CN107209358A - 用于激光扫描器系统的光学布置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及用于激光扫描器系统的光学布置，其具有较短的总体长度。为此，例如，可以在第一透镜组(62)和第二透镜组(66)之间提供具有负焦距的第三透镜组(64)。

Description

用于激光扫描器系统的光学布置

激光扫描显微镜基本上都是光显微镜，其中聚焦激光光束扫描样品。作为示例，能够借助于激光光束进行这种扫描，激光光束在其通过光学布置被聚焦在样品上或样品中的激发点上之前被扫描器镜水平地和/或垂直地偏转。作为示例，然后被检测的样品中的荧光然后能够通过具有激光光束的这种照射来激发。这种激光扫描显微镜(LSM)在显微镜检查中是常见的，并且已经被建立为用于产生高分辨的光学截面的仪器。

激光扫描显微镜通常被实现为现有显微镜系统(其可以包括支架)的附件或配件。作为示例，这种系统使用宽视野显微镜的校正的中间图像作为光学界面。在这种布置中，上述扫描器镜布置在与采用的显微镜物镜的出射光瞳共轭的平面中。

在具有高孔径的显微镜物镜的情况下，在这种情况下的这种出射光瞳位于物镜的内部。因此，所谓的镜筒透镜或镜筒透镜布置和额外的扫描物镜被用在用于对扫描器镜或任何其他扫描器设备上的显微镜物镜的出射光瞳进行成像的这样的应用中。

图1示意性地示出了这种光学布置的结构。

这里，10表示激光光束被聚焦到样品上的位置。11表示显微镜物镜，例如高孔径显微镜物镜，并且12表示显微镜物镜11的出射光瞳。13表示所谓的镜筒透镜，14表示中间图像，并且15表示扫描物镜。特别地，镜筒透镜13能够被布置在显微镜的镜筒中。16表示位于到出射光瞳12的共轭平面中的扫描器镜的位置。

作为示例，显微镜物镜11能够是具有十倍放大率的物镜，并且出射光瞳12的直径能够为大约10mm。中间图像14的场直径可以是例如约20。作为示例，镜筒透镜13的焦距可以为大约165mm并且扫描物镜15的焦距可以为大约50mm。

尽管图1中的显微镜物镜11、镜筒透镜13和扫描物镜15在每种情况下被呈现为专用线，但是这些元件的每个可以包括一个或多个透镜或者包括其他光学元件(例如衍射元件和/或镜)。

在许多布置中，以下边界条件适用于这种结构，其可用作具有显微镜物镜11的现有显微镜的附件：

i)通常，出射光瞳12和镜筒透镜13之间的距离略小于镜筒透镜的焦距使得光束的上光束边界至少大致平行于轴延伸并且使显微镜的镜筒的内部直径最小化。

ii)中间图像14根据镜筒透镜13的焦距与镜筒透镜13间隔开，因为诸如显微镜物镜11的显微镜物镜通常被校正用于在无限远处进行成像。

iii)中间图像14和扫描物镜15之间的距离大约等于扫描物镜的焦距，因为被用于成像的激光光束通常从上游光学单元以准直的方式出现。然而，这种边界条件不是强制性。

iv)扫描物镜15与扫描器镜16的位置之间的距离同样大约等于扫描物镜的焦距，因为中间图像14中的光瞳方向基本上是远心的。

v)扫描物镜15的焦距由所采用的扫描器镜的尺寸预定。特别地，镜筒透镜13与扫描物镜15之间的焦距比形成用于对显微镜物镜11的出射光瞳12上的扫描器镜进行成像的成像尺度。对于紧凑的结构，优选具有大倾斜角范围的小扫描器镜或其他扫描器设备，以缩短扫描物镜15的焦距。

在其中激光扫描器系统被实现为现有显微镜支架的附件或配件的应用中，镜筒透镜13的焦距由支架预定，并且通常位于140mm与200mm之间。扫描器镜的最小镜尺寸通常位于2mm和4mm之间。作为其结果，在出射光瞳12和扫描器镜之间的系统的总体长度相对较大，通常在300mm和500mm之间。

在图2中再次通过所谓的德拉诺图阐明了这一点。在德拉诺图中，通过光学布置的光束的边缘射线高度y被绘制在图中，其超过每个折射面的主射线高度(例如，在图1中以理想化形式呈现的透镜11、13、15)。图2示出了图1中的用于光学布置的德拉诺图。这里，图1中的元件12至15在图2中同样由12至15表示。该图以顺时针方向循环。方向的变化是由折射元件导致的。起始点和终点(出射光瞳12和扫描器镜16)通过上述边界条件来设定。

