CN107148568A - 使用THz频段的检查装置 - Google Patents

使用THz频段的检查装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107148568A
CN107148568A CN201580055107.9A CN201580055107A CN107148568A CN 107148568 A CN107148568 A CN 107148568A CN 201580055107 A CN201580055107 A CN 201580055107A CN 107148568 A CN107148568 A CN 107148568A
Authority
CN
China
Prior art keywords
thz
paper
wave
ripples
check device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201580055107.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107148568B (zh
Inventor
小山裕
五井广
五井广一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Laurel Precision Machines Co Ltd
Original Assignee
Laurel Precision Machines Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Laurel Precision Machines Co Ltd filed Critical Laurel Precision Machines Co Ltd
Publication of CN107148568A publication Critical patent/CN107148568A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107148568B publication Critical patent/CN107148568B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
    • G01N22/02—Investigating the presence of flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/34—Paper
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/34—Paper
    • G01N33/346—Paper sheets
    • G—PHYSICS
    • G07—CHECKING-DEVICES
    • G07D—HANDLING OF COINS OR VALUABLE PAPERS, e.g. TESTING, SORTING BY DENOMINATIONS, COUNTING, DISPENSING, CHANGING OR DEPOSITING
    • G07D7/00—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency
    • G07D7/06—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency using wave or particle radiation
    • G07D7/12—Visible light, infrared or ultraviolet radiation
    • G—PHYSICS
    • G07—CHECKING-DEVICES
    • G07D—HANDLING OF COINS OR VALUABLE PAPERS, e.g. TESTING, SORTING BY DENOMINATIONS, COUNTING, DISPENSING, CHANGING OR DEPOSITING
    • G07D7/00—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency
    • G07D7/06—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency using wave or particle radiation
    • G07D7/12—Visible light, infrared or ultraviolet radiation
    • G07D7/121—Apparatus characterised by sensor details
    • G—PHYSICS
    • G07—CHECKING-DEVICES
    • G07D—HANDLING OF COINS OR VALUABLE PAPERS, e.g. TESTING, SORTING BY DENOMINATIONS, COUNTING, DISPENSING, CHANGING OR DEPOSITING
    • G07D7/00—Testing specially adapted to determine the identity or genuineness of valuable papers or for segregating those which are unacceptable, e.g. banknotes that are alien to a currency
    • G07D7/181—Testing mechanical properties or condition, e.g. wear or tear
    • G07D7/189—Detecting attached objects, e.g. tapes or clips
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
    • G01N2021/8917—Paper, also ondulated

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Inspection Of Paper Currency And Valuable Securities (AREA)

Abstract

本发明的检查装置(1)具备：THz波照射部(3)，其对被检查物(2)照射THz波；THz波探测部(5)，其检测被照射到被检查物(2)上的THz波的透射波(4)或反射波(22)；以及信息处理部(10)，其基于被照射THz波的被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度数据，得到被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度分布，信息处理部(10)获取透射波(4)或反射波(22)的二维强度分布，通过对检测没有附着异物(7)的被检查物(2)时得到的强度分布与在检查时检测被检查物(2)时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的被检查物(2)上是否附着有异物(7)。被检查物例如是纸张类。对于附着在被检查物上的异物(7)，信息处理部(10)也可以根据基于异物(7)的折射率与没有附着异物(7)的被检查物(2)的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。

