CN107206314A - 废气处理方法和废气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供可以高效除去废气中的NOx的废气处理方法和废气处理装置。本发明的废气处理方法，其特征在于，其包括向含NOx的废气中供给含碱剂的粉末和臭氧对废气进行处理的工序，通过臭氧使NO氧化为NO2，并使碱剂或其热分解产物与NO2进行气固反应。此外，本发明的废气处理装置，其特征在于，其具备含NOx的废气流过的废气流路，向流过废气流路的废气中供给臭氧的臭氧供给部，以及向流过废气流路的废气中供给含碱剂的粉末的碱剂供给部，臭氧供给部设置为通过供给的臭氧使废气中的NO氧化为NO2，碱剂供给部设置为使供给的粉末中含有的碱剂或其热分解产物与NO2进行气固反应。
Description
技术领域
本发明涉及一种废气处理方法和废气处理装置。
背景技术
已知通过粉末状的碱剂除去垃圾焚烧等产生的废气中HCl和SOx等酸性气体的方法(例如，参考专利文献1-3)。该方法中，将小苏打等的碱剂粉末吹入袋式过滤器的上游侧的废气流路中，使吹入的粉末堆积在过滤器上，从而除去酸性气体。
此外，也已知通过将废气进行臭氧处理使废气中的NO氧化为NO2，然后在湿式洗涤器中用还原剂水溶液将废气进行洗涤，除去NOx的方法(例如，参考专利文献4)。
技术现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开2008-12498号公报
专利文献2：特开2000-218128号公报
专利文献3：特开2006-239689号公报
专利文献4：特开2010-264386号公报
发明内容
然而，在以往的使用碱剂粉末的废气处理方法中，存在废气中的NOx除去效率低的问题。此外，使用湿式洗涤器的方法中，需要设置使大量还原剂水溶液循环的设备和处理排水的设备。
本发明是对这一情况进行了深入的研究，其成果提供了一种可以高效除去废气中NOx的废气处理方法。
本发明提供的废气处理方法，其特征在于，该废气处理方法包括向含NOx的废气中供给含碱剂的粉末和臭氧对废气进行处理的工序，通过臭氧使NO氧化为NO2，使所述碱剂或其热分解产物与NO2进行气固反应。
根据本发明，由于向含NOx的废气中供给臭氧，可以通过臭氧将占NOx大部分的NO转化为NO2。通过这一方式，可以提高废气中含有的NOx中的NO2的比例。另外，NO2与NO相比更容易与碱剂反应。
根据本发明，由于向含NOx的废气中供给含碱剂的粉末，可以使碱剂或其热分解产物，与通过臭氧氧化提高了NOx中比例的NO2进行气固反应，从而除去废气中的NO2。通过这一方式，可以高效除去废气中的NOx。
附图说明
图1是示出了本发明的一种实施方式的废气处理装置结构的示意图。
图2是图1中点线围成的范围A的放大图，是过滤集尘器中的废气流的说明图。
图3是气雾中的化学反应的说明图。
图4是气雾中的化学反应的说明图。
图5是实验使用的反应器的截面示意图。
图6是示出了实验结果的图表。
图7是示出了实验结果的图表。
具体实施方式
本发明的废气处理方法，其特征在于，包括向含NOx的废气中供给含碱剂的粉末和臭氧对废气进行处理的工序，通过臭氧使NO氧化为NO2，使所述碱剂或其热分解产物与NO2进行气固反应。
在本发明的废气处理方法中，碱剂优选含有碳酸氢钠、碳酸钠、氧化钙、氢氧化钙和碳酸钙中的至少一种。
通过这样的设置，可以使碱剂或其热分解产物与NO2高效地进行气固反应。
在本发明的废气处理方法中，优选向废气中喷雾水或水溶液形成第一气雾，在第一气雾内的局部冷却区中通过臭氧使NO氧化为NO2。
将臭氧供给到150℃以上的废气中时，由于臭氧的氧化能力降低或热分解导致难以将NO氧化为NO2。然而，向150℃以上的废气中喷雾水或水溶液形成气雾时，由于水的气化热可以在气雾中形成150℃以下的局部冷却区。在该局部冷却区中供给臭氧时，可以抑制臭氧的氧化能力降低或热分解，从而可以将局部冷却区的废气中含有的NO氧化为NO2。因此，即使废气温度为150℃以上，也可以通过形成局部冷却区将NO转化为NO2。
在本发明的废气处理方法中，第一气雾优选通过将碱性水溶液或还原剂水溶液在废气中喷雾形成。
