CN107219652A - 一种液晶面板气泡检测系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种液晶面板气泡检测系统，包括：用于放置待检测样品的可密封的腔体、抽真空装置、样品处理装置、气体分析装置，当待检测样品被放置在腔体中后，腔体被密封；与腔体连接的抽真空装置，将腔体内抽至真空状态；样品处理装置使待检测样品中气泡中的气体逸出；气体分析装置检测腔体内逸出的气体的成分，进而获得待检测样品中气泡内气体的成分。通过上述方式，本发明所提供的系统能够检测液晶面板的气泡内气体的成分。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种液晶面板气泡检测系统。
背景技术
随着电子产品朝着轻薄化、小型化的方向快速发展，各种便携式电子产品几乎都以液晶显示器(LCD)作为显示面板，特别是在电脑、手机、电视等产品上。
通常，液晶面板为在两块玻璃基板之间区域充满液晶，并在四周涂布封框胶密封。在液晶面板的制造工艺流程中，胶框异常、液晶量不足、色阻内气体析出或者制程差异等均会使液晶中产生气泡，使得液晶面板的良率和品质下降。
本发明的发明人在长期研发过程中发现，目前针对液晶面板中的气泡，还没有合适的解析手法和技术准确判断液晶面板中气泡内气体的主要成分。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种液晶面板气泡检测系统，能够检测液晶面板的气泡内气体的成分。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种液晶面板气泡检测系统，所述系统包括：可密封的腔体，用于放置待检测样品，当所述待检测样品被放置在所述腔体中后，所述腔体被密封，其中，所述待检测样品包括液晶以及被所述液晶包裹的气泡；抽真空装置，与所述腔体连接，用于当所述腔体被密封后，将所述腔体内抽至真空状态；样品处理装置，设置在所述腔体内，用于当所述抽真空装置将所述腔体内抽至真空状态后，使所述待检测样品中所述气泡中的气体逸出；气体分析装置，与所述腔体连接，用于检测所述腔体内逸出的所述气体的成分，进而获得所述待检测样品中所述气泡内所述气体的成分。
本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明所提供的液晶面板气泡检测系统包括用于放置待检测样品的可密封的腔体、抽真空装置、样品处理装置及气体分析装置，当待检测样品放置到可密封腔体中后，腔体被密封，抽真空装置将腔体内抽至真空状态，从而排除腔体内原本气体的影响；由于待检测样品包括液晶以及被液晶包裹的气泡，当抽真空装置将腔体抽至真空后，样品处理装置使待检测样品中被液晶包裹的气泡中的气体逸出，此时气体分析装置检测腔体内逸出的气体的成分，进而可以获得待检测样品中气泡内所含气体的成分；另外，液晶面板的每个制程过程中引入的有机物质的材质可能不同，通过上述获得的气体的成分，可以大概判断出气泡来源于某种有机物质，进而判断得出是某个制程过程中引入的气泡，为后续改善提供方向。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
图1是本发明液晶面板气泡检测系统一实施方式的结构示意图；
图2是液晶面板气泡检测方法一实施方式的流程示意图；
图3是待检测样品一实施方式的结构示意图；
图4是液晶吸附部件处理待检测样品一实施方式的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，图1为本发明液晶面板气泡检测系统一实施方式的结构示意图，该检测系统1包括可密封的腔体10、抽真空装置12、样品处理装置14、气体分析装置16。
具体地，可密封的腔体10用于放置待检测样品100，当待检测样品100被放置在腔体10中后，腔体10被密封，其中，待检测样品100包括液晶100a以及被液晶100a包裹的气泡100b；在本实施例中，可密封的腔体10包括一可移动的侧壁，当待检测样品100放置到腔体10中后，将可移动的侧壁位置固定，以使得腔体10密封，在其他实施例中，可密封腔体10的结构也可为其他；在本实施例中，待检测样品100的个数可以为1个，也可为多个，本发明对此不作限定；在一个应用场景中，待检测样品100可以直接放置在腔体10的底面上；在另一应用场景中，上述检测系统还包括设置在腔体10内的用于承载待检测样品100的样品承载架18，在一个实施方式中，如图1所示，样品承载架18包括杆部180和伸出杆部180的至少一个承载部182，其中，杆部180用于使样品承载架180与腔体10的位置相对固定，承载部182用于承载待检测样品100，一个承载部182可以同时承载1个或至少2个待检测样品100。