Description

使用THz频段的检查装置
技术领域
本发明涉及一种使用THz频段的检查装置，特别涉及能够容易地检测出附着在被检查物上的异物的使用THz频段的检查装置。
背景技术
例如像纸币那样的纸张类，由于每次使用时反复折叠，所以有时因长年的使用纸张类的一部分产生破损。这时，存在使用者在破损部位粘贴胶带等进行修复的情况。此外，还担心对纸张类因挖补等而粘贴胶带等来进行伪造。这样的纸张类已经不是正常的纸张类。
以往，为了将粘贴有胶带等的纸张类与其他正常的纸张类区分开，以接触式的机械方式测量微小的胶带厚度之差，从而掌握胶带的粘贴状況，但是存在如下等缺点：在胶带极薄的情况下会出现漏检，或者因机械接触而引起纸张类的破损。
于是，近年来，使用THz频段的物质检查方法快速发展起来。THz频段也被称作THz波，波长为10mm～25μm，即频率为30GHz(1GHz为109Hz)～12THz的频段，具有以往的电波和光两方面的性质。THz波也被称作太赫兹光、太赫兹电磁波。
在专利文献1中公开了如下检查装置：将THz波照射到纸张类上，对因来自纸张类正面的THz波的反射波与来自纸张类背面的THz波的反射波之间的相位差而引起的干涉的强度进行检测，来检测纸张类的厚度和粘贴在纸张类上的异物。
在专利文献1公开的检查装置中，使1个波长固定激光和1个波长可变激光入射到辐射用光导(光电导)天线，通过辐射用光导(光电导)天线，产生与这些激光的频率差相当的THz波。
在专利文献2中公开了如下装置：将THz波照射到纸张类上，基于因来自纸张类正面的THz波的反射波与来自纸张类背面的THz波的反射波的相位差而引起的干涉的强度或振幅反射率，来求取纸张类的折射率。
在专利文献2公开的检查装置中，将第一及第二的1.5μm频段的通信用DFB激光，经由光纤或光纤耦合器进行混合，入射到第一发射器及第二发射器，通过第一发射器及第二发射器产生与第一及第二通信用DFB激光的频率差相当的THz波。第一发射器及第二发射器例如包括UTC-PD(单行载流子光探测器，uni-traveling-carrier photodiode)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009-300279号公报
专利文献2：日本特开2011-34173号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在以往的使用THz波的测量中，检查装置比较复杂，还达不到通过检查来分辨在纸张类上是否粘贴有胶带类的程度。
本发明的目的在于提供一种使用THz频段的检查装置，能够以非接触方式高速及高效且容易地进行附着在被检查物上的异物的检测，例如纸张类上是否粘贴有胶带类的检测，而且成本很低。
用于解决问题的手段
本发明的检查装置，其具备：THz波照射部，其对被检查物照射THz波；THz波探测部，其检测被照射到被检查物上的THz波的透射波或反射波；以及信息处理部，其基于被照射THz波的被检查物的透射波或反射波的强度数据，来得到被检查物的透射波或反射波的强度分布，信息处理部获取透射波或反射波的二维强度分布，通过对检测没有附着异物的被检查物时得到的强度分布与在检查时检测被检查物时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的被检查物上是否附着有异物。
在上述结构中，对于附着在被检查物上的异物，信息处理部可以根据基于异物的折射率与没有附着异物的被检查物的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。
本发明的另一检查装置，其具备：纸张类输送部，其输送纸张类；THz波照射部，其沿着与纸张类输送部的移动方向正交的方向照射THz波；THz波探测部，其检测被照射到纸张类上的THz波的透射波或反射波；以及信息处理部，其基于在与移动方向正交的方向上被照射THz波的纸张类的透射波或反射波的强度数据，得到纸张类的透射波或反射波的强度分布，信息处理部获取透射波或反射波的二维强度分布，通过对检测没有附着异物的纸张类时得到的强度分布与在检查时检测纸张类时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的纸张类上是否附着有异物。
在上述结构中，对于附着在纸张类上的异物，信息处理部可以根据基于异物的折射率与没有附着异物的纸张类的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。
在上述结构中，THz波照射部优选包括：THz波振荡器、以及扫描从THz波振荡器照射的THz波的聚光用光学部件和扫描元件。扫描元件优选是检流镜、多角镜、数字镜元件中的任意一个。
THz波照射部优选包括多个THz波振荡器和多个光学部件。
THz波探测部优选包括THz波探测器、以及对被照射到纸张类上的THz波的透射波或反射波进行聚光的聚光用光学部件。
聚光用光学部件优选选自菲涅耳透镜、凸透镜、凹透镜及镜子。
THz波探测部优选包括多个THz波探测器和多个光学部件。
信息处理部优选具备用不同的灰度二维地显示基于透镜效应而产生的强度变化的功能。
异物例如是粘接带等树脂制的膜。
在被检查物或纸张类的上表面及下表面可以配置有可透过THz波的树脂或玻璃。
THz波照射部优选具备多个频率的THz波振荡器。
从THz波照射部照射到被检查物或纸张类的THz波和入射到THz波探测器的THz波的偏振方向可以被控制。
发明效果
本发明能够提供一种检查装置，能够以非接触方式明确且高速地检查粘贴在被检查物、例如纸币那样的纸张类等上的胶带等，不会产生使用以往的机械强触方法时频繁发生的纸张类的破损。
附图说明
图1是用于说明本发明的第一实施方式涉及的检查装置的图。
图2是用于说明测量时所用的纸张类上的修补胶带的粘贴位置的图。
图3是示出由本发明的检查装置获取的透过纸张类的THz波的二维强度分布的一个例子的图，(a)是二维强度分布，(b)是(a)的A-A’方向的强度分布，(c)是(a)的B-B’方向的强度分布。
图4是示出被照射THz波的介质的截面的图。
图5是用于说明与本发明的第一实施方式不同的检查装置的图。
图6是用于说明60GHz的反射测量时所用的纸张类上的修补胶带的粘贴位置的图。
图7是示出在60GHz获取的新加坡元纸币的反射波的二维强度分布的一个例子的图，(a)是二维强度分布，(b)是(a)的A-A’方向的强度分布，(c)是(a)的B-B’方向的强度分布。
图8是用于说明本发明的第二实施方式涉及的检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。
图9是用于说明本发明的第二实施方式涉及的另一检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。
图10是用于说明本发明的第三实施方式涉及的检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。
图11是用于说明本发明的第三实施方式的变形例1涉及的检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。
图12是用于说明本发明的第三实施方式的变形例2涉及的检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。
图13是用于说明本发明的第三实施方式的变形例3涉及的检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。
图14是用于说明本发明的第三实施方式的变形例4涉及的检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。
图15是用于说明本发明的第三实施方式的变形例5涉及的检查装置的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。
图16是示出由使用90GHz的透射波的检查装置获取的透过新加坡元纸币的90GHz的二维强度分布的等高线级数为16的图，(a)是二维强度分布，(b)是(a)的A-A’方向的强度分布，(c)是(a)的B-B’方向的强度分布。
图17是示出由使用90GHz的透射波的检查装置获取的透过新加坡元纸币的90GHz波的二维强度分布的等高线级数为6的图，(a)是二维强度分布，(b)是(a)的A-A’方向的强度分布，(c)是(a)的B-B’方向的强度分布。
图18是用于说明复印纸上的胶带的粘贴位置(Y方向粘贴)的图。
图19是示出在复印纸上平行地粘贴修补胶带和透明胶带(cellophane tape)并改变90GHz的透射波的入射角度时的透射波的二维强度的图，(a)示出0°及5°，(b)示出10°及15°，(c)示出20°及25°，(d)示出30°及35°。
图20是用于说明复印纸上的胶带的粘贴位置(X方向粘贴)的图。
图21是示出入射角度为15°且Y方向偏振时的、透过图20所示的复印纸的90GHz的二维强度分布的图。
图22是示出入射角度为45°且Y方向偏振时的、透过图20所示的复印纸的90GHz的二维强度分布的图。
图23是示出入射角度为15°且X方向偏振时的、透过图20所示的复印纸的90GHz的二维强度分布的图。
图24是示出入射角度为45°且X方向偏振时的、透过图20所示的复印纸的90GHz的二维强度分布的图。
图25是示出入射角为45°且X方向偏振时的、被图18所示的复印纸反射的90GHz的二维强度分布的图。
图26是示出入射角为15°且Y方向偏振时的、透过图18所示的粘贴有胶带的高质纸的140GHz的二维强度分布的图。
图27是示出入射角为45°且Y方向偏振时的、被图18所示的高质纸反射的140GHz的二维强度分布的图。
附图标记说明
1：第一实施方式涉及的检查装置
2：被检查物
2a：新加坡元纸币
2b：复印纸
3、33、63、73、83、93、103、113：THz波照射部
3a、33a、63a～63d、73a～73d、83a、93a、103a～103e、113a～113e、113a’～113e’：THz波振荡器
3c、33c：从THz波振荡器照射的THz波
3e、35a、55a、65a、75a：聚光用光学部件
3f：被聚光的THz波
4、34：透射波
4a：透射波
5、35、55、65、75、85、95、105、115：THz波探测部
5a：透镜
5c、35c、55c、65c、75c、85a～85d、95a～95d、105a～105e、115a～115e：THz波探测元件
7：异物
7a：修补胶带
7b：透明胶带
8：树脂膜
8a：第一光学用树脂膜
8b：第二光学用树脂膜
10、40：信息处理部
10a、40a：A/D转换器
10b、40b：输入输出接口(I/O)
10c、40c：显示器
10d、40d：存储装置
12：第一介质
13：第二介质
14：第三介质
15：第四介质
16：第五介质
17：第六介质
18：第七介质
20：第一实施方式涉及的另一个检查装置
22、52：反射波
30、50：第二实施方式涉及的检查装置
