CN107217282B - 一种高tp值软板电镀液及电镀方法 - Google Patents

一种高tp值软板电镀液及电镀方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种高TP值软板电镀液及电镀方法。本发明的高TP值软板电镀液,所述电镀液包含A‑E组份,其中,所述A组份为无水硫酸铜;所述B组份为硫酸;所述C组份为氯化物;所述D组份选自聚二硫二丙烷磺酸钠、3‑巯基丙烷磺酸钠、N,N‑二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3‑(苯骈噻唑‑2‑巯基)‑丙烷磺酸钠中的一种或至少两种的混合物;所述E组份选自聚乙二醇、聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚中的一种或至少两种的混合物。本发明的高TP值软板电镀液的总有机含碳量低,电镀铜的延展性和热冲击可靠性高,软板的通孔TP值高,同时可以使用高的电流密度,可广泛用于软板的精细通孔镀铜。

Description

一种高TP值软板电镀液及电镀方法
技术领域
本发明属于电镀铜技术领域,涉及一种高TP值软板电镀液及电镀方法。
背景技术
电子产品的快速发展也推动了印刷电路板(PCB)的技术发展,PCB是连接各个电子元件的基板,在平面内主要依靠曝光蚀刻后形成的铜线路连接,而在层与层之间需要通过金属化的孔实现互联。目前,PCB行业的快速发展使得对软板的需求越来越多,软板需求量以每年10%的速度增加。随着电子产品小型和精细化,对软板提出了新的要求。软板的线路越来越精细,25um的线路是常规需求,传统的通孔镀铜能力已经不能满足业界的需求,业界提出了需要双面软板的通孔TP(即深镀能力,Throwing Power)达到150%以上,同时能使用高电流密度。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的之一在于提供一种高TP值软板电镀液,其总有机含碳量低,电镀铜的延展性和热冲击可靠性高,软板的通孔TP值高,同时可以使用高的电流密度。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
一种高TP值软板电镀液,所述电镀液包含A-E组份,其中,
所述A组份为无水硫酸铜;
所述B组份为硫酸;
所述C组份为氯化物;
所述D组份选自聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠中的一种或至少两种的混合物;
所述E组份选自聚乙二醇、聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚中的一种或至少两种的混合物。
需要说明的是,本发明所指的高TP值指的是双面软板的通孔TP(即深镀能力)达到150%以上,尤其指双面软板的通孔TP高于200%。
本发明中,所述D组份选自聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠中的一种或至少两种的混合物。典型但非限制性的实例为所述混合物为两种的混合物,例如所述D组份为聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠的混合物;聚二硫二丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠的混合物,3-巯基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐的混合物,3-巯基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐的混合物,N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物;所述混合物还可以为三种的混合物,例如所述D组份为聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐的混合物,3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物;所述混合物还可以为四种的混合物,例如所述D组份为聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐的混合物,聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物,3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物;所述混合物也可以为五种的混合物,例如所述D组份为聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物。
所述E组份选自聚乙二醇、聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚中的一种或至少两种的混合物。典型但非限制性的实例为所述混合物为两种的混合物,例如所述E组份为聚乙二醇、聚丙醇的混合物,聚乙二醇和脂肪胺聚氧乙烯醚的混合物,聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚的混合物;所述混合物也可以为三种的混合物,例如所述E组份为聚乙二醇、聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚的混合物。
