CN107089053A - 安装基板制造系统及其下支撑构件的设置方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供安装基板制造系统及其下支撑构件的设置方法。安装基板制造系统具备：下支撑构件；对基板和所述下支撑构件进行搬运的搬运部；设于所述搬运部的下方且能够相对于所述下支撑构件拆装的下支撑构件设置部；对所述基板的上表面实施规定的处理的基板处理部；具有相互不同的第一接受位置和第二接受位置的搬入侧分配部；向所述第一接受位置供给所述基板的基板供给部；以及向所述第二接受位置供给所述下支撑构件的下支撑构件供给部。所述搬运部将从所述下支撑构件设置部拆卸下来的所述下支撑构件交接于所述搬入侧分配部。所述搬入侧分配部使从所述搬运部交接来的所述下支撑构件位于所述第二接受位置，以便能够从所述第二接受位置搬出。

Description

安装基板制造系统及其下支撑构件的设置方法

技术领域

本发明涉及对基板实施丝网印刷、部件的装配等规定的处理的安装基板制造系统以及该安装基板制造系统中的下支撑构件的设置方法。

背景技术

以往，在对基板进行丝网印刷、部件的装配等规定的处理的安装基板制造系统中，以稳定地进行对基板的处理为目的，对成为处理对象的基板的下表面进行支承。在该基板的支承中使用的下支撑构件根据基板的尺寸、下表面的状态(例如，已经安装于基板的下表面的部件的配置状态)等而形状、大小等不同，在切换要生产的基板的种类时，根据成为处理对象的基板而需要进行替换下支撑构件的换批调整作业。替换该下支撑构件的换批调整作业绝大多数是手工作业，牵涉到作业工时的增大。因此，已知如下的方法：在预先准备了与基板的种类相应的多个下支撑构件的基础上，根据成为处理对象的基板而自动地更换这些下支撑构件。例如，日本专利第3499759号公报公开有如下内容：将能够保持下支撑构件的载体供给至搬运部内，通过该供给来的载体而进行下支撑构件的供给和回收。

发明内容

安装基板制造具备：下支撑构件；对基板和所述下支撑构件进行搬运的搬运部；设于所述搬运部的下方且能够相对于所述下支撑构件拆装的下支撑构件设置部；对所述基板的上表面实施规定的处理的基板处理部；具有相互不同的第一接受位置和第二接受位置的搬入侧分配部；向所述第一接受位置供给所述基板的基板供给部；以及向所述第二接受位置供给所述下支撑构件的下支撑构件供给部。所述搬入侧分配部将供给至所述第二接受位置的所述下支撑构件交接于所述搬运部。所述搬运部在从所述搬入侧分配部交接之后将所述下支撑构件搬运至作业位置。所述下支撑构件设置部将搬运至所述作业位置的所述下支撑构件固定于所述下支撑构件设置部。所述搬入侧分配部将供给至所述第一接受位置的所述基板交接于所述搬运部。所述搬运部将从所述搬入侧分配部交接来的所述基板搬运至所述作业位置。所述下支撑构件对搬运至所述作业位置的所述基板的下表面进行支承。所述基板处理部在所述下支撑构件设置于所述下支撑构件设置部且所述下支撑构件支承着所述基板的所述下表面的状态下，对所述基板的所述上表面实施所述规定的处理。所述搬运部将从所述下支撑构件设置部拆卸下来的所述下支撑构件交接于所述搬入侧分配部。所述搬入侧分配部使从所述搬运部交接来的所述下支撑构件位于所述第二接受位置，以便能够从所述第二接受位置搬出。

该安装基板制造能够不妨碍基板的供给而设置下支撑构件。

附图说明

图1是示出实施方式中的安装基板制造系统的概要结构的俯视图。

图2是实施方式中的安装基板制造系统具备的丝网印刷装置的侧视图。

图3是实施方式中的安装基板制造系统具备的丝网印刷装置的下支撑构件的附近的侧剖视图。

图4是一并示出实施方式中的安装基板制造系统具备的丝网印刷装置的下支撑构件和下支撑构件设置部的侧剖视图。

图5是示出实施方式中的安装基板制造系统具备的丝网印刷装置的动作系统的框图。

图6A～图6C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行丝网印刷作业时的动作说明图。

图7A和图7B是通过实施方式中的安装基板制造系统进行丝网印刷作业时的动作说明图。

图8是通过实施方式中的安装基板制造系统进行丝网印刷作业时的动作说明图。

图9A～图9C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行丝网印刷作业时的动作说明图。

图10A和图10B是一并示出实施方式中的安装基板制造系统具备的丝网印刷装置的下支撑构件和载体的立体图。

图11A～图11C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行下支撑构件的设置作业时的动作说明图。

图12A～图12C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行下支撑构件的设置作业时的动作说明图。

图13A～图13C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行下支撑构件的设置作业时的动作说明图。

图14A～图14C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行下支撑构件的回收作业时的动作说明图。

图15A～图15C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行下支撑构件的回收作业时的动作说明图。