32：纸张类输送部
32a：控制电路
33d、83d、93d：扫描元件
33e、63e、73e、83e、93e、103f、113f：透镜
33f、83f、93f：菲涅耳透镜
33s：由扫描元件扫描的THz波
35b、65b、75b、85e、95e、105f、115f：透镜
60、70、80、90、100、110：第二实施方式涉及的检查装置
38：玻璃
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的实施方式，但本发明的范围不限于实施方式，能够适当变更。特别是，关于附图中记载的各部件的形状、尺寸、位置关系等，仅示出概念性的事项，能够根据其应用的场合进行变更。在各图中，对相同或对应的部件、单元标注相同的附图标记。
(第一实施方式)
图1是用于说明本发明的第一实施方式涉及的检查装置1的图。
如图1所示，本发明的检查装置1包括：THz波照射部3，对被检查物2照射THz波；THz波探测部5，对照射到被检查物2的THz波的透射波4进行检测；以及信息处理部10，基于被照射THz波的被检查物2的透射波4的强度数据，来得到被检查物2的透射波4的强度分布。被检查物2例如是纸张类。附着在被检查物2上的异物7例如是树脂性胶带。在本说明书中，设被检查物2为纸张类、异物7为树脂性胶带来进行说明。
THz波照射部3包括THz波振荡器3a、以及使从THz波振荡器3a照射的THz波3c聚光于被检查物2的聚光用光学部件3e。在本发明中，THz波3c的频率为30GHz(GHz为109Hz)～12THz的频段。
作为THz波振荡器3a所用的振荡元件，能够使用耿氏(Gunn)二极管、IMPATT(碰撞雪崩渡越时间)二极管、隧道渡越时间(TUNNETT)二极管等各种二极管、包含Si、GaAs或InP这样的化合物半导体的晶体管。作为振荡元件，也可以使用包括上述二极管、晶体管的集成电路。作为这样的集成电路，例如有包含GaAs等化合物半导体的集成电路、或者使用Si或SiGe的CMOS集成电路。使用Si的CMOS集成电路也被称作毫米波CMOSIC。
从THz波振荡器3a照射的THz波3c经由作为聚光用光学部件3e的透镜照射到纸张类2上。作为聚光用光学部件3e，能够使用菲涅耳透镜、凸透镜、凹透镜等或者使用镜子的聚光器。作为镜子能够使用半透镜或抛物面反射镜等。作为透镜3e的材料，能够使用氟树脂或玻璃等。从THz波振荡器3a照射的THz波3c，优选相对于纸张类2的垂直方向(厚度方向)带有入射角度(θ)地照射。θ为0度时是垂直入射。在垂直入射或接近垂直入射的情况下，会出现因来自纸张类2的反射波与入射波发生干涉而引起的透射强度的周期性强度图案，成为识别粘贴物时的障碍，所以不优选。该入射角度能够设为几度～50度。入射角度优选大致10度以上。
被聚光的THz波3f透射纸张类2后，经由作为聚光用光学部件的透镜5a入射到用于检测透射波4的THz波探测部5中。作为透镜5a，能够使用菲涅耳透镜、凸透镜、凹透镜等或者使用镜子的聚光器。作为镜子，能够使用半透镜或抛物面反射镜等。作为透镜或镜子的材料，能够使用氟树脂或玻璃等。作为THz波探测部5，能够使用能检测透过纸张类的THz波4的元件或THz波接收电路。作为THz波探测部5所用的THz波探测元件5c，能够使用点接触二极管或肖特基势垒二极管、接收用IC。接收用IC能够使用外差或零差检波方式。在接收用IC为零差检波方式的情况下，也可以将从THz波照射部3的THz波振荡器3a分支的信号作为接收用IC的局部振荡器用信号。
用于得到被检查物2的透射波4的强度分布的信息处理部10包括微处理器、微控制器等微型计算机或个人计算机。来自THz波探测部5的输出经由A/D转换器10a或输入输出接口(I/O)10b输入到微型计算机或个人计算机。也可以根据需要具备显示器10c、存储装置10d。
信息处理部10能够获取透射波4的二维强度分布，通过对检测没有附着异物7的纸张类时得到的强度分布、与在检查时检测纸张类2时得到的检查时强度分布进行比较，能够检测出在检查时的被检查物2上是否附着有异物7。
信息处理部10也可以将预先测量在检测没有附着异物7的纸张类2的透射波4时获取的二维强度分布所得到的数据作为参照数据，存储在信息处理部10的存储装置10d中。也可以将与纸张类2的种类相对应的多个参照数据存储在信息处理部10的存储装置10d中。
(90GHz的透射波的测量例)
对图1的检查装置1的测量例进行说明。
作为THz波振荡器3a，使用90GHz的连续振荡(CW振荡)的耿氏二极管振荡器(SPACEK LABS公司制，型号GW-900P)。耿氏二极管振荡器的输出约10mW。来自耿氏二极管振荡器3a的THz波3c的输出由特氟隆(注册商标)制的透镜3e聚光，照射到新加坡元纸币2a上。透过新加坡元纸币2a的THz波4由特氟隆(注册商标)制的透镜5a聚光，并由肖特基势垒二极管(millitech公司制，型号DXP-10-RPF0)检测出透过的THz波4的强度。
为了容易地保持新加坡元纸币2a的位置等，在新加坡元纸币2a的两面均配置有可透过THz波的光学用树脂膜8a、8b。作为光学用树脂膜8a、8b，使用环烯烃聚合物(Cycloolefin polymer)(日本瑞翁(Zeon Corporation)制，ZEONEX(注册商标))。
图2是用于说明测量时所用的纸张类上的修补胶带7a的粘贴位置的图。如该图所示，在新加坡元纸币2a的正面和背面粘贴有64mm×18mm的修补胶带7a。新加坡元纸币2a的宽度是64mm，每隔2mm测量约70mm(X方向)×60mm(Y方向)的范围的透射波4的强度分布。新加坡元纸币2a的厚度是约0.1mm(100μm)。纸张类2的输送方向为Y方向，但是也可以为X方向。
图3示出由本发明的检查装置1获取的透过纸张类2的THz波的二维强度分布的一个例子，(a)是二维强度分布，(b)是(a)的A-A’方向的强度分布，(c)是(a)的B-B’方向的强度分布。
最初，获取对新加坡元纸币2a照射THz波时的透射波4的二维强度分布。
其次，在新加坡元纸币2a的正面和背面的相同位置，作为异物7，粘贴有宽度约64mm、长度约18mm的修补胶带7a。获取粘贴有修补胶带7a时的透射波4a的二维强度分布。
图3(a)示出将对仅新加坡元纸币2a时的透射波4的二维强度分布与粘贴有修补胶带7a时的透射波4a的二维强度分布进行比较而得到的强度分布用8级等高线表示。在该图中，颜色深的部位是透射波4a的强度增加的部位，对应于在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a的部位。修补胶带7a由醋酸纤维素薄膜(acetate film)等形成。
图3(b)所示的A-A’方向的强度分布是粘贴有修补胶带7a的新加坡元纸币2a的宽度方向(X方向)的强度分布，可知在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a的部位透射波4a的强度较大。
图3(c)所示的B-B’方向的强度分布是粘贴有修补胶带7a的新加坡元纸币2a的与宽度方向垂直的方向(Y方向)的强度分布，可知在粘贴有修补胶带7a的部位透射波4a的强度较大，在新加坡元纸币2a上没有粘贴修补胶带7a的部位透射波4a的强度较低。
对如图2及图3所说明的那样在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a作为异物7的情况下透射光4a的强度提高的理由进行说明。
图4是示出被照射THz波的介质的截面的图。THz波依序通过：作为第一介质12的空气(折射率：n0)、作为第二介质13的配置在新加坡元纸币2a的正面侧的第一光学用树脂膜8a(折射率：n1)、作为第三介质14的粘贴在新加坡元纸币2a的正面侧的修补胶带7a(折射率：n2)、作为第四介质15的新加坡元纸币2a(折射率：n3)、作为第五介质16的粘贴在新加坡元纸币2a的背面侧的修补胶带7a(折射率：n2)、作为第六介质17的配置在新加坡元纸币2a的背面侧的第二光学用树脂膜8b(折射率：n1)、以及作为第七介质18的空气(折射率：n0)。
上述介质的折射率为如下的值。
作为第一及第七介质12、18的空气的折射率(n0)＝1
作为第二及第六介质13、17的光学用树脂膜8的折射率(n1)＝1.53
作为第三及第五介质14、16的修补胶带7a的折射率(n2)＝1.57
作为第四介质15的新加坡元纸币2a的折射率(n3)＝1.45～1.5
粘贴在新加坡元纸币2a的两面上的作为第三及第五介质14、16的修补胶带7a的折射率(n2＝1.57)、以及作为第二及第六介质13、17的第一及第二光学用树脂膜8a、8b的折射率(n1＝1.53)都大于新加坡元纸币2a的折射率(n3＝1.45～1.5)。因此，推定为，粘贴在新加坡元纸币2a的两侧的作为第三及第五介质14、16的修补胶带7a的折射率(n2＝1.57)起到透镜的作用，透射波4a的强度增大。也就是说，如附着在纸张物2上的修补胶带7a这样的异物7能够根据强度变化而检测出，该强度变化是基于异物7的折射率与没有附着异物7的被检查物2的折射率之差的透镜效应而产生的。
另外，作为第二及第六介质13、17的第一及第二光学用树脂膜8a、8b用于支承新加坡元纸币2a。即使没有第一及第二光学用树脂膜8a、8b也能够产生上述的透镜效应。
图5是用于说明本发明的第一实施方式涉及的另一检查装置20的图。
该检查装置20与图1的检查装置1的不同之处在于，THz波探测部5不检测THz波透过纸张类2的透射波4、4a，而是检测反射波22。其他方面与图1的检查装置1相同，所以省略说明。
上述检查装置20测量被照射到纸张类2上的THz波的反射波22，但是与上述的透射波4的测量同样，附着在纸张类2上的修补胶带7a这样的异物7能够根据强度变化而检测出，该强度变化是基于异物7的折射率与没有附着异物7的被检查物2的折射率之差的透镜效应而产生的。
(60GHz时的反射波的测量例)
对上述检查装置20的测量例进行说明。
图6是用于说明60GHz的反射测量时所用的纸张类上的修补胶带7a的粘贴位置的图。在新加坡元纸币2a的正面和背面，在扫描范围的大致中央的左侧及右侧、右角和下部中央的一部分粘贴有修补胶带7a。修补胶带7a的大小是18mm×20mm。每隔2mm测量图6所示的70mm×80mm的范围内的反射波22的强度分布。
作为THz波振荡器3a，使用60GHz的连续振荡(CW振荡)的耿氏二极管振荡器(型号GDO-15-6013R)。耿氏二极管振荡器3a的输出约为10mW。除了相对于45°的入射角度测量45°的反射波以外，与图2的透射波4的测量同样地进行测量。反射波的测量使用60GHz用的肖特基势垒二极管(SPACEK LABS公司制，型号DV-2N)。
为了容易地保持新加坡元纸币2a的位置等，在新加坡元纸币2a的背面配置有可透过THz波的包含环烯烃聚合物(cycloolefin polymer)(日本瑞翁制，ZEONEX(注册商标))的光学用树脂膜8。
图7是示出以60GHz获取的新加坡元纸币2a的反射波22的二维强度分布的图，(a)是二维强度分布，(b)是(a)的A-A’方向的强度分布，(c)是(a)的B-B’方向的强度分布。