图2中的线20对应于从出射光瞳(AP)12到镜筒透镜(TL)13的光束路径，线21对应于从镜筒透镜13到中间图像(ZWB)14的光束路径，线22对应于从中间图像14到扫描光学单元(SO)15的光束路径(因为中间图像不是折射元件，所以线22是线21的延续)，并且线23对应于从扫描光学单元15到扫描器镜16的光束路径。

系统的总体长度与在所得曲线下的区域成正比，其中，分配给单独的射线的区域通过将对应于各自的元件的点与坐标原点连接来形成。这通过图2中的线24和25来指示。因此，在当前示例中，从出射光瞳12到镜筒透镜13的长度是100mm，从镜筒透镜13到中间图像14的长度是165mm，从中间图像14到扫描物镜15的长度是50mm，并且从扫描光学单元15到扫描器镜16的长度是55mm。然而，这些数值应当仅被理解为示例性的。

然而，除了被实现用于现有支架的附件的上述激光扫描器系统之外，例如对于宽视野显微镜，被实现为独立于现有的支架的独立器具的激光扫描显微镜也是可能的。对于这种激光扫描显微镜，将期望获得比上述的用于光学布置的更短的总体长度以便能够实现更紧凑的器具。

因此，本发明的目的是要提供具有减小的总体长度的用于激光扫描器系统的光学布置。

该目的通过根据权利要求1或9所述的光学布置来实现。从属权利要求限定了另外的实施例和包括这种光学布置的激光扫描器系统。

根据第一方面，提供了一种用于激光扫描器系统的光学布置，其包括具有正焦距的第一透镜组，用于接收来自扫描器设备的光的具有正焦距的第二透镜组，以及被布置在第一透镜组和第二透镜组之间的具有负焦距的第三透镜组。

这里，在本申请的范围内，术语“透镜组”一般表示一个或多个相关联的透镜的布置。相反，在本说明书中，有时简单地为了简化目的而使用术语“透镜”(例如镜筒透镜，负透镜)，其中，这种透镜也可以通过多个单独的透镜的组来实现。在一些实施例中，除了传统透镜或者作为传统透镜的备选，这些透镜组也可以包括其他成像元件(例如，镜或衍射元件)。

这里，总体长度的进一步减小能够通过具有负焦距的透镜组的插入来实现。此外，在一开始讨论的停止应用在独立系统中的边界条件中的一些能够在一些实施例中被利用的事实，作为其结果总体长度的缩短能够被实现。

光学布置可以被配置为在第二透镜组和第三透镜组之间产生中间图像。

这里，中间图像可能够大致位于第二透镜布置和第三透镜布置之间的中间。

光学布置还可以包括显微镜物镜，其中，第一透镜组被布置在显微镜物镜和第三透镜组之间。

光学布置能够以使得扫描器设备被布置在到显微镜物镜的出射光瞳的共轭平面中的方式来配置。

显微镜物镜可以包括在3mm和20mm之间，优选地例如在8mm和12mm之间，例如大约10毫米的出射光瞳。

第一透镜组的焦距可以位于25和200mm之间，例如在25至100mm之间。第二透镜组的焦距可以位于5和50mm之间，例如在5至20mm之间。第三透镜组的焦距可以位于-15和-200mm之间，例如在-15至-100mm之间。

第一透镜组可以是镜筒透镜。第二透镜组可以是扫描物镜。

根据第二方面，提供了一种用于激光扫描器系统的光学布置，其包括：显微镜物镜、具有小于70mm的焦距的第一透镜组，具有小于20mm的焦距的第二透镜组，其中，第一透镜组被布置在显微镜物镜和第二透镜组之间，其中，第二透镜组被配置为接收来自扫描器设备的光，其中，扫描光学单元位于到显微镜物镜的出射光瞳的共轭平面中。

光学布置的总体长度可以小于150mm。

在第一方面或第二方面中，光学布置还可以包括用于提供第一光束路径和第二光束路径的分束器元件，其中，第一光束路径包括在对象的位置和扫描器设备的位置之间的光束路径，并且其中，第二光束路径包括在对象的位置与相机设备之间的光束路径。

作为其结果，激光扫描器检查能够与相机设备的宽视野场记录组合。由于根据第一方面或第二方面的光学布置可以产生小的中间图像，所以能够在相机设备中使用小的因而成本有效的图像传感器。

