CN107314739B - 一种孔径测量设备及导电结构中的通孔的孔径测量方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种孔径测量设备及导电结构中的通孔的孔径测量方法，用以降低测量孔径大小的测量时间。孔径测量设备包括：孔径测试部件、第一导线、第二导线和测量模块；孔径测试部件包括直径不同的若干电阻段，各段电阻段按照直径递增或递减的顺序依次串接；孔径测试部件用于插入通孔中；第一导线的一端与直径最大的电阻段的最外端相连，另一端与测量模块相连；第二导线的一端与通孔的插入口的外周相连，另一端与测量模块相连；测量模块用于测量第一导线与第二导线之间的电阻值，确定通孔的孔径。

Description

一种孔径测量设备及导电结构中的通孔的孔径测量方法

技术领域

本发明涉及测试技术领域，尤其涉及一种孔径测量设备及导电结构中的通孔的孔径测量方法。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)的原理是利用射频(RF)将反应气体电离成等离子体，然后在基板上反应成膜，反应气体由背板上气体进入，通过气体扩散孔，在射频的作用下电离成等离子体，等离子体中的反应离子和基团在由基板承载台承载的基板上反应生成薄膜。等离子体增强化学气相沉积设备包括的基板承载台提供气体扩散孔安装平台，通过密封圈和腔室盖连接，腔室盖和腔体通过密封圈组成整体腔室，提供镀膜时所需要的空间和真空环境。

PECVD设备包括上部电极，上部电极分布有很多的气体扩散孔，气体扩散孔孔径的大小对成膜的均一性有很大的影响，现有技术对上部电极维修完成后，都会对气体扩散孔孔径的大小进行测量。现有技术的测量方法是用不同直径的Pin针依次插入气体扩散孔进行测量，直到Pin针不能插入气体扩散孔为止，这个Pin针的上一个Pin针尺寸的大小就是气体扩散孔孔径的大小。

综上所述，现有技术通过不同直径的Pin针依次插入气体扩散孔测量气体扩散孔孔径的方式在实际测量过程中需要耗费较长时间。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种孔径测量设备及导电结构中的通孔的孔径测量方法，用以降低测量孔径大小的测量时间。

本发明实施例提供的一种孔径测量设备，用于测量导电结构中的通孔的孔径，包括：孔径测试部件、第一导线、第二导线和测量模块；

所述孔径测试部件包括直径不同的若干电阻段，各段所述电阻段按照直径递增或递减的顺序依次串接；所述孔径测试部件用于插入所述通孔中；

所述第一导线的一端与直径最大的所述电阻段的最外端相连，另一端与所述测量模块相连；

所述第二导线的一端用于与所述通孔的插入口的外周相连，另一端与所述测量模块相连；

所述测量模块用于测量所述第一导线与所述第二导线之间的电阻值，确定所述通孔的孔径。

由本发明实施例提供的孔径测量设备，包括孔径测试部件、第一导线、第二导线和测量模块，孔径测试部件包括直径不同的若干电阻段，各段电阻段按照直径递增或递减的顺序依次串接；孔径测试部件用于插入孔中；测量模块用于测量第一导线与第二导线之间的电阻值，确定通孔的孔径；当测量通孔的孔径时，本发明实施例只需要将孔径测试部件插入待测量的通孔中即可测量得到孔的孔径，与现有技术相比，不需要多次插入，因此能够降低测量孔径大小时的测量时间。

较佳地，所述孔径测试部件具体用于，由所述电阻段直径最小的一端插入所述插入口，直到所述电阻段与所述通孔紧密接触。

较佳地，每一段所述电阻段的材料均相同。

较佳地，所述若干电阻段一体成型。

较佳地，所述测量模块具体用于测量未插入所述通孔的电阻段的电阻值，根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，得到与所述通孔紧密接触位置处的电阻段的直径，将得到的所述电阻段的直径作为所述通孔的孔径。

较佳地，孔径测量设备还包括显示模块，所述显示模块与所述测量模块相连，用于显示所述测量模块确定的所述通孔的孔径。

较佳地，所述显示模块为液晶显示器，或为有机电致发光显示器。

较佳地，每一段所述电阻段的长度均相同。

较佳地，每一段所述电阻段的长度为4毫米到6毫米。

本发明实施例还提供了一种通过上述孔径测量设备测量导电结构中的通孔的孔径的方法，该方法包括：

控制孔径测试部件由所述电阻段直径最小的一端插入所述通孔的插入口，直到所述电阻段与所述通孔紧密接触；

测量所述第一导线与所述第二导线之间的电阻值；

根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，确定所述通孔的孔径。

较佳地，所述测量所述第一导线与所述第二导线之间的电阻值，包括：

对所述第一导线与所述第二导线之间的电阻段施加电压，测量流过所述电阻段的电流值，根据欧姆定律，得到所述第一导线与所述第二导线之间的电阻段的电阻值。

较佳地，所述根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，确定所述通孔的孔径，包括：

根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，得到与所述通孔紧密接触位置处的电阻段的直径，将得到的所述电阻段的直径作为所述通孔的孔径。

较佳地，该方法还包括：显示所述通孔的孔径。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种孔径测量设备的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一孔径测量设备的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的又一孔径测量设备的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种导电结构中的通孔的孔径测量方法流程图。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种孔径测量设备及导电结构中的通孔的孔径测量方法，用以降低测量孔径大小的测量时间。

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

下面结合附图详细介绍本发明具体实施例提供的孔径测量设备。

附图中各部件区域大小、形状不反应各部件的真实比例，目的只是示意说明本发明内容。

如图1所示，本发明具体实施例提供了一种孔径测量设备，用于测量导电结构中的通孔10的孔径，该孔径测量设备包括：孔径测试部件11、第一导线12、第二导线13和测量模块14；

孔径测试部件11包括直径不同的若干电阻段111，各段电阻段111按照直径递增或递减的顺序依次串接；孔径测试部件11用于插入通孔10中；

第一导线12的一端与直径最大的电阻段111的最外端相连，另一端与测量模块14相连；

第二导线13的一端用于与通孔10的插入口的外周相连，另一端与测量模块14相连；

测量模块14用于测量第一导线12与第二导线13之间的电阻值，确定通孔10的孔径。

本发明具体实施例提供的孔径测量设备包括孔径测试部件、第一导线、第二导线和测量模块，孔径测试部件包括直径不同的若干电阻段，各段电阻段按照直径递增或递减的顺序依次串接；孔径测试部件用于插入通孔中；测量模块用于测量第一导线与第二导线之间的电阻值，确定通孔的孔径；与现有技术相比，本发明具体实施例只需要将孔径测试部件插入待测量的通孔中即可测量得到通孔的孔径，不需要多次插入，因此本发明具体实施例能够降低测量孔径大小时的测量时间。

具体地，本发明具体实施例中的孔径测试部件11具体用于，由电阻段111直径最小的一端插入到插入口，直到电阻段111与通孔10紧密接触，即直到电阻段111不能插入为止。

具体实施时，本发明具体实施例中每一段电阻段111的长度和直径均为预设值，每一段电阻段111的长度根据实际需要设定，每一段电阻段111的直径根据通孔10的尺寸进行设定，每一段电阻段111的直径的具体设定值可以参照Pin针的尺寸设置；在实际生产过程中，当电阻段的材料选定时，每一段电阻段111的电阻值根据电阻段电阻值的计算公式可以得到。

具体地，如图1所示，本发明具体实施例中的测量模块14具体用于测量未插入通孔10的电阻段111的电阻值，根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段电阻段111的电阻值，得到与通孔10紧密接触位置处的电阻段111的直径，将得到的电阻段111的直径作为通孔10的孔径；这样，通过本发明具体实施例中的测量模块可以准确的测量得到未插入通孔中的电阻段的电阻值，由于每一段电阻段111的电阻值均为预先设定的值，因此，能够准确的得到与通孔紧密接触位置处的电阻段的直径，从而能够方便的得到通孔的孔径。

优选地，本发明具体实施例中的每一段电阻段的材料均相同，这样，在实际材料的选取上更加方便、简单，且能够节约选材成本。

本发明具体实施例中导电结构中的通孔10以等离子体化学气相沉积设备包括的上部电极中分布的气体扩散孔为例进行介绍。

优选地，如图2所示，本发明具体实施例中串接在一起的若干电阻段111一体成型，这样，在实际生产过程中，本发明具体实施例可以将一根电阻段依次做成不同直径的多段电阻段来形成孔径测试部件11，在实际生产过程中，不仅能够节省原材料，而且能够更加方便简单的得到孔径测试部件。在本发明的一个具体实施例中，导电结构可以是等离子体化学气相沉积设备的上部电极，上部电极中包括多个用于扩散气体的通孔，如图2所示，通孔的形状设置为漏斗状，从而能够保证气体通过通孔后均匀扩散。

优选地，如图2所示，本发明具体实施例中的每一段电阻段111的长度均相同，这样在实际设计时，更有利于孔径测试部件的设置。具体实施时，本发明具体实施例中每一段电阻段的长度为4毫米到6毫米，电阻段的长度为4毫米到6毫米时，当孔径测试部件由电阻段直径最小的一端插入孔后，能够更好得使得电阻段与通孔紧密接触。

具体地，如图3所示，本发明具体实施例提供的孔径测量设备还包括显示模块30，显示模块30与测量模块14相连，用于显示测量模块14确定的通孔10的孔径，通过本发明具体实施例中的显示模块用户可以直观的得到通孔10的孔径；当然，在实际设计时，本发明具体实施例还可以在测量模块中加入语音设备，通过语音设备将通孔10的孔径提供给用户。

具体实施时，本发明具体实施例中的显示模块30为液晶显示器，或为有机电致发光显示器，液晶显示器和有机电致发光显示器的显示原理与现有技术相同，这里不再赘述；当然，在实际生产过程中，本发明具体实施例中的显示模块30还可以为其它显示设备，本发明具体实施例并不对显示模块的具体类型做限定。

为了更好的验证采用本发明具体实施例提供的孔径测量设备能够降低测量孔径大小的测量时间，在同样的时间内，分别采用现有技术的Pin针和本发明具体实施例的孔径测量设备测量气体扩散孔的孔径，测量结果显示：若采用现有技术的Pin针进行测量，只能测量25个气体扩散孔的孔径，而采用中的孔径测量设备进行测量，则能够测量100个气体扩散孔的孔径。

根据以上验证结果可知，即使等离子体化学气相沉积设备包括的上部电极中分布有成千上万个气体扩散孔，采用本发明具体实施例提供的孔径测量设备也能够在较短的时间内测量出大量气体扩散孔的孔径。

基于同一发明构思，本发明具体实施例还提供了一种通过上述孔径测量设备测量导电结构中的通孔的孔径的方法，如图4所示，该方法包括：

S401、控制孔径测试部件由所述电阻段直径最小的一端插入所述通孔的插入口，直到所述电阻段与所述通孔紧密接触；

S402、测量所述第一导线与所述第二导线之间的电阻值；

S403、根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，确定所述通孔的孔径。

具体地，本发明具体实施例测量第一导线与第二导线之间的电阻值，包括：

对第一导线与第二导线之间的电阻段施加一预设电压，测量流过第一导线与第二导线之间的电阻段的电流值，根据欧姆定律，即公式：R＝U/I，得到第一导线与第二导线之间的电阻段的电阻值；其中：

R表示第一导线与第二导线之间的电阻段的电阻值，U表示施加到第一导线与第二导线之间的电阻段的电压值，I表示流过第一导线与第二导线之间的电阻段的电流值。

具体地，本发明具体实施例根据测量得到的电阻值与预先设定的每一电阻段的电阻值，确定通孔的孔径，包括：

根据测量得到的电阻值与预先设定的每一电阻段的电阻值，得到与通孔紧密接触位置处的电阻段的直径，将得到的电阻段的直径作为通孔的孔径。

具体地，本发明具体实施例提供的测量孔的孔径的方法还包括通过显示模块显示通孔的孔径。

下面结合一个具体的实施例说明本发明具体实施例通过上述孔径测量设备测量导电结构中的通孔的孔径的方法。

如图3所示，假设本发明具体实施例中若干电阻段的长度相同，材料均相同，由直径最小的一端指向直径最大的一端的孔径测试部件包括的电阻段的电阻值依次为：6Ω、5Ω、4Ω、3Ω和2Ω，每一段电阻段的直径为预先设定的值，如：由直径最小的一端指向直径最大的一端的孔径测试部件包括的电阻段的直径依次为：D1、D2、D3、D4和D5，D1、D2、D3、D4和D5的具体设定尺寸参照现有技术的Pin针的尺寸进行设定。

如图3所示，当需要测量导电结构中的通孔的孔径时，首先，控制孔径测试部件11由电阻段111直径最小的一端插入通孔10，直到电阻段111与通孔10紧密接触不能再插入为止；接着，测量模块14对未插入通孔10的电阻段111施加一预设电压U，并测量流过未插入通孔10的电阻段111的电流值I，根据公式：R＝U/I，得到未插入通孔10的电阻段111的电阻值R，假如此时得到的电阻值R为9Ω。

接着，如图3所示，测量模块14根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段电阻段的电阻值，得到与通孔10紧密接触位置处的电阻段的直径，如：测量得到的电阻段的电阻值R为9Ω，而由直径最小的一端指向直径最大的一端的孔径测试部件包括的电阻段的电阻值依次为：6Ω、5Ω、4Ω、3Ω和2Ω，因此，可以得到此时未能插入通孔的电阻段包括阻值为4Ω、3Ω和2Ω的电阻段，因此与通孔10紧密接触位置处的电阻段的电阻值为5Ω，而电阻值为5Ω的电阻段的直径为D2，因此与通孔10紧密接触位置处的电阻段的直径为D2；测量模块14将得到的电阻段111的直径D2作为通孔10的孔径，并将通孔10的孔径值发送给显示模块30。

最后，如图3所示，显示模块30将通孔10的孔径值D2显示出来。

综上所述，本发明具体实施例提供一种孔径测量设备，用于测量导电结构中的通孔的孔径，包括：孔径测试部件、第一导线、第二导线和测量模块；孔径测试部件包括直径不同的若干电阻段，各段电阻段按照直径递增或递减的顺序依次串接；孔径测试部件用于插入通孔中；第一导线的一端与直径最大的电阻段的最外端相连，另一端与测量模块相连；第二导线的一端与通孔的插入口的外周相连，另一端与测量模块相连；测量模块用于测量第一导线与第二导线之间的电阻值，确定通孔的孔径。与现有技术相比，本发明具体实施例只需要将孔径测试部件插入待测量的通孔中即可测量得到孔的孔径，不需要多次插入，因此能够降低测量孔径大小时的测量时间。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (13)

1.一种孔径测量设备，用于测量导电结构中的通孔的孔径，其特征在于，包括：孔径测试部件、第一导线、第二导线和测量模块；

所述孔径测试部件包括直径不同的若干电阻段，各段所述电阻段按照直径递增或递减的顺序依次串接，且设定每段所述电阻段的电阻值与其直径具有唯一对应关系；所述孔径测试部件用于插入所述通孔中；

所述第一导线的一端与直径最大的所述电阻段的最外端相连，另一端与所述测量模块相连；

所述第二导线的一端用于与所述通孔的插入口的外周相连，另一端与所述测量模块相连；

所述测量模块用于测量所述第一导线与所述第二导线之间的电阻值，确定所述通孔的孔径。

2.根据权利要求1所述的孔径测量设备，其特征在于，所述孔径测试部件具体用于，由所述电阻段直径最小的一端插入所述插入口，直到所述电阻段与所述通孔紧密接触。

3.根据权利要求1所述的孔径测量设备，其特征在于，每一段所述电阻段的材料均相同。

4.根据权利要求3所述的孔径测量设备，其特征在于，所述若干电阻段一体成型。

5.根据权利要求2所述的孔径测量设备，其特征在于，所述测量模块具体用于测量未插入所述通孔的电阻段的电阻值，根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，得到与所述通孔紧密接触位置处的电阻段的直径，将得到的所述电阻段的直径作为所述通孔的孔径。

6.根据权利要求1所述的孔径测量设备，其特征在于，还包括显示模块，所述显示模块与所述测量模块相连，用于显示所述测量模块确定的所述通孔的孔径。

7.根据权利要求6所述的孔径测量设备，其特征在于，所述显示模块为液晶显示器，或为有机电致发光显示器。

8.根据权利要求1所述的孔径测量设备，其特征在于，每一段所述电阻段的长度均相同。

9.根据权利要求8所述的孔径测量设备，其特征在于，每一段所述电阻段的长度为4毫米到6毫米。

10.一种通过权利要求1-9任一项所述的孔径测量设备测量导电结构中的通孔的孔径的方法，其特征在于，所述方法包括：

控制孔径测试部件由所述电阻段直径最小的一端插入所述通孔的插入口，直到所述电阻段与所述通孔紧密接触；

测量所述第一导线与所述第二导线之间的电阻值；

根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，确定所述通孔的孔径。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述测量所述第一导线与所述第二导线之间的电阻值，包括：

对所述第一导线与所述第二导线之间的电阻段施加电压，测量流过所述电阻段的电流值，根据欧姆定律，得到所述第一导线与所述第二导线之间的电阻段的电阻值。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，确定所述通孔的孔径，包括：

根据测量得到的电阻值与预先设定的每一段所述电阻段的电阻值，得到与所述通孔紧密接触位置处的电阻段的直径，将得到的所述电阻段的直径作为所述通孔的孔径。

13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，该方法还包括：显示所述通孔的孔径。