最初，获取对新加坡元纸币2a照射THz波时的反射波22的二维强度分布。
其次，获取在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a时的反射波22a的二维强度分布。
图7(a)是将对仅新加坡元纸币2a的反射波22的二维强度分布与粘贴有修补胶带7a时的反射波22的二维强度分布进行比较而得到的强度分布用8级等高线表示的图。在该图中，颜色深的部位是透射波4的强度增加的部位，对应于在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a的四个部位。
图7(b)所示的A-A’方向(X方向)的一维强度分布是修补胶带7a在新加坡元纸币2a的宽度方向上的强度分布，可知在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a的部位反射波22a的强度较高。
图7(c)所示的B-B’方向的强度分布是修补胶带7a在与新加坡元纸币2a的宽度方向垂直的方向(Y方向)上的强度分布，可知在粘贴有修补胶带7a的部位反射波22a的强度较高，在新加坡元纸币2a上没有粘贴修补胶带7a的部位反射波22a的强度较低。
透射波4、反射波22的强度因纸张类2的厚度、材质、异物7的厚度、材质等而变化。此外，透射波4、反射波22的强度根据所用的THz波的频率、偏振方向、THz波相对于纸张类2的入射角度而变化。因此，优选根据要检查的纸张类2或要检测的异物7，通过所使用的频率、偏振、相对于纸张类2的入射角度中的任意一项或它们的组合来进行调整。THz波振荡器3a也可以具备能够产生多个频率的THz振荡器，以使得在改变纸张类2的情况下能够产生最适于各纸张类2的THz波。根据入射到纸张类2的THz波的偏振进行调整，以使得THz波探测部5的偏振状态也能够灵敏度良好地检测即可。
(第二实施方式)
接着，作为本发明的第二实施方式，对能够在将纸张类2在与宽度方向垂直的方向(Y方向)上输送的同时进行扫描来检测附着在纸张类2上的异物7的检查装置30进行说明。
图8是用于说明本发明的第二实施方式涉及的检查装置30的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。该检查装置30包括：纸张类输送部32，输送纸张类2；THz波照射部33，在与纸张类输送部32的移动方向正交的方向上照射THz波；THz波探测部35，检测照射到纸张类2上的THz波的透射波34；以及信息处理部40，基于在与纸张类输送部32的输送方向正交的方向上被照射THz波的纸张类2的透射波34的强度数据，得到纸张类2的透射波34的强度分布。
如图8所示，THz波照射部33包括THz波振荡器33a、以及对从THz波振荡器33a照射的THz波33c进行扫描的扫描元件33d。THz波振荡器33a中的来自使用耿氏二极管的振荡器的THz波33a(33c)被透镜33e等聚光，通过扫描元件33d在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上从左端扫描到右端，进而经由菲涅耳透镜33f等照射到由纸张类输送部32输送的纸张类2上。
作为扫描元件33d，能够使用检流镜(galvano mirror)、多角镜(polygonmirror)、数字镜(digital Mirror)元件中的任一种。
菲涅耳透镜33f具有如下功能：使由扫描元件33d扫描的THz波33s具有相对于垂直方向稍稍带有角度的入射角(θ)而作为平行的透射光34照射到纸张类2上。在此，所谓“相对于垂直方向稍稍带有角度的入射角”优选为上述的几度(°)～50°，更优选为大致10°～50°。
透过纸张类2的THz波34经由聚光用光学部件35a和透镜35b，被包括肖特基势垒二极管等的THz波探测元件35c检测。作为透镜35b，能够使用菲涅耳透镜、凸透镜、凹透镜等、或者使用镜子的聚光器。作为镜子，能够使用半透镜或抛物面反射镜等。
作为聚光用光学部件35a，能够使用菲涅耳透镜等。菲涅耳透镜具有如下功能：使以规定的角度透过纸张类2而成为平行的透射光的THz波34聚光到透镜35b上。
纸张类输送部32包括用于输送纸张类2的未图示的输送机构。纸张类输送部32沿着与用THz波扫描纸张类2的X方向垂直的方向、即纸张类2的Y方向(参照图2)输送纸张类2。在纸张类输送部32中，作为用于输送纸张类2的部件的材料，能够使用树脂或玻璃38。也就是说，为了输送纸张类，在纸张类2的上表面和/或下表面配置包含可透过THz波的材料的部件。作为玻璃38，能够使用可透过THz波的无机玻璃或有机玻璃。为了使透射波34或后述的反射波52的强度因上述的基于折射率差的透镜效应而增大，优选树脂或玻璃38的折射率大于纸张类2的折射率。扫描方向为纸张类2的Y方向，但也可以是X方向。
信息处理部40通过对检测在纸张类2上没有附着异物7的纸张类2时得到的透射波34的二维强度分布、与在检查时检测附着有异物7的纸张类2时得到的透射波34a的二维强度分布进行比较，能够检测在纸张类2上是否附着有异物7。
图9是用于说明本发明的第二实施方式涉及的另一检查装置50的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。
该检查装置50与图8所示的检查装置30的不同之处在于检测THz波的反射波52。检测THz波的反射波52的THz波探测部55，是经由被纸张类2反射的THz透射波52的聚光用光学部件55a和透镜55b，通过包括肖特基势垒二极管等的检测THz波的反射波52的THz波探测元件55c来检测的。THz波探测部55的结构与图8的THz波探测部35相同，但是配置在纸张类输送部32的上部侧。其他结构与图8所示的检查装置30相同，所以省略说明。
在图8、图9的第二实施方式涉及的检查装置30、50中，与检查装置1、20同样，信息处理部40包括微处理器、微控制器或个人计算机。来自THz波探测部55的输出经由A/D转换器40a或输入输出接口(I/O)40b输入到微处理器或个人计算机。信息处理部40还可以具备显示器40c或存储装置40d。
对信息处理部40输入来自THz波探测部55的输出、以及来自纸张类输送部32的关于纸张类2的输送位置等的信息。
在从THz波照射部33照射的THz波在纸张类2的宽度方向(X方向)上从左端扫描到右端时，纸张类输送部32将纸张类2输送到下一扫描位置。也就是说，纸张类2沿着Y方向移动而到达下一扫描位置。该纸张类2的移动能够通过未图示的包括传送带和马达的输送机构或使用步进马达的输送机构来进行。
各纸张类2的Y方向的输送可以根据纸张类2是否通过要被扫描的位置来判断。纸张类2在Y方向上的通过能够由纸张类输送部32具备的光耦合器或光遮断器检测。
当纸张类2在Y方向上的通过从纸张类的一端进行到另一端时，基于此前输出的THz透射波34或反射波52的强度信号，来计算透过纸张类2或被纸张类2反射的THz波的二维强度分布。
这样，信息处理部40被输入来自THz波探测部35、55的输出、以及从纸张类输送部32的控制电路32a被输入来自纸张类输送部32的关于纸张类2的输送位置等的信息，输出基于来自通过纸张类输送部32的纸张类2的、THz波的透射波34或反射波52而得到的二维强度分布。
在根据基于来自通过纸张类输送部32的纸张类2的、THz波的透射波34或反射波52而得到的二维强度分布判断为不是正常的纸张类2的情况下，判断为异常，可以在回收部中回收。
根据该检查装置30、50，若用一台THz波振荡器33a扫描纸张类2的一边(X方向)，并且使纸张类2沿着另一边(Y)的方向依次移动，则能够基于入射到纸张类2的二维透射波34或反射波52的二维强度分布，以非接触的方式高速及高效且容易地进行附着在纸张类2上的异物7的检测，并且成本很低。因此，由于能够通过一台THz波振荡器33a扫描纸张类2的一边，所以不需要为了扫描设置多个THz波振荡器、THz波探测器。
(第三实施方式)
接着，对使用多个THz波振荡器或多个THz波探测器的检查装置进行说明。
图10是用于说明本发明的第三实施方式涉及的检查装置60的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。该检查装置60与图8所示的检查装置30同样是检测透射波34的结构，但是不同之处在于具备包括多个THz波振荡器63a～63d的THz波照射部63。由于其他结构与图8所示的检查装置30相同，所以省略说明。
具体而言，THz波照射部63包括多个THz波振荡器63a、63b、63c、63d、以及插入到多个THz波振荡器63与纸张类输送部32之间的透镜63e。来自各THz波振荡器63a、63b、63c、63d的THz波被所对应的各透镜63e聚光，在由纸张类输送部32输送的纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上照射。
多个THz波振荡器63a、63b、63c、63d也可以由信息处理部40进行控制，以使得在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上按规定顺序进行脉冲振荡。例如，按照THz波振荡器63a、63b、63c、63d的顺序使它们进行脉冲振荡，接着将纸张类2沿着输送方向(图2的Y方向)输送规定距离之后，再次依序使THz波振荡器63a、63b、63c、63d进行脉冲振荡。通过反复进行该操作，能够二维地扫描纸张类2。
THz波探测部65的结构与图8的THz波探测部35同样地构成，是经由包括菲涅耳透镜等的聚光用光学部件65a和透镜65b，用包括作为THz波检测元件65c的肖特基势垒二极管等的THz波探测部65来检测的。由于其他结构与图8所示的检查装置30相同，所以省略说明。
在THz波探测部65中，来自在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上配置的各THz波振荡器63a、63b、63c、63d的THz波的透射波34顺序入射，二维地扫描纸张类2，由此能够得到THz波的透射波34的二维信号分布。
根据第三实施方式涉及的检查装置60，THz波照射部63包括多个THz波振荡器63a、63b、63c、63d和多个透镜63e，由于是不包括扫描元件的结构，所以能够实现小型化。并且，由于不使用具有驱动部的扫描元件，所以可靠性提高。
(第三实施方式的变形例1)
图11是用于说明本发明的第三实施方式的变形例1涉及的检查装置70的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。该检查装置70与图9所示的检查装置50同样是检测反射波52的结构，不同之处在于具备包括多个THz波振荡器的THz波照射部73。由于其他结构与图9所示的检查装置50相同，所以省略说明。
