CN107315317B - 光罩修补装置、光罩修补方法及光罩修补液 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光罩修补装置，光罩修补方法及光罩修补液。所述光罩修补装置用于修补带有孔洞的光罩，所述光罩修补装置包括：修补液存储器、导管、电磁装置，所述修补液存储器用于存储光罩修补液，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光，所述导管的一端连接所述修补液存储器，另一端开口，用于将所述修补液存储器中存储的光罩修补液导出，所述电磁装置用于提供高频交变电磁场，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述光罩修补液中的电磁材料在所述高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度，以便所述光罩修补液从所述导管中流出。
Description
技术领域
本发明涉及光罩修补领域，尤其涉及一种光罩修补装置、光罩修补方法及光罩修补液。
背景技术
随着半导体技术、液晶显示技术等技术的飞速发展，作为半导体及液晶显示器中的重要制作部件，市场对光罩的需求量越来越大，同时对光罩的精度和各项指标要求越来越高。在光罩的使用和制造的过程中，光罩内部的高精度图像易受到损坏而产生孔洞，从而导致光罩报废。此时，则需要对光罩进行修补，从而使得光罩可以再次使用。传统的光罩修补方法通常是采用纳米级石英导管注射，将光罩修补液通过石英导管注入到光罩的孔洞中，然后对光罩孔洞上的光罩修补液进行干燥定型固化，以达到修补光罩的效果。传统的光罩修补液中一般包括金、树脂及苯类溶剂。石英导管的口径一般为0.5μm，在修补的过程中，光罩修补液的很难从0.5μm的石英导管中流出或者挤出，容易造成石英导管的折断。若换大口径的石英导管，光罩修补液容易流出或挤出，但是修补的厚度和精度都将难以控制，从而影响到修补的质量。
发明内容
本发明提供一种光罩修补装置，所述光罩修补装置用于修补带有孔洞的光罩，所述光罩修补装置包括：修补液存储器、导管、电磁装置，所述修补液存储器用于存储光罩修补液，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光，所述导管的一端连接所述修补液存储器，另一端开口，用于将所述修补液存储器中存储的光罩修补液导出，所述电磁装置用于提供高频交变电磁场，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述光罩修补液中的电磁材料在所述高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度，以便所述光罩修补液从所述导管中流出。
相较于现有技术，本发明的光罩修补装置中设置电磁装置，电磁装置提供高频交变电磁场，所述高频交变电磁场使得光罩修补液中的电磁材料震荡运动，从而降低了光罩修补液的粘度，以使得光罩修补液更容易从导管中流出，使得石英导管不容易被折断，且使得修补的光罩的厚度和精度都得到控制。
本发明还提供了一种光罩修补方法，应用于光罩修补装置中，用于修补光罩的孔洞，所述光罩修补方法包括：
将光罩修补液装入光罩修补装置中的修补液存储器中，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光；
提供高频交变电磁场给所述光罩修补液，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述高频交变电磁场用于使得光罩修补液中的电磁材料震荡运动，以降低所述光罩修补液的粘度；
将粘度降低后的光罩修补液通过与修补液存储器相连通的导管滴注到光罩的孔洞上；
加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液预设时间，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化。
相较于现有技术，本发明的光罩修补方法中使用包括电磁材料的光罩修补液，且提供高频交变电磁场给光罩修补液，高频交变电磁场使得光罩修补液中的电磁材料震荡运动，降低了光罩修补液的粘度，以使得光罩修补液更容易从导管中流出，使得石英导管不容易被折断，且使得修补的光罩的厚度和精度都得到控制。
本发明还提供了一种光罩修补液，所述光罩修补液包括电磁材料、树脂及苯溶剂，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光，其中，所述电磁材料的质量分数为10％～15％，所述树脂的质量分数为50％～60％，所述苯溶剂的质量分数为25％～40％。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一较佳实施方式提供的光罩修补装置的结构示意图。
图2为本发明一较佳实施方式提供的光罩修补方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，图1为本发明一较佳实施方式提供的光罩修补装置的结构示意图。所述光罩修补装置10用于修补带有孔洞的光罩。所述光罩修补装置10包括：修补液存储器100、导管200、电磁装置300。所述修补液存储器100用于存储光罩修补液，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光。在本实施方式中，所述光罩修补液包括电磁材料、树脂及苯溶剂。所述电磁材料具有磁性且可以吸收紫外光，其中，所述电磁材料的质量分数为10％～15％，所述树脂的质量分数为50％～60％，所述苯溶剂的质量分数为25％～40％。所述电磁材料包括四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒。四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒可以作为光罩修补液中的遮蔽物，四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒具有磁性，可以在高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度。