图16A～图16C是通过实施方式中的安装基板制造系统进行下支撑构件的回收作业时的动作说明图。

具体实施方式

在日本专利第3499759号公报所记载的装置中，载体按照与基板完全相同的路径被输送至搬运部，因此为了将自动设置的下支撑构件供给至搬运部内而进行自动设置，需要使基板供给部对基板的供给暂时地停止。因此，对基板的处理作业中断，可能导致基板的生产性降低。

以下，参照附图，对发明的实施方式进行说明。图1示出实施方式中的安装基板制造系统1。安装基板制造系统1对基板2实施丝网印刷处理和部件的装配处理而制造安装基板，且具备基板供给部11、搬入侧中继输送机12、丝网印刷装置13、搬出侧中继输送机14、部件安装装置15以及下支撑构件储料器16(下支撑构件供给部)。基板2的流动是从作业者OP观察到的左方朝向右方的方向，并将该方向设为X轴方向。另外，将从作业者OP观察到的前后方向设为Y轴方向、将上下方向设为Z轴方向。

基板供给部11设于安装基板制造系统1的最上游工序侧，并连续地供给基板2。搬入侧中继输送机12设于基板供给部11的下游工序侧，将基板供给部11供给的基板2搬运至下游工序侧的丝网印刷装置13。

如图1所示，丝网印刷装置13在基台21上具备搬入侧分配部22、印刷执行部23、搬出侧分配部24。印刷执行部23设于基台21的中央部，搬入侧分配部22设于基台21上的印刷执行部23的左侧的区域(印刷执行部23的上游工序侧)。另外，搬出侧分配部24设于基台21上的印刷执行部23的右侧的区域(印刷执行部23的下游工序侧)。

在图1中，搬入侧分配部22在沿Y轴方向排列设定的多个接受位置中任一处位置接受从上游工序侧供给来的搬运对象物，并将该接受的搬运对象物交接于印刷执行部23的(详细而言为后述的搬运部44的)左端侧的搬运部入口。在本实施方式中，搬入侧分配部22接受搬运对象物的接受位置为，靠近作业者OP侧的接受位置P1(图1中由虚线表示)、和远离作业者OP侧的接受位置P2(图1中由虚线表示)这两处位置，接受位置P1与搬运部入口一致。

基板供给部11经由搬入侧中继输送机12而向接受位置P1供给基板2。因此，搬入侧分配部22在接受位置P1处接受到搬运对象物(在此为基板2)的情况下，使该基板2直接位于搬运部入口。即，在本实施方式中，基板供给部11向搬入侧分配部22具备的多个接受位置中的接受位置P1供给作为搬运对象物的基板2。

在图2中，印刷执行部23具备在基台21上设置的基板保持单元31、掩模32以及刮板头33。基板保持单元31具备：在基台21上设置的XYZ旋转台41；借助XYZ旋转台41而能够进行水平面内的移动、升降移动以及绕Z轴的旋转的基座部42；在基座部42具有的一对搬运部支承壁43上安装的搬运部44以及一对夹紧构件45；在搬运部44的下方设置的下支撑构件设置部46；装卸自如地设置在下支撑构件设置部46的上表面上的下支撑构件47；以及使下支撑构件设置部46(即下支撑构件47)相对于基座部42升降的升降机构48。掩模32以及刮板头33构成对下表面被下支撑构件47支承的基板2的上表面实施规定的处理的基板处理部。

在图2中，搬运部44具有在Y轴方向上对置设置的一对输送机44a。一对夹紧构件45被夹紧构件驱动部45M驱动而以相互接近或分离的方式进行工作。搬运部44通过搬入侧分配部22接受位于搬运部入口(接受位置P1)的搬运对象物而进行搬运，并进行该搬运对象物向规定的作业位置Pw的定位和搬出。

如图2以及图3所示，掩模32在基板保持单元31的上方被保持为水平姿态。掩模32由例如金属制的平板状构件构成，在其中央部设有与在基板2的上表面上形成的多个电极(未图示)分别对应的图案开口(未图示)。刮板头33构成为，在被头驱动机构33M驱动而在掩模32的上方沿Y轴方向移动的刮板基座33b上，具备在Y轴方向上对置设置的两个刮板33k、以及使各刮板33k相对于刮板基座33b升降的两个工作缸33s。

如图3以及图4所示，下支撑构件47是具有内部空间47S的中空的箱状构件，且由磁性体材料构成。下支撑构件47是对由搬运部44定位于作业位置Pw的作为搬运对象物的基板2的下表面进行支承的构件，在本实施方式中，成为在支承由搬运部44定位于作业位置Pw的基板2的下表面的同时进行吸附的结构。

下支撑构件47的顶板51的上表面是与基板2的下表面接触的面，且具备向上方开口的多个吸附孔51a。下支撑构件47的底板52的下表面是与下支撑构件设置部46的上表面接触的面，且具备向下方开口的多个配管连接孔52a。

在图3以及图4中，在下支撑构件设置部46的内部形成有真空抽吸用配管53，在下支撑构件设置部46的上表面上形成有真空抽吸用配管53的出口即真空抽吸开口53a。当在下支撑构件设置部46设置下支撑构件47时，真空抽吸开口53a被下支撑构件47的底板52闭合(图4)。