具体而言，THz波照射部73包括多个THz波振荡器73a、73b、73c、73d、以及插入到多个THz波振荡器73与纸张类输送部32之间的透镜73e。来自各THz波振荡器73a、73b、73c、73d的THz波被透镜73e聚光，在由纸张类输送部32输送的纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上照射。
多个THz波振荡器73a、73b、73c、73d也可以由信息处理部40进行控制，以使得在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上依序进行脉冲振荡。例如，按照THz波振荡器73a、73b、73c、73d的顺序使它们进行脉冲振荡，接着将纸张类2沿着输送方向(图2的Y方向)输送规定距离之后，再次使THz波振荡器73a、73b、73c、73d依序进行脉冲振荡。通过反复进行该操作，能够二维地扫描纸张类2。
THz波探测部75的结构与图8的THz波探测部35同样，使用包括菲涅耳透镜等的聚光用光学部件75a、透镜75b、以及作为THz波探测元件75c的肖特基势垒二极管，THz波探测部75配置在纸张类输送部32的上方以便检测THz波的反射波52。
在THz波探测部75中，来自在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上配置的各THz波振荡器73a、73b、73c、73d的THz波的反射波52顺序入射，二维地扫描纸张类2，由此能够得到THz波的反射波52的二维信号分布。
根据该检查装置70，THz波照射部73包括多个THz波振荡器73a、73b、73c、73d和多个透镜73e，是不包括扫描元件的结构，所以能够实现小型化，并且由于不使用具有驱动部的扫描元件，所以可靠性提高。
在上述检查装置70中，检测来自纸张类2的正面的THz波的反射波52，但是为了进一步检测来自纸张类2的背面的THz波的反射波，还可以在纸张类输送部72的下部侧另外设置THz波照射部73及THz波探测部75。
(第三实施方式的变形例2)
图12是用于说明本发明的第三实施方式的变形例2涉及的检查装置80的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。该检查装置80与图8所示的检查装置30同样具有检测透射波34的结构。THz波照射部83与图8所示的使用THz频段的检查装置30同样地构成，但是在THz波探测部85具备多个THz波探测元件85a、85b、85c、85d这一点上与图8所示的检查装置30不同。
THz波探测部85配置在纸张类输送部32的下方，与THz波被扫描而透过纸张类2的位置相对应地，配置有多个透镜85e和作为多个THz波探测元件85a、85b、85c、85d的肖特基势垒二极管。
根据上述检查装置80，用一台THz波振荡器83a扫描纸张类2的一边(X方向)，透过纸张类的THz波由作为THz波探测元件85a、85b、85c、85d的各肖特基势垒二极管来检测。若使纸张类2在另一边(Y)的方向上依次移动，则能够基于入射到纸张类2的二维透射波34的二维强度分布，以非接触的方式高速及高效且容易地进行附着在纸张类2上的异物7的检测。
根据上述检查装置80，THz波探测部85使用多个THz波探测元件85a、85b、85c、85d和多个透镜85e，但由于不使用菲涅耳透镜那样的光学部件，所以能够实现小型化。
(第三实施方式的变形例3)
图13是用于说明本发明的第三实施方式的变形例3涉及的检查装置90的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。该检查装置90与图9所示的检查装置50同样具有检测反射波52的结构。THz波照射部93与图9所示的检查装置50同样地构成，但是在THz波探测部95具备多个THz波探测元件95a、95b、95c、95d这一点上与图9所示的检查装置50不同。
THz波探测部95为了检测反射波52而配置在纸张类输送部32的上方，在被扫描的反射波52的位置配置有多个透镜95e和作为多个THz波探测元件95a、95b、95c、95d的肖特基势垒二极管。
根据该检查装置90，用一台THz波振荡器93a扫描纸张类2的一边(X方向)，被纸张类反射的THz波由作为THz波探测元件95a、95b、95c、95d的各肖特基势垒二极管来检测。若使纸张类2在另一边(Y)的方向上依次移动，则能够基于被纸张类反射的反射波52的二维强度分布，以非接触的方式高速及高效且容易地进行附着在纸张类2上的异物7的检测。
根据上述检查装置90，THz波探测部95使用多个THz波探测元件95a、95b、95c、95d和多个透镜95e，但由于不使用菲涅耳透镜那样的光学部件，所以能够实现小型化。
在检查装置90中，构成为检测来自纸张类2的正面的反射波52，但是为了检测来自纸张类2的背面的反射波，还可以在纸张类输送部32的下部侧另外设置THz波照射部93及THz波探测部95。
(第三实施方式的变形例4)
图14是用于说明本发明的第三实施方式的变形例4涉及的检查装置100的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图。该检查装置100与图8所示的检查装置30同样具有检测透射波34的结构，包括配置在纸张类输送部32的上方的具有多个THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e的THz波照射部103、以及具有多个THz波探测器105a、105b、105c、105d、105e的THz波探测部105等。
具体而言，THz波照射部103与图10所示的检查装置60同样，包括多个THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e、以及配置在该THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e与纸张类输送部32之间的对应的多个透镜103f。
THz波探测部105与图12所示的检查装置80同样，在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上的被照射透射波34的各位置，配置有多个透镜105f和作为多个THz波探测元件105a、105b、105c、105d、105e的肖特基势垒二极管。
多个THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e也可以由信息处理部40进行控制，以使得在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上按规定顺序进行脉冲振荡。例如，按照THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e的顺序使它们进行脉冲振荡，接着将纸张类2沿着输送方向(图2的Y方向)输送规定的距离之后，再次使THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e依序进行脉冲振荡。通过反复进行该操作，能够二维地扫描纸张类2。
在THz波探测部105中，来自在纸张类2的宽度方向(图2的X方向)上配置的各THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e的THz波的透射波34入射到所对应的THz波探测元件105a、105b、105c、105d、105e，二维地扫描纸张类2，由此能够得到THz波的透射波34的二维信号分布。
根据上述检查装置100，THz波照射部103包括多个THz波振荡器103a、103b、103c、103d、103e和多个透镜103f，由于是不包括扫描元件的结构，所以能够实现小型化。并且，由于不使用具有驱动部的扫描元件，所以可靠性提高。此外，THz波探测部105包括多个THz波探测器105a、105b、105c、105d、105e和多个透镜105f，由于是不包括聚光用光学部件的结构，所以能够实现小型化，并且可靠性提高。
(第三实施方式的变形例5)
图15是用于说明本发明的第三实施方式的变形例5涉及的检查装置110的图，(a)是主视图，(b)是右侧视图，(c)是后视图。该检查装置110与图11所示的检查装置70同样具有检测反射波52的结构，为了检查纸张类2的正面侧及背面侧，其包括第一及第二THz波照射部113A、113B和第一及第二THz波探测部115A、115B等。
第一THz波照射部113A与图11所示的THz波照射部73同样地构成，包括THz波振荡器113a、113b、113c、113d、113e和多个透镜113f。同样，第二THz波照射部113B包括THz波振荡器113a’、113b’、113c’、113d’、113e’和多个透镜113f。
第一THz波探测部115A与图14所示的THz波探测部105同样地构成，包括THz波探测元件115a、115b、115c、115d、115e和多个透镜115f。同样，第二THz波探测部115B包括THz波探测元件115a’、115b’、115c’、115d’、115e’和多个透镜115f。
为了检查纸张类2的正面侧及背面侧，控制部40控制第一及第二THz波照射部113A、113B，被输入来自第一及第二THz波照射部113A、113B的照射定时(timing)信号。
在将纸张类2的上方作为纸张类2的正面的情况下，从第一THz波照射部113A照射并被纸张类2的正面反射的THz波由第一THz波探测部115A来检测。
由此，对于位于纸张类2的正面的异物7，从第一THz波照射部113A照射并被纸张类2的正面反射的THz波，由第一THz波探测部115A检测，通过控制部40获取THz频段的反射波52的二维强度分布。
从配置在纸张类输送部32的下部的第二THz波照射部113B照射THz波。被纸张类2的背面反射的THz波由第二THz波探测部115B来检测。由此，对于位于纸张类2的背面的异物7，从第二THz波照射部113B照射并被纸张类2的背面反射的THz波，由第二THz波探测部115B检测，通过控制部40获取THz频段的反射波52的二维强度分布。
根据该检查装置110，能够检测粘贴在纸张类2的正面及背面的异物7。
另外，由第一THz波照射部113A进行的THz波的照射和由第一THz波探测部115A进行的THz反射波的检测、以及由第二THz波照射部113B进行的THz波的照射和由第二THz波探测部115B进行的THz反射波的检测，按照规定顺序反复地进行照射和检测。
根据上述检查装置110，第一及第二THz波照射部113A、113B和第一及第二THz波探测部115A、115B，由于是不包括扫描元件的结构，所以能够实现小型化，并且由于不使用具有驱动部的扫描元件，所以可靠性提高。
以下，通过实施例更详细地说明本发明，但是本发明不限于这些实施例。
实施例1
(透射波检测中的灰度效应)
对由图2～图3说明的使用90GHz的透射波4的检查装置1的、二维强度分布中的灰度效应进行说明。
