CN107102251A - 新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统 - Google Patents

新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统 Download PDF

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Abstract

本发明提供了新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，其中，所述新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，包括：信号放大器及一台压电传感器，所述压电传感器与所述信号放大器信号连接；当压电传感器定位到一待测芯片后，所述压电传感器同时向所述信号放大器发送信号。在此，采用了信号放大器，由此便能减少对待测芯片的检测周期，提高检测效率，降低检测成本。

Description

新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统
技术领域
本发明涉及集成电路测试技术领域，特别涉及新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统。
背景技术
集成电路芯片(integrated circuit chip，IC芯片)的电性测试在半导体制作工艺(semiconductor process)的各阶段中都是相当重要的。每一个IC芯片都必须接受测试以确保其电性功能(electrical function)。
在集成电路芯片的测试过程中，使用的测试设备主要包括：测试机(AutomaticTest Equipment，ATE)及压电传感器(prober)。其中，测试机是用于晶圆和其他成品测试的一种专用设备，可以实现各种电性参数的测量，以检测集成电路芯片的电性功能。压电传感器是集成电路制造过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆的固定步距移动。
请参考图1，其为现有的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统的框结构示意图。如图1所示，现有的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统1包括：一台测试机10及一台压电传感器11，所述测试机10与所述压电传感器11信号连接。所述新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统1通过如下步骤实现对集成电路芯片(待测芯片)的检测：
(1)将晶圆放置在压电传感器上11，所述晶圆包括多个集成电路芯片(待测芯片)；
(2)移动压电传感器11，使得压电传感器11定位到一待测芯片，即使得待测芯片与一探针卡接触；
(3)压电传感器11向测试机10发送SOT信号(即开始测试的信号)，测试机10接收到SOT信号后对待测芯片进行电流、电压、频率等电性参数测试；
(4)测试完成后，测试机10向压电传感器11发送EOT信号(即完成测试的信号)及BIN信号(即测试结果信号)；
(5)压电传感器11接收到EOT信号及BIN信号后定位到下一个待测芯片，并重复执行步骤(3)～(4)，即进行下一个测试循环，直至完成整个晶圆的测试，此时，压电传感器11向测试机10发送waferend信号(即晶圆测试结束的信号)。
通过现有的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统能够实现对于待测芯片的电性功能检测，但是效率不高。特别的，当待测芯片中有多个功能电路需要检测，而一台测试机同一时刻只能检测其中部分功能电路时，将导致对该待测芯片的检测周期变长，从而降低了检测效率，提高了检测成本。
发明内容
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本发明采用的技术方案如下：
本发明的目的在于提供新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，以解决现有技术中新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统的检测效率低、检测成本高的问题。
为解决上述问题，本发明提供一种新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，包括：电源以及信号放大器，所述信号放大器一侧连接有输出信号转换装置，另一侧连接有压电传感器，所述信号放大器与所述输出信号转换装置之间设有调零装置。
进一步的，所述输出信号转换装置一侧连接有LCD屏幕。
进一步的，所述调零装置发出信号至输出信号转换装置，所述输出信号转换装置输出数字信号至LCD屏幕。
进一步的，所述压电传感器输出信号至信号放大器，信号放大器将信号通过输出信号转换装置转换为数字信号，进而将数字信号输出至LCD屏幕。
进一步的，还包括一分信号电路，所述分信号电路能够同时发送多个输出信号，所述压电传感器通过所述分信号电路与所述信号放大器连接。
进一步的，所述分信号电路包括一反相器及与所述反相器连接的译码器，其中，所述反相器的输入端与所述压电传感器连接，所述反相器的输出端与所述译码器连接，所述译码器的多个输出端分别与所述信号放大器连接。
在本发明提供的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，采用了信号放大器，由此便能减少对待测芯片的检测周期，提高检测效率，降低检测成本。
附图说明
图1是现有的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统的结构示意图；
图2是本发明实施例的分信号电路的结构示意图。
具体实施例
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统及测试方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参考图1和图2，其为本发明实施例的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统的框结构示意图。所述新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，包括：电源1以及信号放大器2，所述信号放大器2一侧连接有输出信号转换装置3，另一侧连接有压电传感器4，所述信号放大器2与所述输出信号转换装置3之间设有调零装置5。
在本实施例中，信号通过信号放大器2放大并输出至输出信号转换装置3，进而转换为数字信号，数字信号输出至LCD屏幕6；如需调零，则按下调零按键即可完成调零动作，有利于重新仪器重新开始工作，等待显示屏读数稳定后，可以读出所测间室内压力值。为提高准确性，减少测量误差，可以重复测量3-4次后取平均值。
在本实施例中，所述输出信号转换装置3一侧连接有LCD屏幕6。
输出信号转换装置3一侧连接有LCD屏幕6，输出信号转换装置3将接收到的信号转换为数字信号，进而将转换后的数字信号输出至LCD屏幕6中，通过LCD屏幕6中的数值来读出所测间室内压力值。
在本实施例中，所述调零装置5发出信号至输出信号转换装置3，所述输出信号转换装置3输出数字信号至LCD屏幕6。
当仪器需要调零，重新进行工作时，可以按下调零按键，调零装置5发出信号至输出信号转换装置3，输出信号转换装置3输出数字信号至LCD屏幕6上，进而可以完成调零动作，仪器重启工作。
在本实施例中，所述压电传感器4输出信号至信号放大器2，信号放大器2将信号通过输出信号转换装置3转换为数字信号，进而将数字信号输出至LCD屏幕6。
压电传感器4输出信号至信号放大器2，信号放大器2将信号放大后，通过输出信号转换装置3转换为数字信号，进而将数字信号输出至LCD屏幕6，通过LCD屏幕6上的读数读出所测间室内压力值，测量时，选择需要测量的筋膜间室，避开血管和神经，保持仪器水平，此时打开开关，按“调零”按钮使仪器调零。消毒皮肤，然后水平进针，当感到第一次落空感时，表明已刺入皮肤，继续进针，感到第二次落空感时，表明已进入筋膜室内。此时筋膜室内压力可能会迅速增加。如果显示压力无变化，可能需考虑进针位置是否准确。
等待显示屏读数稳定后，可以读出所测间室内压力值。为提高准确性，减少测量误差，可以重复测量3-4次后取平均值。
在本实施例中，还包括一分信号电路，所述分信号电路能够同时发送多个输出信号，所述压电传感器4通过所述分信号电路与所述信号放大器2连接。
所述分信号电路包括：一反相器及与所述反相器7连接的译码器，其中，所述反相器7的输入端与所述压电传感器4连接，所述反相器7的输出端与所述译码器8连接，所述译码器8的多个输出端分别与所述信号放大器2连接。
在本实施例中，所述分信号电路包括一反相器7及与所述反相器7连接的译码器8，其中，所述反相器7的输入端与所述压电传感器4连接，所述反相器7的输出端与所述译码器8连接，所述译码器8的多个输出端分别与所述信号放大器2连接。
上述反相器7的输入端作为所述分信号电路的输入端，与所述压电传感器4连接；所述译码器8的输出端作为所述分信号电路的输出端，与信号放大器2连接。
在此，选用一反相器7将所述压电传感器4发出的信号反相，之后再送给所述译码器8以得到多个输出信号提供给信号放大器2。由此，可以保证信号传递的可靠性，防止压电传感器4发出的信号由于信号抖动等原因，造成信号放大器2的误操作。
通常的，压电传感器4发出的信号是一个低电平有效的信号。因此，在本实施例中，所述反相器7选用一74LS04芯片，所述译码器8选用一2803芯片实现，其中，所述反相器7能够将接收到的低电平信号反相成高电平信号；而所述芯片又能够实现接收一高电平信号之后，同时输出多个低电平信号，从而实现将低电平的信号同时传送给信号放大器2。其中，所述2803芯片一电源管脚可与一电阻连接，优选的，所述电阻的阻值为4.7千欧。由此，可防止所述2803芯片的输出信号浮动，从而提高所述2803芯片输出信号的可靠性，进而保证所述新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统的可靠性。
以上所述实施方式仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，其特征在于，包括：电源以及信号放大器，所述信号放大器一侧连接有输出信号转换装置，另一侧连接有压电传感器，所述信号放大器与所述输出信号转换装置之间设有调零装置。
2.如权利要求1所述的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，其特征在于，所述输出信号转换装置一侧连接有LCD屏幕。
3.如权利要求1所述的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，其特征在于，所述调零装置发出信号至输出信号转换装置，所述输出信号转换装置输出数字信号至LCD屏幕。
4.如权利要求1所述的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，其特征在于，所述压电传感器输出信号至信号放大器，信号放大器将信号通过输出信号转换装置转换为数字信号，进而将数字信号输出至LCD屏幕。
5.如权利要求1所述的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，其特征在于，还包括一分信号电路，所述分信号电路能够同时发送多个输出信号，所述压电传感器通过所述分信号电路与所述信号放大器连接。
6.如权利要求5所述的新型骨筋膜室压力检测仪集成电路及输出系统，其特征在于，所述分信号电路包括一反相器及与所述反相器连接的译码器，其中，所述反相器的输入端与所述压电传感器连接，所述反相器的输出端与所述译码器连接，所述译码器的多个输出端分别与所述信号放大器连接。
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