在图3中，真空抽吸用配管53通过在下支撑构件设置部46的外部延伸的外部配管53G而与真空源VP相连，在外部配管53G夹装有控制阀54。当在下支撑构件设置部46上设置有下支撑构件47的状态下真空源VP通过外部配管53G以及真空抽吸用配管53而吸出空气时，利用真空抽吸开口53a所产生的真空抽吸力将下支撑构件47固定于下支撑构件设置部46。通过驱动控制阀54来调节真空抽吸开口53a所产生的真空抽吸力的大小，能够调整下支撑构件47的保持力，此外，通过驱动控制阀54来将真空抽吸用配管53向大气开放，能够解除下支撑构件47向下支撑构件设置部46的固定。即，在本实施方式中，真空抽吸用配管53、外部配管53G、控制阀54等成为将下支撑构件47真空抽吸至下支撑构件设置部46的一侧的真空抽吸机构55。

如图4所示，在下支撑构件47的下表面上设有向下方突出的凸部47a，在下支撑构件设置部46的上表面上设有能够与凸部47a嵌合的形状的凹部46a。凸部47a和凹部46a分别在X轴方向(图4的与纸面垂直的方向)上排列设置有多个，通过下支撑构件47的多个凸部47a与下支撑构件设置部46的多个凹部46a嵌合，由此下支撑构件47在相对于下支撑构件设置部46准确地定位的状态下设置于下支撑构件设置部46。

凸部47a优选为圆锥台状，这样一来，在将下支撑构件47从上方设置于下支撑构件设置部46时，即便各凸部47a的中心轴与对应的凹部46a的中心轴稍微偏离，也能够将下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46上的准确的位置。需要说明的是，在此，在下支撑构件47的下表面上设有凸部47a，在下支撑构件设置部46的上表面上设有凹部46a，但也可以在下支撑构件47的下表面上设有凹部，在下支撑构件设置部46的上表面上设有凸部。即，在设于下支撑构件47和下支撑构件设置部46中的任一方的凸部与设于下支撑构件47和下支撑构件设置部46中的任意另一方的凹部嵌合的状态下，将下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46即可。

在图3以及图4中，在下支撑构件设置部46的内部形成有吸附用配管56，在下支撑构件设置部46的上表面形成有吸附用配管56的出口开口56a。在下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46时，吸附用配管56的出口开口56a与在下支撑构件47的底板52上设置的配管连接孔52a一致，下支撑构件47的内部空间47S与吸附用配管56被连接(图4)。

在图3中，吸附用配管56通过在下支撑构件设置部46的外部延伸的外部配管56G而与真空源VP相连，在外部配管56G夹装有控制阀57。在基板2与下支撑构件47接触的状态下使真空源VP通过外部配管56G以及吸附用配管56而吸出空气时，利用吸附孔51a所产生的吸附力将基板2吸附于下支撑构件47。通过驱动控制阀57来调节吸附孔51a所产生的吸附力的大小而能够调节基板2的保持力，此外，还通过驱动控制阀57将吸附用配管56向大气开放而能够解除下支撑构件47对基板2的吸附。

在图1中，搬运部44在搬出搬运对象物时从右端侧的搬运部出口搬出搬运对象物，搬出侧分配部24以将从搬运部44搬出的搬运对象物移动至搬运部出口的状态接受搬运对象物。然后，搬出侧分配部24从在Y轴方向上排列设定的多个搬出位置中的任一处位置，将从搬运部44接受到的搬运对象物向外部搬出。在本实施方式中，搬出位置为靠近作业者OP侧的搬出位置P3(图1中由虚线表示)、和远离作业者OP侧的搬出位置P4(图1中由虚线表示)这两处位置，搬出位置P3与搬运部出口一致。因此，搬出侧分配部24在搬运部出口处接受搬运对象物时，使该搬运对象物直接位于搬出位置P3。

在上述结构的丝网印刷装置13中，由丝网印刷装置13具备的控制装置60进行搬入侧分配部22的工作控制、搬运部44的工作控制、夹紧构件驱动部45M的工作控制、XYZ旋转台41对基座部42的移动控制、升降机构48对基座部42的升降工作控制、工作缸33s对刮板33k的升降工作控制、头驱动机构33M对刮板头33的移动控制以及搬出侧分配部24的工作控制(图5)。另外，控制装置60也进行控制阀54(即真空抽吸机构55)以及控制阀57的驱动控制(也参照图3)。

在图1中，搬出侧中继输送机14设于丝网印刷装置13的下游工序侧。搬出侧中继输送机14的丝网印刷装置13的搬出侧分配部24接受从搬出位置P3向外部搬出的搬运对象物并向下游工序侧的部件安装装置15搬出。

在图1中，部件安装装置15通过基板搬运路61而搬运从搬出侧中继输送机14输送来的基板2并将该基板2定位于作业位置Pw，利用位于基板搬运路61的下方的基板支承单元62来支承基板2。而且，利用装配头63，在丝网印刷装置13中实施有丝网印刷的基板2的电极上装配部件(未图示)。