向废气中喷雾碱性水溶液时，碱性水溶液的水滴可以在废气中悬浮形成气雾。在该气雾内的局部冷却区中可以通过臭氧使NO氧化为NO2，生成的NO2可以在水滴中溶解。另一方面，废气中含有SO2时，SO2在水滴溶解与碱发生中和反应。因而，该中和反应的反应产物可以与水滴中溶解的NO2反应，从而除去废气中的NO2。
向废气中喷雾还原剂水溶液时，还原剂水溶液的水滴可以在废气中悬浮形成气雾。在该气雾内的局部冷却区中可以通过臭氧使NO氧化为NO2，生成的NO2可以在水滴中溶解。利用溶解在水滴中的还原剂可以将该NO2还原为N2，从而除去废气中的NO2。
在本发明的废气处理方法中，优选在形成第一气雾后的废气中，通过喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液形成第二气雾。
通过这样的构成，可以抑制臭氧导致的还原剂消耗。
在本发明的废气处理方法中，优选所述粉末供给到所述气雾中含有的水蒸发后的废气中。
通过这样的构成，可以使通过臭氧将NO转化为NO2后的NOx与碱剂进行反应，从而从废气中高效除去NOx。此外，也可以抑制构成气雾的水滴被粉末吸收，并抑制粉末在废气流路的内壁上附着。
此外，本发明也提供废气处理装置，其具备含NOx的废气流动的废气流路，向流过所述废气流路的废气中供给臭氧的臭氧供给部，以及向流过所述废气流路的废气中供给含碱剂的粉末的碱剂供给部，所述臭氧供给部设置为通过供给的臭氧使所述废气中的NO氧化为NO2，所述碱剂供给部设置为使供给的粉末中含有的碱剂或其热分解产物与NO2进行气固反应。
根据本发明的废气处理装置，由于具备向流过废气流路的含NOx的废气中供给臭氧的臭氧供给部，可以通过臭氧将占NOx大部分的NO转化为NO2。通过这一方式，可以提高废气中含有的NOx中的NO2的比例。
根据本发明的废气处理装置，由于具备向流过废气流路的含NOx的废气中供给含碱剂的粉末的碱剂供给部，可以使碱剂或其热分解产物，与通过臭氧氧化提高了NOx中比例的NO2发生气固反应除去废气中的NO2。通过这一方式，可以高效除去废气中的NOx。
在本发明的废气处理装置中，优选还具备向流过所述废气流路的废气中喷雾水或水溶液形成第一气雾的喷雾部，所述臭氧供给部设置为向第一气雾内的局部冷却区中供给臭氧。
根据这样的构成，即使废气温度为150℃以上，也可以通过形成局部冷却区将NO转化为NO2。
在本发明的废气处理装置中，优选所述喷雾部设置为向流过所述废气流路的废气中喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液形成第一气雾。
根据这样的构成，可以使废气中的NO2与水滴中溶解的还原剂等反应，从而除去废气中的NO2。
在本发明的废气处理装置中，优选还具备第二喷雾部，第二喷雾部设置为向形成了第一气雾后的废气中喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液形成第二气雾。
根据这样的构成，可以抑制通过臭氧供给部供给的臭氧导致的还原剂消耗。
在本发明的废气处理装置中，优选所述碱剂供给部设置为向通过所述臭氧供给部供给臭氧后的废气中供给所述粉末。
根据这样的构成，可以使通过臭氧将NO转化为NO2后的NOx与碱剂反应，从而从废气中高效除去NOx。
在本发明的废气处理装置中，优选还具备集尘器，该集尘器过滤含通过所述碱剂供给部供给的所述粉末的废气。
根据这样的构成，可以在集尘器的过滤器上形成粉末的堆积层，并使废气通过该堆积层。通过这一方式，可以使废气中含有的NO2与碱剂高效地进行气固反应，从而高效除去废气中的NOx。
以下，使用附图说明本发明的一种实施方式。附图和以下的描述中示出的结构为示例，本发明的范围不受附图和以下的描述中示出的结构的限定。
废气处理方法和废气处理装置
图1是本实施方式的废气处理装置结构的示意图。图2是图1中点线围成的范围A的放大图，是过滤集尘器中废气流的说明图。
本实施方式的废气处理方法，其特征在于，其包括向含NOx的废气中供给含碱剂的粉末和臭氧对废气进行处理的工序，通过臭氧使NO气体氧化为NO2气体，使所述碱剂或其热分解产物与NO2气体进行气固反应。