抽真空装置12与腔体10连接，用于当腔体10被密封后，将腔体10内抽至真空状态；在一个实施例中，腔体10的侧壁包括第一出口102，抽真空装置12通过第一出口102将腔体10内抽至真空状态，例如，抽真空装置12将腔体10内抽至真空度为10-1-10-5Pa(例如，10-1、10-3、10-5Pa)的真空状态；在一个应用场景中，上述抽真空装置12包括至少一个真空泵，在一个实施方式中，上述真空泵包括干泵和涡轮分子泵，干泵的进气侧与腔体10连接，干泵的排气侧与涡轮分子泵的进气侧连接，其中，干泵的内部结构包括转子，通过转子的旋转使得干泵进气侧的气体向干泵排气侧移动，干泵的外部壳体与转子间的空隙较小，不会产生逆流，其排气能力可从大气压到10-1Pa；涡轮分子泵包括高速旋转的转叶与定子叶片组成，通过转叶的高速旋转，将空气分子送入排气侧，与干泵搭配使用，排气能力为10Pa～10-7Pa，在其他实施方式中，也可为至少一个同种类型的真空泵联用，或者也可为其他类型的真空泵，只要其能满足能将腔体10内抽至真空度为10-1-10-5Pa的真空状态即可。
样品处理装置14设置在腔体10内，用于当抽真空装置12将腔体10内抽至真空状态后，使待检测样品100中气泡100b中的气体逸出；在一个实施方式中，样品处理装置14包括液晶吸附部件140，设置在腔体10内，且与放置待检测样品100的位置对应，用于吸附待检测样品100中的液晶100a，以使待检测样品100中气泡100b中的气体逸出。在一个实施例中，液晶吸附部件140为海绵类型的部件，液晶吸附部件140通过物理作用，即毛细作用将液晶100a吸附，具体而言，液晶吸附部件140内有无数的细小孔隙，当液晶吸附部件140靠近待检测样品100时，对于液晶吸附部件140而言，液晶100a是浸润体，孔隙里的液面呈下凹状，凹液面对下面的液体施以拉力，使液体沿着孔隙的孔隙壁上升；在其他实施例中，液晶吸附部件140也可为其他类型的部件，例如，也可以通过化学作用，即以化学键亲和的方式将液晶100a吸附。为提高检测系统的自动化程度，在另一个实施方式中，本发明所提供的样品处理装置14还包括轨道部件142，轨道部件142设置在腔体10内，与液晶吸附部件140连接，以使液晶吸附部件140可以远离或靠近待检测样品；在一个应用场景中，轨道部件142可移动设置在腔体10内，例如，腔体10内设置有第一轨道，轨道部件142与腔体10接触的一面设置有滑轮等类似装置，以使得轨道部件142可沿第一轨道运动，液晶吸附部件140固定在轨道部件142上，当轨道部件142移动时进而带动液晶吸附部件140移动；在另一个应用场景中，轨道部件142固定设置在腔体10内，为液晶吸附部件140提供轨道，以使液晶吸附部件140沿轨道移动，即轨道部件142与液晶吸附部件140接触的一面设置有第二轨道，液晶吸附部件140与轨道部件142接触的一面设置有与第二轨道匹配的滑轮等类似部件，以使得液晶吸附部件140可在轨道部件142上运动。在另一实施方式中，为提高检测系统的自动化程度，液晶吸附部件140固定设置在腔体10内部，样片承载架18可移动设置在腔体10内，样品承载架18可移动设置的方式可以参见上述实施例中轨道部件142的设置方式，在此不再赘述。在又一个实施方式中，也可将样品承载架18和液晶吸附部件140同时可移动设置在腔体10内。
气体分析装置16与腔体10连接，用于检测腔体10内逸出的气体的成分，进而获得待检测样品100中气泡100b内气体的成分。在一个实施方式中，腔体10的侧壁包括第二出口104，气体分析装置16通过第二出口104检测腔体10内逸出的气体的成分。在一个应用场景中，气体分析装置16包括热导式气体分析仪、热磁式气体分析仪、电化学式气体分析仪和红外线吸收式气体分析仪中至少一种。以红外线吸收式气体分析仪为例，不同组分的气体对不同波长的红外线具有选择性吸收的特性，通过测量吸收光谱可判别出气体的种类，通过测量吸收强度可确定被测气体的浓度。
为进一步精确控制或知悉上述检测系统腔体10内的真空度情况，请继续参阅图1，本发明所提供的检测系统还包括真空检测装置11，真空检测装置11与腔体10连接，用于检测腔体10内的真空度。在一个实施例中，腔体10的侧壁包括第三出口106，真空检测装置11通过第三出口106检测腔体10内的真空度；在一个应用场景中，上述真空检测装置11包括真空度检测仪，其核心部件是真空灭弧室，其采用磁控放电法进行检测，将真空灭弧室的两触头拉开一定的距离，施加电场脉冲高压，将灭弧室置于螺线管圈内，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，在脉冲磁场和强电流的作用下，灭弧室中的带电离子做螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残留气体密度即真空度。一方面，真空检测装置11可以实时监测腔体内的真空度情况，例如，当抽真空装置12开始工作时，真空检测装置11可以实时监测腔体10内的真空度是否达10-1-10-5Pa；另一方面，真空检测装置11可以用来快速判定气泡类型，例如，当样品处理装置14工作完毕后，若真空检测装置11检测到当前腔体10内真空度无变化，则可以判定此时气泡为真空气泡；反之，则判定为空气气泡。
