JP7140319B2 - 検出装置 - Google Patents
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Description
以下、図1等を参照して、第1実施形態に係る検出装置について一例を説明する。図1は、検出装置の概略構成の一例を示す図である。本実施形態の一態様としての検出装置100は、テラヘルツ電磁波を送受信することで検出対象についての検出を行う装置であり、例えば、検出対象を非破壊検査における対象物あるいはその一部とすることで、対象物の破損の状況の検査に利用可能である。
以下、図7を参照しつつ、第2実施形態に係る検出装置について説明する。なお、本実施形態に係る検出装置は、第1実施形態の検出装置100の変形例であり、共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
この発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
Claims (8)
- 所定波長帯域として0.3THz以上の成分を含むテラヘルツ電磁波を、射出範囲を限って回折を生じさせるようにして、検出対象に向けて発信する発信部と、
前記発信部から発信され前記検出対象を経たテラヘルツ電磁波について、前記発信部における回折を利用して、前記所定波長帯域のうち0.3THzよりも高周波側の成分を受信する受信部と
を備え、
前記所定波長帯域と、前記所定波長帯域のうち前記受信部で受信する0.3THzよりも高周波側の成分と、前記発信部から発信する際に射出範囲が限られたビーム径とに応じて、光軸に沿ったテラヘルツ電磁波の進路における前記発信部から前記受信部までの距離を、0.3THzよりも高周波側と0.3THz以下の低周波側とでの進行に伴う前記ビーム径の広がり度合の差に基づき定めた、検出装置。 - 前記発信部から前記受信部までのテラヘルツ電磁波の進路中に配置され、前記所定波長帯域のうち高周波側の成分を抽出する抽出部をさらに備える、請求項1に記載の検出装置。
- 前記抽出部は、前記発信部から発信されるテラヘルツ電磁波のうち光軸中心側の成分を取り出す、請求項2に記載の検出装置。
- 前記抽出部は、テラヘルツ電磁波の一部を反射する反射部材を有する、請求項2及び3のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記発信部から前記受信部までの距離を3.6m以上とし、
前記反射部材は、テラヘルツ電磁波の透過及び反射を行うビームスプリッターを通過した成分により前記検出対象の表面をスキャンするスキャン型ミラーであり、
前記受信部は、前記ビームスプリッターにおいて反射される戻り光の成分を受信する、請求項4に記載の検出装置。 - 前記抽出部は、前記検出対象の検出位置の前段に設けられ、前記検出対象に向けてテラヘルツ電磁波を集光させる検出対象用集光レンズを有する、請求項2~5のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記抽出部は、前記検出対象の検出位置の後段に設けられ、前記検出対象を経たテラヘルツ電磁波を前記受信部に向けて集光させる受信部用集光レンズを有する、請求項2~6のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記抽出部は、テラヘルツ電磁波の一部の成分を通過させるとともに他の成分を遮蔽する絞りを有する、請求項2~7のいずれか一項に記載の検出装置。
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