所述A组份:B组份:C组份:D组份:E组份的质量比为(15~200):(50~350):(0.05~0.2):(0.001~0.01):(2~50)。
本发明中,所述无水硫酸铜的质量浓度为15~200g/L,例如无水硫酸铜的质量浓度为15g/L、20g/L、30g/L、40g/L、50g/L、60g/L、70g/L、80g/L、90g/L、100g/L、110g/L、120g/L、130g/L、140g/L、150g/L、160g/L、170g/L、180g/L、190g/L、200g/L;优选为50~100g/L。
本发明中,所述硫酸的质量浓度为50~350g/L,例如硫酸的质量浓度为50g/L、60g/L、70g/L、80g/L、90g/L、100g/L、110g/L、120g/L、130g/L、140g/L、150g/L、160g/L、170g/L、180g/L、190g/L、200g/L、210g/L、220g/L、230g/L、240g/L、250g/L、260g/L、270g/L、280g/L、290g/L、300g/L、310g/L、320g/L、330g/L、340g/L、350g/L;优选为100~200g/L。
本发明中,所述氯化物的质量浓度为5~200mg/L,例如氯化物的质量浓度为5mg/L、10mg/L、15mg/L、20mg/L、25mg/L、30mg/L、35mg/L、40mg/L、45mg/L、50mg/L、60mg/L、70mg/L、80mg/L、90mg/L、100mg/L、110mg/L、120mg/L、130mg/L、140mg/L、150mg/L、160mg/L、170mg/L、180mg/L、190mg/L、200mg/L;优选为50~100mg/L。
本发明中,所述D组份的质量浓度为0.001~0.01g/L,例如所述D组份的质量浓度为0.001g/L、0.002g/L、0.003g/L、0.004g/L、0.005g/L、0.006g/L、0.007g/L、0.008g/L、0.009g/L、0.01g/L,优选为0.05~0.01g/L。
本发明中,所述E组份的质量浓度为2~50g/L,例如所述E组份的质量浓度为2g/L、3g/L、4g/L、5g/L、10g/L、15g/L、20g/L、25g/L、30g/L、35g/L、40g/L、45g/L、50g/L,优选为10~30g/L。
作为本发明的优选方案,一种高TP值软板电镀液,所述电镀液包含A-E组份,其中,
所述A组份为质量浓度为15~200g/L的无水硫酸铜;
所述B组份为质量浓度为50~350g/L的硫酸;
所述C组份为质量浓度为5~200mg/L的氯化物;
所述D组份选自聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠中的一种或至少两种的混合物,所述D组份的质量浓度为0.001~0.01g/L;
所述E组份选自聚乙二醇、聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚中的一种或至少两种的混合物,所述E组份的质量浓度为2~50g/L。
本发明的目的之二在于提供一种高TP值软板电镀液的电镀方法,将带有通孔的基材浸入所述的高TP值软板电镀液中,以所述带有通孔的基材为阴极在通电下进行电镀。
上述电镀方法中,本发明中孔的高度不大于3.5mm,优选为0.025~1mm,进一步优选为0.05~0.5mm;孔的孔径不大于1000μm,优选为30~300μm,进一步优选为60~150μm。
本发明中,所述通电的电流密度为5~50ASF,例如通电的电流密度为5ASF、10ASF、15ASF、20ASF、25ASF、30ASF、35ASF、40ASF、45ASF、50ASF。
优选地,所述电镀液的pH值为<0.5,例如pH值为0.1、0.2、0.3、0.4、0.5;
优选地,所述电镀铜层的厚度为10~25um,例如电镀铜层的厚度为10um、11um、12um、13um、14um、15um、16um、17um、18um、19um、20um、21um、22um、23um、24um、25um。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
本发明的高TP值软板电镀液的总有机含碳量低,COD为500~5000,电镀铜的延展性和热冲击可靠性高,软板的通孔TP值高,TP值最高达400%,同时可以使用高的电流密度,最高的电流密度为50ASF。
附图说明
图1为本发明的实施例1制得的高TP值软板电镀液对基材电镀后的效果图;
图2为本发明的实施例2制得的高TP值软板电镀液对基材电镀后的效果图。
具体实施方式
下面结合附图1-2并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
实施例1
本例采用垂直电镀工艺。本实施例的高TP值软板电镀液的组成如下:
所述A组份为质量浓度为100g/L的无水硫酸铜;
所述B组份为质量浓度为200g/L的硫酸;
所述C组份为质量浓度为150mg/L的氯化物;
所述D组份为聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物;
所述E组份为聚乙二醇、聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚的混合物。
A组份:B组份:C组份:D组份:E组份的质量比为100:200:0.15:0.003:15。