此外，本实施方式的废气处理装置30，其特征在于，其具备含NOx的废气流过的废气流路1，向流过废气流路1的废气中供给臭氧的臭氧供给部4，以及向流过废气流路1的废气中供给含碱剂的粉末35的碱剂供给部7，臭氧供给部4设置为通过供给的臭氧将所述废气中的NO气体氧化为NO2气体，碱剂供给部7设置为使供给的粉末35中含有的碱剂或其热分解产物与NO2气体进行气固反应。
以下，针对本实施方式的废气处理方法和废气处理装置30进行说明。
1.废气、废气流路
废气是本实施方式的废气处理方法以及废气处理装置30的被处理气体，含NOx的废气即可，没有特别的限定，可以为燃烧废气。例如，废气可以为从将玻璃原料通过燃烧器进行熔解的熔解炉排出的燃烧废气，可以为从将玻璃原料电熔的熔解炉排出的废气，可以为从锅炉的燃烧室排出的燃烧废气，可以为从发动机排出的燃烧废气，可以为从燃气轮机排出的燃烧废气，也可以为从焚烧炉排出的燃烧废气。另外，燃烧废气中含有的NOx中约95％为NO，约5％为NO2。此外，虽然NO不具有水溶性，但是NO2具有水溶性。
通过燃烧等产生的废气中，除了NO、NO2等NOx之外，还可以含有SOx、CO2、CO、H2O、O2、烟尘等。该废气流入废气流路1中。
废气流路1是从废气产生到排放到大气中的流路。例如，图1示出的废气处理装置30中，废气流路1由反应塔20、静电集尘器22、过滤集尘器15，烟囱27和配管等构成。另外，可以省略图1所示的静电集尘器22。
2.臭氧供给部、喷雾部
臭氧供给部4设置为向流过废气流路1的废气中供给臭氧。通过这一方式，可以将废气中含有的NO氧化为NO2，从而提高废气中的NOx的NO2比例。另外，NO2与NO相比更容易与碱剂反应。
臭氧供给部4可以为，将通过在含氧气体中进行等离子体放电的臭氧产生装置3(臭氧发生器)产生的含臭氧的气体供给到废气中的部分。
通过臭氧供给部4供给臭氧的位置的废气温度可以为150℃以下。通过这一方式，可以抑制供给到废气中的臭氧的氧化能力降低和热分解，从而将NO高效氧化为NO2。臭氧供给部4可以设置为，例如，向流过废气冷却部或余热回收部后的废气中供给臭氧。
此外，臭氧供给部4也可以设置为向通过利用喷雾部10向废气中喷雾水或水溶液形成的气雾12中的局部冷却区13供给臭氧。臭氧供给部4也可以设置为将臭氧与水或水溶液一起喷雾到废气中。臭氧供给部4可以具有臭氧喷出口，所述臭氧喷出口靠近构成喷雾部10的喷嘴而设置。此外，臭氧供给部4可以具有臭氧流路5，所述臭氧流路5设置为向气雾12中的局部冷却区13直接供给臭氧。
由于利用喷雾部10在废气中形成气雾12时，气雾12中含有的悬浮水滴32的水分变为气体，废气的热量被气化热夺走。因此，在气雾12中产生比周围的废气温度低的局部冷却区13。形成气雾12使该局部冷却区13的温度成为150℃以下，通过向该局部冷却区13中供给臭氧可以抑制局部冷却区13中的臭氧的氧化能力降低和热分解。其结果是，可以在局部冷却区13中通过臭氧将NO高效氧化为NO2。通过这样在气雾12中的局部冷却区13中将废气进行臭氧处理，即使气雾12周围的废气温度为150℃以上，也可以将NO气体高效氧化为NO2气体。此外，气雾12周围的废气温度可以为170℃以上，也可以为200℃以上。
喷雾部10可以设置为使喷雾的水滴32的大部分随着废气气流移动且这些水滴32的水分实质上全部蒸发。通过这一方式，可以在废气中形成具有局部冷却区13的气雾12。
喷雾部10可以设置为向流过废气流路1的废气中喷雾碱性水溶液或者还原剂水溶液形成气雾12。这一情况下，气雾12中含有的水滴32含碱或还原剂。作为碱，可举出氢氧化钠、氢氧化钾等。作为还原剂，可举出亚硫酸钠等。另外，喷雾部10可将含碱和还原剂两者的水溶液进行喷雾从而形成气雾。
