JPH0519172A - レーザ走査顕微鏡 - Google Patents
レーザ走査顕微鏡Info
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- JPH0519172A JPH0519172A JP3193575A JP19357591A JPH0519172A JP H0519172 A JPH0519172 A JP H0519172A JP 3193575 A JP3193575 A JP 3193575A JP 19357591 A JP19357591 A JP 19357591A JP H0519172 A JPH0519172 A JP H0519172A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来のコンフォーカル型レーザ走査顕微鏡で
必要であったピンホールを用いなくても、受光光量の減
少を生じることなく、光軸方向に高い分解能を有するレ
ーザ走査顕微鏡を得る。 【構成】 コンフォーカル型レーザ顕微鏡において、試
料面からの戻り光束の断面形状を光軸に対し非対称とす
る光学手段と、この非対称光束を非対称方向２つに分離
された受光面で受け、合焦時に前記非対称光束のスポッ
ト像による各々の受光面からの出力が互いに等しくなる
ように配置された光電検出手段と、前記検出手段からの
電気的出力の差を分母にもつ関数を発生し、これに電気
的出力の和を乗じた値に相当する画像信号を生じる演算
手段とを有する。
必要であったピンホールを用いなくても、受光光量の減
少を生じることなく、光軸方向に高い分解能を有するレ
ーザ走査顕微鏡を得る。 【構成】 コンフォーカル型レーザ顕微鏡において、試
料面からの戻り光束の断面形状を光軸に対し非対称とす
る光学手段と、この非対称光束を非対称方向２つに分離
された受光面で受け、合焦時に前記非対称光束のスポッ
ト像による各々の受光面からの出力が互いに等しくなる
ように配置された光電検出手段と、前記検出手段からの
電気的出力の差を分母にもつ関数を発生し、これに電気
的出力の和を乗じた値に相当する画像信号を生じる演算
手段とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多えば工業用の金属表
面観察等に用いられるコンフォーカル型レーザ走査顕微
鏡に関するものである。
面観察等に用いられるコンフォーカル型レーザ走査顕微
鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、図６に示したようなコンフォーカ
ル型レーザ走査顕微鏡（以下、ＣＬＳＭと記す）が金属
表面等の観察に用いられている。図において、レーザ光
源４１からのレーザ光は、コリメータレンズ４２で略平
行光となってハーフミラー４３に入射、反射され、スキ
ャニングデバイス４４，対物レンズ４５を介して試料面
４６上にスポット状に照射される。
ル型レーザ走査顕微鏡（以下、ＣＬＳＭと記す）が金属
表面等の観察に用いられている。図において、レーザ光
源４１からのレーザ光は、コリメータレンズ４２で略平
行光となってハーフミラー４３に入射、反射され、スキ
ャニングデバイス４４，対物レンズ４５を介して試料面
４６上にスポット状に照射される。
【０００３】このレーザスポットはスキャニングデバイ
ス４４によって試料面４６上をＸーＹ方向に走査する。
試料面４６で反射した反射光束は、再び対物レンズ４
５，スキャニングデバイス４４，ハーフミラー４３を透
過した後、集光レンズ４７によって結像され、検出器４
９に達する。
ス４４によって試料面４６上をＸーＹ方向に走査する。
試料面４６で反射した反射光束は、再び対物レンズ４
５，スキャニングデバイス４４，ハーフミラー４３を透
過した後、集光レンズ４７によって結像され、検出器４
９に達する。
【０００４】このようなＣＬＳＭでは、試料が奥行のあ
る物体ではなく、例えば金属等の固い試料表面を走査す
る場合、反射光束はピントの合ったものかあるいはピン
トのズレたものかの何れかである。そこで、ピンホール
４８を設けることによってピントの合った情報のみを検
出し、光軸方向の高い分解能（セクショニング）を可能
とするものである。
