CN107151104A - 一种tft‑lcd玻璃基板蚀刻液添加剂 - Google Patents

一种tft‑lcd玻璃基板蚀刻液添加剂 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种TFT‑LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其是由以下成份按照重量百分比组成：羧酸酯与羧酸的混合物32‑44％、次氯酸钠15‑18％、增粘剂9‑16％、表面活性剂7‑11％、促进剂10‑12％、整平剂5‑9％、稳定剂8‑14％。本发明添加剂配制蚀刻溶液，使用寿命长，工艺稳定；本发明添加剂配制蚀刻溶液，蚀刻的板面，光滑平整，不需要后续加工；本发明添加剂配制蚀刻溶液可稳定蚀刻速度恒定，提高蚀刻系数比及均匀性，同时配合促进剂可以提升蚀刻速度；有效降低盐酸的使用量，在工艺上有利于生产效率，且经济实用，配制方法简单，蚀刻过程中不产生有害气体。

Description

一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂
技术领域
本发明涉及TFT-LCD技术领域，具体涉及一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂。
背景技术
TFT-LCD玻璃基板生产过程中，酸性蚀刻是一个重要的步骤。随着蚀刻的进行，蚀刻液中铜离子浓度越来越高，蚀刻速度越来越慢，如果不更换会严重影响蚀刻进度及质量。酸性蚀刻废液不仅含有大量铜离子，还含有其他有价值的化学物质。因此厂家基本上都会自行处理或者委托有资格的商家进行回收处理。
现有蚀刻液在生产使用过程中存在以下不足之处：1、价格贵；2、寿命短，蚀刻量少；3、蚀刻的板面容易出现粗大的麻点，需要后续加工；4、进行大表面阴纹版面蚀刻时，边缘部位较难蚀刻出坡度。
发明内容
本发明旨在提供了一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂。
本发明提供如下技术方案：
一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其是由以下成份按照重量百分比组成：羧酸酯与羧酸的混合物32-44％、次氯酸钠15-18％、增粘剂9-16％、表面活性剂7-11％、促进剂10-12％、整平剂5-9％、稳定剂8-14％。
所述羧酸和羧酸酯为C2-24直链或带有支链的羧酸和对应羧酸酯。
所述整平剂为氨基三乙醇、聚乙烯亚胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸钠和羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐中的一种或几种组合。
所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠和壬基酚聚氧乙烯醚中一种或几种组合。
一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂的制备方法，包括：(1)按上述重量百分比将羧酸酯与羧酸的混合物与次氯酸钠混合，在温度低于80℃下搅拌30-45min；(2)向(1)中溶液中加入增粘剂、表面活性剂，然后搅拌，使液体均匀；(3)向(2)中溶液中加入促进剂、整平剂、稳定剂，然后在温度40-60℃的情况下搅拌10-30min，使液体混合均匀，即得。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明添加剂配制蚀刻溶液，使用寿命长，工艺稳定；本发明添加剂配制蚀刻溶液，蚀刻的板面，光滑平整，不需要后续加工；本发明添加剂配制蚀刻溶液可稳定蚀刻速度恒定，提高蚀刻系数比及均匀性，同时配合促进剂可以提升蚀刻速度；有效降低盐酸的使用量，在工艺上有利于生产效率，且经济实用，配制方法简单，蚀刻过程中不产生有害气体。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其是由以下成份按照重量百分比组成：羧酸酯与羧酸的混合物32％、次氯酸钠15％、增粘剂9％、表面活性剂7％、促进剂10％、整平剂5％、稳定剂8％。
所述羧酸和羧酸酯为C2-24直链或带有支链的羧酸和对应羧酸酯。
所述整平剂为氨基三乙醇、聚乙烯亚胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸钠和羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐中的一种或几种组合。
所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠和壬基酚聚氧乙烯醚中一种或几种组合。
一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂的制备方法，包括：(1)按上述重量百分比将羧酸酯与羧酸的混合物与次氯酸钠混合，在温度低于80℃下搅拌30-45min；(2)向(1)中溶液中加入增粘剂、表面活性剂，然后搅拌，使液体均匀；(3)向(2)中溶液中加入促进剂、整平剂、稳定剂，然后在温度40-60℃的情况下搅拌10-30min，使液体混合均匀，即得。
实施例2一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其是由以下成份按照重量百分比组成：羧酸酯与羧酸的混合物44％、次氯酸钠18％、增粘剂16％、表面活性剂11％、促进剂12％、整平剂9％、稳定剂14％。
所述羧酸和羧酸酯为C2-24直链或带有支链的羧酸和对应羧酸酯。
所述整平剂为氨基三乙醇、聚乙烯亚胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸钠和羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐中的一种或几种组合。
所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠和壬基酚聚氧乙烯醚中一种或几种组合。
一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂的制备方法，包括：(1)按上述重量百分比将羧酸酯与羧酸的混合物与次氯酸钠混合，在温度低于80℃下搅拌30-45min；(2)向(1)中溶液中加入增粘剂、表面活性剂，然后搅拌，使液体均匀；(3)向(2)中溶液中加入促进剂、整平剂、稳定剂，然后在温度40-60℃的情况下搅拌10-30min，使液体混合均匀，即得。
实施例3一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其是由以下成份按照重量百分比组成：羧酸酯与羧酸的混合物38％、次氯酸钠16％、增粘剂14％、表面活性剂9％、促进剂11％、整平剂7％、稳定剂11％。
所述羧酸和羧酸酯为C2-24直链或带有支链的羧酸和对应羧酸酯。
所述整平剂为氨基三乙醇、聚乙烯亚胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸钠和羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐中的一种或几种组合。
所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠和壬基酚聚氧乙烯醚中一种或几种组合。
一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂的制备方法，包括：(1)按上述重量百分比将羧酸酯与羧酸的混合物与次氯酸钠混合，在温度低于80℃下搅拌30-45min；(2)向(1)中溶液中加入增粘剂、表面活性剂，然后搅拌，使液体均匀；(3)向(2)中溶液中加入促进剂、整平剂、稳定剂，然后在温度40-60℃的情况下搅拌10-30min，使液体混合均匀，即得。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于所述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是所述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其特征在于，其是由以下成份按照重量百分比组成：羧酸酯与羧酸的混合物32-44％、次氯酸钠15-18％、增粘剂9-16％、表面活性剂7-11％、促进剂10-12％、整平剂5-9％、稳定剂8-14％。
2.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其特征在于：所述羧酸和羧酸酯为C2-24直链或带有支链的羧酸和对应羧酸酯。
3.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其特征在于：所述整平剂为氨基三乙醇、聚乙烯亚胺烷基化合物、N,N-二甲基二硫代甲酰胺丙烷磺酸钠和羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐中的一种或几种组合。
4.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂，其特征在于：所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠和壬基酚聚氧乙烯醚中一种或几种组合。
5.一种如权利要求1所述的TFT-LCD玻璃基板蚀刻液添加剂的制备方法，其特征在于，包括：(1)按上述重量百分比将羧酸酯与羧酸的混合物与次氯酸钠混合，在温度低于80℃下搅拌30-45min；(2)向(1)中溶液中加入增粘剂、表面活性剂，然后搅拌，使液体均匀；(3)向(2)中溶液中加入促进剂、整平剂、稳定剂，然后在温度40-60℃的情况下搅拌10-30min，使液体混合均匀，即得。
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