图16是示出由使用90GHz的透射波4的检查装置1获取的、透过新加坡元纸币2a的90GHz的二维强度分布的等高线级数为16的图，(a)是二维强度分布，(b)是A-A’方向的强度分布，(c)是B-B’方向的强度分布。照射新加坡元纸币2a的THz波的照射条件与图2同样使用90GHz，得到仅新加坡元纸币2a时与在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a时的透射波4的强度之差，作为THz波的二维强度分布。
图16(b)所示的A-A’方向的强度分布是修补胶带7a在新加坡元纸币2a的宽度方向(X方向)上的强度分布，可知在新加坡元纸币2a上粘贴有修补胶带7a的部位透射波4a的强度较高。在THz波的二维强度分布中，由于等高线级数为16，所以也能够判别修补胶带7a内的透射波4a的强度分布。
图16(c)所示的B-B’方向的强度分布是修补胶带7a在与新加坡元纸币2a的宽度方向垂直的方向(Y方向)上的强度分布，可知在粘贴有修补胶带7a的部位透射波4a的强度较高，在新加坡元纸币2a上没有粘贴修补胶带7a的部位透射波4a的强度较低。
图17是示出由使用90GHz的透射波4的检查装置1获取的、透过新加坡元纸币2a的90GHz波的二维强度分布的等高线级数为6的图，(a)是二维强度分布，(b)是A-A’方向的强度分布，(c)是B-B’方向的强度分布。
如该图所示，在90GHz的二维强度分布中，等高线级数为6，所以修补胶带7a的位置一眼就能够判别。因此，在判别在新加坡元纸币2a上是否有如修补胶带7a这样的异物7的情况下，可知如图17所示那样将等高线级数设定为6也是足够的。
(使入射角度从0°～35°变化时的透射波强度关系)
在90GHz时，测量使入射到纸张类的角度(θ)从0°～35°变化时的透射波4的强度。
图18是用于说明复印纸上的胶带的粘贴位置(Y方向粘贴)的图。如该图所示，设纸张类2为复印纸2b，与复印纸2b的长度方向(Y方向)平行地粘贴有宽度为18mm的修补胶带7a和宽度为10mm的透明胶带7b。与图1、图2、图3中说明的90GHz的透射波的测量同样地，测量使入射角度从0°～35°变化时的透射波的二维强度。
图19是如图18那样在复印纸上平行地粘贴修补胶带和透明胶带，并使90GHz的透射波的入射角度变化时的透射波的二维强度的图，(a)示出0°及5°，(b)示出10°及15°，(c)示出20°及25°，(d)示出30°及35°。10°～35°的坐标与0°时相同。图中示出的透射波强度，在黑的部位较强，在白的部位较弱。
从图19明确可知，在入射角度为0°的垂直入射和5°的情况下，来自修补胶带7a及透明胶带7b的透射波的强度较弱而难以判别。另一方面，在入射角度为10°以上时，来自修补胶带7a及透明胶带7b的透射波的强度增大，一眼就可知粘贴有这些胶带。
如上所述，在垂直入射或接近垂直入射的情况下，会出现因来自纸张类2的反射波与入射波发生干涉而引起的透射强度的周期性强度图案，成为识别粘贴物7时的障碍，所以不优选。根据图19的结果，也优选入射角度(θ)为大致10°以上。
(入射角度与透射波强度的关系)
测量使90GHz的THz波入射到纸张类的角度(θ)变化时的透射波4的强度。
图20是用于说明复印纸2b上的胶带的粘贴位置(X方向粘贴)的图。如图20所示，设纸张类2为复印纸2b，在其两面，与X方向(方向)平行地粘贴有40mm×15mm及10mm×15mm的透明胶带7a和50mm×18mm及5mm×18mm的修补胶带7b。
图21是示出入射角度为15°且Y方向偏振时的、透过图20所示的复印纸2b的90GHz的二维强度分布的图。照射复印纸2b的THz波的照射条件与图1同样使用90GHz，得到仅复印纸2b时与在复印纸2b上粘贴有胶带时的透射波4的强度之差，作为THz波的二维强度分布。使用耿氏二极管的振荡器3a和肖特基势垒二极管5c的波导方向以成为相同的偏振方向的方式设定。使用耿氏二极管的振荡器3a和肖特基势垒二极管5c的波导都使用波导管和与波导管连接的喇叭天线。
如图21所示，在入射角度为15°时的THz波的二维强度分布中，等高线级数为12、8、4中的任何一个的情况下，都能够明确地判别粘贴在复印纸2b上的胶带的存在。图21的等高线级数为8及4的坐标与等高线级数为12时相同。其他图只要不特别说明就是同样的。
图22是示出入射角度为45°且Y方向偏振时的、透过图20所示的复印纸2b的90GHz的二维强度分布的图。测量条件除了将入射角度设定为45°以外与图21相同。如该图所示，在入射角度为45°时的90GHz的二维强度分布中，等高线级数为12、8、4中的任意一个的情况下，都能够明确地判别粘贴在复印纸2b上的胶带的存在。
从图21及图22得到的90GHz的二维强度分布因将入射角度变化为15°和45°而发生变化，可以判明的是，在等高线级数为4的情况下，也能够明确地判别粘贴在复印纸2b上的胶带的存在。
(偏振效应)
测量在向纸张类2照射THz波时改变偏振时的透射波强度。
复印纸2b上的胶带的粘贴位置与图20相同，与图21的情况进行比较，除了使偏振方向为在垂直方向(90°)上偏移的X方向偏振以外，与图21同样地测量透过复印纸2b的THz波的二维强度分布。
图23是示出入射角度为15°且X方向偏振时的、透过图20所示的复印纸2b的THz波的二维强度分布的图。如该图所示，可知在入射角度为15°时的THz波的二维强度分布中，在等高线级数为12、8、4中的任意一个的情况下，都能够判别粘贴在复印纸2b上的胶带的存在，但是比图21难判别。也就是说，得到与图21不同的THz波的二维强度分布。由此，可知通过控制入射到复印纸2b的THz波的偏振方向，使透过复印纸2b的THz波的二维强度分布发生变化。
图24是示出入射角度为45°且X方向偏振时的、透过图20所示的复印纸2b的THz波的二维强度分布的图。如该图所示，可知在入射角度为45°时的THz波的二维强度分布中，在等高线级数为12、8、4中的任意一个的情况下，都能够判别粘贴在复印纸2b上的胶带的存在，但是比图22难判别。也就是说，得到与图22不同的THz波的二维强度分布。由此，可知通过控制入射到复印纸2b的THz波的偏振方向，使透过复印纸2b的THz波的二维强度分布发生变化。
可以判明的是，从图23及图24得到的THz波的二维强度分布与图21及图22的Y方向偏振时的数据明显不同，根据入射到复印纸2b的THz波的偏振方向而发生变化。
实施例2
(90GHz时的反射测量)
接着，说明90GHz时进行反射测量的实施例2。
作为THz波振荡器3a，使用90GHz的连续振荡(CW振荡)的耿氏二极管振荡器，从相对于纸张类2的纸面垂直方向为45°的方向入射，测量反射波22。使用耿氏二极管的振荡器3a和肖特基势垒二极管5c的波导的方向是与图23相同的偏振方向。
图25是示出入射角度为45°且X方向偏振时的、被图18所示的复印纸2b反射的90GHz的二维强度分布的图。胶带的粘贴部位与图18相同。如图18所示，设纸张类2为复印纸2b，在其两面，粘贴有10mm×70mm的大小的透明胶带7b和18mm×70mm的大小的修补胶带7a。扫描范围为70mm(X方向)×70mm(Y方向)，每隔2mm测量反射波22的强度分布。
如图25所示，在入射角度为45°时的90GHz波的反射波22的二维强度分布中，等高线级数为12、8、4中的任意一个的情况下，90GHz波的来自胶带的反射波22的强度都比来自复印纸2b的反射波22的强度弱。可知能够明确地判别粘贴在复印纸2b上的胶带的存在，但是来自胶带的反射强度与60GHz的情况不同，变得比来自复印纸2b的反射强度弱。
实施例3
(140GHz时的透射测量)
接着，说明140GHz时进行透射测量的实施例3。
作为THz波振荡器3a，使用140GHz的连续振荡(CW振荡)的、采用IMPATT二极管的振荡器(ELVA-1公司制，型号CIDO-06/140/20)，从相对于纸张类2的纸面垂直方向为15°的方向入射，测量透射波4。输出为大致10mW。使用IMPATT二极管的振荡器3a和肖特基势垒二极管5c(ELVA-1公司制，型号ZBD-06)的波导的方向是与图21相同的偏振方向。其他条件与90GHz的透射波4的测量相同。
设纸张类2为高质纸，在其两面的与图18相同的位置，以长度方向为Y方向的方式粘贴有10mm×70mm的大小的透明胶带7b和18mm×70mm的大小的修补胶带7a。扫描范围为70mm(X方向)×70mm(Y方向)，每隔2mm测量透射波4a的强度分布。
图26是示出入射角度为15°且Y方向偏振时的、透过图18所示的粘贴有胶带的高质纸的140GHz的二维强度分布的图。图26的坐标中，纸面上下方向是X方向，纸面左右方向是Y方向。
如图26所示，在入射角度为15°时的140GHz波的透射波4a的二维强度分布中，等高线级数为12、8、4中的任意一个的情况下，虽然90GHz时来自胶带的透射波4a的强度比复印纸2b的透射波4a的强度强，但是140GHz波时来自胶带的透射波4a的强度都变得比来自高质纸的透射波4的强度弱。在等高线级数为4的情况下，在Y方向上粘贴的透明胶带7b和修补胶带7a的位置明确可知。可知能够明确地判别粘贴在高质纸上的胶带的存在，但是来自胶带的透射波的强度与90GHz的情况不同，变得比来自高质纸的透射波的强度弱。
从图26的结果可知，通过照射到复印纸或高质纸的THz波的频率发生变化，来自复印纸或高质纸的透射波的强度与粘贴在复印纸或高质纸上的胶带的透射波的强度之间的关系发生变化，但是其存在是能够明确地判别的。
实施例4
(140GHz时的反射测量)
接着，说明140GHz时进行反射测量的实施例4。
140GHz时的反射测量，除了从相对于纸张类2的纸面垂直方向为45°的方向入射进行反射波22的测量以外，其他与90GHz的反射所涉及的实施例2相同。
使用IMPATT二极管的振荡器3a和肖特基势垒二极管5c的波导的方向，是与图21所示的透射波的测量相同的偏振方向。像图18那样在高质纸的两面，粘贴有10mm×70mm的大小的透明胶带7b和18mm×70mm的大小的修补胶带7a。扫描范围为70mm(X方向)×70mm(Y方向)，每隔2mm测量反射波22的强度分布。
图27是示出被高质纸反射的140GHz的二维强度分布的图。如该图所示，在入射角度为45°时的140GHz波的反射波22的二维强度分布中，等高线级数为12、8、4中的任意一个的情况下，虽然60GHz时来自胶带的反射波22的强度比复印纸2b的反射波22的强度强，但是140GHz波的来自胶带的反射波22的强度都变得比来自高质纸2b的反射波22的强度弱。可知能够明确地判别粘贴在高质纸上的透明胶带7b和修补胶带7a的存在，但是来自这些胶带的反射强度与60GHz的情况不同，变得比来自高质纸的反射强度弱。
在使使用IMPATT二极管的振荡器3a和肖特基势垒二极管5c的偏振旋转90°的情况下进行反射测量。在该情况下，得到与图27所示的反射波22的二维强度分布类似的数据。
从图27的结果可知，通过使照射到复印纸或高质纸上的THz波的频率发生变化，来自复印纸或高质纸的反射波的强度与粘贴在复印纸或高质纸上的胶带的反射波的强度之间的关系发生变化，但是其存在是能够明确地判别的。
本发明不限于上述实施例，在权利要求记载的发明范围内能够进行各种变形，这些当然也包含在本发明的范围内。