这里，光学布置能够根据第一方面来体现。然后，分束器元件能够被提供在第一透镜组和第三透镜组之间，通常，在那里有针对分束器元件的足够空间。

光学布置还可以包括用于至少部分地校正分束器元件的光学像差的校正元件。

通过分束器元件的第一光束路径能够是有角度的，并且通过分束器元件(100)的第二光束路径能够是笔直的。这在对于激光扫描比对于利用相机设备记录要求更高的成像质量时是优选的。

备选地，通过分束器元件的第一光束路径能够是笔直的，并且通过分束器元件的第二光束路径能够是有角度的。这在对于利用相机设备记录比对于激光扫描要求更高的成像质量时是优选的。

此外，提供了一种激光扫描器系统，其包括：激光光源、扫描器设备和如上所述的提供在扫描器设备和样品的位置之间的光学布置。

下面参考附图基于实施例更详细地说明本发明。在附图中：

图1示出了根据现有技术的光学布置的示意图，

图2示出了图1中的光学布置的德拉诺图，

图3示出了根据实施例的激光扫描器系统的框图，

图4示出了根据实施例的用于激光扫描器系统的光学布置的示意图，

图5示出了图4中的光学布置的德拉诺图，

图6示出了根据另一实施例的用于激光扫描器系统的光学布置的示意图，

图7示出了图6中的光学布置的德拉诺图，

图8示出了根据另一实施例的用于激光扫描器系统的光学布置的示意图，

图9示出了根据另一实施例的用于激光扫描器系统的光学布置的示意图，

图10示出了根据另一实施例的光学布置的示意图，以及

图11示出了根据另一实施例的光学布置的示意图。

下面详细说明本发明的不同实施例。这些实施例仅用于说明并且不应被解释为限制性的。特别地，这也适用于被提供用于说明具体实现方式和实施例的数值。

图3示出了根据实施例的激光扫描器系统。图3中的激光扫描器系统包括用于产生激光光束36的激光光源30。激光光束36经由可选的第一光学布置31被引导到扫描器镜32，扫描器镜32如箭头33指示的是可移动的。第一光学布置31可以例如在激光光源30已经产生激光光束36的情况下被省略，激光光束36的特性关于例如准直满足激光扫描器系统的要求。因此通过扫描器镜32偏转的激光光束然后通过第二光学布置34聚焦到样品35上。第一光学布置31和第二光学布置34可以各自具体包括一组或多组透镜和/或其他光学元件。在根据本发明的实施例中，与传统的布置相比，第二光学布置34特别地具有减小的总体长度。以下参考图4至图9更详细地说明这种光学布置的特定实施例。

然后，样品35的期望区域能够通过激光光束通过移动扫描器镜32来扫描，例如通过在两个空间方向上倾斜扫描器镜32。

此外(这里未示出)，图3中的激光扫描器系统可以仍然包含用于检测来自样品的光的元件，例如用于检测荧光作为对激光光束36的照射的响应的相机或另一设备。这样的检测装置可以像在传统的激光扫描器系统中那样来实现。

现在，用于激光扫描器系统的光学布置的不同实现选项例如图3中的第二光学布置34参考图4至9来讨论。在图4中呈现了第一实施例。

在图4中的光学布置中，40表示应当由激光光束照射的对象(例如图3中的样品35)的位置。41表示显微镜物镜，42表示显微镜物镜41的出射光瞳，43表示以镜筒透镜的形式的第一透镜组，44表示中间图像，45表示以扫描物镜的形式的第二透镜组，并且46表示扫描器镜或其他扫描器设备的位置。作为示例，显微镜物镜41可以提供十倍的放大率。出射光瞳42的直径可以大于8mm，例如为大约10mm。原则上，在图4中使用与图1中类似的光学部件。然而，镜筒透镜43和扫描物镜45的焦距特别地与在图1中的传统布置相比是减小的，作为其结果总体长度同样可以被减小。这特别是在独立解决方案的情况下是可能的。

因此例如镜筒透镜43的焦距小于70mm，例如大约55mm，例如在45和65mm之间，并且扫描物镜45的焦距小于20mm，例如大约16.5mm，例如在15和20mm之间。因此，与在图1的情况下例如大约370mm相比总体长度可以为大约111mm。