在图1中，下支撑构件储料器16在丝网印刷装置13的上游工序侧沿Y轴方向与搬入侧中继输送机12排列设置。下支撑构件储料器16将用于在丝网印刷装置13的下支撑构件设置部46上设置的下支撑构件47作为搬运对象物而进行供给。在本实施方式中，下支撑构件储料器16将作为搬运对象物的下支撑构件47向丝网印刷装置13具备的接受位置P2供给。然后，在搬入侧分配部22在接受位置P2处接受到下支撑构件47之后，移动至搬运部入口而将该下支撑构件47交接于搬运部44。这样，在本实施方式中，作为下支撑构件供给部的下支撑构件储料器16向搬入侧分配部22具备的多个接受位置中的与接受位置P1不同的接受位置P2供给作为搬运对象物的下支撑构件47。

另外，搬入侧分配部22在搬运部入口(接受位置P1)处从搬运部44接受到设置于下支撑构件设置部46的下支撑构件47的情况下，将下支撑构件47向接受位置P2移动，将从搬运部44接受到的下支撑构件47交接于下支撑构件储料器16。然后，下支撑构件储料器16回收并收纳从搬入侧分配部22接受到的下支撑构件47。下支撑构件储料器16例如成为具有仓库的结构，该仓库在上下方向排列地具有能够贮存多个设置于下支撑构件设置部46之前的下支撑构件47并且能够收纳所回收的下支撑构件47的多个收纳空间。

接下来，对安装基板制造系统1在安装基板的制造时的动作进行说明。在安装基板的制造中，首先，基板供给部11向搬入侧中继输送机12供给基板2(图6A)。从基板供给部11接受基板2后的搬入侧中继输送机12向预先位于搬运部入口(接受位置P1)的搬入侧分配部22交接基板2(图6B)。在搬运部入口接受到基板2的搬入侧分配部22将基板2直接向搬运部44搬出，搬运部44将接受到的基板2向作业位置Pw搬运(图6C)。在基板2被搬运至作业位置Pw之后，升降机构48使下支撑构件设置部46上升(图7A中所示的箭头A1)，使下支撑构件47的上表面与基板2的下表面接触(图7A)。

在下支撑构件47的上表面与基板2的下表面接触之后，控制装置60使控制阀57工作，使吸附孔51a产生吸附力。由此，基板2紧贴于下支撑构件47的上表面，即便在基板2存在翘曲等变形的情况下，也在该变形被修正的状态下支承于下支撑构件47。

在基板2被下支撑构件47支承之后，升降机构48使下支撑构件设置部46进一步上升(图7B中所示的箭头A2)。由此，基板2被下支撑构件47抬起，并与搬运部44分离(图7B)。在基板2被抬起而其上表面成为与一对夹紧构件45的上表面相同的高度之后，夹紧构件驱动部45M所驱动的一对夹紧构件45以相互接近的方式工作，从Y轴方向的两端侧夹紧基板2(图7B中所示的箭头B)。

在一对夹紧构件45夹紧基板2之后，XYZ旋转台41工作，使基板2水平移动，以使掩模32的图案开口与基板2的电极上下一致，然后，使基座部42上升(图8中所示的箭头C)。由此，在基板2的上表面与掩模32的下表面接触之后，刮板头33借助工作缸33s使一方的刮板33k下降，使该刮板33k的下端与掩模32的上表面抵接(图8)。在刮板33k的下端与掩模32的上表面抵接之后，头驱动机构33M工作而使刮板头33沿Y轴方向移动(图8以及图9A所示的箭头D)，使刮板33k在掩模32上滑动。由此，预先供给至掩模32上的浆料Pst被刮板33k刮拢，通过掩模32的开口而向基板2的电极印刷浆料Pst。

在向基板2的电极印刷浆料Pst之后，XYZ旋转台41工作而使基座部42下降，使基板2与掩模32分离(脱版)。在基板2与掩模32分离之后，控制装置60使控制阀57工作而解除基板2的吸附。在基板2的吸附被解除之后，一对夹紧构件45在相互分离的方向上工作而解除基板2的夹紧，升降机构48使下支撑构件设置部46下降，使基板2载置于搬运部44(图3)。在基板2载置于搬运部44之后，搬运部44搬运基板2，并向预先位于搬运部出口(搬出位置P3)的搬出侧分配部24搬出(图9B)。搬出侧分配部24在搬运部出口处接受搬运部44所搬出的基板2(实施了丝网印刷的基板2)，并直接向搬出侧中继输送机14搬出(图9C)。由此，丝网印刷装置13对一片基板2的丝网印刷结束。

搬出侧中继输送机14将从丝网印刷装置13接受的基板2向部件安装装置15搬出。部件安装装置15利用基板搬运路61接受搬出侧中继输送机14所搬出的基板2并将基板2定位于作业位置Pw，在将该基板2由基板支承单元62支承的基础上，利用装配头63向基板2装配部件。然后，在向基板2装配了应装配的所有部件之后，将基板2向外部(下游工序侧)搬出。

在这样的结构的安装基板制造系统1中，能够分别自动地进行丝网印刷装置13具备的下支撑构件47的设置和拆卸，以下说明其步骤。

在将下支撑构件47自动地设置于丝网印刷装置13的下支撑构件设置部46的情况下，使用形成为基板状的载体71(图10A、图10B)。在载体71的下表面设有向下方露出的多个磁铁71M。如上所述，下支撑构件47由磁性体材料构成，磁铁71M借助磁力来吸引下支撑构件47，因此在使下支撑构件47的上表面与载体71的下表面接触时，下支撑构件47被保持于载体71。即，在本实施方式中，下支撑构件47借助与载体71之间的磁力而保持于载体71的下表面。

如图10A、图10B所示，在载体71的下表面设有向下方突出的多个突起部71a，在下支撑构件47的上表面设有能够与各突起部71a嵌合的形状的多个孔部47b。通过载体71的多个突起部71a与下支撑构件47的多个孔部47b嵌合，由此下支撑构件47被准确地保持在相对于载体71的规定的保持位置。

如上所述，保持有下支撑构件47的载体71被预先设置于下支撑构件储料器16，下支撑构件储料器16向接受位置P2供给作为搬运对象物的下支撑构件47(下支撑构件供给工序)。具体地说，预先使搬入侧分配部22位于接受位置P2，然后，将保持有下支撑构件47的载体71从下支撑构件储料器16向搬入侧分配部22搬出(图11A)。从下支撑构件储料器16接受到保持有下支撑构件47的载体71后的搬入侧分配部22从接受位置P2移动至接受位置P1(图11B)。然后，搬入侧分配部22将载体71交接于搬运部44，搬运部44将接受到的载体71搬运至作业位置Pw(图11C)。即，利用搬入侧分配部22以及搬运部44将从接受位置P2供给来的下支撑构件47搬运至作业位置Pw(下支撑构件搬运工序)。

通过搬运部44将载体71搬运至作业位置Pw，在载体71所保持的下支撑构件47位于下支撑构件设置部46的上方之后(图12A)，将位于该下支撑构件设置部46的上方的下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46(下支撑构件设置工序)。具体地说，首先，升降机构48使下支撑构件设置部46上升(图12B中所示的箭头A3)。由此，在下支撑构件设置部46的上表面与载体71所保持的下支撑构件47的底面接触而使凸部47a嵌入凹部46a之后(图12B)，控制装置60使控制阀54工作，使真空抽吸开口53a产生真空抽吸力。在利用真空抽吸开口53a所产生的真空抽吸力将下支撑构件47固定于下支撑构件设置部46的上表面之后，升降机构48使下支撑构件设置部46下降(图12C，图中所示的箭头A4)。由此，下支撑构件47与载体71分离而成为设置于下支撑构件设置部46的状态(图12C)。

如上所述，在下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46之后，搬运部44将与下支撑构件47分离的载体71搬运至搬运部入口的一侧，并将载体71交接于预先位于搬运部入口(接受位置P1)的搬入侧分配部22(图13A)。然后，接受到载体71的搬入侧分配部22从接受位置P1移动至接受位置P2(图13B)，将载体71向下支撑构件储料器16搬出。下支撑构件储料器16接受并回收载体71(图13C)。由此，下支撑构件47向丝网印刷装置13的设置结束。

接下来，对自动地回收在丝网印刷装置13上设置的下支撑构件47时的步骤进行说明。在下支撑构件储料器16中预先收纳有未保持下支撑构件47的单体的载体71，预先使搬入侧分配部22位于接受位置P2，然后，从下支撑构件储料器16搬出单体(未保持下支撑构件47)的载体71(图14A)。从下支撑构件储料器16接受到单体的载体71的搬入侧分配部22从接受位置P2移动至接受位置P1(图14B)。然后，搬入侧分配部22将载体71交接于搬运部44，搬运部44将接受到的载体71搬运至作业位置Pw(图14C)。

通过搬运部44将单体的载体71搬运至作业位置Pw，由此在该单体的载体71位于在下支撑构件设置部46上设置的下支撑构件47的上方之后(图15A)，将设置于下支撑构件设置部46的下支撑构件47从下支撑构件设置部46拆卸而交接于搬运部44(下支撑构件拆卸工序)。具体地说，首先，升降机构48使下支撑构件设置部46上升(图15B中所示的箭头A5)。由此，在下支撑构件47的上表面与载体71的下表面接触、下支撑构件47借助与载体71之间的磁力(吸引力)而保持于载体71之后(图15B)，控制装置60使控制阀54工作而将真空抽吸用配管53向大气开放，在解除了下支撑构件47的真空抽吸的状态下，升降机构48使下支撑构件设置部46下降(图15C，图中所示的箭头A6)。由此，下支撑构件47与下支撑构件设置部46分离，成为交接于载体71的状态(图15C)。