Claims (15)

1.一种检查装置，其特征在于，具备：
THz波照射部，其对被检查物照射THz波；
THz波探测部，其检测被照射到所述被检查物上的所述THz波的透射波或反射波；以及
信息处理部，其基于被照射所述THz波的所述被检查物的透射波或反射波的强度数据，来得到所述被检查物的透射波或反射波的强度分布，
所述信息处理部获取所述透射波或所述反射波的二维强度分布，
通过对检测没有附着异物的所述被检查物时得到的强度分布与在检查时检测所述被检查物时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的所述被检查物上是否附着有异物。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：
对于附着在所述被检查物上的异物，所述信息处理部根据基于该异物的折射率与没有附着异物的被检查物的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。
3.一种检查装置，其特征在于，具备：
纸张类输送部，其输送纸张类；
THz波照射部，其沿着与所述纸张类输送部的移动方向正交的方向照射THz波；
THz波探测部，其检测被照射到所述纸张类的所述THz波的透射波或反射波；以及
信息处理部，其基于在与所述移动方向正交的方向上被照射THz波的所述纸张类的透射波或反射波的强度数据，得到所述纸张类的透射波或反射波的强度分布，
所述信息处理部获取所述透射波或所述反射波的二维强度分布，
通过对检测没有附着异物的所述纸张类时得到的强度分布与在检查时检测所述纸张类时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的所述纸张类上是否附着有异物。
4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于：
对于附着在所述纸张类上的异物，所述信息处理部根据基于该异物的折射率与没有附着异物的纸张类的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。
5.根据权利要求1或3所述载的检查装置，其特征在于：
所述THz波照射部包括：THz波振荡器、以及扫描从该THz波振荡器照射的THz波的聚光用光学部件和扫描元件。
6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于：
所述扫描元件是检流镜、多角镜、数字镜元件中的任意一个。
7.根据权利要求1或3所述的检查装置，其特征在于：
所述THz波照射部包括多个THz波振荡器和光学部件。
8.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于：
所述THz波探测部包括THz波探测器、以及对被照射到所述纸张类上的THz波的所述透射波或所述反射波进行聚光的聚光用光学部件。
9.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于：
所述聚光用光学部件选自菲涅耳透镜、凸透镜、凹透镜及镜子。
10.根据权利要求1或3所述的检查装置，其特征在于：
所述THz波探测部包括多个THz波探测器和光学部件。
11.根据权利要求2或4所述的检查装置，其特征在于：
所述信息处理部具备用不同的灰度二维地显示基于所述透镜效应而产生的强度变化的功能。
12.根据权利要求1或3所述的检查装置，其特征在于：
所述异物是树脂膜。
13.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于：
在所述纸张类的上表面及下表面配置有可透过THz波的树脂或玻璃。
14.根据权利要求1或3所述的检查装置，其特征在于：
所述THz波照射部具备多个频率的THz波振荡器。
15.根据权利要求1或3所述的检查装置，其特征在于：
从所述THz波照射部照射的THz波和入射到所述THz波探测器的THz波的偏振方向能够被控制。
CN201580055107.9A 2014-10-14 2015-10-09 使用THz频段的检查装置 Expired - Fee Related CN107148568B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014210329A JP6467664B2 (ja) 2014-10-14 2014-10-14 ＴＨｚ帯を用いた検査装置
JP2014-210329 2014-10-14
PCT/JP2015/078856 WO2016060094A1 (ja) 2014-10-14 2015-10-09 ＴＨｚ帯を用いた検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107148568A true CN107148568A (zh) 2017-09-08
CN107148568B CN107148568B (zh) 2020-07-10

