探针的延伸方向垂直。
3.如权利要求1所述的喷嘴,其特征在于,所述喷嘴还包括沿水平面设置的标尺,所述标尺用于标识多个所述探针在所述喷嘴中的位置。
4.如权利要求3所述的喷嘴,其特征在于,所述标尺设置于所述滑动部、第一壳体外表面或第二壳体外表面靠近所述喷口的位置。
5.如权利要求3所述的喷嘴,其特征在于,所述喷嘴还包括控制器,所述控制器用于控制所述探针在所述腔体内的位置。
6.如权利要求1所述的喷嘴,其特征在于,所述第一壳体和第二壳体上设有注入口,所述注入口用于将光阻注入所述腔体内。
7.如权利要求6所述的喷嘴,其特征在于,所述探针在所述腔体内的顶部位置高于所述注入口的位置。
8.如权利要求7所述的喷嘴,其特征在于,所述探针采用耐磨材料制成。
9.一种涂布机,用于向玻璃基板表面涂布光阻,其特征在于,包括如权利要求1~8任一项所述的喷嘴、连接喷嘴的光阻存储器及承载玻璃基板的承载台。
10.如权利要求9所述的涂布机,其特征在于,所述涂布机还包括驱动马达,所述驱动马达用于驱动所述喷嘴向玻璃基板表面涂布光阻。
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