CN107000327B - 网孔体的制造方法以及网孔体 - Google Patents

Abstract

一种网孔体的制造方法，该网孔体具有树脂制的网孔体主体、和对网孔体主体进行加强的树脂制的加强部件，该网孔体的制造方法具有如下工序：利用激光在树脂制的第1膜材的网孔形成区域形成多个贯通孔；在树脂制的第2膜材形成开口部；将第1膜材和第2膜材层叠，并且将网孔形成区域和开口部配置于对应的位置；以及在开口部的周围利用激光焊接将第1膜材和第2膜材接合。

Description

网孔体的制造方法以及网孔体

技术领域

本发明涉及网孔体的制造方法以及网孔体。

背景技术

以往，公知形成有多个细微的贯通孔的网孔体(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1中公开了设置于液体喷雾装置的网孔体部。网孔体部为树脂制，具有薄板状的外形并且形成有多个贯通孔。该网孔体部设置为用于将药液喷雾化。而且，在该网孔体部的周缘部接合有具有中空部的圆环状的加强部。因此，能够通过加强部对厚度小且刚性低的树脂制的网孔体部进行加强，因此，作为整体，能够得到充分的强度。另外，网孔体部例如通过模具而形成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-4208号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，如上所述，在通过模具形成网孔体部的情况下，为了变更贯通孔的开口直径或数量等，需要变更使用的模具。即，不容易进行网孔体部的设计变更。

本发明是为了解决上述课题而完成的，本发明的目的在于提供一种能够容易地进行设计变更的网孔体的制造方法以及网孔体。

用于解决课题的手段

在本发明的网孔体的制造方法中，该网孔体具有树脂制的网孔体主体、和对网孔体主体进行加强的树脂制的加强部件，该网孔体的制造方法具有如下工序：利用激光在树脂制的第1膜材的网孔形成区域形成多个贯通孔；在树脂制的第2膜材形成开口部；将第1膜材和第2膜材层叠，并且将网孔形成区域和开口部配置于对应的位置；以及在开口部的周围利用激光焊接将第1膜材和第2膜材接合。

这样，利用激光形成网孔形成区域的贯通孔，由此，通过变更激光的照射条件等，能够容易地进行网孔形成区域的贯通孔的设计变更。由此，与使用模具等的情况相比，能够价廉地制造贯通孔的开口直径或数量等不同的网孔体，因此，能够容易地提供与药液对应的网孔体。此外，利用激光焊接将第1膜材与第2膜材接合，由此，能够缩小热影响范围，因此，能够抑制网孔体的喷雾性能产生偏差。

在上述网孔体的制造方法中，可以是，该网孔体的制造方法具有将第1膜材和第2膜材的接合部的外缘切掉的工序。

在该情况下，可以是，在第1膜材设置多个网孔形成区域，并且在第2膜材形成多个开口部，将多个网孔形成区域和多个开口部配置于分别对应的位置，在利用激光焊接将多个开口部的周围接合之后，将多个接合部的周围切掉。

在上述网孔体的制造方法中，可以是，在第1膜材形成贯通孔之后，将第1膜材和第2膜材接合。

在上述网孔体的制造方法中，可以是，该网孔体的制造方法具有对第1膜材的厚度进行测量的工序，根据第1膜材的厚度的测量结果，对形成贯通孔时的激光的照射条件进行设定。

在本发明的网孔体的制造方法中，该网孔体具有树脂制的网孔体主体、和对网孔体主体进行加强的树脂制的加强部件，该网孔体的制造方法具有如下工序：在树脂制的第1膜材上层叠具有开口部的树脂制的第2膜材；利用激光在第1膜材的网孔形成区域形成多个贯通孔；以及在开口部的周围利用激光焊接将第1膜材和第2膜材接合。

本发明的网孔体具有树脂制的网孔体主体、和对网孔体主体进行加强的树脂制的加强部件。在网孔体主体设置有网孔形成区域，利用激光在网孔形成区域形成有多个贯通孔。加强部件以包围网孔形成区域的方式形成为环状。网孔体主体和加强部件利用激光焊接而被接合。

在上述网孔体中，可以是，贯通孔形成为一端侧的开口直径比另一端侧的开口直径大，贯通孔构成为从一端侧朝向另一端侧逐渐缩径。

在上述网孔体中，可以是，贯通孔形成为一端侧的开口直径比另一端侧的开口直径大，贯通孔具有圆筒状部、和从圆筒状部朝向另一端侧逐渐缩径的缩径部。

在上述网孔体中，可以是，贯通孔形成为一端侧的开口直径比另一端侧的开口直径大，贯通孔具有开口直径不同的多个圆筒状部。

发明效果

根据本发明的网孔体的制造方法以及网孔体，能够容易地进行设计变更。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的一个实施方式的网孔体的剖视图。

