JPS61209361A - 静電容量の測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はペレット状態での半導体装置内の微小容量を測
定する測定方法に関するものである。

（従来の技術〕 従来、拡散工程の終了した半導体装置のペレットは、そ
の電気的特性を検査して、良否判定を行うが、ペレット
の電気的特性の試験のうち微小容量の測定・検査は、半
導体装置の電気的特性を測定する従来の自動試験には、
容量を測定する機能がないため被測定容量の両端の配線
に各々針をたて、剣の両端に容量計を接続して測定して
いた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の自動試験設備では容量計が必要となシ、
これは高価で経済的でない。また、ペレットの試験は他
の電気的特性も自動試験器で測定するため、容量の試験
を全数行うとすれば、容量検査と電気的特性の検査の２
工程を行なわねばならず、工数がかかるという欠点があ
る。

との為、容量のバラツキを精度よく且つ、数多く測定す
る試験−測定方法が望まれていた。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の電気的容量の測定方法は、集積回路上の容量素
子の各電極を発振回路に接続し、この発振回路の発振周
波数の変化から容量値を推定するものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示したものである。

並列共振回路２に抵抗器３を通して信号源１を接続し、
並列共振器の両端の出力レベルが検波器７で測定できる
ように設定しておき、その時の信号源の周波数ω、出力
電圧■。、並列共振器のコイルＬ及び容量Ｃ０の関係を
ω！＝１／ＬＣ，にすれば、ペレットの微小容量６が接
続されない時は、並列共振回路の両端の電圧レベルは、
検波器で第２図に示す■。と測定される。次にペレット
内の微小容量の両端に配線された電極配線に各々針をた
て第１図のように微小容量６を接続する、この値をΔＣ
とすると、第１図の並列共振器の両端の電圧レベル■と
容量Ｃとの関係は第２図のような関係にあるので、検波
器で測定される電圧レベルはＶ、／となシ、あらかじめ
微小容量６のない状態で電圧レベルＶを測定しておけは
、検波器７のＶの値からペレット内の微小容量６を測定
できる。また、このとき静電容量Ｃ６の値はＣｏ”１／
ω２ＬでなくてＣ０〉１／ω２Ｌ又はＣｏ＜ｉ／ω＝Ｌ
でもよいことはいうまでもなく、Ｃ０近傍の領域で、曲
線の頃きが最も急のところを選ぶのがよいことがわかる
。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明は、信号源を簡単な並列共振回路
、抵抗器及び検波器でもって、ペレット状態の半導体装
置の微小容量を測定出来る。特に並列共振回路及び検波
器等は被測定半導体装置の近くに作れるので、半導体装
置の電気的特性を測定する自動試験器を利用して、本発
明にもとづいて微小容量の試験器をつくることができる
。また、この試験器で他の電気的特性を測定できるよう
Ｋしておけば従来のようにペレットの微小容量を容量計
で測定した後に、自動試験器で他の電気的特性を測定す
るような工数のかかることはせずＫすみ、一度に、自動
試験器でペレット内の微小容量と他の電気的特性を測定
出きかつ容量計が必要なくなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明する回路図である。 第２図は本発明の詳細な説明するための並列共振回路の
両端の信号電圧レベルと容量値との関係を示すグラフで
ある。 １・・・・・・信号源、２・・・・・・並列共振回路、
３・・・・・・抵抗器、４・・・・・・コイル、５・・
・・・・静電容量、６・・・・・・ペレット内の微小容
量、７・・・・・・検波器。 茶　ｌ　図 ＄　２　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ペレット状態の半導体装置内の微小容量の両端の電極配
   線に各々針をたて、その２つの針を信号源につながる並
   列共振回路に並列に接続し、その共振回路の両端の信号
   レベルがペレット内の微小容量によって変化することを
   利用し、その信号レベルを検波器で検出することにより
   、ペレット内の微小容量を測定する静電容量の測定方法
   。