当气体分析装置16检测完毕后，需要放入下一批待检测样品100或者直接结束检测试验时，此时，由于腔体10内处于负压的状态，因此，此时系统进一步包括用于破除腔体10内的真空状态破真空装置13，破真空装置13与腔体10连接；在一个实施方式中，破真空装置13可以为一阀门，可直接设置在腔体10的侧壁上；在其他实施方式中，破真空装置13可以为其他。
下面以一个具体的应用场景，对本发明所提供的液晶面板气泡检测系统作进一步说明。
请参阅图2，图2为液晶面板气泡检测方法一实施方式的流程示意图，该方法包括：
S101：提供待检测样品；具体的，待检测样品包括液晶以及被液晶包裹的气泡；在一个具体的应用场景中，经肉眼观察，液晶面板上某处有个气泡，采用裂片刀从垂直于液晶面板的方向裂取得到待检测样品，如图3所示，图3为该待检测样品一实施方式的结构示意图。该待检测样品包括彩色滤光片30、阵列基板32、位于两者之间的液晶34、以及被液晶34包裹的气泡36，由裂片刀裂取的该待检测样品左右两侧至少有一侧无封框胶。
S102：将待检测样品置于样品承载架上；具体地，样品承载架位于腔体内；可以从同一块液晶面板上裂取至少一个待检测样品，将裂取到的所有待检测样品标号清楚后，全部置于样品承载架上；或者，可以从不同的液晶面板上分别裂取至少一个待检测样品，将裂取到的所有待检测样品标号清楚后全部置于样品承载架上。
S103：开启抽真空装置，将腔体内抽至真空状态；该步骤是为了消除外部空气或者上一批次待检测样品的影响。
S104：关闭抽真空装置，利用样品处理装置将待检测样品中的液晶去除，进而使得被液晶包裹的气泡从待检测样品中逸出；在一个应用场景中，样品承载架与腔体的位置固定，液晶吸附部件固定在轨道部件上，轨道部件可移动设置在腔体内，当液晶吸附部件为海绵时，如图4所示，液晶吸附部件40在轨道部件的带动下，靠近待检测样品42，直至与待检测样品42无封框胶的一侧接触，此时待检测样品42中的液晶由于毛细作用而被液晶吸附部件40吸附，进而使得被液晶420包裹的气泡422从待检测样品42中逸出；在另一个应用场景中，待检测样品42左右两侧均无封框胶，此时液晶吸附部件40(例如，海绵)可以为两个，分别与待检测样品42的左右两侧接触，以除去液晶420。
S105：开启气体分析装置，检测腔体内气体的成分，进而获得待检测样品中气泡的成分；具体可参见上述实施例中的相关描述。
S106：开启破真空装置，以破除腔体内的真空状态。
其中，在上述步骤S106之前或之后，还可以包括：使样品处理装置远离待检测样品；另外，当液晶面板气泡检测系统包括真空检测装置时，上述方法还包括：在开启抽真空装置的同时，真空检测装置开启，以检测后续过程中腔体内的真空度；在开启破真空装置之后还包括关闭真空检测装置。
在一个应用场景综，当样品承载架上承载的至少两个待检测样品为从同一液晶面板上裂取下来时，可以通过样品处理装置对上述待检测样品同时进行处理，从而获得当前液晶面板上气泡的气体成分的主要类型；当样品承载架上承载的至少两个待检测样品为不同液晶面板上裂取下来时，样品处理装置可以每次只处理其中某一个待检测样品，待检测分析完当前待检测样品后，重复上述步骤S101-S106，从而依次检测分析得到其余待检测样品中气泡的气体成分。
总而言之，区别于现有技术的情况，本发明所提供的液晶面板气泡检测系统包括用于放置待检测样品的可密封的腔体、抽真空装置、样品处理装置及气体分析装置，当待检测样品放置到可密封腔体中后，腔体被密封，抽真空装置将腔体内抽至真空状态，从而排除腔体内原本气体的影响；由于待检测样品包括液晶以及被液晶包裹的气泡，当抽真空装置将腔体抽至真空后，样品处理装置使待检测样品中被液晶包裹的气泡中的气体逸出，此时气体分析装置检测腔体内逸出的气体的成分，进而可以获得待检测样品中气泡内所含气体的成分；另外，液晶面板的每个制程过程中引入的有机物质的材质可能不同，通过上述获得的气体的成分，可以大概判断出气泡来源于某种有机物质，进而判断得出是某个制程过程中引入的气泡，为后续改善提供方向。
以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种液晶面板气泡检测系统，其特征在于，所述系统包括：
可密封的腔体，用于放置待检测样品，当所述待检测样品被放置在所述腔体中后，所述腔体被密封，其中，所述待检测样品包括液晶以及被所述液晶包裹的气泡；