且氧化铁纳米颗粒对紫外光具有较高的吸收率。所述导管200的一端连接所述修补液存储器100，另一端开口，用于将所述修补液存储器100中存储的光罩修补液导出。在本实施方式中，所述导管200的开口为圆形开口，所述导管200的口径为0.5μm。所述导管200为纳米石英导管。所述电磁装置300用于提供高频交变电磁场，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述光罩修补液中的电磁材料在所述高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度，以便所述光罩修补液从所述导管200中流出或者方便所述光罩修补液从所述导管200中被挤出。所谓高频电磁场是指频率在100KHZ～300MHZ的电磁波，其波长范围为1～3000m。交变电磁场是指交变电流产生的磁场，磁场的大小和方向都会随着时间按照一定规律变化。在本实施方式中，所述高频交变电磁场的频率为3000MHZ。
在本实施方式中，所述电磁装置300为环形，所述电磁装置300环绕所述导管10设置。优选地，所述导管200对应设置于所述环形的电磁装置300的中心设置。此时，所述电磁装置300产生的高频交变电磁场均匀地作用在所述导管200中的光罩修补液，以使得所述导管200中的光罩修补液中的电磁材料均匀地震荡运动，较大程度地降低所述光罩修补液的粘度，以便所述光罩修补液从所述导管200中流出。
所述光罩修补装置10还包括加热装置400。所述加热装置400用于加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液一预设时间，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化，以完成对所述光罩上的孔洞的修补。优选地，所述加热装置400提供温度范围为400℃～450℃的温度，所述预设时间的范围为60秒～90秒。即，所述加热装置400采用温度范围为400℃～450℃的温度加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液60秒～90秒，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化。
所述光罩修补装置10还包括移动装置500。所述移动装置500用于带动所述导管200移动，以将所述光罩修补液滴注到所述光罩的孔洞中。
在修补完光罩中的第n个孔洞之后，所述移动装置500带动所述导管200移动到光罩的下一个(第n+1个)孔洞处，经过电磁装置300产生的高频交变电磁场作用后的光罩修补液自所述导管200中流出，滴注到第n+1个孔洞中，所述加热装置加热滴注到所述第n+1个孔洞上的光罩修补液一预设时间，以使得所述第n+1个孔洞上的光罩修补液干燥定型固化，以完成对所述光罩上的第n+1个孔洞的修补，以此类推，以完成对所述光罩中所有的孔洞的修补。
相较于现有技术，本发明的光罩修补装置10中设置电磁装置300，电磁装置300提供高频交变电磁场，所述高频交变电磁场使得光罩修补液中的电磁材料震荡运动，从而降低了光罩修补液的粘度，以使得光罩修补液更容易从导管中流出，使得石英导管不容易被折断，且使得修补的光罩的厚度和精度都得到控制。
下面结合图1及前面介绍的光罩修补装置对本发明一较佳实施方式提供的光罩修补方法进行介绍。请参阅图2，图2为本发明一较佳实施方式提供的光罩修补方法的流程图。所述光罩修补方法包括但不仅限于以下步骤。
步骤S101，将光罩修补液装入光罩修补装置中的修补液存储器中，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光。在本实施方式中，所述光罩修补液包括电磁材料、树脂及苯溶剂。所述电磁材料具有磁性且可以吸收紫外光，其中，所述电磁材料的质量分数为10％～15％，所述树脂的质量分数为50％～60％，所述苯溶剂的质量分数为25％～40％。所述电磁材料包括四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒。四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒可以作为光罩修补液中的遮蔽物，四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒具有磁性，可以在高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度。且氧化铁纳米颗粒对紫外光具有较高的吸收率。
步骤S102，提供高频交变电磁场给所述光罩修补液，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述高频交变电磁场用于使得光罩修补液中的电磁材料震荡运动，以降低所述光罩修补液的粘度。所谓高频电磁场是指频率在100KHZ～300MHZ的电磁波，其波长范围为1～3000m。交变电磁场是指交变电流产生的磁场，磁场的大小和方向都会随着时间按照一定规律变化。在本实施方式中，所述高频交变电磁场的频率为3000MHZ。
步骤S103，将粘度降低后的光罩修补液通过与修补液存储器相连通的导管滴注到光罩的孔洞上。所述导管200的一端连接所述修补液存储器100，另一端开口，用于将所述修补液存储器100中存储的光罩修补液导出。在本实施方式中，所述导管200的开口为圆形开口，所述导管200的口径为0.5μm。所述导管200为纳米石英导管。
步骤S104，加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液预设时间，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化。优选地，所述步骤S104具体包括：采用温度范围为400℃～450℃的温度加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液60秒～90秒，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化。