另外，喷雾部10可以具有第一喷雾部和第二喷雾部。这一情况下，第一喷雾部和第二喷雾部可以用以下方式设置，通过第一喷雾部向流过废气流路1的废气中喷雾水并形成第一气雾，并在流过比第一喷雾部更下游侧的废气流路1的废气中通过第二喷雾部喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液并形成第二气雾。此外，臭氧供给部4可以设置为向第一气雾中的局部冷却区中供给臭氧。通过这一方式，可以在第一气雾中的局部冷却区中将废气中的NO气体高效氧化为NO2气体，并在第二气雾中将废气用碱或还原剂处理。此外，第二喷雾部可以设置为向构成第一气雾的水滴32的水分实质上全部蒸发后的废气中喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液。通过这一方式，可以分离第一气雾和第二气雾，并抑制臭氧供给部4供给的臭氧导致的还原剂消耗。此外，第二喷雾部也可以设置为向150℃以上的废气中喷雾水溶液。
将还原剂水溶液向废气中喷雾时，还原剂水溶液的水滴32可以在废气中悬浮形成气雾12。在该气雾12内的局部冷却区13中可以通过臭氧将不溶性的NO氧化为可溶性的NO2，并将生成的NO2溶解在水滴32中。该NO2可以被溶解于水滴32中的还原剂还原为N2，从而除去废气中的NO2。另外，形成第一气雾和第二气雾的情况下，NO的氧化反应在第一气雾中进行，NO2的还原反应在第二气雾中进行。
在此，对喷雾部10向含NOx的废气中喷雾作为还原剂水溶液的亚硫酸钠(Na2SO3)水溶液形成气雾12的情况进行说明。图3是喷雾了Na2SO3水溶液的气雾12中化学反应的说明图。在气雾12内，如图3所示，废气中的Na2SO3水溶液的水滴32处于悬浮状态。在水滴32的表面，水分的汽化进行，气化热夺走废气的热量。因此，气雾12中的废气温度降低在气雾12中形成局部冷却区13。通过臭氧供给部4向该局部冷却区13供给臭氧时，局部冷却区13的NO在气相中被氧化为NO2。生成的NO2与水滴32中溶解的Na2SO3反应生成Na2SO4和N2。像这样，可以通过将废气中的NOx还原为N2而除去。此外，生成的Na2SO4在水分蒸发后成为微粒子，通过静电集尘器22或过滤集尘器15从废气中除去。在此，虽然说明了作为还原剂使用Na2SO3的情况，但还原剂将NO2还原为N2即可，没有特别的限定。
另外，这时，未与Na2SO3反应的NO2会与后述的碱剂反应。
向废气中喷雾碱性水溶液时，碱性水溶液的水滴32可以在废气中悬浮形成气雾12。在气雾12内的局部冷却区13中可以通过臭氧将不溶性的NO氧化为可溶性的NO2，并可以将生成的NO2溶解在水滴32中。另一方面，废气中含SO2的情况下，SO2与水滴32中溶解的碱发生中和反应。因而，该中和反应的反应产物可与水滴32中溶解的NO2反应，可以除去废气中的NO2。另外，形成第一气雾和第二气雾的情况下，NO的氧化反应在第一气雾中进行，SO2、碱和NO2的反应在第二气雾中进行。
在此，对在含SOx和NOx的废气中，喷雾部10喷雾作为碱性水溶液的氢氧化钠(NaOH)水溶液形成气雾12的情况进行说明。图4是喷雾了NaOH水溶液的气雾12中的化学反应的说明图。在气雾12内，如图4所示，废气中的NaOH水溶液的水滴32处于悬浮状态。废气中的SO2与溶解于水滴32的NaOH反应生成Na2SO3。此外，废气中的NO被供给到局部冷却区13的臭氧氧化为NO2。因而，生成的NO2与溶解于水滴32中的SO2生成的Na2SO3反应生成Na2SO4和N2。像这样，可以通过将废气中的NOx还原为N2除去废气中的NOx。此外，由于废气中的SO2与氢氧化钠反应，也可以除去废气中的SO2。在此，虽然说明了作为碱使用NaOH的情况，但碱为与SO2反应生成还原性物质的物质即可，没有特别的限定。此外，这一情况下，未与Na2SO3反应的NO2与后述的碱剂反应。
另外，通过喷雾部10喷雾的水溶液中含有还原剂和碱两者时，上述的反应同时进行。
3.碱剂供给部、碱剂、过滤集尘器
碱剂供给部7设置为向流过废气流路1的废气中供给含碱剂的粉末35。通过这一方式，可以使废气中的含碱剂的粉末35悬浮并发生气固接触，使废气中含有的NO2与碱剂反应。通过该反应可消耗废气中的NO2，可以除去废气中的NO2。此外，利用通过臭氧供给部4向废气中供给的臭氧使废气中含有的NOx的NO2比例增大，通过与碱剂反应消耗NO2，可以去除废气中大部分的NOx。因此，可以降低处理后废气的NOx浓度。另外，在比供给了粉末35的位置更下游的废气流路1中设置过滤器17，在过滤器17上也可以使废气与粉末35进行气固接触。