图5呈现了针对图4中的光学布置的对应的德拉诺图。线50表示从出射光瞳42到镜筒透镜43的光束，线51对应于从镜筒透镜43到中间图像44的光束，(从线51延伸的)线52对应于从中间图像44到扫描物镜45的光束，并且线53对应于从扫描物镜45到扫描器镜46的位置的光束。54和55是用于细分整个区域的辅助线。因此，在示例性实现方式中，出射光瞳42和镜筒透镜43之间的距离大约是20mm，镜筒透镜43和中间图像44之间的距离大约是65mm，中间图像44和扫描物镜45之间的距离大约是16.5mm，并且扫描物镜45与扫描器镜46之间的距离大约是19.5mm。为了比较的目的，图5此外再次呈现图2的线20、21和22以及23和点13、14和15，因此以便根据总体长度中的减小来说明循环区域中的减小。

对于一些应用和实现方式期望总体长度中的进一步减小。然而，对于图4中的光学布置，可以出现来自没有另外的光学元件的总体长度的进一步减小的缺点。作为示例，镜筒透镜43和出射光瞳42之间的距离通常不能比所呈现的更短(例如大约20mm)，因为在通常的物镜中，特别地具有大出射光瞳的物镜，出射光瞳位于物镜的内部。因此，由于物镜41的范围，通常不可能将镜筒透镜43布置为更靠近物镜41。

也难以进一步减小扫描物镜45与扫描器镜46之间的距离，因为否则入射到扫描器镜上的光束的入射角变得过大，可能导致图像场失真。这特别是对于大于20°的入射角可以是如此。

因此，在本发明的另一实施例中，为了进一步减小总体长度，负透镜，即具有负焦距的透镜或透镜组布置在镜筒透镜和扫描物镜之间。

在图6中示意性地图示了对应的实施例。在图6中，60表示要检查的对象的位置，61表示显微镜物镜，例如10x物镜，62表示物镜61的出射光瞳(例如具有大于8mm的直径，例如大约10mm的直径)，并且63表示镜筒透镜(第一透镜组)。作为示例，在这种情况下，镜筒透镜63能够具有在25和65mm之间的焦距，例如大约32mm。64表示负透镜(第三透镜组)，其可以例如具有在-15和-75mm之间的焦距，例如大约为-19mm。65表示中间图像并且66表示扫描物镜(第二透镜组)，其例如在图6的情况下可以具有5至15mm之间(例如大约12mm)的焦距。67表示扫描器镜的位置。

图7指示了针对图6中的具有上述示例焦距的实施例的对应的德拉诺图。来自图2和图5中的图的线也被指示用于比较目的。线70对应于从出射光瞳62到镜筒透镜63的光束，线71对应于从镜筒透镜63到负透镜64的光束，线72对应于从负透镜64到中间图像65的光束，线73(线72的延续)对应于从中间图像65到扫描物镜66的光束，并且线74对应于从扫描物镜66到扫描器镜或另一个扫描器设备67的光束。75至77再次指定用于说明单独的总体长度部件或表面部件的辅助线。在描绘的示例中，从出射光瞳62到镜筒透镜63的距离大约是20mm，从镜筒透镜63到负透镜64的距离大约是28mm，从负透镜64到中间图像65的距离大约是5mm，从中间图像65到扫描物镜66的距离大约是11.5mm，并且从扫描物镜66到扫描器的距离大约是19.5mm。因此，与在图5中的示例相比，总体长度从111mm被实现为84mm。应当注意，所采用的透镜或透镜组的厚度可以在实际实现方式中部分地增加长度。

图8示出了能够被认为是图6的实现示例的光学布置的另一实施例。在图8中，80表示显微镜物镜的出射光瞳。81表示在图8的示例中由三个单独的透镜构成并且在当前示例中具有61mm的焦距的镜筒透镜。82表示在图8的情况下被实现为具有两个单独的透镜的透镜组的负透镜。作为示例，负透镜82的焦距可以是-75mm。83表示中间图像并且84表示在图8的示例中同样被实现为具有多个透镜的透镜组的扫描物镜。85表示例如可以具有大约2mm的直径的扫描器镜。通过扫描器镜85，入射光束朝向样品偏转，以便通过讨论的光学元件来扫描样品。

在图8的实施例中，在出射光瞳80和扫描器镜85之间的传送长度是具有上述指定的数值112mm。扫描器镜上的光束的直径是2mm。为了减少光学像差，在图8的实施例中以适中的焦距选择镜筒透镜81和负透镜82并且在幅值方面不具有最小可能的焦距。

为了能够引导激光光束86通过扫描物镜84到扫描器镜85，如果扫描物镜84和扫描器镜85之间的距离足够大则是有用的。

在一些实施例中，中间图像(例如图8中的83)大约位于扫描对象84和负透镜82之间的中间，例如在中间的±10％的区域或±5％的区域中(±10％在这种情况下意味着通过中间图像在负透镜与扫描物镜之间的距离的细分位于60:40和40:60之间的区域中)。因此，在一些实施例中能够减少污染物等对透镜表面的破坏性影响。此外，这能够促进在散焦状态下的操作。在这种实施例的情况下，通过改变入射光束的准直状态(例如86)能够在样品中执行聚焦。这取代了中间图像，为了如下目的：将中间图像和相邻透镜82和84之间的距离选择为不太小是有用的。

在图9中图示了根据本发明的光学布置的另一实施例。在图9中，90表示显微镜物镜的出射光瞳，91表示再次被实现为一组多个透镜的镜筒透镜，92表示同样被实现为一组多个单独的透镜的负透镜，93表示中间图像，并且94表示也被实现为一组多个单独的透镜的扫描物镜。95表示扫描器镜或其他扫描器设备的位置。与在图8中的实施例相比，例如镜筒透镜91和扫描物镜94现在具有更多的透镜。这说明了在这种情况下有多种不同的实现选项。在图9的实施例中，镜筒透镜的焦距大约是39mm，负透镜92的焦距大约是-36mm并且扫描物镜的焦距大约是9mm。在该实施例中，在出射光瞳90与扫描器镜95的位置之间的整个传送长度仅为89mm。

如从上面的示例很清楚的，例如关于单独的透镜组的焦距的多种变化是可能的。因此，所呈现的示例应当仅被理解为说明而不是限制性的。

在上述实施例中，说明了用于激光扫描器系统的光学布置和对应的激光扫描器系统。这样的激光扫描器系统通过相机可以与宽视野记录(即基本上传统的光学显微镜记录)来组合。现在参考图10和图11更详细地说明对应的实施例。这里，图10和图11表示图6中的实施例的发展并且在图6的实施例中已经出现的元件由相同的附图标记表示，并且不再详细说明。即使在图6中的实施例的发展的基础上呈现了用于宽视野记录的相机的提供，对应的发展也可能用于上述其他实施例。

引导来自在位置60待检查的对象到相机设备102的光的分束器元件100，例如部分透射镜，在图10的实施例中被提供在镜筒透镜63和负透镜64之间。然后，在位置60处的对象的宽视野场记录(例如综述记录)利用该相机设备102是可能的。这里，宽视野记录的类型没有特别限制并且可以取决于所提供的照射而变化(这里未示出)。因此，例如能够取决于照射产生亮场记录、暗场记录、相位对比记录和/或荧光记录。应当注意，在传统的输出耦合的情况下，分束器元件将布置在显微镜物镜61和镜筒透镜63之间。由于镜筒透镜63可以通过根据本发明的布置移动为非常靠近显微镜物镜61，在实施例中这种布置通常是不切实际的。因此，分束器元件100被布置镜筒透镜63和负透镜64之间，如图10所示。

从图10的横截面视图可以看出，分束器元件100相对于系统的光轴倾斜。这里，倾斜的角度可以大约是如图10所示的45°；然而，其他角度也是可能的。这里，作为分束器元件100的有限厚度的结果，横穿射线，即从扫描器镜67到对象的位置60的光线也受到影响。为了至少部分地补偿这种影响，提供了校正元件101，其基本上对应于分束器元件100，并且同样倾斜，但是在不同的平面中。在图10的横截面视图中，校正元件101然后将以一定角度投射到图的平面外或投射到图的平面中。提供这样的校正元件本身是已知的并且因此不再详细说明。在另一个实施例中，分束器立方体可以用作分束器元件而不是呈现的基本上板状的分束器元件100。在这种情况下，可以免除校正元件101。

如已经说明的，通过图6中的光学布置，也就像在其他的实施例那样，产生比较小的中间图像。这促进在相机设备102中使用对应小的图像传感器，与大图像传感器相比，降低了成本。作为示例，用作智能手机中的标准的图像传感器可以提供用于相机设备102的实现。

图11提供了图10中的实施例的发展，其中相同的元件由相同的附图标记表示。虽然对象位置60和扫描器镜67之间的光束路径通过部件100、101成直线并且在图10的实施例中，到相机设备102的光束路径被偏转，图11中的情况恰恰相反，所以，在这种情况下，到相机设备102的光束路径成直线，并且来自扫描器镜67的光束路径被偏转。