抽真空装置，与所述腔体连接，用于当所述腔体被密封后，将所述腔体内抽至真空状态；
样品处理装置，设置在所述腔体内，用于当所述抽真空装置将所述腔体内抽至真空状态后，使所述待检测样品中所述气泡中的气体逸出；
气体分析装置，与所述腔体连接，用于检测所述腔体内逸出的所述气体的成分，进而获得所述待检测样品中所述气泡内所述气体的成分。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述系统还包括真空检测装置，所述真空检测装置与所述腔体连接，用于检测所述腔体内的真空度。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：
样品承载架，设置在所述腔体内，用于承载所述待检测样品。
4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述样品处理装置包括：
液晶吸附部件，设置在所述腔体内，且与放置所述待检测样品的位置对应，用于吸附所述待检测样品中的所述液晶，以使所述待检测样品中所述气泡中的气体逸出。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述样品处理装置还包括：
轨道部件，设置在所述腔体内，与所述液晶吸附部件连接，以使所述液晶吸附部件可以远离或靠近所述待检测样品。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，
所述轨道部件可移动设置在所述腔体内，所述液晶吸附部件固定在所述轨道部件上，当所述轨道部件移动时进而带动所述液晶吸附部件移动；或者，所述轨道部件固定设置在所述腔体内，为所述液晶吸附部件提供轨道，以使所述液晶吸附部件沿所述轨道移动。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述抽真空装置包括至少一个真空泵，所述真空泵包括干泵和涡轮分子泵，所述干泵的进气侧与所述腔体连接，所述干泵的排气侧与所述涡轮分子泵的进气侧连接。
8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述腔体内处于真空状态时，真空度为10-1-10-5Pa。
9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述气体分析装置包括热导式气体分析仪、热磁式气体分析仪、电化学式气体分析仪和红外线吸收式气体分析仪中至少一种。
10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述系统进一步包括破真空装置，所述破真空装置与所述腔体连接，用于破除所述腔体内的真空状态。
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108983458A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶气泡磁力碰撞机及液晶气泡的检测方法 |
| CN109212794A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶气泡分析方法及分析装置 |
| CN110275330A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种显示面板的检测方法 |
| CN113253495A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-13 | 苏州华星光电技术有限公司 | 液晶面板气泡收集方法和装置 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000292762A (ja) * | 1999-04-12 | 2000-10-20 | Ricoh Co Ltd | 液晶セル内気泡のガス分析装置および該ガス分析装置を使用した液晶セル内気泡のガス分析方法 |
| WO2005027208A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 不純物導入の制御方法および不純物導入装置 |
| CN202230272U (zh) * | 2011-09-27 | 2012-05-23 | 北京京东方光电科技有限公司 | 阵列基板的检测设备 |
| JP2014066933A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