此外，粉末35中含有的碱剂可以与SOx反应，也可以除去废气中的SOx。
优选地，碱剂供给部7设置为向通过臭氧供给部4供给了臭氧后的废气中供给含碱剂的粉末35。通过这一方式，可以高效降低废气的NOx浓度。然而，在使臭氧的NO氧化反应和碱剂与NO2的反应可以同时进行的情况下，臭氧与粉末35可以一起供给到废气中，也可以供给到实质上相同位置的废气中，此外，还可以向供给了粉末35后的废气中供给臭氧。
碱剂供给部7可以设置为向150℃以上的废气中供给粉末35，也可以设置为向180℃以上的废气中供给粉末35，还可以设置为向200℃以上的废气中供给粉末35。通过这一方式，可以加速碱剂与NO2的反应速度，从而高效除去NO2。此外，使碱剂热分解的情况下，可以高效将碱剂热分解。
通过碱剂供给部7供给至废气中的粉末35，至少含有碱剂。所述粉末35可以含有反应助剂。此外，所述粉末35可以含有2种以上的碱剂。此外，粉末35可以含有90％以上的碱剂。
粉末35中含有的碱剂没有特别的限定，可以与废气中的NO2进行气固反应的碱剂即可，可以含有碳酸氢钠(NaHCO3)、碳酸钠(Na2CO3)、氧化钙(CaO)、氢氧化钙(Ca(OH)2)和碳酸钙(CaCO3)中的至少一种。这些碱剂可以与NO2反应。此外，这些碱剂也可以与SO2反应。此外，碱剂可以为与NO2进行中和反应的物质。
粉末35作为碱剂含有NaHCO3的情况下，将含NaHCO3的粉末35供给到废气中时，NaHCO3热分解成为Na2CO3、H2O和CO2。因而，作为热分解产物的Na2CO3与废气中的NO2进行气固反应，生成亚硝酸钠(NaNO2)或硝酸钠(NaNO3)。因此，通过这一反应可以消耗废气中的NO2，并可以除去废气中的NO2。另外，反应后的含NaNO2或NaNO3的粉末，可以通过集尘器等从废气中除去。此外，回收的含NaNO2或NaNO3的粉末，可以作为原料等利用。
此外，废气含有SO2的情况下，NaHCO3热分解生成的Na2CO3与SO2进行气固反应，生成亚硫酸钠(Na2SO3)或硫酸钠(Na2SO4)。因此，也可以除去废气中的SO2。
粉末35作为碱剂含有Na2CO3的情况下，将含Na2CO3的粉末35供给到废气中时，Na2CO3与废气中的NO2反应，生成NaNO2或NaNO3。因此，通过这一反应可以消耗废气中的NO2，并可以除去废气中的NO2。另外，反应后的含NaNO2或NaNO3的粉末，可以通过集尘器等从废气中除去。
此外，废气含有SO2的情况下，Na2CO3与SO2反应，生成Na2SO3或Na2SO4。因此，也可以除去废气中的SO2。
粉末35作为碱剂含有CaO、Ca(OH)2或CaCO3的情况下，将粉末35供给到废气中时，CaO、Ca(OH)2或CaCO3与废气中的NO2反应，生成硝酸钙(Ca(NO3)2)。因此，可以除去废气中的NO2。
此外，废气含有SO2的情况下，CaO、Ca(OH)2或CaCO3与SO2反应，生成亚硫酸钙(CaSO3)或硫酸钙(CaSO4)。因此，也可以除去废气中的SO2。
碱剂供给部7没有特别的限定，可以将含碱剂的粉末35供给到在废气流路1中流动的废气中即可，例如，可以设置有碱剂储存部6、定量供给机9和输送流路8。这一情况下，定量供给机9将碱剂储存部6中储存的粉末35定量供给到输送流路8中。然后，供给到输送流路8的粉末35，随着流过输送流路8气体的气流供给到废气流路1中。通过这样的碱剂供给部7，可以将粉末35定量供给到废气流路1中。另外，碱剂供给部7也可以设置为定量供给机9向废气流路1中直接供给粉末35。空气可以流过输送流路8。此外，废气中同时供给臭氧和粉末35时，臭氧产生装置3产生的含臭氧的气体也可以流过输送流路8。
可以设置集尘器15，该集尘器15过滤含通过碱剂供给部7供给的粉末35的废气。通过这一方式，可以使粉末35堆积在集尘器15的过滤器17上，从而可以从废气中除去粉末35。此外，废气中含有烟尘时，也可以除去烟尘。集尘器15例如可以为袋式过滤器16。