る物体ではなく、例えば金属等の固い試料表面を走査す
る場合、反射光束はピントの合ったものかあるいはピン
トのズレたものかの何れかである。そこで、ピンホール
４８を設けることによってピントの合った情報のみを検
出し、光軸方向の高い分解能（セクショニング）を可能
とするものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したようなＣＬＳ
Ｍにおいて、より高い光軸方向の分解能を得るために
は、前記ピンホールの口径をより小さくすることが必要
であ。しかしながら、それによる光量の低下は避けられ
ないものであった。本発明は、上記問題を解消し、受光
光量を減じることなく光軸方向の高い分解能を有するレ
ーザ走査顕微鏡を得ることを目的とする。
Ｍにおいて、より高い光軸方向の分解能を得るために
は、前記ピンホールの口径をより小さくすることが必要
であ。しかしながら、それによる光量の低下は避けられ
ないものであった。本発明は、上記問題を解消し、受光
光量を減じることなく光軸方向の高い分解能を有するレ
ーザ走査顕微鏡を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明に係るレーザ走査顕微鏡で
は、レーザ光源と、該レーザ光源からの光りを試料面上
にスポット上に絞り込む光学系と、該レーザスポットに
よって試料面上を走査するための走査手段を備えたコン
フオーカル型レーザ走査顕微鏡において、前記試料面か
らの戻り光束の断面形状を光軸に対し非対称とする光学
手段と、この非対称光束を非対称方向に２つに分離され
た受光面で受け、合焦時に前記非対称光束のスポット像
による各々の受光面からの出力が互いに等しくなるよう
に配置された光電検出手段と、前記光電検出手段からの
２つの電気的出力の差を分母にもつ関数を発生し、これ
に２つの電気的出力の和を乗じた値に相当する画像信号
を生じる演算手段とを有するものである。
め、請求項１に記載の発明に係るレーザ走査顕微鏡で
は、レーザ光源と、該レーザ光源からの光りを試料面上
にスポット上に絞り込む光学系と、該レーザスポットに
よって試料面上を走査するための走査手段を備えたコン
フオーカル型レーザ走査顕微鏡において、前記試料面か
らの戻り光束の断面形状を光軸に対し非対称とする光学
手段と、この非対称光束を非対称方向に２つに分離され
た受光面で受け、合焦時に前記非対称光束のスポット像
による各々の受光面からの出力が互いに等しくなるよう
に配置された光電検出手段と、前記光電検出手段からの
２つの電気的出力の差を分母にもつ関数を発生し、これ
に２つの電気的出力の和を乗じた値に相当する画像信号
を生じる演算手段とを有するものである。
【０００７】また、請求項２に記載の発明に係るレーザ
走査顕微鏡では、請求項１に記載のレーザ走査顕微鏡に
おいて、前記演算手段は、前記光電検出手段からの前記
２つの電気的出力Ａ，Ｂに基づいて、Ｓ1 ＝１／（Ｆ1
＋δ）（但し、Ｆ1 は｜Ａ−Ｂ｜又は｜Ａ−Ｂ｜／｜Ａ
＋Ｂ｜をパラメータとする関数、δは可変の定数）に比
例する画像信号を生じるものである。
走査顕微鏡では、請求項１に記載のレーザ走査顕微鏡に
おいて、前記演算手段は、前記光電検出手段からの前記
２つの電気的出力Ａ，Ｂに基づいて、Ｓ1 ＝１／（Ｆ1
＋δ）（但し、Ｆ1 は｜Ａ−Ｂ｜又は｜Ａ−Ｂ｜／｜Ａ
＋Ｂ｜をパラメータとする関数、δは可変の定数）に比
例する画像信号を生じるものである。
【０００８】また、請求項３に記載の発明に係るレーザ
走査顕微鏡では、請求項１に記載のレーザ走査顕微鏡に
おいて、前記光学手段は前記戻り光束を複数の光束に分
ける光学要素と各々の光束を各々の光軸に対して非対称
にする光学要素とを含み、前記光電検出手段は、各々の
非対称光束を非対称方向に２つに分離された受光面で受
け、合焦時に前記非対称光束のスポット像による各々の
受光面からの出力が互いに等しくなるように配置された
複数の二分割光電検出手段を含み、前記演算手段は、各
二分割光電検出手段からの２つの電気的出力の和に相当
する値を乗じた値に比例する画像信号を生じるものであ
る。
走査顕微鏡では、請求項１に記載のレーザ走査顕微鏡に
おいて、前記光学手段は前記戻り光束を複数の光束に分
ける光学要素と各々の光束を各々の光軸に対して非対称