步骤S105，移动所述光罩修补装置中的导管，以将所述光罩修补液滴注到所述光罩的孔洞中，其中，所述导管与所述修补液存储器相连通，用于将所述修补液存储器中存储的光罩修补液导出。在修补完光罩中的第n个孔洞之后，移动装置500带动导管200移动到光罩的下一个(第n+1个)孔洞处，经过电磁装置300产生的高频交变电磁场作用后的光罩修补液自所述导管200中流出，滴注到第n+1个孔洞中，所述加热装置加热滴注到所述第n+1个孔洞上的光罩修补液一预设时间，以使得所述第n+1个孔洞上的光罩修补液干燥定型固化，以完成对所述光罩上的第n+1个孔洞的修补，以此类推，以完成对所述光罩中所有的孔洞的修补。
相较于现有技术，本发明的光罩修补方法中使用包括电磁材料的光罩修补液，且提供高频交变电磁场给光罩修补液，高频交变电磁场使得光罩修补液中的电磁材料震荡运动，降低了光罩修补液的粘度，以使得光罩修补液更容易从导管中流出，使得石英导管不容易被折断，且使得修补的光罩的厚度和精度都得到控制。
本发明还提供了一种光罩修补液，所述光罩修补液包括电磁材料、树脂及苯溶剂，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光，其中，所述电磁材料的质量分数为10％～15％，所述树脂的质量分数为50％～60％，所述苯溶剂的质量分数为25％～40％。所述电磁材料包括四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒。四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒可以作为光罩修补液中的遮蔽物，四氧化三铁纳米颗粒和氧化铁纳米颗粒具有磁性，可以在高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度。且氧化铁纳米颗粒对紫外光具有较高的吸收率。
以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。
Claims (7)
1.一种光罩修补装置，所述光罩修补装置用于修补带有孔洞的光罩，其特征在于，所述光罩修补装置包括：修补液存储器、导管和电磁装置，所述修补液存储器用于存储光罩修补液，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光，所述导管的一端连接所述修补液存储器，另一端开口，用于将所述修补液存储器中存储的光罩修补液导出，所述电磁装置用于提供高频交变电磁场，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述电磁装置为环形，环绕所述导管设置，所述光罩修补液中的电磁材料在所述高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度，以便所述光罩修补液从所述导管中流出。
2.如权利要求1所述的光罩修补装置，其特征在于，所述导管对应设置于所述环形的电磁装置的中心设置。
3.如权利要求1所述的光罩修补装置，其特征在于，所述光罩修补装置还包括加热装置，所述加热装置用于加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液预设时间，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化。
4.如权利要求1所述的光罩修补装置，其特征在于，所述光罩修补装置还包括移动装置，所述移动装置用于带动所述导管移动，以将所述光罩修补液滴注到所述光罩的孔洞中。
5.一种光罩修补方法，应用于光罩修补装置中，用于修补光罩的孔洞，其特征在于，所述光罩修补方法包括：
将光罩修补液装入光罩修补装置中的修补液存储器中，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光；
光照修补装置中的电磁装置提供高频交变电磁场给所述光罩修补液，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述高频交变电磁场用于使得光罩修补液中的电磁材料震荡运动，以降低所述光罩修补液的粘度，其中，所述电磁装置为环形，环绕与修补液存储器相连通的导管设置；
将粘度降低后的光罩修补液通过与修补液存储器相连通的导管滴注到光罩的孔洞上；
加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液预设时间，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化。
6.如权利要求5所述的光罩修补方法，其特征在于，所述光罩修补方法还包括：
移动所述光罩修补装置中的导管，以将所述光罩修补液滴注到所述光罩的孔洞中，其中，所述导管与所述修补液存储器相连通，用于将所述修补液存储器中存储的光罩修补液导出。
7.如权利要求5所述的光罩修补方法，其特征在于，步骤“加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液预设时间，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化”包括：
采用温度范围为400°C~450°C的温度加热滴注到所述孔洞上的光罩修补液60秒~90秒，以使得所述光罩孔洞上的光罩修补液干燥定型固化。
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| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: TCL Huaxing Photoelectric Technology Co.,Ltd. Address before: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee before: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |