CN107250391B - 方向性电磁钢板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种低铁损且装入于变压器时的噪声小的方向性电磁钢板及其制造方法。本发明涉及一种方向性电磁钢板，在钢板的表层部局部性地存在且沿着将轧制方向横切的方向延伸的应变区域在轧制方向上以周期性的间隔s(mm)形成多个，所述方向性电磁钢板的特征在于，在各个所述应变区域，沿宽度方向遍及200mm以上连续地形成有轧制方向宽度周期性地变化的闭合磁畴区域，各个闭合磁畴区域满足如下条件：钢板表面的轧制方向的最大宽度Wmax相对于最小宽度Wmin之比(Wmax/Wmin)为1.2以上且小于2.5，钢板表面的轧制方向的平均宽度Wave为80μm以上，板厚方向的最大深度D为32μm以上，(Wave×D)/s为0.0007mm以上且0.0016mm以下。

Description

方向性电磁钢板及其制造方法
技术领域
本发明涉及例如变压器的铁芯所使用的方向性电磁钢板及其制造方法。
背景技术
使用方向性电磁钢板的变压器不断要求低铁损和低噪声。在变压器的低铁损化中，方向性电磁钢板其本身的低铁损化有效，作为其技术之一，存在通过向钢板表面照射激光、等离子体、电子射束等来对磁畴进行细分化的技术。专利文献1记载了如下的技术：借助电子射束照射沿着与方向性电磁钢板的轧制方向交叉的朝向将热应变点列地导入时，通过使照射点间隔或照射能量适当化来降低铁损。该技术不仅对主磁畴进行细分化，而且在钢板内部形成被称为闭合磁畴的新的磁畴构造，由此实现低铁损。
然而，如果闭合磁畴增大，则装入于变压器时的噪声变得不利。这是因为，闭合磁畴的磁矩朝向与轧制方向正交的面内，因此在方向性电磁钢板的励磁过程中，朝向向轧制方向变化，伴随于此产生磁力应变(磁致伸缩)。在钢板内部，还存在被称为柳叶刀(lancet)的闭合磁畴，但是在交流磁场中，由于励磁中的柳叶刀生成消失而也会产生磁致伸缩。已知柳叶刀通过赋予张力等而能够减少，磁致伸缩也能改善。另一方面，由于上述的磁畴细分化而产生的闭合磁畴也成为磁致伸缩或变压器噪声劣化的要因。由此，与柳叶刀同样地要求用于同时实现低铁损和低噪声的闭合磁畴的适当化。
作为由电子射束法产生的铁损和噪声的改善技术，存在以下的技术。在专利文献2中记载有如下的技术：呈点状地照射电子射束而进行磁畴细分化处理的情况下，根据电子射束的输出来控制每一点的滞留时间t与点间隔X的关系，由此提供具有优异的铁损特性及噪声特性的方向性电磁钢板。在专利文献3中记载了一种利用电子射束照射进行磁畴细分化处理，使热应变导入区域的直径A与照射间距B的关系适当化的方向性电磁钢板。
另外，在专利文献4记载了一种利用电子射束法而使闭合磁畴的轧制方向宽度、板厚方向深度、轧制方向导入间隔适当化的技术。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-036450号公报
专利文献2：日本特开2012-172191号公报
专利文献3：日本特开2012-036445号公报
专利文献4：国际公开第2014/068962号
发明内容
发明要解决的课题
然而，在专利文献2、3中，由于呈点列状地照射电子射束，因此所形成的闭合磁畴的形状从同时实现低铁损及低噪声的观点出发未能充分地适当化。而且，在专利文献4的技术中，铁损低，闭合磁畴的轧制方向宽度、闭合磁畴的体积也大，因此推定结构因素也小，但是为了使闭合磁畴的板厚方向深度成为一定以上而板厚方向的磁致伸缩存在变大的倾向，作为重视噪声的变压器用途而并不适当。
本发明鉴于上述课题，其目的在于提供一种低铁损且装入于变压器时的噪声小的方向性电磁钢板及其制造方法。
用于解决课题的方案
这样的闭合磁畴形成的考虑方法在以往也被认可，但是本发明者们发现了，作为用于同时实现变压器的低铁损和低噪声的闭合磁畴的条件，其板厚方向的深度大，其体积(在本说明书中，通过“闭合磁畴的轧制方向的平均宽度Wave×最大深度D/周期性的间隔s”进行定义。)小的情况有效。并且发现了，作为这样的闭合磁畴的导入方法，电子射束法最为有利。这是因为，电子射束向钢板内部的透过能力高，从照射面至板厚更内部能够形成应变和闭合磁畴。
此外，本发明者们发现了，通过射束的控制性极高且能够进行高度的位置控制的电子射束法，使钢板表面的闭合磁畴成为轧制方向的宽度周期性地变化的形状，通过使轧制方向的最大宽度Wmax相对于最小宽度Wmin之比(Wmax/Wmin)最适化，与以往相比能够实现良好的铁损/噪声平衡。
并且，本发明者们发现了用于形成满足上述的条件的闭合磁畴的最适的电子射束照射条件。具体而言，使高加速电压射束小径化为以往以上，并高速地控制停留和移动的技术。
本发明通过上述的见解而完成，其主旨构成如以下所述。
(1)一种方向性电磁钢板，在钢板的表层部局部性地存在且沿着将轧制方向横切的方向延伸的应变区域在轧制方向上以周期性的间隔s(mm)形成多个，所述方向性电磁钢板的特征在于，
在各个所述应变区域，沿宽度方向遍及200mm以上连续地形成有钢板表面的轧制方向的宽度周期性地变化的闭合磁畴区域，
各个所述闭合磁畴区域满足如下条件：
钢板表面的轧制方向的最大宽度Wmax相对于最小宽度Wmin之比(Wmax/Wmin)为1.2以上且小于2.5，
钢板表面的轧制方向的平均宽度Wave为80μm以上，
板厚方向的最大深度D为32μm以上，
(Wave×D)/s为0.0007mm以上且0.0016mm以下。
(2)一种方向性电磁钢板的制造方法，用于得到上述(1)记载的方向性电磁钢板，其特征在于，
在方向性电磁钢板的表面上，使电子射束沿着将轧制方向横切的方向扫描，并向所述表面照射电子射束，从而形成所述应变区域时，所述照射的照射条件满足如下的条件：
加速电压为90kV以上，
与扫描方向正交的方向的射束束径d1为80μm以上且220μm以下，
扫描方向的射束束径d2为(0.8×d1)μm以上且(1.2×d1)μm以下，
射束轮廓为高斯形状，
电子射束在所述表面上反复进行停止和移动距离p(其中，1.5×d2≤p≤2.5×d2)的移动，并进行扫描。
(3)根据上述(2)记载的方向性电磁钢板的制造方法，其中，所述停止时间为2μ秒以上，所述扫描的平均速度为100m/s以上。
(4)根据上述(2)记载的方向性电磁钢板的制造方法，其中，所述停止时间为8μ秒以上，所述扫描的平均速度为30m/s以上。
(5)根据上述(2)～(4)中任一项记载的方向性电磁钢板的制造方法，其中，在所述表面上，电子射束的宽度方向扫描长度为200mm以上。
(6)根据上述(2)～(4)中任一项记载的方向性电磁钢板的制造方法，其中，在所述表面上，电子射束的宽度方向扫描长度为300mm以上。
(7)根据上述(2)～(6)中任一项记载的方向性电磁钢板的制造方法，其中，电子射束的产生源为LaB6。
(8)根据上述(2)～(7)中任一项记载的方向性电磁钢板的制造方法，其中，用于使电子射束收敛的线圈使用两个以上。
发明效果
本发明的方向性电磁钢板为低铁损且装入于变压器时的噪声小。而且，根据本发明的方向性电磁钢板的制造方法，能够得到低铁损且装入于变压器时的噪声小的方向性电磁钢板。
附图说明
图1是表示磁致伸缩高次谐波水平与变压器噪声的关系的坐标图。
图2(A)是比较例的表示闭合磁畴的形状的钢板表面的示意图，图2(B)是本发明的一实施方式的表示闭合磁畴的形状的钢板表面的示意图。
图3是表示闭合磁畴区域的、(轧制方向的平均宽度Wave×最大深度D)/周期性的间隔s与磁致伸缩高次谐波水平的关系的坐标图。
图4是表示闭合磁畴区域的、轧制方向的最大宽度Wmax相对于最小宽度Wmin之比(Wmax/Wmin)与磁致伸缩高次谐波水平的关系的坐标图。
图5是表示电子射束的加速电压与闭合磁畴区域的最大深度D的关系的坐标图。
图6是表示各种射束轮廓的形状的坐标图。
具体实施方式
(方向性电磁钢板)
首先，说明本发明的一实施方式的方向性电磁钢板(以下，有时也仅称为“钢板”)。
本发明使用的方向性电磁钢板的种类(成分组成、组织等)没有特别限定，可以使用各种任意的方向性电磁钢板。
本实施方式的方向性电磁钢板在钢板的表面具有张力被膜。张力被膜的种类没有特别限定，例如，可以设为由在最终退火中形成的以Mg2SiO4为主成分的镁橄榄石被膜和进而在其上形成的磷酸盐系张力被膜构成的双层被膜。而且，也可以在不具有镁橄榄石被膜的钢板的表面直接形成磷酸盐系的张力赋予型绝缘被膜。所述磷酸盐系的张力赋予型绝缘被膜例如可以通过将以金属磷酸盐和二氧化硅为主成分的水溶液涂布在钢板的表面，并进行烧结而形成。
在本实施方式的方向性电磁钢板中，在其表面上一边使电子射束沿着将轧制方向横切的方向扫描，一边向所述表面照射电子射束，由此，在钢板的表层部局部性地存在(导入)且沿着将轧制方向横切的方向延伸的塑性应变区域在轧制方向上以周期性的间隔s(mm)形成多个。并且，在各个应变区域形成有闭合磁畴区域。
在本实施方式中，张力被膜不会因电子射束照射而受到损伤。因此，在电子射束照射后不需要进行修补用的再涂层。因此，不会使被膜的厚度过度变厚，能够提高将钢板作为变压器用铁芯组装时的占空系数。而且，电子射束具有能够高速且复杂地控制钢板的进行照射的位置的优点。
本实施方式的特征是发现了用于同时实现变压器的低铁损和低噪声的闭合磁畴的条件的点，以下进行详细说明。
首先，本发明者们发现了在电子射束照射法的情况下，与变压器噪声存在良好的相关的磁致伸缩参数是磁致伸缩高次谐波水平的情况。在此，“磁致伸缩高次谐波水平”是将利用激光多普勒式振动计而得到的磁致伸缩波形分解成每100Hz的速度成分，关于对各频率成分进行了A刻度校正后的值以0～1000Hz的范围进行累计的值。而且，磁致伸缩测定时的最大磁通密度设为与最大磁通密度1.3～1.8T的变压器噪声的相关最高的1.5T的值。图1是表示对于在钢板表面具有镁橄榄石被膜及磷酸盐系张力被膜的板厚0.23mm的方向性电磁钢板，以各种电子射束条件进行了磁畴细分化时的磁致伸缩高次谐波水平与变压器噪声的关系的坐标图。从图1可知，磁致伸缩高次谐波水平与变压器噪声存在良好的相关关系。由此，在以下的一部分的试验中，使用磁致伸缩高次谐波水平作为噪声的评价指标。
在此，与闭合磁畴的构造相关的参数如下定义。
Wmax：闭合磁畴区域的钢板表面的轧制方向的最大宽度(参照图2)
Wmin：闭合磁畴区域的钢板表面的轧制方向的最小宽度(参照图2)
Wave：闭合磁畴区域的钢板表面的轧制方向的平均宽度
D：板厚方向的最大深度
需要说明的是，闭合磁畴的轧制方向上的周期性的间隔与应变区域的轧制方向上的周期性的间隔s实质上相同。
闭合磁畴的轧制方向的宽度通过包含磁性胶态溶液的磁观察器观察钢板的表面的磁畴来求出。“平均宽度Wave”设为最大宽度Wmax与最小宽度Wmin的相加平均。闭合磁畴的最大深度D设为通过化学研磨的方法将钢板表面阶段性地减厚，并通过上述的观察方法观察闭合磁畴的最大的减厚量。
[板厚方向的最大深度D为32μm以上]
可认为闭合磁畴的深度对铁损造成影响。为了增大磁畴细分化效果，深度越大越好，但是深度过度大时，闭合磁畴的体积变大，会使磁致伸缩劣化。由此，板厚方向的最大深度D优选为32μm以上且50μm以下。
[(Wave×D)/s为0.0007mm以上且0.0016mm以下]
本发明者们发现了通过减小闭合磁畴的体积而能够实现低噪声的情况。图3表示对于在钢板表面具有镁橄榄石被膜及磷酸盐系张力被膜的板厚0.23mm的方向性电磁钢板，改变电子射束条件而进行磁畴细分化，形成了各种念珠形状(使磁畴宽度周期性地变化的形状)的闭合磁畴时的(Wave×D)/s与磁致伸缩高次谐波水平的关系。图中空心的点表示铁损W17/50为0.70W/kg以上的数据。(Wave×D)/s越小，则磁致伸缩高次谐波水平越小，能够实现低噪声。从该观点出发，在本实施方式中，(Wave×D)/s设为0.0016mm以下。另一方面，当(Wave×D)/s过低时，磁畴细分化效果小且铁损高。从该观点出发，在本实施方式中，(Wave×D)/s设为0.0007mm以上。
[闭合磁畴的钢板表面的形状]
接下来，将闭合磁畴的最大深度D设为36μm，将周期性的间隔s设为5mm，将电子射束照射条件(停留点的间隔、射束电流)进行各种变更，使钢板表面的形状变化。其结果是可知，与图2(A)那样的直线状的闭合磁畴形状相比，如图2(B)所示，沿宽度方向连续地，钢板表面的轧制方向的宽度周期性地变化的形状的一方能够进一步降低磁致伸缩高次谐波水平。图4示出(Wmax/Wmin)与磁致伸缩高次谐波水平的关系。平均宽度的白点为200～220μm，相对于此，黑点为270μm而稍大。在(Wmax/Wmin)为1.2以上且小于2.5的范围内，与(Wmax/Wmin)为1.0即直线状的闭合磁畴的情况相比，磁致伸缩高次谐波水平降低。需要说明的是，铁损表示大致相同的值。由此，在本实施方式中，(Wmax/Wmin)设为1.2以上且小于2.5。
需要说明的是，各个闭合磁畴区域优选在钢板表面沿宽度方向连续地形成200mm以上，更优选在宽度方向全长上连续地形成。这是因为，在小于200mm的情况下，即使沿宽度方向产生的闭合磁畴区域的接缝部变多，钢板的磁畴构造也会不均一化，使磁特性劣化。
[钢板表面的轧制方向的平均宽度Wave为80μm以上]
在Wave小于80μm的情况下，过窄而得不到充分的磁畴细分化效果，因此在本实施方式中，Wave设为80μm以上。而且，Wave优选为250μm以下。这是因为，在超过250μm的情况下，磁致伸缩容易增大。
(方向性电磁钢板的制造方法)
本发明的一实施方式的方向性电磁钢板的制造方法是得到上述说明的方向性电磁钢板的制造方法，在方向性电磁钢板的表面上，一边使电子射束沿着将轧制方向横切的方向扫描，一边向所述表面照射电子射束，形成所述应变区域。
本发明者们反复仔细实验，发现了用于满足上述的闭合磁畴的条件的优选的电子射束照射条件。
[加速电压Va：90kV以上且300kV以下]