使过滤器17上堆积粉末35时，由于废气通过粉末35的堆积层，可以高效进行气固接触，从而可以使废气中含有的NO2与粉末35中含有的碱剂高效反应。例如，可以如图2所示地使过滤器17上堆积粉末35，从而可以进行气固接触。过滤器17上的粉末35的堆积层的温度可以为100℃以上，也以为150℃以上，可以为180℃以上，也可以为200℃以上。通过这一方式，可以使NO2与粉末35中含有的碱剂高效反应。
通过与废气反应消耗了碱剂的粉末35，可以通过将粉末35的堆积层从过滤器14上除去而回收。该堆积层的除去可以间隔时间间隔进行。此外，集尘器15为袋式过滤器16时，可以从过滤器14的堆积层的相反侧吹入空气除去堆积层。从过滤器14上除去的堆积层，可以从袋式过滤器16的下部回收，回收物可以作为玻璃的原料等利用。
(利用碱剂除去NO2实验)
用图5所示的实验装置，进行了利用NaHCO3粉末35除去流通气体中的NO2的实验和利用Na2CO3粉末35除去流通气体中的NO2的实验。在反应器37中使用内径约160mm的不锈钢管，在反应器37中设置有其上形成有NaHCO3粉末35或Na2CO3粉末35的堆积层的过滤器17。过滤器17使用玻璃双重织PTFE层压膜玻璃织物(ガラス二重織PTFEラミネート膜ガラス生地)。并且，将100ppm NO2气体(平衡气体：90％N2，10％O2)以气体流量10L/min导入反应器37中，并使其通过粉末35的堆积层和过滤器17，使NaHCO3粉末35或Na2CO3粉末35与NO2反应。另外，导入气体的温度和反应器37的温度为室温。此外，测定导入反应器37前的气体的NOx浓度、从反应器37排出的气体的NOx浓度和NO浓度，调查浓度随时间的变化。
进行了使NaHCO3粉末24g(0.29mol)堆积在过滤器17上的实验，实验结果如图6所示。导入反应器37前的气体的NOx浓度为约90ppm，从反应器37排出的气体的NOx浓度为约78ppm，NOx浓度减少了△12ppm。认为这是由于气体中的NO2与NaHCO3进行了反应。
进行将Na2CO3粉末24g(0.23mol)在过滤器17上堆积实验，其实验结果如图7所示。导入反应器37前的气体的NOx浓度为约85ppm，从反应器37中排出的气体的NOx浓度为约67ppm，NOx浓度减少了△18ppm。认为这是由于气体中的NO2与Na2CO3进行了反应。
附图标记说明
1：废气流路 3：臭氧产生装置 4：臭氧供给部
5：臭氧流路 6：碱剂储存部 7：碱剂供给部
8：输送流路 9：定量供给机 10：喷雾部
11：冷却水流路 12：气雾 13：局部冷却区
15：过滤集尘器 16：袋式过滤器 17：过滤器
20：反应塔 22：静电集尘器 25：风扇
26：分析仪 27：烟囱 30：废气处理装置
32：水滴 35：含碱剂的粉末 37：反应器
39：MANOSTAR压力表
Claims (12)
1.一种废气处理方法，其特征在于，该废气处理方法包括向含NOx的废气中供给含碱剂的粉末和臭氧对废气进行处理的工序，
通过臭氧使NO氧化为NO2，使所述碱剂或其热分解产物与NO2进行气固反应。
2.根据权利要求1所述的废气处理方法，其中，所述碱剂含有碳酸氢钠、碳酸钠、氧化钙、氢氧化钙和碳酸钙中的至少一种。
3.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其中，向所述废气中喷雾水或水溶液形成第一气雾，在第一气雾内的局部冷却区中通过臭氧使NO氧化为NO2。
4.根据权利要求3所述的废气处理方法，其中，第一气雾通过向所述废气中喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液形成。
5.根据权利要求3所述的废气处理方法，其中，在形成了第一气雾后的废气中，通过喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液形成第二气雾。
6.根据权利要求3-5中任意一项所述的废气处理方法，其中，所述粉末供给到气雾中含有的水蒸发后的废气中。
7.一种废气处理装置，该废气处理装置具备含NOx的废气流过的废气流路，向流过所述废气流路的废气中供给臭氧的臭氧供给部，以及向流过所述废气流路的废气中供给含碱剂的粉末的碱剂供给部，
所述臭氧供给部设置为通过供给的臭氧将所述废气中的NO氧化为NO2，