图2是示意性地示出图1的网孔体的俯视图。

图3是将图1的网孔体的贯通孔放大示出的剖视图。

图4是用于说明本实施方式的网孔体的制造方法的图，是示出针对第1膜材单体的加工步骤的图。

图5是示意性地示出第1膜材被吸附的状态的剖视图。

图6是示意性地示出第1膜材被吸附的状态的俯视图。

图7是示意性地示出在第1膜材的1个网孔形成区域形成了贯通孔的状态的俯视图。

图8是示意性地示出在第1膜材的全部网孔形成区域形成了贯通孔的状态的俯视图。

图9是示意性地示出在第1膜材的全部网孔形成区域形成了贯通孔的状态的剖视图。

图10是用于说明本实施方式的网孔体的制造方法的图，是示出针对第2膜材单体的加工步骤的图。

图11是示意性地示出第2膜材被吸附的状态的剖视图。

图12是示意性地示出在第2膜材形成了1个开口部的状态的俯视图。

图13是示意性地示出在第2膜材形成了全部开口部的状态的俯视图。

图14是示意性地示出在第2膜材形成了全部开口部的状态的剖视图。

图15是用于说明本实施方式的网孔体的制造方法的图，是示出针对第1膜材以及第2膜材的双方的加工步骤的图。

图16是示意性地示出第1膜材以及第2膜材被定位的状态的剖视图。

图17是示意性地示出第1膜材以及第2膜材被定位的状态的俯视图。

图18是将本实施方式的第1变形例的贯通孔放大示出的剖视图。

图19是将本实施方式的第2变形例的贯通孔放大示出的剖视图。

图20是示出加强部件的厚度与喷雾量之间的关系的图表。

图21是示出加强部件的开口部的开口直径与喷雾量之间的关系的图表。

图22是将本实施方式的第3变形例的贯通孔放大示出的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。

－网孔体的构造－

首先，参照图1～图3对本发明的一个实施方式的网孔体100的构造进行说明。例如为了将药液喷雾化而将该网孔体100设置于雾化器(吸入器)。

如图1以及图2所示，网孔体100具有网孔体主体10以及对网孔体主体10进行加强的加强部件20。该网孔体100形成为俯视时的圆形，其直径为例如6mm。另外，图1以及图2是为了说明网孔体100而示意性地示出的图，贯通孔11的数量及其尺寸关系等与实际不同。

网孔体主体10是树脂制的薄膜状部件，形成为俯视时的圆形。该网孔体主体10例如是透明的聚碳酸酯制，厚度为30μm，并且直径为6mm。因此，网孔体主体10构成为能够透过接合用的激光。

此外，在网孔体主体10的中央设置有网孔形成区域T1，在该网孔形成区域T1形成有多个细微的贯通孔11。网孔形成区域T1俯视观察时为圆形的区域，其直径例如是2.5mm。在该网孔形成区域T1例如利用紫外线激光而形成2000个左右的贯通孔11。

如图3所示，贯通孔11形成为一端侧的开口直径R1比另一端侧的开口直径R2大。即，下表面10a侧的入口开口的开口直径R1比上表面10b侧的出口开口的开口直径R2大。另外，在网孔体100安装于雾化器的情况下，从入口开口流入药液，被喷雾化的药液从出口开口喷出。例如，开口直径R1为25μm左右，开口直径R2为3μm左右。

此外，贯通孔11具有形成于下表面10a侧的第一缩径部111、从第一缩径部111相连地形成的圆筒状部112以及从圆筒状部112相连地形成的第二缩径部113。

第一缩径部111形成为从下表面10a侧朝向上表面10b侧缩径。该第一缩径部111以截面形状向内侧鼓出的方式形成为曲线状，并且该第一缩径部111形成为上表面10b侧的缩径程度比下表面10a侧小。

圆筒状部112的厚度方向(Z方向)上的开口直径大致相同。该圆筒状部112配置于第一缩径部111与第二缩径部113之间。

第二缩径部113配置于上表面10b侧，形成为从下表面10a侧朝向上表面10b侧缩径。该第二缩径部113以截面形状向内侧鼓出的方式形成为曲线状，并且该第二缩径部113形成为上表面10b侧的缩径程度比下表面10a侧小。

因此，贯通孔11构成为借助于夹着圆筒状部112的2个第一缩径部111以及第二缩径部113而缩径，分2个阶段地缩径。

如图1以及图2所示，加强部件20是树脂制的膜状部件，形成为俯视时的圆形。另外，加强部件20的直径(外径)为例如6mm。该加强部件20例如是黑色的聚碳酸酯制，比网孔体主体10厚度大，例如厚度为410μm。此外，加强部件20构成为能够吸收接合用的激光。

此外，加强部件20形成为环状，在内部具有开口部21。开口部21形成为俯视时的圆形，其开口直径为例如2.7mm。开口部21以及网孔形成区域T1配置于对应的位置，通过环状的加强部件20包围网孔形成区域T1。因此，在从网孔形成区域T1的贯通孔11喷出药液的情况下，该药液通过加强部件20的开口部21。

而且，网孔体主体10以及加强部件20利用激光焊接而接合。具体而言，在将环状的加强部件20层叠于网孔体主体10的外缘部的状态下，将它们的接触界面焊接接合。这样，利用加强部件20对厚度小且刚性低的树脂制的网孔体主体10进行了加强，由此，作为网孔体100整体，能够得到充分的强度。

－网孔体的制造方法－

接下来，参照图1～图17对本实施方式的网孔体100的制造方法进行说明。另外，以下，在说明针对第1膜材50以及第2膜材60各自的单体的加工步骤之后，说明针对第1膜材50以及第2膜材60的双方的加工步骤。

[针对第1膜材的加工步骤]

首先，在图4的步骤S1中，清洗第1膜材50。另外，第1膜材50例如是透明的聚碳酸酯制，厚度为30μm。此外，第1膜材50的尺寸没有特别限定，例如为A5或者A6，使得处理容易。在该清洗工序中，利用IPA(异丙醇)等对第1膜材50进行几十秒～几分钟左右的超声波清洗。此后，通过气枪等从第1膜材50吹走IPA。

接下来，在步骤S2中，如图5所示，将第1膜材50载置于第一吸盘台200。而且，通过真空吸附将第1膜材50固定于第一吸盘台200。另外，优选通过使用多孔质陶瓷吸盘作为第一吸盘台200，来对第1膜材50的整个面进行吸附。这是由于，第1膜材50被全面地吸附，因此，在形成后述的贯通孔11时，即使空气从该贯通孔11逸出，也能够抑制第1膜材50上浮。由此，由于能够抑制作为加工对象的第1膜材50的位置偏移，因此，能够抑制所形成的贯通孔11的形状发生偏差。另外，第一吸盘台200设置于XY台。

接下来，在步骤S3中，测量第1膜材50的网孔形成区域T1的厚度。网孔形成区域T1是在第1膜材50的面内预先设定的圆形(例如直径为2.5mm)的区域。具体而言，如图6所示，网孔形成区域T1在第1膜材50上设置有多个(例如320个)，配置为交错状。另外，图6是示意图，数量及其尺寸关系等与实际不同。在后述的各图中也同样如此。此外，作为测量厚度的测量装置的一例，能够列举触针式的膜厚测量机或光学式的膜厚计等。此外，可以在吸附第1膜材50之前通过千分尺等测量厚度。

这里，第1膜材50按照每个膜而存在厚度偏差，并且即使在同一膜内也存在偏差。例如，最大存在5～6μm左右的偏差。因此，通过根据测量的厚度来设定后述的紫外线激光的照射条件，能够抑制贯通孔11的形状(出口直径)发生偏差。

作为具体例，根据测量的厚度来校正预先设定为基准的投射(shot)数。即，在测量的厚度比基准厚度大的情况下，使投射数从基准值增加，在测量的厚度比基准厚度小的情况下，使投射数从基准值减小。另外，也可以变更投射数以外的参数(例如，输出)。

接下来，在步骤S4中，利用紫外线激光在规定的网孔形成区域T1形成多个贯通孔11。例如，在规定的网孔形成区域T1内，以30μm间隔呈交错状地形成2000个贯通孔11。

在本实施方式中，使用YAG四次谐波(波长266nm、脉冲宽度10～15ns、重复频率10kHz)作为紫外线激光，通过检流镜沿X方向以及Y方向扫描单一激光束并通过远心fθ透镜进行聚光，通过上述结构进行加工。另外，透镜使用数值孔径NA(Numerical Aperture)高的(例如，0.18)透镜。此外，如上所述，根据规定的网孔形成区域T1的厚度来校正紫外线激光的照射条件。

这里，在本实施方式中，为了形成贯通孔11，在散焦的状态下照射紫外线激光并且在正好对焦的状态下照射紫外线激光。即，通过分为2阶段地照射紫外线激光，形成1个贯通孔11。另外，通过使用远心fθ透镜，即使进行扫描，也与第1膜材50垂直地会聚紫外线激光，即使在变更焦点位置的情况下，也能够使照射紫外线激光的位置相同。

具体而言，首先，以使第1膜材50的表面与正好对焦位置一致的方式，使设置有第一吸盘台200的XY台在Z方向上移动。此后，使XY台在Z方向上移动规定的散焦量。散焦量例如是0.06mm。而且，使输出例如为50mW来进行第1阶段的激光照射。即，在散焦的状态下，进行形成的孔数(2000个)的量的第1阶段的加工。

此后，以使第1膜材50的表面与正好对焦位置一致的方式使XY台在Z方向上移动。而且，使输出例如为10mW来进行第2阶段的激光照射。即，在正好对焦的状态下，进行形成的孔数(2000个)的量的第2阶段的加工。由此，图3所示的形状的贯通孔11在网孔形成区域T1形成有多个。另外，入口开口的开口直径R1为25μm左右，出口开口的开口直径R2为3μm左右。

这样，如图7所示，在1个网孔形成区域T1形成多个贯通孔11。而且，当对1个网孔形成区域T1的加工完成时，在步骤S5中，判断对全部网孔形成区域T1的加工是否完成。而且，在未对全部网孔形成区域T1完成加工的情况下，转移到步骤S6。

在步骤S6中，利用XY台使第1膜材50沿水平方向移动例如7mm左右，由此，未加工的网孔形成区域T1配置于加工区域，返回步骤S4。由此，在第1膜材50的各网孔形成区域T1分别形成多个贯通孔11。

然后，如图8以及图9所示，当对全部网孔形成区域T1完成加工时(步骤S5：是)，转移到步骤S7，进行形成的贯通孔11的检查。

在贯通孔11的检查中，首先，通过图像处理测量入口开口的开口直径R1。另外，可以测量全部贯通孔11的开口直径R1，也可以提取一部分贯通孔11来测量开口直径R1。

此后，将第1膜材50从第一吸盘台200取下，并将第1膜材50倒过来之后固定于第一吸盘台200。而且，通过图像处理测量出口开口的开口直径R2。另外，可以测量全部贯通孔11的开口直径R2，也可以提取一部分贯通孔11来测量开口直径R2。

这样，进行对第1膜材50单体的加工。

[对第2膜材的加工步骤]

首先，在图10的步骤S11中，清洗第2膜材60。另外，第2膜材60例如是黑色的聚碳酸酯制，厚度为410μm。此外，第2膜材60的尺寸没有特别限定，例如是与第1膜材50相同的尺寸(A5或者A6)。在该清洗工序中，利用IPA等对第2膜材60进行几十秒～几分钟左右的超声波清洗。此后，通过气枪等将IPA从第2膜材60吹走。

接下来，在步骤S12中，如图11所示，将第2膜材60载置于第二吸盘台210。而且，通过真空吸盘将第2膜材60固定于第二吸盘台210。另外，优选通过使用多孔质陶瓷吸盘作为第二吸盘台210，来吸附第2膜材60的整个面。另外，第二吸盘台210设置于XY台。

而且，在步骤S13中，如图12所示，在与上述网孔形成区域T1对应的位置形成开口部21。另外，开口部21例如开口直径为2.7mm，通过冲孔或激光打标等形成。

此后，当形成了1个开口部21时，在步骤S14中，判断是否形成了全部开口部21。另外，全部开口部21是指预先设定的数量的开口部。此外，预先设定的数量例如是与第1膜材50的网孔形成区域T1的数量相同的数量、即320个。而且，在未形成全部开口部21的情况下，转移到步骤S15。

在步骤S15中，通过XY台使第2膜材60沿水平方向移动例如7mm左右，返回步骤S13。由此，以与第1膜材50的多个网孔形成区域T1分别对应的方式，在第2膜材60形成多个开口部21。另外，输送第2膜材60的XY台优选与输送第1膜材50的XY台的驱动性能相同。这是为了抑制在将第1膜材50与第2膜材60层叠时，开口部21与贯通孔11的位置偏离。

而且，如图13以及图14所示，当形成全部开口部21时(步骤S14：是)，转移到步骤S16，进行形成的开口部21的检查。

在开口部21的检查中，例如通过图像处理测量其开口直径。另外，可以测量全部开口部21的开口直径，也可以提取一部分开口部21来测量开口直径。此外，在通过冲孔形成开口部21的情况下，可以通过确认该冲孔的位置(例如，冲孔是否到达下止点)，来作为开口部21的检查。

这样，进行对第2膜材60单体的加工。

[针对第1膜材以及第2膜材的加工步骤]

首先，在图15的步骤S21中，对第1膜材50以及第2膜材60进行定位。具体而言，如图16以及图17所示，在载置台220上载置被实施了上述加工的第2膜材60。然后，在第2膜材60上层叠被实施了上述加工的第1膜材50。此时，贯通孔11的入口开口侧配置于上方，第1膜材50被相对于第2膜材60定位。另外，定位例如是通过在第1膜材50以及第2膜材60的规定的位置、例如四角形成定位孔(省略图示)，并向该定位孔插入销来进行的。

此后，通过板状部件221(参照图16)对第1膜材50以及第2膜材60进行加压。另外，板状部件221构成为使接合用的激光透过。此外，在图17中，考虑到便于观察而省略板状部件221的图示。

然后，在步骤S22中，通过激光焊接将第1膜材50与第2膜材60接合。另外，接合用的激光从板状部件221侧朝向第2膜材60照射，透过板状部件221以及第1膜材50并被第2膜材60吸收。具体而言，各开口部21的周围的环状区域T2(参照图17)通过焊接而被接合。在本实施方式中，利用波长为808nm且连续输出的半导体激光将第1膜材50与第2膜材60焊接。

进而，在步骤S23中，通过图像处理等进行接合部的检查。此后，在步骤S24中，通过冲孔等将各接合部的外缘(例如，环状区域T2的外周的稍内侧)切掉。由此，得到了图1以及图2所示的网孔体100。即，在本实施方式中，通过1个第1膜材50和1个第2膜材60形成320个网孔体100。

－效果－

在本实施方式中，如上所述，利用紫外线激光形成网孔形成区域T1的贯通孔11，由此，通过变更该紫外线激光的照射条件等，能够容易地进行网孔形成区域T1的贯通孔11的设计变更。由此，与使用模具等的情况相比，能够价廉地制造贯通孔11的开口直径或数量等不同的网孔体100，因此，能够容易地提供与药液对应的网孔体100。此外，利用激光焊接将第1膜材50与第2膜材60接合，由此，能够缩小热影响范围，因此，能够抑制网孔体100的喷雾性能产生偏差。

此外，在本实施方式中，在第1膜材50的多个网孔形成区域T1一并地形成多个贯通孔11，并且在第2膜材60一并地形成多个开口部21，利用激光焊接将第1膜材50与第2膜材60接合并挑选多个网孔体100，由此，能够实现生产效率的提高。

此外，在本实施方式中，在形成贯通孔11后，将第1膜材50与第2膜材60焊接，由此，能够在第1膜材50受到焊接的热影响之前形成贯通孔11，由此，能够抑制贯通孔11的形状发生偏差。

此外，在本实施方式中，根据网孔形成区域T1的厚度来校正紫外线激光的照射条件，由此，能够抑制贯通孔11的形状(出口直径)发生偏差。

此外，在本实施方式中，以分2个阶段地缩径的方式形成具有圆筒状部112的贯通孔11，由此，能够实现来自网孔体100的喷雾量的增加，并且抑制喷雾直径增大。另外，细节将后述。

此外，在本实施方式中，第2膜材60吸收接合用的激光，由此，能够抑制第1膜材50受到热影响，因此，能够抑制网孔形成区域T1变形或收缩。

此外，在本实施方式中，在激光焊接时，利用板状部件221进行加压，由此，能够缩小热影响范围，因此，在并列处理多个时，在各开口部21的周围的环状区域T2的焊接时，能够抑制由于收缩等而导致的位置偏离。由此，能够实现并列处理，提高生产效率，并且能够抑制喷雾性能的偏差。

－贯通孔的形状－

在本实施方式中，示出了以分2个阶段地缩径的方式具有圆筒状部112的贯通孔11(参照图3)，但不限于此，也可以如图18所示的第1变形例的贯通孔11a那样不形成圆筒状部。该贯通孔11a形成为一端侧的开口直径R3比另一端侧的开口直径R4大，构成为从一端侧朝向另一端侧逐渐缩径。即，贯通孔11a形成为在厚度方向的全长上连续地缩径。该贯通孔11a例如能够通过如下方式来形成：使用数值孔径NA较低的(例如，0.025)透镜，使输出为80mW并在0.3mm的散焦状态下进行第1阶段的加工，使输出为80mW并在正好对焦的状态下进行第2阶段的加工。

这里，在连续地缩径的情况下，如图19所示的第2变形例的贯通孔11b那样，随着一端侧的开口直径R5增大，另一端侧的开口直径R6增大。该贯通孔11b构成为从一端侧朝向另一端侧逐渐缩径，整体来说，开口直径比贯通孔11a大。

因此，对具有贯通孔11～11b的网孔体进行喷雾性能的评价实验，其结果如表1所示。另外，对于以分2个阶段地缩径的方式具有圆筒状部112的贯通孔11(参照图3)，入口开口的开口直径R1为大约25μm，出口开口的开口直径R2为大约3.3μm。此外，对于连续地缩径的贯通孔11a(参照图18)，入口开口的开口直径R3为大约25μm，出口开口的开口直径R4为大约3.3μm。此外，连续地缩径的贯通孔11b(参照图19)的入口开口的开口直径R5为大约28μm，出口开口的开口直径R6为大约4.9μm。

[表1]

在该实验中，使用具有贯通孔11的网孔体分别喷射Pulmicort(注册商标)、Alevaire(注册商标)、Mucofilin(注册商标)以及清水，进行此时的喷雾量以及喷雾直径的测量。对于具有贯通孔11a的网孔体以及具有贯通孔11b的网孔体也同样如此。另外，在利用具有贯通孔11a的网孔体喷射Mucofilin的情况下，喷雾量较少，无法测量喷雾直径。

根据表1所示的实验结果可知，具有贯通孔11b的网孔体比具有贯通孔11a的网孔体的喷雾量多并且喷雾直径大。认为这是由于，贯通孔11b的出口开口的开口直径R6比贯通孔11a的出口开口的开口直径R4大。即，在连续地缩径的情况下，当实现喷雾量的增加时，喷雾直径变大。

而且，在具有贯通孔11的网孔体中，相比于具有贯通孔11a的网孔体，喷雾量增多，并且相比于具有贯通孔11b的网孔体，减小了喷雾直径。因此，可以明确在具有分2个阶段地缩径的贯通孔11的网孔体中，能够实现喷雾量的增加，并且抑制喷雾直径增大，因此，喷雾性能良好。

另外，在具有贯通孔11的网孔体和具有贯通孔11b的网孔体中，针对清水的喷雾直径的值相近，但针对药液(Pulmicort、Alevaire、Mucofilin)而言，喷雾直径的值明显不同。即，可以认为在具有贯通孔11的网孔体中，尤其在对药液进行喷雾的情况下，喷雾性能良好。另外，清水与药液的这种差异被认为是因粘性或表面张力的不同而引起的。

－加强部件的形状－

接下来，对加强部件的形状与喷雾量之间的关系进行说明。另外，以下，在对加强部件的厚度与喷雾量之间的关系进行说明之后，对加强部件的开口部的开口直径与喷雾量之间的关系进行说明。

[关于厚度]

首先，制作了多个以30μm的间隔呈交错状地具有2800个贯通孔的网孔体主体。另外，贯通孔的入口开口的开口直径为25μm，出口开口的开口直径为3.5μm。此外，制作了多个厚度不同的加强部件。另外，各加强部件的开口部的开口直径为2.3mm，是相同的。而且，通过将网孔体主体与加强部件接合，来制作加强部件的厚度不同的多个网孔体。而且，对各网孔体的喷雾量进行测量，其结果如图20所示。

如图20所示，明确了在加强部件的厚度较大(为800μm左右)的情况下以及加强部件的厚度较小(为200μm左右)的情况下，喷雾量下降。另外，各网孔体中的贯通孔的总开口面积相同。因此，加强部件的厚度优选为300μm～600μm。

[关于开口部的开口直径]

首先，制作多个与上述同样的网孔体主体。此外，制作多个开口直径不同的加强部件。另外，各加强部件的厚度为440μm，是相同的。而且，通过将网孔体主体与加强部件接合，来制作开口直径不同的多个网孔体。而且，对各网孔体的喷雾量进行测量，其结果如图21所示。

如图21所示，明确了在开口直径较大(为4mm左右)的情况下以及开口直径较小(为1.6mm左右)的情况下，喷雾量下降。另外，各网孔体中的贯通孔的总开口面积相同。因此，加强部件的开口直径优选为2.3mm～3.2mm。

－其他实施方式－

另外，此次公开的实施方式在全部方面都是例示，并不是限定性解释的根据。因此，本发明的技术范围并非仅根据上述实施方式进行解释，而是根据权利要求书的记载进行定义。此外，本发明的技术的范围包含与权利要求书同等的意思以及范围内的全部变更。

例如，在本实施方式中，示出了利用激光焊接将网孔体主体10与加强部件20接合的例子，但不限于此，可以利用其他的方法将网孔体主体与加强部件接合。此外，可以不设置加强部件。

此外，在本实施方式中，示出了具有圆筒状部112和第二缩径部113的贯通孔11，但不限于此，可以如图22所示的第3变形例的贯通孔11c那样，形成开口直径不同的多个圆筒状部111c以及112c。该贯通孔11c形成为一端侧(入口开口)的开口直径比另一端侧(出口开口)的开口直径大。此外，贯通孔11c具有形成于一端侧的圆筒状部111c以及形成于另一端侧的圆筒状部112c，圆筒状部111c与112c经由阶差部相连。圆筒状部111c的开口直径比圆筒状部112c的开口直径大，圆筒状部111c以及112c各自在厚度方向上的开口直径大致相同。另外，示出了贯通孔11c具有开口直径不同的2个圆筒状部111c以及112c的例子，但不限于此，贯通孔可以具有开口直径不同的3个以上的圆筒状部。

此外，在本实施方式中，示出了网孔体主体10的厚度为30μm的例子，但不限于此，网孔体主体的厚度可以不是30μm。另外，网孔体主体的厚度优选为100μm以下，更优选为50μm以下。

此外，在本实施方式中，示出了网孔体主体10为聚碳酸酯制的例子，但不限于此，只要能够形成贯通孔并能够用于雾化器，则网孔体主体也可以由其他的材料形成。作为网孔体主体的材料的一例，能够列举聚砜、聚苯砜、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、聚苯硫醚、聚偏二氟乙烯、聚苯醚、聚缩醛、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二酯等。

此外，在本实施方式中，示出了加强部件20的厚度为410μm的例子，但不限于此，加强部件的厚度可以不是410μm。另外，加强部件的厚度优选为100μm以上，更优选为300μm以上。

此外，在本实施方式中，示出了加强部件20为聚碳酸酯制的例子，但不限于此，只要能够与网孔体主体接合并且能够用于雾化器，则加强部件也可以由其他的材料形成。作为加强部件的材料的一例，能够列举聚砜、聚苯砜、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、聚苯硫醚、聚偏二氟乙烯、聚苯醚、聚缩醛、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二酯等。

此外，在本实施方式中，示出了通过散焦形成贯通孔11的例子，但不限于此，可以通过在正好聚焦位置进行螺旋加工，来形成期望的形状的贯通孔。同样地，可以通过利用掩模转印法改变掩模尺寸，来形成期望的形状的贯通孔。同样地，可以通过使掩模尺寸连续地可变，并改变激光束直径来改变数值孔径NA，来控制贯通孔的缩径角度并形成期望的形状的贯通孔。

此外，在本实施方式中，示出了通过分2个阶段地照射紫外线激光来形成1个贯通孔11的例子，但不限于此，也可以通过3个阶段以上的激光照射来形成贯通孔。

此外，在本实施方式中，使用YAG四次谐波作为紫外线激光，但不限于此，也可以使用YAG三次谐波或准分子激光作为紫外线激光。另外，紫外线激光的波长优选为350nm以下。

此外，在本实施方式中，示出了通过远心fθ透镜进行聚光的例子，但不限于此，也可以通过fθ透镜或球面透镜等其他的透镜进行聚光。

此外，在本实施方式中，示出了扫描单一激光束的例子，但不限于此，可以使用衍射光学元件等使激光束分支，一并扫描多个激光束。如果这样构成，则能够实现生产效率的提高。

此外，在本实施方式中，示出了通过利用检流镜进行扫描来在1个网孔形成区域T1形成多个贯通孔11的例子，但不限于此，可以通过利用检流镜进行扫描来在多个网孔形成区域分别形成多个贯通孔。如果这样构成，则能够减少使XY台动作的次数，因此，能够实现加工时间的缩短。

此外，在本实施方式中，示出了进行各种检查的例子，但不限于此，可以不进行检查，也可以仅进行一部分的检查。

此外，在本实施方式中，网孔体100的直径、贯通孔11的数量及其间隔、配置等都是一例，能够适当变更。

此外，在本实施方式中，作为将第1膜材50与第2膜材60接合的激光，示出了半导体激光，但不限于此，可以利用其他的激光将第1膜材与第2膜材接合。

此外，在本实施方式中，作为将第1膜材50与第2膜材60接合的激光接合的焊接区域，示出了通过焊接来接合各开口部21的周围的环状区域T2，但也可以在焊接环状区域T2之前，形成一处或多处线状或者点状的焊接部位。如果采用这样的结构，则能够通过线状或者点状的焊接部位进行临时固定，因此，能够进一步抑制对环状区域T2进行激光焊接时的收缩。因此，能够实现贯通孔11相对于开口部21的位置精度的提高。

此外，在本实施方式中，示出了将形成有贯通孔11的第1膜材50与形成有开口部21的第2膜材60层叠的例子，但不限于此，也可以在将形成有开口部的第2膜材与第1膜材层叠的状态下，在第1膜材形成贯通孔。如果这样构成，则能够实现贯通孔相对于开口部的位置精度的提高。

此外，在本实施方式中，示出了第1膜材50供接合用的激光透过，第2膜材60吸收接合用的激光的例子，但不限于此，也可以是第2膜材供接合用的激光透过，第1膜材吸收接合用的激光。

此外，在本实施方式中，在切除并形成多个网孔体100之后，还可以设置清洗该网孔体100的工序。此外，还可以设置对网孔体100的喷雾性能进行评价的工序。

产业上的可利用性

本发明能够用于形成有多个贯通孔的网孔体的制造方法以及网孔体。

标号说明

10：网孔体主体；11：贯通孔；11a：贯通孔；11b：贯通孔；11c：贯通孔；20：加强部件；21：开口部；50：第1膜材；60：第2膜材；100：网孔体；111c：圆筒状部；112：圆筒状部；112c：圆筒状部；113：第二缩径部；T1：网孔形成区域。

Claims (5)

1.一种网孔体的制造方法，该网孔体具有树脂制的网孔体主体、和对所述网孔体主体进行加强的树脂制的加强部件，该网孔体的制造方法的特征在于，具有如下工序：

对于在树脂制的第1膜材的网孔形成区域中形成多个贯通孔的每个部位测量厚度；

利用激光在所述第1膜材的所述网孔形成区域形成所述贯通孔；

在树脂制的第2膜材形成开口部；

将所述第1膜材和所述第2膜材层叠，并且将所述网孔形成区域和所述开口部配置于对应的位置；以及

在所述开口部的周围利用激光焊接将所述第1膜材和所述第2膜材接合，

根据所述第1膜材的形成所述贯通孔的每个部位的厚度的测量结果，来设定形成所述贯通孔时的激光的照射条件。

2.根据权利要求1所述的网孔体的制造方法，其特征在于，

该网孔体的制造方法具有将所述第1膜材和所述第2膜材的接合部的外缘切掉的工序。

3.根据权利要求2所述的网孔体的制造方法，其特征在于，

在所述第1膜材设置多个所述网孔形成区域，并且在所述第2膜材形成多个所述开口部，将所述多个网孔形成区域和所述多个开口部配置于分别对应的位置，

在利用激光焊接将所述多个开口部的周围接合之后，将多个接合部的周围切掉。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的网孔体的制造方法，其特征在于，

在所述第1膜材形成所述贯通孔之后，将所述第1膜材和所述第2膜材接合。

5.一种网孔体的制造方法，该网孔体具有树脂制的网孔体主体、和对所述网孔体主体进行加强的树脂制的加强部件，该网孔体的制造方法的特征在于，具有如下工序：

对于在树脂制的第1膜材的网孔形成区域中形成多个贯通孔的每个部位测量厚度；

在所述第1膜材上层叠具有开口部的树脂制的第2膜材；

利用激光在所述第1膜材的所述网孔形成区域形成所述贯通孔；以及

在所述开口部的周围利用激光焊接将所述第1膜材和所述第2膜材接合，

根据所述第1膜材的形成所述贯通孔的每个部位的厚度的测量结果，来设定形成所述贯通孔时的激光的照射条件。