将带有通孔的基材浸入上述高TP值软板电镀液中,以所述带有通孔的基材为阴极在通电下进行电镀,对基材电镀后的效果如图1所示,由图1可以看出,通孔经镀铜后被很好地镀好。通电电流密度为35ASF,电镀液的pH值<0.5,经电镀后通孔TP值为300%。
对镀铜后的基材进行延展性和热冲击可靠性、挠折性进行测试,热应力性能参照标准方法IPC-TM-650No.2.6.8测试方法测定,测试结果为:延展性、挠折性良好;通过5次耐热冲击无分层、爆板现象。
实施例2
本例采用垂直电镀工艺。本实施例的高TP值软板电镀液的组成如下:
所述A组份为质量浓度为100g/L的无水硫酸铜;
所述B组份为质量浓度为200g/L的硫酸;
所述C组份为质量浓度为150mg/L的氯化物;
所述D组份为聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠的混合物;
所述E组份为脂肪胺聚氧乙烯醚。
A组份:B组份:C组份:D组份:E组份的质量比为100:200:0.15:0.005:20。
对基材的电镀方法与实施例1相同,对基材电镀后的效果如图2所示,由图2可以看出,通孔经镀铜后被很好地填平。通电电流密度为25ASF,电镀液的pH值<0.5,经电镀后通孔TP值为200%。
对镀铜后的基材进行延展性和热冲击可靠性、挠折性进行测试,热应力性能参照标准方法IPC-TM-650No.2.6.8测试方法测定,测试结果为:延展性、挠折性良好;通过5次耐热冲击无分层、爆板现象。
实施例3
本例采用垂直电镀工艺。本实施例的高TP值软板电镀液的组成如下:
所述A组份为质量浓度为200g/L的无水硫酸铜;
所述B组份为质量浓度为100g/L的硫酸;
所述C组份为质量浓度为100mg/L的氯化物;
所述D组份为3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物;
所述E组份为聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚中的混合物。
A组份:B组份:C组份:D组份:E组份的质量比为200:100:0.1:0.001:50。
对基材的电镀方法与实施例1相同。通电电流密度为50ASF,电镀液的pH值<0.5,经电镀后通孔TP值350%。
对镀铜后的基材进行延展性和热冲击可靠性、挠折性进行测试,热应力性能参照标准方法IPC-TM-650No.2.6.8测试方法测定,测试结果为:延展性、挠折性良好;通过5次耐热冲击无分层、爆板现象。
实施例4
本例采用垂直电镀工艺。本实施例的高TP值软板电镀液的组成如下:
所述A组份为质量浓度为30g/L的无水硫酸铜;
所述B组份为质量浓度为50g/L的硫酸;
所述C组份为质量浓度为150mg/L的氯化物;
所述D组份为聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物;
所述E组份为脂肪胺聚氧乙烯醚。
A组份:B组份:C组份:D组份:E组份的质量比为30:50:0.15:0.002:15。
对基材的电镀方法与实施例1相同。通电电流密度为40ASF,电镀液的pH值<0.5,经电镀后通孔TP值400%。
对镀铜后的基材进行延展性和热冲击可靠性、挠折性进行测试,热应力性能参照标准方法IPC-TM-650No.2.6.8测试方法测定,测试结果为:延展性、挠折性良好;通过5次耐热冲击无分层、爆板现象。
实施例5
本例采用垂直电镀工艺。本实施例的高TP值软板电镀液的组成如下:
所述A组份为质量浓度为180g/L的无水硫酸铜;
所述B组份为质量浓度为270g/L的硫酸;
所述C组份为质量浓度为180mg/L的氯化物;
所述D组份为3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠的混合物;
所述E组份为聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚的混合物。
A组份:B组份:C组份:D组份:E组份的质量比为180:270:0.18:0.002:15。
对基材的电镀方法与实施例1相同。通电电流密度为30ASF,电镀液的pH值<0.5,经电镀后通孔TP值220%。
对镀铜后的基材进行延展性和热冲击可靠性、挠折性进行测试,热应力性能参照标准方法IPC-TM-650No.2.6.8测试方法测定,测试结果为:延展性、挠折性良好;通过5次耐热冲击无分层、爆板现象。
本发明的高TP值软板电镀液的总有机含碳量低,电镀铜的延展性和热冲击可靠性高,软板的通孔TP值高,TP值最高达400%,同时可以使用高的电流密度,可广泛用于软板的精细通孔镀铜。
申请人声明,本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺设备和工艺流程,但本发明并不局限于上述详细工艺设备和工艺流程,即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺设备和工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了,对本发明的任何改进,对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等,均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (8)