所述碱剂供给部设置为使供给的粉末中含有的碱剂或其热分解产物与NO2进行气固反应。
8.根据权利要求7所述的废气处理装置，其中，该废气处理装置还具备向流过所述废气流路的废气中喷雾水或水溶液形成第一气雾的第一喷雾部，
所述臭氧供给部设置为向第一气雾内的局部冷却区供给臭氧。
9.根据权利要求8所述的废气处理装置，其中，第一喷雾部设置为向流过所述废气流路的废气中喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液形成第一气雾。
10.根据权利要求8所述的废气处理装置，其中，该废气处理装置还具备第二喷雾部，
第二喷雾部设置为向形成了第一气雾后的废气中喷雾碱性水溶液或还原剂水溶液形成第二气雾。
11.根据权利要求7-10中任意一项所述的废气处理装置，其中，所述碱剂供给部设置为向通过所述臭氧供给部供给了臭氧后的废气中供给所述粉末。
12.根据权利要求7-11中任意一项所述的废气处理装置，其中，该废气处理装置还具备集尘器，该集尘器过滤含通过所述碱剂供给部供给的所述粉末的废气。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111127A (ja) * | 1984-11-06 | 1986-05-29 | Ebara Infilco Co Ltd | 排ガスの処理方法 |
| JPH0571724A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-23 | Ebara Infilco Co Ltd | 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 |
| CN103585864A (zh) * | 2013-07-06 | 2014-02-19 | 蒋克旭 | 一种同时脱硫脱硝的烟气净化方法 |
| CN204073818U (zh) * | 2014-06-09 | 2015-01-07 | 宁夏亿达泰环保设备有限公司 | 一种臭氧液相氧化同时脱硫脱硝系统 |
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|---|---|---|---|---|
| JP3233802B2 (ja) * | 1994-12-15 | 2001-12-04 | 関西電力株式会社 | 燃焼排ガス中の炭酸ガスと窒素酸化物を除去する方法 |
| JP3980226B2 (ja) * | 1998-10-15 | 2007-09-26 | 三菱電機株式会社 | 排ガス処理方法および装置 |
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111127A (ja) * | 1984-11-06 | 1986-05-29 | Ebara Infilco Co Ltd | 排ガスの処理方法 |
| JPH0571724A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-23 | Ebara Infilco Co Ltd | 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 |
| CN103585864A (zh) * | 2013-07-06 | 2014-02-19 | 蒋克旭 | 一种同时脱硫脱硝的烟气净化方法 |
| JP2015016434A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-01-29 | 公立大学法人大阪府立大学 | 排ガス処理方法および排ガス処理装置 |
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| PB01 | Publication | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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