JP2017530404A - 試料を結像する装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 試料
3 光学中継システム
4 中間画像面
5 光軸
6 光学結像システム
7 光軸
8 検出器
9 評価ユニット
10 照明装置
11 ライトシート
12 物体側検出アパーチャコーン
13 中間画像側検出アパーチャコーン
14 結像側検出アパーチャコーン
A、B、C、D、E、F 三角形の頂点
Claims (8)
- 物体面(1)内に配置された試料(2)を結像する装置であって、
− 前記試料(2)のエリアを前記物体面(1)から中間画像面(4)内に結像する光学中継システム(3)であって、前記物体面(1)及び前記中間画像面(4)は、前記中継システム(3)の光軸(5)との間に90°とは異なる角度を含み、また前記光学中継システム(3)は幾つかのレンズから構成されている、光学中継システム(3)と、
− 対物レンズを有する光学結像システム(6)であって、前記対物レンズの光軸(7)が前記中間画像面(4)上において垂直に位置すると共に、前記対物レンズが前記中間画像面(4)上に合焦されることによって、前記物体面(1)が歪まない状態で検出器(8)上に結像可能である、光学結像システム(6)と、
− ライトシート(11)によって前記試料(2)を照明する照明装置(10)であって、前記ライトシート(11)は、本質的に前記物体面(1)内に位置すると共に照明方向を定義しており、また前記物体面(1)の法線は検出方向を定義している、照明装置(10)と
を備え、
− 前記光学結像システム(6)は、前記対物レンズの前記光軸(7)の周りに非対称に分布した検出角度範囲を検出して検出器(8)上に結像するように形成されていることを特徴とする、物体面内に配置された試料を結像する装置。 - 前記物体面(1)及び前記中間画像面(4)は、前記中継システム(3)の前記光軸(5)との間にそれぞれ角度を含み、それらの値は、前記中継システム(3)の物体側検出アパーチャコーン(12)の開口角又は中間画像側検出アパーチャコーン(13)の開口角よりも小さく、
前記物体面(1)及び前記中間画像面(4)は、それぞれ少なくとも部分的に、前記物体側検出アパーチャコーン(12)内又は前記中間画像側検出アパーチャコーン(13)内に位置していることを特徴とする、請求項1に記載の装置。 - 前記非対称な検出角度スペクトル及び/又は圧縮された点広がり関数に基づく非対称な点広がり関数を考慮した画像処理のための、前記検出器(8)に接続された評価ユニット(9)を備える、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記光学結像システム(6)の開口数は、前記中継システム(3)の開口数よりも大きいことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
- 第1光学媒質が前記光学中継システム(3)と前記中間画像面(4)との間に配置され、
第2光学媒質が8前記中間画像面(4)と前記光学結像システムとの間に配置され、
前記中間画像面(4)は、第1光学媒質と第2光学媒質との間の境界表面内に位置しており、且つ、前記第2光学媒質は、前記第1光学媒質よりも大きな屈折率を有することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。 - 前記中継システム(3)は、該中継システム(3)の前記光軸(5)に対して垂直であるサブシステムの間の対称な面に関して対称的に構築されていることにより、前記中継システム(3)による前記結像は、1:1の画像スケールで実行され、且つ/又は、前記中継システム(3)は、反射屈折方式によって構築されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 物体面(1)内に配置された試料(2)を結像する方法であって、
− 前記試料はライトシート(11)によって照明され、該ライトシート(11)は本質的に前記物体面(1)内に位置すると共に照明方向を定義しており、また前記物体面(1)の法線は検出方向を定義しており、
− 前記試料(2)のエリアは、光学中継システム(3)によって前記物体面(1)から中間画像面(4)内に結像され、前記物体面(1)及び前記中間画像面(4)は、前記中継システム(3)の光軸(5)との間に90°とは異なる角度を含み、
− 前記中間画像面(4)は、対物レンズを有する光学結像システム(6)によって歪まない状態で検出器(8)上に結像されてその場で画像として記録され、前記対物レンズの光軸は前記中間画像面(4)上において垂直に位置すると共に、前記対物レンズは前記中間画像面(4)上に合焦され、前記光学結像システム(6)は、前記光軸(7)の周りに非対称に分布した検出角度範囲を検出し、
− 前記記録された画像は、前記非対称な検出角度スペクトル及び/又は圧縮された点広がり関数に基づく非対称な点広がり関数を考慮しながら、前記検出器(8)に接続された評価ユニット内において処理される、物体面内に配置された試料を結像する方法。 - 前記物体面(1)及び前記中間画像面(4)は、それぞれ少なくとも部分的に、前記物体側検出アパーチャコーン(12)内又は前記中間画像側検出アパーチャコーン(13)内に位置することを特徴とする、請求項7に記載の方法。
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