一般，作为通过穿过分束器元件100和校正元件101的结果，成像质量恶化。因此，对于针对其期望更好的成像质量的光束路径使用成角度的光束路径是有利的。因此，如果通过相机设备102对于宽视野记录期望更好的成像质量，则在图10中的实施例是优选的，而如果对于激光扫描期望更好的成像质量，则图11中的实施例是优选的。

图10和图11中的实施例仅仅提供了图1-图9中的激光扫描器系统或光学布置的延伸的一个示例，并且图1-图9中的激光扫描器系统或光学布置也可以与其它光学装置组合。

Claims (16)

1.一种用于激光扫描器系统的光学布置，包括：

具有正焦距的第一透镜组(63；81；91)，

具有正焦距的第二透镜组(66；84；94)，其用于接收来自扫描器设备(32；85)的光，以及

具有负焦距的第三透镜组(64；82；92)，其被布置在所述第一透镜组(63；81；91)和所述第二透镜组(66；84；94)之间。

2.如权利要求1所述的光学布置，其中，所述光学布置被配置为在所述第二透镜组(66；84；94)和所述第三透镜组(64；82；92)之间产生中间图像(65；83；93)。

3.如权利要求2所述的光学布置，其中，所述中间图像(65；83；93)大致位于所述第二透镜布置(66；84；94)和所述第三透镜布置(64；82；92)之间的中间。

4.如权利要求1-3中的任一项所述的光学布置，还包括显微镜物镜(61)，其中，所述第一透镜组(63；81；91)被布置在所述显微镜物镜(61)和所述第三透镜组(64；82；92)之间。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的光学布置，其中，所述光学布置以使得所述扫描器装置(82；85)被布置在所述显微镜物镜的出射光瞳(62；80；90)的共轭平面中的方式被配置。

6.如权利要求4或5所述的光学布置，其中，所述显微镜物镜包括在3mm和20mm之间的出射光瞳(62；80；90)。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的光学布置，其中，所述第一透镜组(63；81；91)的焦距位于25和200mm之间，并且/或者，所述第二透镜组(66；84；94)的焦距位于5和50mm之间，并且/或者，所述第三透镜组(64；82；92)位于-15mm和-200mm之间。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的光学布置，其中，所述第一透镜组(63；81；91)是镜筒透镜，并且/或者，所述第二透镜组(66；84；94)是扫描物镜。

9.一种用于激光扫描器系统的光学布置，包括：

显微镜物镜，

具有小于70mm的焦距的第一透镜组，

具有小于20mm的焦距的第二透镜组(45)，以及

其中，所述第一透镜组被布置在所述显微镜物镜(41)和所述第二透镜组(45)之间，其中，所述第二透镜组(45)被配置为接收来自扫描器设备(46)的光，其中，所述扫描光学单元(46)位于所述显微镜物镜(41)的出射光瞳(42)的共轭平面中。

10.如权利要求1至9中的任一项所述的所述光学布置，其中，所述光学布置的总体长度小于150mm。

11.如权利要求1至10中的任一项所述的光学布置，还包括用于提供第一光束路径和第二光束路径的分束器元件(100)，其中，所述第一光束路径包括在对象的位置(60)与所述扫描器设备(67)的位置之间的光束路径，并且其中，所述第二光束路径包括在所述对象的所述位置(60)与相机设备(102)之间的光束路径。

12.如权利要求11所述的所述光学布置，其中，所述光学布置被配置为根据权利要求1-8中的任一项所述的，并且其中，所述分束器元件(100)被提供在所述第一透镜组(63)和所述第三透镜组(64)之间。

13.如权利要求11和12中的任一项所述的光学布置，其中，所述光学布置还包括用于至少部分地校正所述分束器元件(100)的光学像差的校正元件(101)。

14.如权利要求11至13中的任一项所述的光学布置，其中，通过所述分束器元件(100)的所述第一光束路径是有角度的，并且通过所述分束器元件(100)的所述第二光束路径是笔直的。

15.如权利要求11至13中的任一项所述的光学布置，其中，通过所述分束器元件(100)的所述第一光束路径是笔直的，并且通过所述分束器元件(100)的所述第二光束路径是有角度的。

16.一种激光扫描器系统，包括：

激光光源(30)，

扫描器设备(32)，以及

如权利要求1至15中的任一项所述的光学布置，其被提供在所述扫描器设备(32)和样品(35)的位置之间。