加速电压优选较高。这是因为，通过电子射束的物质透过性升高，而容易透过被膜，不仅容易抑制被膜的损伤，而且在应变区域形成的闭合磁畴区域容易在板厚方向上较深地形成。而且，在本实施方式中，如后面所述，为了减小闭合磁畴体积而需要极力缩减射束束径，但是也具有加速电压越高则射束束径越容易变小的优点。图5示出向在钢板表面具有镁橄榄石被膜及磷酸盐系张力被膜的板厚0.23mm的方向性电磁钢板，以规定的电子射束条件(射束束径200μm、扫描速度30m/s、扫描方向：宽度方向)进行了磁畴细分化时的电子射束的加速电压与闭合磁畴区域的最大深度D的关系。在全部的方向性电磁钢板中，以W17/50计而小于0.70W/kg。在本条件下，通过使加速电压为90kV以上，能够使板厚方向的最大深度D为32μm以上。需要说明的是，如果使其他的射束条件适当化，则不变更加速电压也能够增大闭合磁畴深度。例如，通过将电子射束向同一部位进行长时间照射，由于热传导的影响而能够将应变导入至更深的区域。
另一方面，加速电压升高时，从被照射体产生的X射线的遮挡变得困难，因此在实际上优选将上限设为300kV左右。进而优选的加速电压的下限为150kV。
[与扫描方向正交的方向的射束束径d1：80μm以上且220μm以下]
在本实施方式中，为了减小闭合磁畴的体积，而使电子射束小径化。即，射束束径d1设为220μm以下。而且，如果射束束径过窄而闭合磁畴的宽度变得过窄，则磁畴细分化效果变小，因此射束束径d1设为80μm以上。更优选的射束束径d1的范围为100～150μm。
[扫描方向的射束束径d2：(0.8×d1)μm以上且(1.2×d1)μm以下]
在使射束一边反复停留和移动一边动作的方法中，可知射束形状接近正圆为好。这是因为，当射束束径成为椭圆状时，射束的能量密度减少，因此需要使射束电流增大而进行高能量化，但是这种情况下，射束束径成为较大的值。从该观点出发，射束束径d2设为(0.8×d1)～(1.2×d1)μm。
在此，“射束束径”d1、d2均以通过狭缝法(狭缝宽度0.03mm)测定的射束轮廓的半值宽度来定义。
[射束轮廓为高斯形状]
电子射束根据收敛的方法而取得各种轮廓形状，可知大体能够分为图6所示的4个形状。其中，#1的射束的能量密度最高，对于低铁损化有效。即，在照射了能量密度低的#2、#3及#4的射束的情况下，难以使闭合磁畴的深度成为所希望的深度。这是因为，反之，为了成为所希望的闭合磁畴的深度而采取提高射束电流等提高能量密度的措施的情况下，闭合磁畴的宽度增大，因此反而会导致铁损增大。在本实施方式中，将#1那样的射束称为“高斯形状的射束”，定义为强度1/2的射束宽度(射束束径)为265μm以下且与强度1/5的射束宽度之比为3.0以下的射束。
[线角度：60°以上且120°以下]
电子射束的直线状的扫描方向设为从轧制方向起形成为60°以上且120°以下的角度的方向。当从90°偏离时，应变部的体积增大，因此优选设为90°。
[电子射束照射图案]
扫描电子射束而在通板的钢板上形成沿宽度方向连续地分布的应变。此时，电子射束的钢板上的平均扫描速度可以设为30m/s以上。当平均扫描速度小于30m/s时，无法实现高生产性。优选设为100m/s以上。为了能进行射束的停止和移动的高速反复控制，而平均扫描速度的上限可以设为300m/s。需要说明的是，电子射束的扫描中为一定速度，“平均扫描速度”是指包括停止时间的平均的扫描速度。
这样高速地扫描电子射束的情况下，由于射束的开、关会花费不必要的时间，因此电子射束优选始终为照射状态。这种情况下，为了如前所述地使闭合磁畴宽度在宽度方向上周期性地变化，不是使射束沿宽度方向以一定速度扫描，而是只要以反复扫描和停留的方式进行照射即可。并且，相邻的停留部间的距离(移动距离)p设为扫描方向射束束径d2×1.5≤p≤扫描方向射束束径d2×2.5。当p小于d2×1.5时，闭合磁畴成为连续的形状，当大于d2×2.5时，闭合磁畴沿宽度方向变得不连续或者宽度比(Wmax/Wmin)变得过大。
另外，为了形成前述的闭合磁畴，需要将停留部的射束停止时间确保为尽可能长的时间。在平均扫描速度为100m/s以上时，需要停留2μ秒以上。在平均扫描速度为30m/s以上时，如果停留8μ秒以上，则能够得到更高的效果。上限从被膜损伤抑制的观点出发而优选设为20μ秒。
[照射线间隔：15mm以下]
电子射束优选以沿宽度方向形成的闭合磁畴区域的轧制方向的周期性的间隔s成为15mm以下的方式进行照射。这是因为，如果照射线间隔过宽，则磁畴细分化效果缺乏，铁损难以改善。线间隔的下限虽然没有特别限制，但是受到已述的闭合磁畴体积的程度限制。其中，在线间隔窄时会损害生产能力，因此作为优选的条件而为5mm以上。而且，线间隔需要使Wave×D)/s成为0.0007～0.0016mm。
[射束电流：0.5mA以上且30mA以下]
从射束束径缩小的观点出发而射束电流优选较低的一方。这是因为，在带电粒子彼此排斥时，射束变得难以收敛。因此，射束电流的上限设为30mA。更优选为20mA以下。另一方面，射束电流过低的情况下，得不到磁畴细分化的效果，因此将下限设为0.5mA。
[加工室的压力：3Pa以下]
电子射束因气体分子而散乱，其射束径变大，因此需要3Pa以下的压力。而且，关于下限，如果过低，则真空泵等真空系统花费的成本增大，因此在实际使用上为10-5Pa左右。
[WD(工作距离)：1000mm以下]
WD是从收敛线圈的中心至钢板表面的距离。该距离对射束束径造成显著影响。WD小的一方，射束的行路长度变短，射束变得容易收敛。因此，优选设为1000mm以下。
[线圈配置：2段收敛线圈]
为了在钢板上形成前述的高斯状的电子射束，需要利用收敛线圈使从热电子源放出的电子强力地收敛。然而，电子被以高电压加速的情况下，通过收敛线圈的时间极短，因此收敛能力不足，无法得到所希望的轮廓。虽然存在增大线圈电流而使磁场强度增大的方法，但是在线圈、与收敛相关的电路基板内的发热会过度增大。因此，通过使用2个以上的收敛线圈，能够使发热量分散，稳定地形成高斯状射束。
[钢板表面处的电子射束的宽度方向扫描长度：200mm以上]
钢板表面处的电子射束的宽度方向扫描长度越大，则能够以越少的电子枪台数照射宽幅线圈。例如，在线圈的宽度为1000mm的情况下，如果扫描长度为200mm，则需要5台电子枪，如果扫描长度为50mm，则需要20台电子枪。因此，考虑到生产效率、维修性时，该扫描长度越大则越优选，设为200mm以上，优选设为300mm以上。然而，在扫描长度过大的情况下，需要扩大WD或者增大偏转角度，在前者的情况下，存在射束束径变宽的问题，在后者的情况下，偏转像差大，偏转射束的在钢板上的形状发生椭圆化，因此从射束小径化的观点出发而不优选。由此，上限优选为650mm。
[电子射束的产生源：LaB6]
通常，已知LaB6有利于输出高亮度射束，容易缩小射束束径，因此优选。
实施例
对于在钢板表面具有镁橄榄石被膜及磷酸盐系张力被膜的板厚0.23mm的方向性电磁钢板，以表1所示的各种电子射束照射条件实施了磁畴细分化处理。以800A/m磁化时的磁通密度B8为约1.935T。电子射束的扫描方向与钢板的轧制方向垂直，且加工室压力设为0.02Pa。射束电流在输出1～3kW的范围内进行了调整。No.12将WD设为300mm，除此以外将WD设为900mm。表1的轮廓形状一栏中的“#1”表示图6的#1那样的高斯形状，“#4”表示图6的#4那样的形状。
[表1]
磁畴细分化后的被膜损伤的有无、闭合磁畴区域的各种尺寸、铁损W17/50及高次谐波水平MHL15/50如表2所示。
[表2]
根据本发明，加速电压为150kV，使用LaB6阴极，以适合于本发明的上限照射了电子射束的情况下，同时实现了铁损W17/50为0.66～0.68W/kg且磁致伸缩高次谐波水平MHL15/50成为29dBA的低铁损/低磁致伸缩。在将阴极设为钨(Tungsten)的情况下，同时实现了0.67W/kg且30dBA的低铁损/低磁致伸缩。而且，在为LaB6阴极且收敛线圈为一段的条件下，同时实现了0.67/kg且29dBA的低铁损/低磁致伸缩。此外，关于No.15和No.16，制造模制变压器，测定了噪声，结果是No.15为33dBA，No.16为35dBA，确认到了通过磁致伸缩高次谐波水平的降低而减小变压器噪声的情况。
工业实用性
根据本发明，能够提供一种低铁损且装入于变压器时的噪声小的方向性电磁钢板及其制造方法。由此，能够提高变压器的能量效率，扩大使用环境。

Claims (8)

1.一种方向性电磁钢板，在钢板的表层部局部性地存在且沿着将轧制方向横切的方向延伸的应变区域在轧制方向上以周期性的间隔s(mm)形成多个，所述方向性电磁钢板的特征在于，
在各个所述应变区域，沿宽度方向遍及200mm以上连续地形成有钢板表面的轧制方向的宽度周期性地变化的闭合磁畴区域，
各个所述闭合磁畴区域满足如下条件：
钢板表面的轧制方向的最大宽度Wmax相对于最小宽度Wmin之比(Wmax/Wmin)为1.2以上且小于2.5，
钢板表面的轧制方向的平均宽度Wave为80μm以上且250μm以下，
板厚方向的最大深度D为32μm以上且50μm以下，
(Wave×D)/s为0.0007mm以上且0.0016mm以下。
2.一种方向性电磁钢板的制造方法，用于得到权利要求1所述的方向性电磁钢板，其特征在于，
在方向性电磁钢板的表面上，使电子射束沿着将轧制方向横切的方向扫描，并向所述表面照射电子射束，从而形成所述应变区域时，所述照射的照射条件满足如下的条件：
加速电压为90kV以上，
与扫描方向正交的方向的射束束径d1为80μm以上且220μm以下，
扫描方向的射束束径d2为(0.8×d1)μm以上且(1.2×d1)μm以下，
射束轮廓是强度1/2的射束宽度为265μm以下且与强度1/5的射束宽度之比为3.0以下的高斯形状，
电子射束在所述表面上反复进行停止和移动距离p的移动，并进行扫描，其中，1.5×d2≤p≤2.5×d2，
停止时间为2.0μ秒以上。
3.根据权利要求2所述的方向性电磁钢板的制造方法，其中，
所述停止时间为2μ秒以上，所述扫描的平均速度为100m/s以上。
4.根据权利要求2所述的方向性电磁钢板的制造方法，其中，
所述停止时间为8μ秒以上，所述扫描的平均速度为30m/s以上。
5.根据权利要求2～4中任一项所述的方向性电磁钢板的制造方法，其中，
在所述表面上，电子射束的宽度方向扫描长度为200mm以上。
6.根据权利要求2～4中任一项所述的方向性电磁钢板的制造方法，其中，
在所述表面上，电子射束的宽度方向扫描长度为300mm以上。
7.根据权利要求2～4中任一项所述的方向性电磁钢板的制造方法，其中，
电子射束的产生源为LaB6。
8.根据权利要求2～4中任一项所述的方向性电磁钢板的制造方法，其中，
用于使电子射束收敛的线圈使用两个以上。
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