Family

ID=55746640

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201580055107.9A Expired - Fee Related CN107148568B (zh) 2014-10-14 2015-10-09 使用THz频段的检查装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11385186B2 (zh)
EP (1) EP3208605B1 (zh)
JP (1) JP6467664B2 (zh)
KR (1) KR102012308B1 (zh)
CN (1) CN107148568B (zh)
WO (1) WO2016060094A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109343242A (zh) * 2018-11-12 2019-02-15 张家港康得新光电材料有限公司 一种测试装置和测试方法
CN110645897A (zh) * 2019-08-19 2020-01-03 深圳市矽赫科技有限公司 一种太赫兹动态检测纸张厚度的方法和设备

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7856116B2 (en) * 2004-11-09 2010-12-21 Digimarc Corporation Authenticating identification and security documents
CN107014292A (zh) * 2017-03-22 2017-08-04 安徽江南春包装科技有限公司 一种花纸观测用光焦可调的检测平台及其操作方法
JP7075632B2 (ja) * 2017-05-20 2022-05-26 ローレル精機株式会社 テラヘルツ波の照射装置を用いた紙葉類の検査装置
FR3069333B1 (fr) * 2017-07-24 2021-05-14 Terahertz Waves Tech Systeme de capture de valeurs ponctuelles pour constituer une image avec des rayonnements terahertz
JP7140319B2 (ja) * 2017-09-04 2022-09-21 日本信号株式会社 検出装置
KR102129678B1 (ko) * 2018-10-02 2020-07-03 한양대학교 산학협력단 시편 검사 장치 및 시편 검사 방법
JP7186796B2 (ja) * 2018-10-30 2022-12-09 パイオニア株式会社 電磁波発生装置及び電磁波発生システム
JP7256047B2 (ja) * 2019-03-25 2023-04-11 グローリー株式会社 電磁波検出装置、媒体処理装置及び電磁波検出方法
KR102580727B1 (ko) * 2021-11-02 2023-09-22 기산전자(주) 지폐 정사기와 그 제어 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070195921A1 (en) * 2006-02-15 2007-08-23 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus for detecting information on object
JP2009300279A (ja) * 2008-06-13 2009-12-24 Glory Ltd テラヘルツ光を用いた紙葉類の検査方法および検査装置
JP2011034173A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Glory Ltd テラヘルツ光を用いた紙葉類の真偽判別方法および装置
JP2013228329A (ja) * 2012-04-26 2013-11-07 Jfe Steel Corp 表面検査装置および欠陥計測方法
CN103714616A (zh) * 2012-10-04 2014-04-09 起山电子株式会社 利用太赫兹电磁波的纸币识别方法及其装置
CN104180762A (zh) * 2014-09-09 2014-12-03 东莞理工学院 基于太赫兹时域光谱技术的厚度检测方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0820376B2 (ja) 1991-04-17 1996-03-04 株式会社東芝 付着物判別装置
JP3604549B2 (ja) 1997-12-12 2004-12-22 グローリー工業株式会社 紙葉類の異物判別装置
JP2000259885A (ja) 1999-03-10 2000-09-22 Hamamatsu Photonics Kk 紙葉類鑑別装置
JP4387176B2 (ja) 2003-12-12 2009-12-16 日立オムロンターミナルソリューションズ株式会社 紙幣の鑑別
DE602005007403D1 (de) * 2004-03-25 2008-07-24 Olympus Corp Scannendes konfokales Mikroskop
JP2006153789A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Institute Of Physical & Chemical Research タイヤの検査装置とタイヤの検査方法
JP4880953B2 (ja) 2005-09-08 2012-02-22 株式会社東芝 紙葉類の厚さ判別装置
JP2011220901A (ja) 2010-04-12 2011-11-04 Daiwa Can Co Ltd テラヘルツ波を用いた容器シール部の検査方法
JP6220239B2 (ja) * 2013-11-13 2017-10-25 キヤノン株式会社 電磁波検出・発生装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070195921A1 (en) * 2006-02-15 2007-08-23 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus for detecting information on object
JP2009300279A (ja) * 2008-06-13 2009-12-24 Glory Ltd テラヘルツ光を用いた紙葉類の検査方法および検査装置
JP2011034173A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Glory Ltd テラヘルツ光を用いた紙葉類の真偽判別方法および装置
JP2013228329A (ja) * 2012-04-26 2013-11-07 Jfe Steel Corp 表面検査装置および欠陥計測方法
CN103714616A (zh) * 2012-10-04 2014-04-09 起山电子株式会社 利用太赫兹电磁波的纸币识别方法及其装置
CN104180762A (zh) * 2014-09-09 2014-12-03 东莞理工学院 基于太赫兹时域光谱技术的厚度检测方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JOHN F. FEDERICI: "Review of Moisture and Liquid Detection and Mapping", 《 J INFRARED MILLI TERAHZ WAVES》 *
PETER UHD JEPSEN等: "Terahertz spectroscopy and imaging – Modern techniques", 《LASER & PHOTONICS REVIEWS》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109343242A (zh) * 2018-11-12 2019-02-15 张家港康得新光电材料有限公司 一种测试装置和测试方法
CN110645897A (zh) * 2019-08-19 2020-01-03 深圳市矽赫科技有限公司 一种太赫兹动态检测纸张厚度的方法和设备
CN110645897B (zh) * 2019-08-19 2021-08-27 深圳市矽赫科技有限公司 一种太赫兹动态检测纸张厚度的方法和设备

Also Published As

Publication number Publication date
EP3208605C0 (en) 2023-09-20
EP3208605A4 (en) 2018-02-28
JP2016080452A (ja) 2016-05-16
KR20170067806A (ko) 2017-06-16
JP6467664B2 (ja) 2019-02-13
EP3208605A1 (en) 2017-08-23
CN107148568B (zh) 2020-07-10
EP3208605B1 (en) 2023-09-20
US11385186B2 (en) 2022-07-12
US20170234807A1 (en) 2017-08-17
KR102012308B1 (ko) 2019-10-21
WO2016060094A1 (ja) 2016-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107148568A (zh) 使用THz频段的检查装置
CN207457499U (zh) 一种mems振镜同步信号反馈装置及激光雷达
CN104006741B (zh) 用于检验箱坯料的方法和检验装置
CN102272578B (zh) 太赫兹检查装置
CN104569996B (zh) 限定区域反射型光学传感器以及电子设备
US20130146770A1 (en) Terahertz continuous wave system and method of obtaining three-dimensional image thereof
CN101903758A (zh) 用于目标颗粒检测的微电子传感器装置
JPS63298115A (ja) 離れている表面までの距離を示す出力を発生する装置
CN104718447A (zh) 包装体的检查装置
JP2016080452A5 (zh)
US20060163504A1 (en) Identification sensor
Dändliker et al. Measuring microvibrations by heterodyne speckle interferometry
CN105308440A (zh) 在移动伸长织物材料中的周期性结构的检测
JP6739179B2 (ja) ＴＨｚ帯を用いた検査装置
CN109239404A (zh) 基于全光纤共光路反射式干涉仪的无孔式近场光学显微成像方法
CN107121071B (zh) 二维位移测量装置及测量方法
CN105783713B (zh) 光学位置测量装置
Oyama et al. Inspection apparatus using TH z BAND
JPH03150451A (ja) シート検査方法および装置
CN110470632A (zh) 基于激光诱导光热效应的三维吸收特性检测装置和方法
EP3276372B1 (en) Method and apparatus for sensing transparent and/or shining objects
DE60037882T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur untersuchung der strukturintegrität von durchsichtigen gegenständen
Dulik et al. Surface detection and recognition using infrared light
JP2007178284A (ja) 面状物体に埋設された物体を検出する検出装置
JPH03218441A (ja) 透明体の検出装置及び複屈折測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20200710

Termination date: 20211009

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee