CN107059013A - 一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，包括：一用于溶解食盐的溶盐槽；一用于提供电解食盐水的盐水高位槽，盐水高位槽与溶盐槽连通；一用于提供稀盐酸的盐酸槽；以及一用于通入食盐水和稀盐酸在电流的作用下产生电化学反应、Cl‑被氧化为Cl2并输出至三氯化铁刻蚀液使用的电解槽。本发明用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，与其他电解装置相比，减少了废液的排放(环境的污染)节约了处理废液的成本，确保了刻蚀液中三氯化铁的稳定性，大大减少了废液的排放，提高了三氯化铁的使用寿命。

Description

一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置
技术领域
本发明涉及一种电解装置，尤其涉及一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置。
背景技术
金属刻蚀法与其它成型方法相比，具有操作简单、多品种、小批量、周期短等优点，在各个领域中的应用日益扩大，如牌匾制作、仪器设备表面图文刻印、制造印刷用的金属字板、在机械加工较为困难的薄板或薄片零件(电子线路板、金属网板的小孔以及光栅)等器件上进行部分刻蚀，获得一定深度的图形或文字，从而达到功能或装饰效果。
工业上钢铁等可以采用三氯化铁方法进行刻蚀，三氯化铁溶液作为蚀刻液具有低成本、刻蚀速度快、无毒、无挥发等特点，但随着三氯化铁溶液高价铁浓度的降低蚀刻效率下降，并逐渐失去刻蚀能力，刻蚀液变稠变色，刻蚀废液中总铁含量增加，三价铁转化为二价铁，同时被刻蚀的金属或其合金如铬、锰、镍等毒害杂离子进入刻蚀液。工厂常用简单的废液再生方法是加入氧化剂H2O2和适量的HCl，使产生的Fe2+重新氧化变成起腐蚀作用的Fe3+，或通入Cl2气氧化，但实际效果并不理想，刻蚀能力仅为原液的3％左右。三氯化铁蚀刻废液产量大，若不经处理排放，不仅造成环境污染，而且大量的铁等作为废弃物对资源也造成浪费。
目前，国内外三氯化铁刻蚀废液的处理与再生方法主要针对刻蚀铜电路板等产生的包含二价铁和三价铁的废液，三氯化铁在使用中会产生二价铁，导致蚀刻性能下降。为减少废液的排放，节约处理废液的成本，现有技术中所采用的方法是向刻蚀废液中加入氯酸钠和盐酸，但废液中的二价铁只需要氯离子，而添加物中的钠离子就会遗留在三氯化铁液体中，且添加物越多，所产生的废液就越多，使其蚀刻性能下降，降低了三氯化铁的使用寿命。
发明内容
本发明为解决现有技术中的上述问题，提出一种有效确保三氯化铁在蚀刻过程中稳定性的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
本发明的第一个方面是提供一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，具体包括：
一用于溶解食盐的溶盐槽1；
一用于提供电解食盐水的盐水高位槽3，所述盐水高位槽3与所述溶盐槽1连通；
一用于提供稀盐酸的盐酸槽；以及
一用于通入食盐水和稀盐酸在电流的作用下产生电化学反应、Cl-被氧化为Cl2并输出至三氯化铁刻蚀液使用的电解槽7。
进一步地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，所述电解槽7内设置有至少一个用于氧化阳极液生产氯气的阳极框组件、至少一个用于还原阴极液生产氢气的阴极板16；所述阳极框组件包括阳极框8、设置于所述阳极框8框体内的阳极板15、分别密封设置于所述阳极框8两侧框体上的离子交换膜，所述离子交换膜位于所述阴极板16和所述阳极板15之间、H2O、H+自由通过、而Na+、Cl-、Cl2不能通过；所述电解槽7被所述离子交换膜分割成阴极液室18和由所述阳极框组件组成的阳极液室17。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，所述阳极框组件和所述阴极板16并排、间隔设置，所述阳极框组件的阳极框8框体上设置有一氯气管路11和一导气管12。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，所述阴极板16与阴极导电板6连接；所述阳极板15的上下两端分别设有阳极导电溢流管13和阳极导电进液管14。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，所述阳极导电溢流管13穿过所述阳极框8的框体与阳极导电板5连接并与出盐水管道10连通，所述阳极导电进液管14穿过所述阳极框8的框体与阳极导电板5连接并与进盐水管道9连通，所述阳极导电溢流管13通过出盐水管道10连通所述溶盐槽1，所述阳极导电进液管14通过进盐水管道9连通所述盐水高位槽3。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，所述阴极液室18内的阴极液呈内循环状态，所述阴极液室内设有pH传感器、温度传感器。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，所述阳极液室17内产生的Cl2通过氯气管路11通入三氯化铁刻蚀液中，以将所述三氯化铁刻蚀液中的Fe2+氧化为Fe3+，所述氯气管路11上安装有气体流量计。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，还包括一用于接收所述阴极液室18产生的氢气的氢气收集装置，所述氢气收集装置位于所述电解槽7上方。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，所述盐酸槽通过盐酸管路连通所述阴极液室18，并维持所述阴极液室18内的阴极液呈酸性状态。
进一步优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，还包括一用于将交流电变为直流电、并通过所述阳极导电板5和所述阴极导电板6分别供给所述阴极板16和所述阳极板15的整流器2。
进一步较为优选地，在所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，还包括一用于对所述整流器2进行降温的整流器降温槽4。
本发明采用上述技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
本发明所提供的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，减少了废液的排放(环境的污染)节约了处理废液的成本，而产生的氯气使二价铁离子氧化为三家铁离子，降低液体的排放量；并且通过盐酸槽向阴极液中加入盐酸，维持阴极液为酸性状态，使电解盐水产生的氯气的稳定性相对要好，确保了刻蚀液中三氯化铁在稳定性，大大减少了废液的排放，提高了三氯化铁的使用寿命。
综上，该用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，与其他电解装置相比，从经济(设备投资、生产成本)、环境(毒性)和安全性等方面考虑，优越性非常明显，不仅解决三氯化铁蚀刻液使用寿命短、废液排放等行业面临的生产成本高、废液难以消化处理的难题，同时还带来显著的经济效益，对印刷电路板生产建设及产业链的延续具有重要的意义。
附图说明
图1为本发明一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置的整体结构图；
图2为本发明一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置的装配示意图；
图3为本发明一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置中阳极框组件的装配示意图；
图4为本发明一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置中极导电溢流管的结构示意图；
图5为本发明一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置中阳极导电进液管的结构示意图；
图6为本发明一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置中阳极框的后视图；
其中，1-溶盐槽，2-整流器，3-盐水高位槽，4-整理器降温槽，5-阳极导电板，6-阴极导电板，7-电极槽，8-阳极框，9-出盐水管道，10-进盐水管道，11-氯气管路，12-阴极液室，13-阳极导电溢流管，14-阳极导电进液管，15-阳极板，16-阴极板，17-阳极液室，18-导气管，19-盐水泵，20-阴极内循环泵，21-溢流管，22-通孔，23-阳极板固定夹。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明进行详细和具体的介绍，以使更好的理解本发明，但是下述实施例并不限制本发明范围。
如图1-2所示，本发明首先提供了一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，具体包括：一用于溶解食盐的溶盐槽1；一用于提供电解食盐水的盐水高位槽3，盐水高位槽2通过管路和盐水泵19与溶盐槽1连通；一用于提供稀盐酸的盐酸槽(图中未示出)；以及一用于从盐水高位槽2和盐酸槽中通入食盐水和稀盐酸在电流的作用下产生电化学反应、Cl-被氧化为Cl2并输出至三氯化铁刻蚀液使用的电解槽7。
如图2-3、6所示，作为本实施例的一个优选技术方案，在该用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，电解槽7内设置有至少一个用于氧化阳极液生产氯气的阳极框组件、至少一个用于还原阴极液生产氢气的阴极板16；阳极框组件包括阳极框8、设置于阳极框8框体内的阳极板15、分别密封设置于阳极框8两侧框体上的离子交换膜，阳极板15通过阳极板固定夹23固定在阳极框8内壁上，离子交换膜位于阴极板16和阳极板15之间、H2O、H+自由通过、而Na+、Cl-、Cl2不能通过；电解槽7被离子交换膜分割成阴极液室18和由阳极框组件组成的阳极液室17。
作为本实施例的一个优选技术方案，在该用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，如图2-3所示，阳极框组件和阴极板16并排、间隔设置，阳极框组件的阳极框8框体上设置有一氯气管路11和一导气管12，阳极液室17内氧化阳极液生产的氯气通过氯气管路11直接通入三氯化铁刻蚀液中用于将三氯化铁刻蚀液中的二价铁氧化为三价铁。导气管12的作用是用于使外界空气进入阳极框8内，便于生产的氯气通过氯气管路11排出。
在该用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，如图2所示，阴极板16与阴极导电板6连接；如图3所示，阳极板15的上下两端分别设有阳极导电溢流管13和阳极导电进液管14。
作为本实施例的一个优选技术方案，如图3-4所示，阳极导电溢流管13穿过阳极框8的框体与阳极导电板5连接并与出盐水管道10连通，阳极导电溢流管13上还设有一开口向上的溢流管21，阳极导电溢流管13同时起到向溶盐槽1传输阳极液和导电的作用。如图3、5所示，阳极导电进液管14穿过阳极框8的框体与阳极导电板5连接并与进盐水管道9连通，并在阳极导电进液管14上开设有若干通孔22，阳极导电进液管14同时起到阳极液室17也即框体8内传输阳极液和导电的作用。阳极导电溢流管13通过出盐水管道10连通溶盐槽1，阳极导电进液管14通过进盐水管道9连通盐水高位槽3。
在本实施例用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，通过阴极内循环泵20，使阴极液室18内的阴极液呈内循环状态，为更加合理的理由空间，将阴极内循环泵20安装在溶盐槽1底部位置。此外，在阴极液室18内还设有pH传感器、温度传感器、液位计，以便实时监测电解情况，自动补充阴极液和盐酸，实现自动化操作。
在本实施例用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，阳极液室17内产生的Cl2通过氯气管路11通入三氯化铁刻蚀液中，以将三氯化铁刻蚀液中的Fe2+氧化为Fe3+，氯气管路11上安装有气体流量计。
本实施例用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上还包括一用于接收阴极液室18产生的氢气的氢气收集装置，氢气收集装置位于电解槽7上方，该氢气收集装置为负压是收集罩，其上接有一负压管道，用于将电解产生的氢气进行集中收集处理、利用，消除安全隐患，提高资源利用率。
本实施例用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，盐酸槽通过盐酸管路连通阴极液室18，并维持阴极液室18内的阴极液呈酸性状态。只要向阴极液室18中补充盐酸使其保持在酸性的状态，就可以不断地产生氯气，实现三氯化铁蚀刻液的净化和循环再生，从而大大减少了废液的排放，提高了三氯化铁的使用寿命。
本实施例用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上，还包括一用于将交流电变为直流电、并通过阳极导电板5和阴极导电板6分别供给阴极板16和阳极板15的整流器2。进一步的还包括一用于对整流器2进行降温的整流器降温槽4。
作为本实施例的一个优选技术方案，该用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置上还装设有PLC控制器，该PLC控制器分别与盐水泵19、阴极内循环泵20、整流器2、整流器降温槽4、温度传感器、液位计、pH传感器以及各管道上的电磁阀等电性连接，实现自动化控制。
本发明用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其主要工作原理为：首先，在溶盐槽1内制备饱和食盐水，然后通过盐水泵19输送至盐水高位槽3，再向电解槽7内的阴极液室18和阳极液室17内分别输送电解液，并控制阴极液室和阳极液室内的电解盐水温度为55-60℃，优选为58-60℃；采用直流电直接电解食盐水使食盐水产生氯气、氢气和氢氧化钠，电解的电流密度为5-10A/dm2，优选为6-8A/dm2，并通过盐酸槽向阴极液中补充盐酸，控制阴极液室内阴极电解液的pH值为5-7，优选为5.5-6，以中和阴极液中电解产生的氢氧化钠溶液生产NaCl，保持电解液中NaCl的浓度，电解式为：2NaCl+2H2O＝通电＝2NaOH+H2↑+Cl2↑；NaOH+HCl＝＝＝NaCl+H2O；；然后，将阳极液电解制得的Cl2通过氯气管路11直接通入到三氯化铁蚀刻液中，使得刻蚀液中二价铁Fe2+直接转化为三价铁离子Fe3+，再将制得的FeCl3提高了蚀刻中的三价铁离子Fe3+含量和三氯化铁的使用寿命；依此循环，继续向蚀刻后含二价铁离子的FeCl2的蚀刻液中的通入制得的Cl2，Cl2+2FeCl2＝＝2FeCl3，制得三价铁离子Fe3+，三氯化铁刻蚀废液颜色由深绿色又逐渐变回黄棕色，刻蚀废液得到再生。以上述过程作为一个周期，只要向阴极液室18中补充盐酸使其保持在酸性的状态，就可以不断地产生氯气，实现三氯化铁蚀刻液的净化和循环再生，从而大大减少了废液的排放，提高了三氯化铁的使用寿命。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，包括：
一用于溶解食盐的溶盐槽(1)；
一用于提供电解食盐水的盐水高位槽(3)，所述盐水高位槽(3)与所述溶盐槽(1)连通；
一用于提供稀盐酸的盐酸槽；以及
一用于通入食盐水和稀盐酸在电流的作用下产生电化学反应、Cl-被氧化为Cl2并输出至三氯化铁刻蚀液使用的电解槽(7)。
2.根据权利要求1所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述电解槽(7)内设置有至少一个用于氧化阳极液生产氯气的阳极框组件、至少一个用于还原阴极液生产氢气的阴极板(16)；所述阳极框组件包括阳极框(8)、设置于所述阳极框(8)框体内的阳极板(15)、分别密封设置于所述阳极框(8)两侧框体上的离子交换膜，所述离子交换膜位于所述阴极板(16)和所述阳极板(15)之间、H2O、H+自由通过、而Na+、Cl-、Cl2不能通过；所述电解槽(7)被所述离子交换膜分割成阴极液室(18)和由所述阳极框组件组成的阳极液室(17)。
3.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阳极框组件和所述阴极板(16)并排、间隔设置，所述阳极框组件的阳极框(8)框体上设置有一氯气管路(11)和一导气管(12)。
4.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阴极板(16)与阴极导电板(6)连接；所述阳极板(15)的上下两端分别设有阳极导电溢流管(13)和阳极导电进液管(14)。
5.根据权利要求4所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阳极导电溢流管(13)穿过所述阳极框(8)的框体与阳极导电板(5)连接并与出盐水管道(10)连通；所述阳极导电进液管(14)穿过所述阳极框(8)的框体与阳极导电板(5)连接并与进盐水管道(9)连通；所述阳极导电溢流管(13)通过出盐水管道(10)连通所述溶盐槽(1)，所述阳极导电进液管(14)通过进盐水管道(9)连通所述盐水高位槽(3)。
6.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阴极液室(18)内的阴极液呈内循环状态，所述阴极液室(18)内设有pH传感器、温度传感器和液位计。
7.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阳极液室(17)内产生的Cl2通过氯气管路(11)通入三氯化铁刻蚀液中，以将所述三氯化铁刻蚀液中的Fe2+氧化为Fe3+，所述氯气管路(11)上安装有气体流量计。
8.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，还包括一用于接收所述阴极液室(18)产生的氢气的氢气收集装置，所述氢气收集装置位于所述电解槽(7)上方。
9.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述盐酸槽通过盐酸管路连通所述阴极液室(18)，并维持所述阴极液室(18)内的阴极液呈酸性状态。
10.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，还包括一用于将交流电变为直流电、并通过所述阳极导电板(5)和所述阴极导电板(6)分别供给所述阴极板(16)和所述阳极板(15)的整流器(2)。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111332000A (zh) * 2020-03-31 2020-06-26 佛山运城压纹制版有限公司 一种凹纹版辊的腐蚀工艺及生产制造方法
CN112759036A (zh) * 2020-12-28 2021-05-07 云南驰宏国际锗业有限公司 电解法处理盐酸废水的方法及用于盐酸废水电解的电解池
US20210395903A1 (en) * 2020-06-18 2021-12-23 Saudi Arabian Oil Company Tandem electrolysis cell
US12000056B2 (en) * 2020-06-18 2024-06-04 Saudi Arabian Oil Company Tandem electrolysis cell

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60137804A (ja) * 1983-12-26 1985-07-22 Japan Carlit Co Ltd:The 二酸化塩素の連続発生方法
CN1420945A (zh) * 2000-02-25 2003-05-28 环球专利开发公司 现场产生气体的方法和装置
CN103710706A (zh) * 2013-12-24 2014-04-09 沈阳师范大学 三氯化铁刻蚀废液的净化与再生方法
CN104131285A (zh) * 2013-05-03 2014-11-05 宁波东盛集成电路元件有限公司 三氯化铁蚀刻废液的回收方法
US9365939B2 (en) * 2011-05-31 2016-06-14 Wisconsin Alumni Research Foundation Nanoporous materials for reducing the overpotential of creating hydrogen by water electrolysis

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60137804A (ja) * 1983-12-26 1985-07-22 Japan Carlit Co Ltd:The 二酸化塩素の連続発生方法
CN1420945A (zh) * 2000-02-25 2003-05-28 环球专利开发公司 现场产生气体的方法和装置
US9365939B2 (en) * 2011-05-31 2016-06-14 Wisconsin Alumni Research Foundation Nanoporous materials for reducing the overpotential of creating hydrogen by water electrolysis
CN104131285A (zh) * 2013-05-03 2014-11-05 宁波东盛集成电路元件有限公司 三氯化铁蚀刻废液的回收方法
CN103710706A (zh) * 2013-12-24 2014-04-09 沈阳师范大学 三氯化铁刻蚀废液的净化与再生方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
柳承宏: ""酸性盐水电解及其分析"", 《山西化工》 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111332000A (zh) * 2020-03-31 2020-06-26 佛山运城压纹制版有限公司 一种凹纹版辊的腐蚀工艺及生产制造方法
US20210395903A1 (en) * 2020-06-18 2021-12-23 Saudi Arabian Oil Company Tandem electrolysis cell
US12000056B2 (en) * 2020-06-18 2024-06-04 Saudi Arabian Oil Company Tandem electrolysis cell
CN112759036A (zh) * 2020-12-28 2021-05-07 云南驰宏国际锗业有限公司 电解法处理盐酸废水的方法及用于盐酸废水电解的电解池

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