にする光学要素とを含み、前記光電検出手段は、各々の
非対称光束を非対称方向に２つに分離された受光面で受
け、合焦時に前記非対称光束のスポット像による各々の
受光面からの出力が互いに等しくなるように配置された
複数の二分割光電検出手段を含み、前記演算手段は、各
二分割光電検出手段からの２つの電気的出力の和に相当
する値を乗じた値に比例する画像信号を生じるものであ
る。
【０００９】
【作用】本発明は、ＣＬＳＭ光学系において、戻り光束
の断面形状を光軸に対し非対称とする光学手段と、合焦
時にこの非対称光束のスポット像をを２つの受光面で受
け、各々の受光面からの出力を互いに等しくなるように
配置した光電検出手段と、該光電検出手段からの２つの
電気的出力から画像信号を生じる演算手段とを用いて合
焦検出を行なうものである。
の断面形状を光軸に対し非対称とする光学手段と、合焦
時にこの非対称光束のスポット像をを２つの受光面で受
け、各々の受光面からの出力を互いに等しくなるように
配置した光電検出手段と、該光電検出手段からの２つの
電気的出力から画像信号を生じる演算手段とを用いて合
焦検出を行なうものである。
【００１０】ここで、光束を非対称にするのにいわゆる
ナイフエッジ法（フーコー法）を用いた場合を例に、本
発明の合焦検出作用を説明する。図５（ａ）に示すナイ
フエッジ法で光束が非対称にされ、かつその非対称光束
の焦点に二分割光電検出器が配置されている。このとき
二分割光電検出器からの出力信号Ａ，Ｂは、ピントがず
れるほどＡが増大し、信号差ＡーＢは図５（ｂ）に示す
ようなカーブを描く。
ナイフエッジ法（フーコー法）を用いた場合を例に、本
発明の合焦検出作用を説明する。図５（ａ）に示すナイ
フエッジ法で光束が非対称にされ、かつその非対称光束
の焦点に二分割光電検出器が配置されている。このとき
二分割光電検出器からの出力信号Ａ，Ｂは、ピントがず
れるほどＡが増大し、信号差ＡーＢは図５（ｂ）に示す
ようなカーブを描く。
【００１１】従って、このとき１／｜Ａ−Ｂ｜からなる
信号は図５（ｃ）の如くとなり、合焦時には∞となる。
この信号を用いて合焦時の情報を検出すればピンホール
がなくてもセクショニングが可能であるばかりか、ピン
ホールによる光量損失も全くない。
信号は図５（ｃ）の如くとなり、合焦時には∞となる。
この信号を用いて合焦時の情報を検出すればピンホール
がなくてもセクショニングが可能であるばかりか、ピン
ホールによる光量損失も全くない。
【００１２】なお、１／｜Ａ−Ｂ｜のかわりに、１／
（｜ＡーＢ｜／｜Ａ＋Ｂ｜）を用いれば戻り光の全強度
に依存しない純粋な”セクショニング信号”又は”ピン
ホール信号”となる。ここで合焦時に∞となるのは不都
合なのでダンピングファクタδを設け、例えば、１／
｛（｜ＡーＢ｜／｜Ａ＋Ｂ｜）＋δ｝とすれば、δ＝１
のとき｜Ａ−Ｂ｜≦｜Ａ＋Ｂ｜ゆえ、図５（ｄ）の如き
信号となり、δを可変にすればセクショニングの強さを
可変にできる。
（｜ＡーＢ｜／｜Ａ＋Ｂ｜）を用いれば戻り光の全強度
に依存しない純粋な”セクショニング信号”又は”ピン
ホール信号”となる。ここで合焦時に∞となるのは不都
合なのでダンピングファクタδを設け、例えば、１／
｛（｜ＡーＢ｜／｜Ａ＋Ｂ｜）＋δ｝とすれば、δ＝１
のとき｜Ａ−Ｂ｜≦｜Ａ＋Ｂ｜ゆえ、図５（ｄ）の如き
信号となり、δを可変にすればセクショニングの強さを
可変にできる。
【００１３】
【実施例】以下に、本発明の一実施例によるＣＬＳＭ光
学系を説明する。図１は、戻り光束を２つの光束に分け
た場合を示す。図において、レーザ光源１を出た光はコ
リメータレンズ２で平行光となり、ハーフミラー３を透
過した後Ｘ−Ｙスキャニングデバイス４を通り、対物レ
ンズ５に入射し試料面６上に微小なレーザスポットを形
成する。
学系を説明する。図１は、戻り光束を２つの光束に分け
た場合を示す。図において、レーザ光源１を出た光はコ
リメータレンズ２で平行光となり、ハーフミラー３を透
過した後Ｘ−Ｙスキャニングデバイス４を通り、対物レ
ンズ５に入射し試料面６上に微小なレーザスポットを形
成する。
【００１４】ここからの反射光は再び対物レンズ５を通
りＸーＹスキャニングデバイス４を経てハーフミラー３
で反射した後、第２のビームスプリッタで２つに分岐す