如上所述，在下支撑构件47交接于载体71之后，搬运部44将下支撑构件47交接于搬入侧分配部22(下支撑构件交接工序)。具体地说，搬运部44将保持有下支撑构件47的载体71搬运至搬入部入口的一侧，并交接于预先位于搬运部入口(接受位置P1)的搬入侧分配部22(图16A)。然后，搬入侧分配部22将从搬运部44接受到的下支撑构件47从接受位置P2搬出(下支撑构件搬出工序)。具体地说，在接受到保持有下支撑构件47的载体71的搬入侧分配部22从接受位置P1移动至接受位置P2之后(图16B)，将载体71向下支撑构件储料器16搬出。然后，下支撑构件储料器16接受并回收载体71以及下支撑构件47(图16C)。由此，下支撑构件47从丝网印刷装置13的回收结束。

这样，在本实施方式中，搬运部44将从下支撑构件设置部46拆卸下来的下支撑构件47交接于搬入侧分配部22，搬入侧分配部22将从搬运部44接受到的下支撑构件47从接受位置P2搬出。

另外，在本实施方式中，下支撑构件47在保持于基板状的载体71的下表面的状态下被供给至接受位置P2，载体71由搬入侧分配部22以及搬运部44搬运而被搬运至作业位置Pw，从而设置于下支撑构件设置部46，从下支撑构件设置部46拆卸下来的下支撑构件47被保持于位于作业位置Pw的载体71的下表面，载体71由搬运部44以及搬入侧分配部22搬运而被从接受位置P2搬出。

根据上述的步骤，能够进行下支撑构件47向丝网印刷装置13的设置和下支撑构件47从丝网印刷装置13的回收，在进行下支撑构件47的回收之后，接着进行下支撑构件47的设置作业，由此能够自动地进行安装基板的生产过程中的下支撑构件47的更换作业。

如以上说明那样，在本实施方式中的安装基板制造系统1(安装基板制造系统1中的下支撑构件的设置方法)中，搬入侧分配部22在搬运对象物为基板2的情况下，在接受位置P1处接受该基板2并将其交接于搬运部44，在搬运对象物为下支撑构件47的情况下，在与接受位置P1不同的接受位置P2处接受该下支撑构件47并将其交接于搬运部44。因此，在设置下支撑构件47时，能够将下支撑构件47按照与基板2不同的路径进行供给，无需使来自基板供给部11的基板2的供给停止(中断)，因此能够不妨碍基板供给部11对基板2的供给而进行下支撑构件47的自动设置。

需要说明的是，在上述实施方式中，利用将下支撑构件47真空抽吸至下支撑构件设置部46的一侧的真空抽吸机构55，将下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46，但也可以通过真空抽吸以外的方法将下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46。另外，下支撑构件47借助与载体71之间的磁力而保持于载体71的下表面，但也可以通过磁力以外的方法将下支撑构件47保持于载体71。

另外，在上述实施方式中，对基板2的处理内容是利用丝网印刷装置13对基板2印刷浆料Pst的丝网印刷作业，但也可以是其他的作业，例如，利用部件安装装置15向基板2装配部件的部件装配作业等。在对基板2的处理内容为部件装配作业的情况下，为如下的结构即可：在将上述实施方式所示的部件安装装置15具备的基板搬运路61置换为上述实施方式中的搬运部44、将基板支承单元62置换为下支撑构件47、并将丝网印刷装置13置换为基板供给部11的基础上，部件安装装置15具备搬入侧分配部22。

如上所述，搬运部44对基板2和下支撑构件47进行搬运。下支撑构件设置部46设于搬运部44的下方且能够相对于下支撑构件47拆装。基板处理部32、33对基板2的上表面实施规定的处理。搬入侧分配部22具有第一接受位置P1和与第一接受位置P1不同的第二接受位置P2。基板供给部11向第一接受位置P1供给基板2。下支撑构件供给部16向第二接受位置P2供给下支撑构件47。搬入侧分配部22将供给至第二接受位置P2的下支撑构件47交接于搬运部44。搬运部44将从搬入侧分配部22交接来的下支撑构件47搬运至作业位置Pw。下支撑构件设置部46将被搬运至作业位置Pw的下支撑构件47固定于下支撑构件设置部46。搬入侧分配部22将供给至第一接受位置P1的基板2交接于搬运部44。搬运部44将从搬入侧分配部22交接来的基板2搬运于作业位置Pw。下支撑构件47对搬运至作业位置Pw的基板2的下表面进行支承。基板处理部32、33在下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46且下支撑构件47支承着基板2的下表面的状态下对基板2的上表面实施规定的处理。搬运部44将从下支撑构件设置部46拆卸下来的下支撑构件47交接于搬入侧分配部22。搬入侧分配部22使从搬运部44交接来的下支撑构件47位于第二接受位置P2，以便能够从第二接受位置P2搬出。