| CN103858207A (zh) * | 2011-10-05 | 2014-06-11 | 株式会社善隣 | 腔室之间具备反压防止机构的真空处理装置 |
| CN204903903U (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-23 | 昆山龙腾光电有限公司 | 一种液晶面板低温气泡检验治具 |
| CN105758989A (zh) * | 2014-12-17 | 2016-07-13 | 王金鹤 | 一种逃逸气体测试装置 |
| CN205844671U (zh) * | 2016-07-04 | 2016-12-28 | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 一种液晶面板检测设备 |
-
2017
- 2017-07-21 CN CN201710602387.1A patent/CN107219652B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000292762A (ja) * | 1999-04-12 | 2000-10-20 | Ricoh Co Ltd | 液晶セル内気泡のガス分析装置および該ガス分析装置を使用した液晶セル内気泡のガス分析方法 |
| WO2005027208A1 (ja) * | 2003-09-12 | 2005-03-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 不純物導入の制御方法および不純物導入装置 |
| CN202230272U (zh) * | 2011-09-27 | 2012-05-23 | 北京京东方光电科技有限公司 | 阵列基板的检测设备 |
| CN103858207A (zh) * | 2011-10-05 | 2014-06-11 | 株式会社善隣 | 腔室之间具备反压防止机构的真空处理装置 |
| JP2014066933A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
| CN105758989A (zh) * | 2014-12-17 | 2016-07-13 | 王金鹤 | 一种逃逸气体测试装置 |
| CN204903903U (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-23 | 昆山龙腾光电有限公司 | 一种液晶面板低温气泡检验治具 |
| CN205844671U (zh) * | 2016-07-04 | 2016-12-28 | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 一种液晶面板检测设备 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108983458A (zh) * | 2018-08-10 | 2018-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶气泡磁力碰撞机及液晶气泡的检测方法 |
| US11194182B2 (en) | 2018-08-10 | 2021-12-07 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Collision machine for simulating collisions and method of simulating collisions |
| CN109212794A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种液晶气泡分析方法及分析装置 |
| CN110275330A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种显示面板的检测方法 |
| CN110275330B (zh) * | 2019-07-03 | 2022-02-22 | Tcl华星光电技术有限公司 | 一种显示面板的检测方法 |
| CN113253495A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-13 | 苏州华星光电技术有限公司 | 液晶面板气泡收集方法和装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107219652B (zh) | 2020-10-02 |
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