る。一方の光路は遮蔽板８で非対称光束となった後レン
ズ９を通って二分割光電検出器１０上に結像する。他方
の光路は遮蔽板１１で光束が紙面に垂直方向に非対称と
なったあとレンズ１２に入射し二分割光電検出器１３上
に結像する。ここで二分割光電検出器１３の受光面は紙
面に垂直方向に二分割されている。
りＸーＹスキャニングデバイス４を経てハーフミラー３
で反射した後、第２のビームスプリッタで２つに分岐す
る。一方の光路は遮蔽板８で非対称光束となった後レン
ズ９を通って二分割光電検出器１０上に結像する。他方
の光路は遮蔽板１１で光束が紙面に垂直方向に非対称と
なったあとレンズ１２に入射し二分割光電検出器１３上
に結像する。ここで二分割光電検出器１３の受光面は紙
面に垂直方向に二分割されている。
【００１５】二分割光電検出器１０からの出力Ａ，Ｂと
１３からの出力Ｃ，Ｄは、いま試料面６がある方向にピ
ントズレしたときＡとＤが増え、ＢとＣが減る構成であ
るとする。このとき図３に一例を示したオペアンプ回路
１４で なる画像信号Ｓを発生する。すでに述べたように上式の
分数部分がセクショニングを与え、δを可変としておけ
ばセクショニングの強さを変えられる。
１３からの出力Ｃ，Ｄは、いま試料面６がある方向にピ
ントズレしたときＡとＤが増え、ＢとＣが減る構成であ
るとする。このとき図３に一例を示したオペアンプ回路
１４で なる画像信号Ｓを発生する。すでに述べたように上式の
分数部分がセクショニングを与え、δを可変としておけ
ばセクショニングの強さを変えられる。
【００１６】なお、本実施例では、ハーフミラー７によ
って光路を２つに分けたが、これは、例えば試料が格子
構造をしていてピンボケした光スポットに回折パターン
があらわれセクショニング信号を変形する可能性がある
場合、光路を２つとることによりこの影響を低減するこ
とができるので有効である。こうした心配がなければ基
本的に光路は１つで良い。
って光路を２つに分けたが、これは、例えば試料が格子
構造をしていてピンボケした光スポットに回折パターン
があらわれセクショニング信号を変形する可能性がある
場合、光路を２つとることによりこの影響を低減するこ
とができるので有効である。こうした心配がなければ基
本的に光路は１つで良い。
【００１７】図１の実施例では、遮蔽板により光を半分
ロスしているが図２に示すように遮蔽板をプリズム，反
射ミラー等におきかえれば容易に全光量をとり出す構成
が可能になる。図２において、レーザ光源２１を出た光
はコリメータレンズ２２で平行光となり、ハーフミラー
２３を透過した後Ｘ−Ｙスキャニングデバイス２４を通
り、対物レンズ２５に入射し試料面２６上に微小なレー
ザスポットを形成する。
ロスしているが図２に示すように遮蔽板をプリズム，反
射ミラー等におきかえれば容易に全光量をとり出す構成
が可能になる。図２において、レーザ光源２１を出た光
はコリメータレンズ２２で平行光となり、ハーフミラー
２３を透過した後Ｘ−Ｙスキャニングデバイス２４を通
り、対物レンズ２５に入射し試料面２６上に微小なレー
ザスポットを形成する。
【００１８】ここからの反射光は再び対物レンズ２５を
通りＸーＹスキャニングデバイス２４を経てハーフミラ
ー２３で反射した後、反射ミラー２７によって２つに分
岐する。一方の光路はレンズ２８を通って二分割光電検
出器２９上に結像する。他方の光路は、光束が紙面に平
行方向に非対称な状態でレンズ３０に入射し二分割光電
検出器３１上に結像する。ここで二分割光電検出器３１
の受光面は紙面に平行方向に二分割されている。
通りＸーＹスキャニングデバイス２４を経てハーフミラ
ー２３で反射した後、反射ミラー２７によって２つに分
岐する。一方の光路はレンズ２８を通って二分割光電検
出器２９上に結像する。他方の光路は、光束が紙面に平
行方向に非対称な状態でレンズ３０に入射し二分割光電
検出器３１上に結像する。ここで二分割光電検出器３１
の受光面は紙面に平行方向に二分割されている。
【００１９】二分割光電検１器２９からの出力Ａ，Ｂと
３１からの出力Ｃ，Ｄは、いま試料面６がある方１にピ
ントズレしたときＡとＤが増え、ＢとＣが減る構成であ
るとすると、図３に一例を示したオペアンプ回路３２で なる画像信号Ｓを発生する。上式の分数部分がセクショ
ニングを与え、δを可変としておけばセクショニングの
強さを変えられる。
３１からの出力Ｃ，Ｄは、いま試料面６がある方１にピ
ントズレしたときＡとＤが増え、ＢとＣが減る構成であ
るとすると、図３に一例を示したオペアンプ回路３２で なる画像信号Ｓを発生する。上式の分数部分がセクショ
ニングを与え、δを可変としておけばセクショニングの
強さを変えられる。
【００２０】なお、試料面からの反射光束は、２つに限
らず複数の光束に分岐してかまわない。この光束の分
離，非対称化の手段の一つとして、実施例で示した反射
ミラーの他に、図４に示したようなプリズム（ＵＳＰ
４，７１２，２０５）を用いることもできる。
らず複数の光束に分岐してかまわない。この光束の分
離，非対称化の手段の一つとして、実施例で示した反射
ミラーの他に、図４に示したようなプリズム（ＵＳＰ
４，７１２，２０５）を用いることもできる。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、ＣＬ
ＳＭ光学系において、戻り光束の断面形状を光軸に対し
非対称とする光学手段と、合焦時にこの非対称光束のス
ポット像をを２つの受光面で受け、各々の受光面からの
出力を互いに等しくなるように配置した光電検出手段
と、該光電検出手段からの２つの電気的出力から画像信
号を生じる演算手段とを用いて合焦検出を行なうもので
ある。
ＳＭ光学系において、戻り光束の断面形状を光軸に対し
非対称とする光学手段と、合焦時にこの非対称光束のス
ポット像をを２つの受光面で受け、各々の受光面からの
出力を互いに等しくなるように配置した光電検出手段
と、該光電検出手段からの２つの電気的出力から画像信
号を生じる演算手段とを用いて合焦検出を行なうもので
ある。
【００２２】従って、本発明によれば、ピンホールを使
わず、光量を大きく損失することなく高い光軸方向分解
能を実現できる。さらに信号に適当なダンピングファク
タを加えることによりセクショニングの強さを変えるこ
とができるという効果を有する。
わず、光量を大きく損失することなく高い光軸方向分解
能を実現できる。さらに信号に適当なダンピングファク
タを加えることによりセクショニングの強さを変えるこ
とができるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例に係るレーザ走査顕微鏡の概
略光学系を示す図である。
略光学系を示す図である。
【図２】本発明の一実施例に係るレーザ走査顕微鏡の概
略光学系を示す図である。
略光学系を示す図である。
【図３】図１の１４、図２の３２で示した演算手段の回
路図である。
路図である。
【図４】本発明の光学手段として用いられるプリズムの
一例を示す図である。
一例を示す図である。
【図５】本発明の演算手段を説明する図である。
【図６】従来のコンフォーカル型レーザ走査顕微鏡の概
略光学系を示す図である。
略光学系を示す図である。
１，２１，４１：レーザ光源
２，２２，４２：コリメートレンズ
３，２３，４４：ＸーＹスキャニングデバイス
４，２４，４３：ハーフミラー
５，２５，４５：対物レンズ
６，２６，４６：試料面
７：ハーフミラー
８，１１：遮蔽板
２７：反射ミラー
９，１２，２８，３０，４７：集光レンズ
１０，１３，２９，３１：二分割光電検出器
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ：二分割光電検出器からの電気的出力
１４，３２：オペアンプ回路
Ｓ：画像信号
４８：ピンホール
４９：検出器
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光源と、該レーザ光源からの光を
試料面上にスポット上に絞り込む光学系と、該レーザス
ポットによって試料面上を走査するための走査手段を備
えたコンフォーカル型レーザ走査顕微鏡において、前記
試料面からの戻り光束の断面形状を光軸に対し非対称と
する光学手段と、この非対称光束を非対称方向に２つに
分離された受光面で受け、合焦時に前記非対称光束のス
ポット像による各々の受光面からの出力が互いに等しく
なるように配置された光電検出手段と、前記光電検出手
段からの２つの電気的出力の差を分母にもつ関数を発生
し、これに２つの電気的出力の和を乗じた値に相当する
画像信号を生じる演算手段とを有することを特徴とする
レーザ走査顕微鏡。 - 【請求項２】 前記演算手段は、前記光電検出手段から
の前記２つの電気的出力Ａ，Ｂに基づいて、Ｓ1 ＝１／
（Ｆ1 ＋δ）（但し、Ｆ1 は｜Ａ−Ｂ｜又は｜Ａ−Ｂ｜
／｜Ａ＋Ｂ｜をパラメータとする関数、δは可変の定
数）に比例する画像信号を生じることを特徴とする請求
項１に記載のレーザ走査顕微鏡。 - 【請求項３】 前記光学手段は、前記戻り光束を複数の
光束に分ける光学要素と各々の光束を各々の光軸に対し
て非対称にする光学要素とを含み、前記光電検出手段
は、各々の非対称光束を非対称方向に２つに分離された
受光面で受け、合焦時に前記非対称光束のスポット像に
よる各々の受光面からの出力が互いに等しくなるように
配置された複数の二分割光電検出手段を含み、前記演算
手段は、各二分割光電検出手段からの電気的出力の差に
相当する値を分母にもつ関数を発生し、これに各二分割
光電検出手段からの２つの電気的出力の和に相当する値
を乗じた値に比例する画像信号を生じることを特徴とす
る請求項１に記載のレーザ走査顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3193575A JPH0519172A (ja) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | レーザ走査顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3193575A JPH0519172A (ja) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | レーザ走査顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0519172A true JPH0519172A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=16310288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3193575A Pending JPH0519172A (ja) | 1991-07-09 | 1991-07-09 | レーザ走査顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519172A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343595A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 共焦点型検査装置 |
| WO2016045913A1 (de) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Vorrichtung zur abbildung einer probe |
-
1991
- 1991-07-09 JP JP3193575A patent/JPH0519172A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343595A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 共焦点型検査装置 |
| WO2016045913A1 (de) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Vorrichtung zur abbildung einer probe |
| US10477124B2 (en) | 2014-09-24 | 2019-11-12 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Device for imaging a sample with detection of an asymmetrically distributed angular range |
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