安装基板制造系统还具备保持下支撑构件47的载体71。在该情况下，下支撑构件供给部16在载体71将下支撑构件47保持于载体71的下表面的状态下，将载体71供给至第二接受位置P2。搬入侧分配部22在下支撑构件47保持于载体71的下表面的状态下，将供给至第二接受位置P2的载体71交接于搬运部44。搬运部44在下支撑构件47保持于载体71的下表面的状态下，将从搬入侧分配部22交接来的载体71搬运至作业位置Pw，由此将下支撑构件47搬运至作业位置Pw。被搬运至作业位置Pw的下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46。搬运部44使载体71位于作业位置Pw。从下支撑构件设置部46拆卸下来的下支撑构件47被保持在位于作业位置Pw的载体71的下表面。搬运部44在从下支撑构件设置部46拆卸下来的下支撑构件47保持于载体71的下表面的状态下，将载体71交接于搬入侧分配部22。搬入侧分配部22使从搬运部44交接来的载体71位于接受位置P2，以便在下支撑构件47保持于载体71的下表面的状态下从第二接受位置P2搬出该载体71。

安装基板制造系统还具备使下支撑构件设置部46升降的升降机构48。在该情况下，升降机构48构成为，使下支撑构件设置部46上升，将保持于载体71的下支撑构件47固定于下支撑构件设置部46。升降机构48构成为，在下支撑构件47固定于下支撑构件设置部46的状态下使下支撑构件设置部46下降，从而将下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46。

升降机构48构成为，使下支撑构件设置部46上升而使设置于下支撑构件设置部46的下支撑构件47保持于载体71。升降机构48构成为，在下支撑构件47保持于载体71之后使下支撑构件设置部46下降，由此将下支撑构件47从下支撑构件设置部46拆卸下来。

安装基板制造系统还可以具备将下支撑构件47朝向下支撑构件设置部46进行真空抽吸的真空抽吸机构55。在该情况下，真空抽吸机构55在升降机构48使下支撑构件设置部46上升而与下支撑构件47抵接之后，对下支撑构件47的下表面进行真空抽吸。升降机构48在真空抽吸机构55对下支撑构件47的下表面进行了真空抽吸的状态下使下支撑构件设置部46下降，由此将下支撑构件47设置于下支撑构件设置部46。

升降机构48使下支撑构件设置部46上升而保持于载体71。真空抽吸机构55在下支撑构件设置部46保持于载体71之后解除对下支撑构件47的下表面的真空抽吸。升降机构48在真空抽吸机构55对下支撑构件47的下表面的真空抽吸被解除的状态下使下支撑构件设置部46下降，由此将下支撑构件47从下支撑构件设置部46拆卸下来。

下支撑构件47也可以借助磁力而保持于载体71的下表面。

下支撑构件47也可以在支承通过搬运部而位于作业位置Pw的基板2的下表面的同时吸附基板2。

下支撑构件47和下支撑构件设置部46中的一方也可以具有凸部47a。在该情况下，在下支撑构件47和下支撑构件设置部46中的另一方设有凹部46a。在凸部47a嵌入凹部46a的状态下，下支撑构件47被设置于下支撑构件设置部46。

向第二接受位置P2供给下支撑构件47。利用搬入侧分配部22以及搬运部44将供给至第二接受位置P2的下支撑构件47搬运至作业位置Pw。搬运部44将从下支撑构件设置部46拆卸下来的下支撑构件47交接于搬入侧分配部22。将从搬运部44交接来的下支撑构件47从搬入侧分配部44的第二接受位置P2搬出。根据上述的方法，能够在安装基板制造系统中设置下支撑构件47。

Claims (10)