1.一种通孔TP高于200%、使用电流密度为25~50ASF的软板电镀液,其特征在于,所述电镀液包含A-E组份,其中,
所述A组份为无水硫酸铜;
所述B组份为硫酸;
所述C组份为氯化物;
所述D组份选自聚二硫二丙烷磺酸钠、3-巯基丙烷磺酸钠、N,N-二甲基二硫代羰基丙烷磺酸钠、异硫脲丙磺酸内盐和3-(苯骈噻唑-2-巯基)-丙烷磺酸钠中的一种或至少两种的混合物;
所述E组份选自聚丙醇和脂肪胺聚氧乙烯醚中的一种或至少两种的混合物;
所述无水硫酸铜的质量浓度为15~200g/L;
所述硫酸的质量浓度为50~350g/L;
所述氯化物的质量浓度为5~200mg/L;
所述D组份的质量浓度为0.001~0.01g/L;
所述E组份的质量浓度为3~50g/L。
2.根据权利要求1所述的软板电镀液,其特征在于,所述硫酸的质量浓度为100~200g/L。
3.根据权利要求1所述的软板电镀液,其特征在于,所述氯化物的质量浓度为50~100mg/L。
4.根据权利要求1所述的软板电镀液,其特征在于,所述A组份:B组份:C组份:D组份:E组份的质量比为(15~200):(50~350):(0.05~0.2):(0.001~0.01):(3~50)。
5.一种软板电镀液的电镀方法,其特征在于,将带有通孔的基材浸入权利要求1-4之一所述的软板电镀液中,以所述带有通孔的基材为阴极在通电下进行电镀。
6.根据权利要求5所述的电镀方法,其特征在于,所述通电的电流密度为25~50ASF。
7.根据权利要求5所述的电镀方法,其特征在于,所述电镀液的pH值为<0.5。
8.根据权利要求5所述的电镀方法,其特征在于,所述电镀铜层的厚度为10~25um。
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CN109219272A (zh) * 2018-10-22 2019-01-15 台山市精诚达电路有限公司 一种挠性电路板的导通方法
CN111254464B (zh) * 2020-01-17 2021-06-18 广东嘉元科技股份有限公司 一种高抗拉强度锂离子电池用极薄电解铜箔的制备方法
CN112779569B (zh) * 2020-12-30 2022-01-18 铜陵市华创新材料有限公司 一种改善锂离子电池用电解铜箔激光模切熔珠的方法
CN112877739B (zh) * 2021-01-13 2022-08-23 上海天承化学有限公司 一种电镀液及其电镀方法和应用
CN114150351B (zh) * 2021-12-03 2023-07-04 武汉利之达科技股份有限公司 一种高速电镀铜溶液及其陶瓷基板图形电镀方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104630837A (zh) * 2013-11-08 2015-05-20 无锡市雪江环境工程设备有限公司 一种蒽醌染料体系酸性镀铜的电镀液及电镀方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103290438B (zh) * 2013-06-25 2015-12-02 深圳市创智成功科技有限公司 用于晶圆级封装的电镀铜溶液及电镀方法
CN103361694A (zh) * 2013-08-08 2013-10-23 上海新阳半导体材料股份有限公司 一种用于3d铜互连高深宽比硅通孔技术微孔电镀填铜方法
CN103361681B (zh) * 2013-08-08 2016-11-16 上海新阳半导体材料股份有限公司 能改变tsv微孔镀铜填充方式的添加剂c及包含其的电镀液
CN103572334B (zh) * 2013-11-20 2016-06-22 东莞市富默克化工有限公司 一种pcb通孔盲孔电镀铜溶液及其制备方法和电镀方法
US9403762B2 (en) * 2013-11-21 2016-08-02 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Reaction products of guanidine compounds or salts thereof, polyepoxides and polyhalogens
CN104131319B (zh) * 2014-08-15 2017-06-23 苏州天承化工有限公司 用于板型件表面填孔的电镀液及其电镀方法
US9725816B2 (en) * 2014-12-30 2017-08-08 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Amino sulfonic acid based polymers for copper electroplating
CN105441993A (zh) * 2015-12-22 2016-03-30 苏州禾川化学技术服务有限公司 一种电镀线路板通孔盲孔的电镀液及电镀方法
CN105887144B (zh) * 2016-06-21 2018-09-21 广东光华科技股份有限公司 电镀铜镀液及其电镀铜工艺

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104630837A (zh) * 2013-11-08 2015-05-20 无锡市雪江环境工程设备有限公司 一种蒽醌染料体系酸性镀铜的电镀液及电镀方法

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