1.一种安装基板制造系统，其中，

所述安装基板制造系统具备：

下支撑构件；

搬运部，其对基板和所述下支撑构件进行搬运；

下支撑构件设置部，其设于所述搬运部的下方，且能够相对于所述下支撑构件拆装；

基板处理部，其对所述基板的上表面实施规定的处理；

搬入侧分配部，其具有第一接受位置以及与所述第一接受位置不同的第二接受位置；

基板供给部，其向所述第一接受位置供给所述基板；以及

下支撑构件供给部，其向所述第二接受位置供给所述下支撑构件，

所述搬入侧分配部将供给至所述第二接受位置的所述下支撑构件交接于所述搬运部，

所述搬运部将从所述搬入侧分配部交接来的所述下支撑构件搬运至作业位置，

所述下支撑构件设置部将搬运至所述作业位置的所述下支撑构件固定于所述下支撑构件设置部，

所述搬入侧分配部将供给至所述第一接受位置的所述基板交接于所述搬运部，

所述搬运部将从所述搬入侧分配部交接来的所述基板搬运至所述作业位置，

所述下支撑构件对搬运至所述作业位置的所述基板的下表面进行支承，

所述基板处理部在所述下支撑构件设置于所述下支撑构件设置部且所述下支撑构件支承着所述基板的所述下表面的状态下，对所述基板的所述上表面实施所述规定的处理，

所述搬运部将从所述下支撑构件设置部拆卸下来的所述下支撑构件交接于所述搬入侧分配部，

所述搬入侧分配部使从所述搬运部交接来的所述下支撑构件位于所述第二接受位置，以便能够将所述下支撑构件从所述第二接受位置搬出。

2.根据权利要求1所述的安装基板制造系统，其中，

所述安装基板制造系统还具备保持所述下支撑构件的载体，

所述下支撑构件供给部在所述载体将所述下支撑构件保持于所述载体的下表面的状态下，向所述第二接受位置供给所述载体，

所述搬入侧分配部在所述下支撑构件保持于所述载体的所述下表面的状态下，将供给至所述第二接受位置的所述载体交接于所述搬运部，

所述搬运部在所述下支撑构件保持于所述载体的所述下表面的状态下将从所述搬入侧分配部交接来的所述载体搬运至所述作业位置，由此将所述下支撑构件搬运至所述作业位置，

被搬运至所述作业位置的所述下支撑构件设置于所述下支撑构件设置部，

所述搬运部使所述载体位于所述作业位置，

从所述下支撑构件设置部拆卸下来的所述下支撑构件被保持在位于所述作业位置的所述载体的所述下表面，

所述搬运部在从所述下支撑构件设置部拆卸下来的所述下支撑构件保持于所述载体的所述下表面的状态下，将所述载体交接于所述搬入侧分配部，

所述搬入侧分配部使从所述搬运部交接来的载体位于所述第二接受位置，以便在所述下支撑构件保持于所述载体的所述下表面的状态下从所述第二接受位置搬出所述载体。

3.根据权利要求2所述的安装基板制造系统，其中，

所述安装基板制造系统还具备使所述下支撑构件设置部升降的升降机构，

所述升降机构构成为，

使所述下支撑构件设置部上升，将保持于所述载体的所述下支撑构件固定于所述下支撑构件设置部，

在所述下支撑构件固定于所述下支撑构件设置部的状态下使所述下支撑构件设置部下降，由此将所述下支撑构件设置于所述下支撑构件设置部。

4.根据权利要求3所述的安装基板制造系统，其中，

所述升降机构构成为，

使所述下支撑构件设置部上升，使设置于所述下支撑构件设置部的所述下支撑构件保持于所述载体，

在所述下支撑构件保持于所述载体之后，使所述下支撑构件设置部下降，由此将所述下支撑构件从所述下支撑构件设置部拆卸下来。

5.根据权利要求3所述的安装基板制造系统，其中，

所述安装基板制造系统还具备将所述下支撑构件朝向所述下支撑构件设置部进行真空抽吸的真空抽吸机构，

所述真空抽吸机构在所述升降机构使所述下支撑构件设置部上升而与所述下支撑构件抵接之后，对所述下支撑构件的下表面进行真空抽吸，

所述升降机构在所述真空抽吸机构对所述下支撑构件的所述下表面进行了真空抽吸的状态下使所述下支撑构件设置部下降，由此将所述下支撑构件设置于所述下支撑构件设置部。

6.根据权利要求5所述的安装基板制造系统，其中，

所述升降机构使所述下支撑构件设置部上升而使所述下支撑构件设置部保持于所述载体，

所述真空抽吸机构在使所述下支撑构件设置部保持于所述载体之后，解除对所述下支撑构件的所述下表面的真空抽吸，

所述升降机构在解除了所述真空抽吸机构对所述下支撑构件的所述下表面真空抽吸的状态下，使所述下支撑构件设置部下降，由此将所述下支撑构件从所述下支撑构件设置部拆卸下来。

7.根据权利要求2所述的安装基板制造系统，其中，

所述下支撑构件借助磁力而保持于所述载体的所述下表面。

8.根据权利要求1所述的安装基板制造系统，其中，

所述下支撑构件在对通过所述搬运部而位于所述作业位置的所述基板的所述下表面进行支承的同时吸附所述基板。

9.根据权利要求1所述的安装基板制造系统，其中，

所述下支撑构件与所述下支撑构件设置部中的一方具有凸部，

在所述下支撑构件与所述下支撑构件设置部中的另一方设有凹部，

在所述凸部嵌入到所述凹部的状态下将所述下支撑构件设置于所述下支撑构件设置部。

10.一种安装基板制造系统中的下支撑构件的设置方法，其中，

所述安装基板制造系统具备：

下支撑构件；

搬运部，其对基板和所述下支撑构件进行搬运；

下支撑构件设置部，其设于所述搬运部的下方，且能够相对于所述下支撑构件拆装；

搬入侧分配部，其具有第一接受位置以及与所述第一接受位置不同的第二接受位置；

基板供给部，其向所述第一接受位置供给所述基板；

下支撑构件供给部，其向所述第二接受位置供给所述下支撑构件；以及

基板处理部，其在所述下支撑构件固定于所述下支撑构件设置部且所述下支撑构件支承着所述基板的下表面的状态下，对所述基板的上表面实施规定的处理，

所述安装基板制造系统中的下支撑构件的设置方法包括如下步骤：

准备所述安装基板制造系统的步骤；

向所述第二接受位置供给所述下支撑构件的步骤；

利用所述搬入侧分配部以及所述搬运部将供给至所述第二接受位置的所述下支撑构件搬运至作业位置的步骤；

所述搬运部将从所述下支撑构件设置部拆卸下来的所述下支撑构件交接于所述搬入侧分配部的步骤；以及

将从所述搬运部交接来的所述下支撑构件从所述搬入侧分配部的所述第二接受位置搬出的步骤。