KR20170082558A

KR20170082558A - 메시의 제조 방법 및 메시

Info

Publication number: KR20170082558A
Application number: KR1020177014838A
Authority: KR
Inventors: 사토시 히로노; 유카 다니오카; 준지 가와모토; 마코토 다바타; 아키오 스미야
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤; 오므론 헬스캐어 가부시키가이샤
Priority date: 2014-12-05
Filing date: 2015-11-18
Publication date: 2017-07-14
Also published as: BR112017011775A2; KR101850259B1; WO2016088555A1; JP6415953B2; CN107000327A; BR112017011775B1; US10525658B2; JP2016107515A; EP3210753A1; CN107000327B; EP3210753B1; EP3210753A4; US20180264773A1

Abstract

메시의 제조 방법은, 수지제의 메시 본체와, 메시 본체를 보강하는 수지제의 보강 부재를 구비하는 메시의 제조 방법이며, 수지제의 제1 필름재의 메시 형성 영역에 레이저에 의해 복수의 관통 구멍을 형성하는 공정과, 수지제의 제2 필름재에 개구부를 형성하는 공정과, 제1 필름재 및 제2 필름재를 적층함과 함께, 메시 형성 영역과 개구부를 대응하는 위치에 배치하는 공정과, 제1 필름재 및 제2 필름재를 개구부의 주위에서 레이저 용착에 의해 접합하는 공정을 구비한다.

Description

메시의 제조 방법 및 메시{MESH MANUFACTURING METHOD AND MESH}

본 발명은, 메시의 제조 방법 및 메시에 관한 것이다.

종래, 다수의 미세한 관통 구멍이 형성된 메시가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1에는, 액체 분무 장치에 설치되는 메시부가 개시되어 있다. 메시부는, 수지제이며, 박판 형상의 외형을 가짐과 함께, 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 메시부는, 약액을 분무화하기 위해서 설치되어 있다. 그리고, 이 메시부의 주연부에는, 중공부를 갖는 도넛 형상의 보강부가 접합되어 있다. 이로 인해, 두께가 작고 강성이 낮은 수지제의 메시부를 보강부에서 보강할 수 있으므로, 전체로서 충분한 강도를 얻는 것이 가능하다. 또한, 메시부는, 예를 들어 금형에 의해 형성되어 있다.

일본 특허공개 제2014-4208호 공보

그러나, 상기한 바와 같이 메시부를 금형에 의해 형성하는 경우에 있어서, 관통 구멍의 개구 직경이나 수 등을 변경하기 위해서는, 사용하는 금형을 변경할 필요가 있다. 즉, 메시부의 설계 변경을 행하는 것이 곤란하다.

본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은, 설계 변경을 용이하게 행하는 것이 가능한 메시의 제조 방법 및 메시를 제공하는 것이다.

본 발명에 의한 메시의 제조 방법은, 수지제의 메시 본체와, 메시 본체를 보강하는 수지제의 보강 부재를 구비하는 메시의 제조 방법이며, 수지제의 제1 필름재의 메시 형성 영역에 레이저에 의해 복수의 관통 구멍을 형성하는 공정과, 수지제의 제2 필름재에 개구부를 형성하는 공정과, 제1 필름재 및 제2 필름재를 적층함과 함께, 메시 형성 영역과 개구부를 대응하는 위치에 배치하는 공정과, 제1 필름재 및 제2 필름재를 개구부의 주위에서 레이저 용착에 의해 접합하는 공정을 구비한다.

이와 같이 메시 형성 영역의 관통 구멍을 레이저로 형성함으로써, 레이저의 조사 조건 등을 변경함으로써, 메시 형성 영역의 관통 구멍의 설계 변경을 용이하게 행할 수 있다. 이에 의해, 금형 등을 사용하는 경우에 비하여, 관통 구멍의 개구 직경이나 수 등이 상이한 메시를 저렴하게 제조할 수 있으므로, 약액에 따른 메시를 용이하게 제공할 수 있다. 또한, 제1 필름재 및 제2 필름재를 레이저 용착에 의해 접합함으로써, 열 영향 범위를 좁게 할 수 있으므로, 메시의 분무 성능에 변동이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

상기 메시의 제조 방법에 있어서, 제1 필름재 및 제2 필름재의 접합부의 외측 에지를 잘라 내는 공정을 구비하고 있어도 된다.

이 경우에 있어서, 제1 필름재에는 복수의 메시 형성 영역이 마련됨과 함께, 제2 필름재에는 복수의 개구부가 형성되고, 복수의 메시 형성 영역과 복수의 개구부가 각각 대응하는 위치에 배치되고, 레이저 용착에 의해 복수의 개구부의 주위를 접합한 후에, 복수의 접합부의 주위를 잘라내도록 해도 된다.

상기 메시의 제조 방법에 있어서, 제1 필름재에 관통 구멍을 형성한 후에, 제1 필름재 및 제2 필름재를 접합하도록 해도 된다.

상기 메시의 제조 방법에 있어서, 제1 필름재의 두께를 계측하는 공정을 구비하고, 제1 필름재의 두께의 계측 결과에 따라서 관통 구멍을 형성할 때의 레이저의 조사 조건을 설정하도록 해도 된다.

본 발명에 의한 메시의 제조 방법은, 수지제의 메시 본체와, 메시 본체를 보강하는 수지제의 보강 부재를 구비하는 메시의 제조 방법이며, 수지제의 제1 필름재에, 개구부를 갖는 수지제의 제2 필름재를 적층하는 공정과, 제1 필름재의 메시 형성 영역에 레이저에 의해 복수의 관통 구멍을 형성하는 공정과, 제1 필름재 및 제2 필름재를 개구부의 주위에서 레이저 용착에 의해 접합하는 공정을 구비한다.

본 발명에 의한 메시는, 수지제의 메시 본체와, 메시 본체를 보강하는 수지제의 보강 부재를 구비한다. 메시 본체에는, 메시 형성 영역이 마련되어 있으며, 메시 형성 영역에 레이저에 의해 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다. 보강 부재는, 메시 형성 영역을 둘러싸도록 환 형상으로 형성되어 있다. 메시 본체 및 보강 부재는, 레이저 용착에 의해 접합되어 있다.

상기 메시에 있어서, 관통 구멍은, 한쪽 단부측의 개구 직경이 다른 쪽 단부측의 개구 직경에 비해 커지도록 형성되어 있으며, 한쪽 단부측으로부터 다른 쪽 단부측을 향해서 서서히 직경 축소되도록 구성되어 있어도 된다.

상기 메시에 있어서, 관통 구멍은, 한쪽 단부측의 개구 직경이 다른 쪽 단부측의 개구 직경에 비해 커지도록 형성되어 있으며, 원통 형상부와, 원통 형상부에서 다른 쪽 단부측을 향해서 서서히 직경 축소되는 직경 축소부를 갖고 있어도 된다.

상기 메시에 있어서, 관통 구멍은, 한쪽 단부측의 개구 직경이 다른 쪽 단부측의 개구 직경에 비해 커지도록 형성되어 있으며, 개구 직경이 상이한 복수의 원통 형상부를 갖고 있어도 된다.

본 발명의 메시 제조 방법 및 메시에 의하면, 설계 변경을 용이하게 행할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 의한 메시를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 2는, 도 1의 메시를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은, 도 1의 메시의 관통 구멍을 확대하여 나타낸 단면도이다.
도 4는, 본 실시 형태의 메시 제조 방법을 설명하기 위한 도면으로서, 제1 필름재 단체에 대한 가공 수순을 나타낸 도면이다.
도 5는, 제1 필름재가 처킹된 상태를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 6은, 제1 필름재가 처킹된 상태를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 7은, 제1 필름재의 하나의 메시 형성 영역에 관통 구멍이 형성된 상태를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 8은, 제1 필름재의 모든 메시 형성 영역에 관통 구멍이 형성된 상태를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 9는, 제1 필름재의 모든 메시 형성 영역에 관통 구멍이 형성된 상태를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 10은, 본 실시 형태의 메시 제조 방법을 설명하기 위한 도면으로서, 제2 필름재 단체에 대한 가공 수순을 나타낸 도면이다.
도 11은, 제2 필름재가 처킹된 상태를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 12는, 제2 필름재에 하나의 개구부가 형성된 상태를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 13은, 제2 필름재에 모든 개구부가 형성된 상태를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 14는, 제2 필름재에 모든 개구부가 형성된 상태를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 15는, 본 실시 형태의 메시 제조 방법을 설명하기 위한 도면으로서, 제1 필름재 및 제2 필름재의 양쪽에 대한 가공 수순을 나타낸 도면이다.
도 16은, 제1 필름재 및 제2 필름재가 위치 결정된 상태를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 17은, 제1 필름재 및 제2 필름재가 위치 결정된 상태를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 18은, 본 실시 형태의 제1 변형예에 의한 관통 구멍을 확대하여 나타낸 단면도이다.
도 19는, 본 실시 형태의 제2 변형예에 의한 관통 구멍을 확대하여 나타낸 단면도이다.
도 20은, 보강 부재의 두께와 분무량의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 21은, 보강 부재의 개구부의 개구 직경과 분무량의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 22는, 본 실시 형태의 제3 변형예에 의한 관통 구멍을 확대하여 나타낸 단면도이다.

이하, 본 발명의 일 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

-메시의 구조-

우선, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 의한 메시(100)의 구조에 대하여 설명한다. 이 메시(100)는, 예를 들어 약액을 분무화하기 위해서 네블라이저(흡입기)에 설치된다.

메시(100)는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 메시 본체(10)와, 메시 본체(10)를 보강하는 보강 부재(20)를 구비한다. 이 메시(100)는, 평면적으로 볼 때 원형으로 형성되고, 그 직경이 예를 들어 6㎜이다. 또한, 도 1 및 도 2는, 메시(100)를 설명하기 위해서 모식적으로 나타낸 도면이며, 관통 구멍(11)의 수나 그 치수 관계 등은 실제의 것과는 상이하다.

메시 본체(10)는, 수지제의 얇은 필름 형상 부재이며, 평면적으로 볼 때 원형으로 형성되어 있다. 이 메시 본체(10)는, 예를 들어 투명한 폴리카르보네이트제이며, 두께가 30㎛임과 동시에 직경이 6㎜이다. 이로 인해, 메시 본체(10)는, 접합용 레이저를 투과 가능하게 구성되어 있다.

또한, 메시 본체(10)의 중앙에는 메시 형성 영역 T1이 설치되어 있으며, 그 메시 형성 영역 T1에 다수의 미세한 관통 구멍(11)이 형성되어 있다. 메시 형성 영역 T1은, 평면적으로 볼 때 원형의 영역이며, 그 직경이 예를 들어 2.5㎜이다. 이 메시 형성 영역 T1에는, 예를 들어 자외선 레이저에 의해 2000개 정도의 관통 구멍(11)이 형성되어 있다.

관통 구멍(11)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 한쪽 단부측의 개구 직경 R1이 다른 쪽 단부측의 개구 직경 R2에 비해 커지게 되도록 형성되어 있다. 즉, 하면(10a) 측의 입구 개구의 개구 직경 R1이 상면(10b) 측의 출구 개구의 개구 직경 R2에 비해 커지게 되어 있다. 또한, 메시(100)가 네블라이저에 장착된 경우에는, 입구 개구로부터 약액이 유입되고, 분무화한 약액이 출구 개구로부터 분출된다. 예를 들어, 개구 직경 R1은 25㎛ 정도이며, 개구 직경 R2는 3㎛ 정도이다.

또한, 관통 구멍(11)은, 하면(10a) 측에 형성된 직경 축소부(111)와, 직경 축소부(111)로부터 이어지도록 형성된 원통 형상부(112)와, 원통 형상부(112)로부터 이어지도록 형성된 직경 축소부(113)를 갖는다.

직경 축소부(111)는, 하면(10a) 측으로부터 상면(10b) 측을 향해서 직경 축소되도록 형성되어 있다. 이 직경 축소부(111)는, 단면 형상이 내측으로 팽창되도록 곡선 형상으로 형성되고, 하면(10a) 측에 비해 상면(10b) 측의 직경 축소 정도가 작아지도록 형성되어 있다.

원통 형상부(112)는, 두께 방향(Z 방향)에 있어서의 개구 직경이 거의 동일하게 되어 있다. 이 원통 형상부(112)는, 직경 축소부(111 및 113)의 사이에 배치되어 있다.

직경 축소부(113)는, 상면(10b) 측에 배치되고, 하면(10a) 측으로부터 상면(10b) 측을 향해서 직경 축소되도록 형성되어 있다. 이 직경 축소부(113)는, 단면 형상이 내측으로 팽창되도록 곡선 형상으로 형성되고, 하면(10a) 측에 비해 상면(10b) 측의 직경 축소 정도가 작아지도록 형성되어 있다.

이로 인해, 관통 구멍(11)은, 원통 형상부(112)를 사이에 둔 2개의 직경 축소부(111 및 113)에서 직경 축소되도록 구성되어 있으며, 2단계로 직경 축소되도록 되어 있다.

보강 부재(20)는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 수지제의 필름 형상 부재이며, 평면적으로 볼 때 원형으로 형성되어 있다. 또한, 보강 부재(20)의 직경(외경)은, 예를 들어 6㎜이다. 이 보강 부재(20)는, 예를 들어 흑색의 폴리카르보네이트제이며, 메시 본체(10)에 비해 두께가 커지게 되어 있으며, 예를 들어 두께가 410㎛이다. 또한, 보강 부재(20)는, 접합용 레이저를 흡수 가능하게 구성되어 있다.

또한, 보강 부재(20)는, 환 형상으로 형성되어 있으며, 내부에 개구부(21)를 갖는다. 개구부(21)는, 평면적으로 볼 때 원형으로 형성되고, 그 개구 직경이 예를 들어 2.7㎜이다. 개구부(21) 및 메시 형성 영역 T1은 대응하는 위치에 배치되어 있으며, 환 형상의 보강 부재(20)에 의해 메시 형성 영역 T1이 둘러싸여 있다. 이로 인해, 메시 형성 영역 T1의 관통 구멍(11)으로부터 약액이 분출된 경우에는, 그 약액이 보강 부재(20)의 개구부(21)를 통과하도록 되어 있다.

그리고, 메시 본체(10) 및 보강 부재(20)는, 레이저 용착에 의해 접합되어 있다. 구체적으로는, 환 형상의 보강 부재(20)가 메시 본체(10)의 외측 에지부에 적층된 상태에서, 그 접촉 계면이 용착 접합되어 있다. 이와 같이, 두께가 작고 강성이 낮은 수지제의 메시 본체(10)를 보강 부재(20)로 보강함으로써, 메시(100) 전체로서 충분한 강도를 얻는 것이 가능하다.

-메시의 제조 방법-

다음으로, 도 1 내지 도 17을 참조하여, 본 실시 형태에 의한 메시(100)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 또한, 이하에서는, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)의 각각의 단체에 대한 가공 수순을 설명한 후에, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)의 양쪽에 대한 가공 수순을 설명한다.

[제1 필름재에 대한 가공 수순]

우선, 도 4의 스텝 S1에 있어서, 제1 필름재(50)를 세정한다. 또한, 제1 필름재(50)는, 예를 들어 투명한 폴리카르보네이트제이며, 두께가 30㎛이다. 또한, 제1 필름재(50)의 사이즈는, 특별히 한정되지 않지만, 취급이 용이하도록 예를 들어 A5 또는 A6이다. 이 세정 공정에서는, IPA(이소프로필알코올) 등으로 수십 초 내지 수분 정도의 초음파 세정을 제1 필름재(50)에 대해서 행한다. 그 후, 에어건 등에 의해, 제1 필름재(50)로부터 IPA를 날려버린다.

다음으로, 스텝 S2에 있어서, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 필름재(50)를 척 받침대(200)에 적재한다. 그리고, 진공 척에서 제1 필름재(50)를 척 받침대(200)에 고정한다. 또한, 척 받침대(200)로서 다공질 세라믹 척을 사용함으로써, 제1 필름재(50)의 전체면을 처킹하는 것이 바람직하다. 이것은, 제1 필름재(50)가 전면적으로 흡착되기 때문에, 후술하는 관통 구멍(11)의 형성 시에, 그 관통 구멍(11)으로부터 에어가 빠져나가도, 제1 필름재(50)가 들뜨는 것을 억제할 수 있기 때문이다. 이에 의해, 가공 대상인 제1 필름재(50)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있으므로, 형성되는 관통 구멍(11)의 형상이 변동되는 것을 억제하는 것이 가능하다. 또한, 척 받침대(200)는, XY 스테이지에 설치되어 있다.

다음으로, 스텝 S3에 있어서, 제1 필름재(50)의 메시 형성 영역 T1의 두께를 계측한다. 메시 형성 영역 T1은, 제1 필름재(50)의 면 내에 있어서 미리 설정된 원형(예를 들어 직경이 2.5㎜)의 영역이다. 구체적으로는, 메시 형성 영역 T1은, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 필름재(50)에 복수(예를 들어 320개) 설치되고, 지그재그 형상으로 배치되어 있다. 또한, 도 6은 모식도이며, 수나 그 치수 관계 등은 실제의 것과는 상이하다. 후술하는 각 도면에 대해서도 마찬가지이다. 또한, 두께를 계측하는 계측 장치의 일례로서는, 촉침식의 단차계나 광학식의 막 두께 측정기 등을 들 수 있다. 또한, 제1 필름재(50)를 처킹하기 전에 마이크로미터 등으로 두께를 계측해도 된다.

여기서, 제1 필름재(50)는, 필름마다 두께에 변동이 있음과 함께, 동일한 필름 내에서도 변동이 있다. 예를 들어, 최대 5 내지 6㎛ 정도의 변동이 있다. 그래서, 계측한 두께에 대응하여 후술하는 자외선 레이저의 조사 조건을 설정함으로써, 관통 구멍(11)의 형상(출구 직경)이 변동되는 것을 억제하는 것이 가능하다.

구체예로서는, 미리 기준으로서 설정된 샷수를 계측한 두께에 대응하여 보정한다. 즉, 계측된 두께가 기준 두께보다도 큰 경우에는, 샷수를 기준값으로부터 증가시키고, 계측된 두께가 기준 두께보다도 작은 경우에는, 샷수를 기준값으로부터 저감시키도록 한다. 또한, 샷수 이외의 파라미터(예를 들어, 출력)를 변경하도록 해도 된다.

다음으로, 스텝 S4에 있어서, 자외선 레이저에 의해 소정의 메시 형성 영역 T1에 대해서 다수의 관통 구멍(11)을 형성한다. 예를 들어, 소정의 메시 형성 영역 T1 내에, 2000개의 관통 구멍(11)을 30㎛ 간격으로 지그재그 형상으로 형성한다.

본 실시 형태에서는, 자외선 레이저로서 YAG 제4 고조파(파장 266㎚, 펄스폭 10 내지 15㎱, 반복 주파수 10㎑)를 사용하고, 갈바노 미러로 단일 레이저 빔을 X 방향 및 Y 방향으로 주사하여 텔레센트릭 fθ 렌즈로 집광하는 구성으로 가공을 행한다. 또한, 렌즈는, 개구수 NA(Numerical Aperture)가 높은(예를 들어, 0.18) 것을 사용한다. 또한, 상기한 바와 같이, 소정의 메시 형성 영역 T1의 두께에 대응하여 자외선 레이저의 조사 조건을 보정한다.

여기서, 본 실시 형태에서는, 관통 구멍(11)을 형성하기 위해서, 디포커싱한 상태에서 자외선 레이저를 조사함과 함께, 저스트 포커싱한 상태에서 자외선 레이저를 조사한다. 즉, 2단계로 자외선 레이저를 조사함으로써, 1개의 관통 구멍(11)을 형성한다. 또한, 텔레센트릭 fθ 렌즈를 사용함으로써, 주사하여도 제1 필름재(50)에 대해서 수직으로 자외선 레이저가 집광되도록 되어 있으며, 포커스 위치를 변경한 경우라도, 자외선 레이저가 조사되는 위치를 동일하게 하는 것이 가능하다.

구체적으로는, 우선, 제1 필름재(50)의 표면이 저스트 포커스 위치에 합치하도록, 척 받침대(200)가 설치된 XY 스테이지를 Z 방향으로 이동시킨다. 그 후, XY 스테이지를 소정의 디포커스양만큼 Z 방향으로 이동시킨다. 디포커스양은, 예를 들어 0.06㎜이다. 그리고, 출력을 예를 들어 50㎽로서 1단계째의 레이저의 조사를 행한다. 즉, 디포커싱한 상태에서, 형성하는 구멍 수(2000개)만큼의 1단계째의 가공을 행한다.

그 후, 제1 필름재(50)의 표면이 저스트 포커스 위치에 합치하도록 XY 스테이지를 Z 방향으로 이동시킨다. 그리고, 출력을 예를 들어 10㎽로서 2단계째의 레이저의 조사를 행한다. 즉, 저스트 포커싱한 상태에서, 형성하는 구멍 수(2000개)만큼의 2단계째의 가공을 행한다. 이에 의해, 도 3에 도시한 바와 같은 형상의 관통 구멍(11)이 메시 형성 영역 T1에 다수 형성된다. 또한, 입구 개구의 개구 직경 R1은 25㎛ 정도이며, 출구 개구의 개구 직경 R2는 3㎛ 정도이다.

이와 같이 하여, 도 7에 도시한 바와 같이, 하나의 메시 형성 영역 T1에 다수의 관통 구멍(11)이 형성된다. 그리고, 하나의 메시 형성 영역 T1에 대한 가공이 완료되면, 스텝 S5에 있어서, 모든 메시 형성 영역 T1에 대한 가공이 완료되었는지 여부가 판단된다. 그리고, 모든 메시 형성 영역 T1에 대하여 가공이 완료되지 않은 경우에는, 스텝 S6으로 이행한다.

스텝 S6에서는, XY 스테이지에 의해 제1 필름재(60)가 수평 방향으로 예를 들어 7㎜ 정도 이동됨으로써, 미가공의 메시 형성 영역 T1이 가공 영역에 배치되고, 스텝 S4로 되돌아간다. 이에 의해, 제1 필름재(50)의 각 메시 형성 영역 T1에 각각 다수의 관통 구멍(11)이 형성된다.

그리고, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 모든 메시 형성 영역 T1에 대해서 가공이 완료되면(스텝 S5: 예), 스텝 S7로 이행하고, 형성된 관통 구멍(11)의 검사를 행한다.

관통 구멍(11)의 검사는, 우선, 화상 처리에 의해 입구 개구의 개구 직경 R1을 계측한다. 또한, 모든 관통 구멍(11)의 개구 직경 R1을 계측하도록 해도 되고, 일부의 관통 구멍(11)을 골라내어 개구 직경 R1을 계측하도록 해도 된다.

그 후, 제1 필름재(50)를 척 받침대(200)로부터 제거하고, 제1 필름재(50)를 반대로 하여 척 받침대(200)에 고정한다. 그리고, 화상 처리에 의해 출구 개구의 개구 직경 R2를 계측한다. 또한, 모든 관통 구멍(11)의 개구 직경 R2를 계측하도록 해도 되고, 일부의 관통 구멍(11)을 골라내어 개구 직경 R2를 계측하도록 해도 된다.

이와 같이 하여, 제1 필름재(50) 단체에 대한 가공이 행해진다.

[제2 필름재에 대한 가공 수순]

우선, 도 10의 스텝 S11에 있어서, 제2 필름재(60)를 세정한다. 또한, 제2 필름재(60)는, 예를 들어 흑색의 폴리카르보네이트제이며, 두께가 410㎛이다. 또한, 제2 필름재(60)의 사이즈는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 제1 필름재(50)와 동일한 사이즈(A5 또는 A6)이다. 이 세정 공정에서는, IPA 등으로 수십 초 내지 수분 정도의 초음파 세정을 제2 필름재(60)에 대해서 행한다. 그 후, 에어건 등에 의해, 제2 필름재(60)로부터 IPA를 날려버린다.

다음으로, 스텝 S12에 있어서, 도 11에 도시한 바와 같이, 제2 필름재(60)를 척 받침대(210)에 적재한다. 그리고, 진공 척으로 제2 필름재(60)를 척 받침대(210)에 고정한다. 또한, 척 받침대(210)로서 다공질 세라믹 척을 사용함으로써, 제2 필름재(60)의 전체면을 처킹하는 것이 바람직하다. 또한, 척 받침대(210)는, XY 스테이지에 설치되어 있다.

그리고, 스텝 S13에 있어서, 도 12에 도시한 바와 같이, 상기한 메시 형성 영역 T1과 대응하는 위치에 개구부(21)를 형성한다. 또한, 개구부(21)는, 예를 들어 개구 직경이 2.7㎜이며, 펀치나 레이저 마커 등에 의해 형성된다.

그 후, 하나의 개구부(21)가 형성되면, 스텝 S14에 있어서, 모든 개구부(21)가 형성되었는지 여부가 판단된다. 또한, 모든 개구부(21)란, 미리 설정된 수의 개구부이다. 또한, 미리 설정된 수는, 예를 들어 제1 필름재(50)의 메시 형성 영역 T1의 수와 동일 수로서 320개이다. 그리고, 모든 개구부(21)가 형성되지 않는 경우에는, 스텝 S15로 이행된다.

스텝 S15에서는, XY 스테이지에 의해 제2 필름재(60)가 수평 방향으로 예를 들어 7㎜ 정도 이동되고, 스텝 S13으로 되돌아간다. 이에 의해, 제1 필름재(50)의 복수의 메시 형성 영역 T1에 각각 대응하도록, 복수의 개구부(21)가 제2 필름재(60)에 형성된다. 또한, 제2 필름재(60)를 반송하는 XY 스테이지는, 제1 필름재(50)를 반송하는 XY 스테이지와 구동 성능이 동등한 것이 바람직하다. 이것은, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)를 적층했을 때, 개구부(21)와 관통 구멍(11)이 위치 어긋나는 것을 억제하기 위해서이다.

그리고, 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이, 모든 개구부(21)가 형성되면(스텝 S14: 예), 스텝 S16으로 이행되고, 형성된 개구부(21)의 검사를 행한다.

개구부(21)의 검사는, 예를 들어 화상 처리에 의해 그 개구 직경을 계측한다. 또한, 모든 개구부(21)의 개구 직경을 계측하도록 해도 되고, 일부의 개구부(21)를 골라내어 개구 직경을 계측하도록 해도 된다. 또한, 개구부(21)를 펀치로 형성하는 경우에는, 그 펀치의 위치(예를 들어, 펀치가 하사점까지 도달되었는지 여부)를 확인함으로써, 개구부(21)의 검사로 하여도 된다.

이와 같이 하여, 제2 필름재(60) 단체에 대한 가공이 행해진다.

[제1 필름재 및 제2 필름재에 대한 가공 수순]

우선, 도 15의 스텝 S21에 있어서, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)가 위치 결정된다. 구체적으로는, 도 16 및 도 17에 도시한 바와 같이, 적재대(220) 위에, 상기의 가공이 실시된 제2 필름재(60)가 적재된다. 그리고, 제2 필름재(60) 위에, 상기의 가공이 실시된 제1 필름재(50)가 적층된다. 이때, 관통 구멍(11)의 입구 개구측이 상방에 배치되고, 제1 필름재(50)가 제2 필름재(60)에 대해서 위치 결정된다. 또한, 위치 결정은, 예를 들어 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)의 소정의 위치, 예를 들어 네 코너에 위치 결정 구멍(도시생략)을 형성하고, 그 위치 결정 구멍에 핀을 삽입함으로써 행해진다.

그 후, 판 형상 부재(221)(도 16 참조)에 의해, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)를 가압한다. 또한, 판 형상 부재(221)는, 접합용 레이저를 투과하도록 구성되어 있다. 또한, 도 17에서는, 가시성을 고려하여 판 형상 부재(221)의 도시를 생략하였다.

그리고, 스텝 S22에 있어서, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)가 레이저 용착에 의해 접합된다. 또한, 접합용 레이저는, 판 형상 부재(221) 측으로부터 제2 필름재(60)를 향해서 조사되고, 판 형상 부재(221) 및 제1 필름재(50)를 투과하여 제2 필름재(60)로 흡수된다. 구체적으로는, 각 개구부(21)의 주위의 환 형상 영역 T2(도 17 참조)가 용착에 의해 접합된다. 본 실시 형태에서는, 파장이 808㎚로 연속 출력의 반도체 레이저에 의해 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)가 용착된다.

그리고, 스텝 S23에 있어서, 화상 처리 등에 의해 접합부의 검사를 행한다. 그 후, 스텝 S24에 있어서, 각 접합부의 외측 에지(예를 들어, 환 형상 영역 T2의 외주의 약간 내측)가 펀치 등에 의해 잘라 내어진다. 이에 의해, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같은 메시(100)가 얻어진다. 즉, 본 실시 형태에서는, 1매의 제1 필름재(50)와 1매의 제2 필름재(60)로부터 320개의 메시(100)가 형성된다.

-효과-

본 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이 메시 형성 영역 T1의 관통 구멍(11)을 자외선 레이저로 형성함으로써, 그 자외선 레이저의 조사 조건 등을 변경함으로써, 메시 형성 영역 T1의 관통 구멍(11)의 설계 변경을 용이하게 행할 수 있다. 이에 의해, 금형 등을 사용하는 경우에 비하여, 관통 구멍(11)의 개구 직경이나 수 등이 상이한 메시(100)를 저렴하게 제조할 수 있으므로, 약액에 따른 메시(100)를 용이하게 제공할 수 있다. 또한, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)를 레이저 용착에 의해 접합함으로써, 열 영향 범위를 좁게 할 수 있으므로, 메시(100)의 분무 성능에 변동이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 필름재(50)의 복수의 메시 형성 영역 T1에 다수의 관통 구멍(11)을 일괄하여 형성함과 함께, 제2 필름재(60)에 복수의 개구부(21)를 일괄하여 형성하고, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)를 레이저 용착에 의해 접합하여 복수의 메시(100)를 뽑아냄으로써, 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 관통 구멍(11)을 형성한 후에, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)를 용착함으로써, 제1 필름재(50)가 용착에 의한 열 영향을 받기 전에 관통 구멍(11)을 형성할 수 있으므로, 관통 구멍(11)의 형상이 변동되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 메시 형성 영역 T1의 두께에 대응하여 자외선 레이저의 조사 조건을 보정함으로써, 관통 구멍(11)의 형상(출구 직경)이 변동되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 2단계로 직경 축소되도록 원통 형상부(112)를 갖는 관통 구멍(11)을 형성함으로써, 메시(100)로부터의 분무량의 증가를 도모하면서, 분무 직경이 커지게 되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 상세에 대해서는 후술한다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제2 필름재(60)가 접합용 레이저를 흡수함으로써, 제1 필름재(50)가 열 영향을 받는 것을 억제할 수 있으므로, 메시 형성 영역 T1이 변형이나 수축되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 레이저 용착 시에 판 형상 부재(221)에 의해 가압함으로써, 열 영향 범위를 좁게 할 수 있으므로, 복수 개를 병렬로 처리할 때 각 개구부(21)의 주위의 환 형상 영역 T2의 용착 시에 수축 등에 의한 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 이에 의해, 병렬로 처리하는 것이 가능하여 생산성이 향상됨과 함께, 분무 성능의 변동을 억제할 수 있다.

-관통 구멍의 형상-

본 실시 형태에서는, 2단계로 직경 축소되도록 원통 형상부(112)를 갖는 관통 구멍(11)(도 3 참조)을 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 도 18에 도시한 제1 변형예에 의한 관통 구멍(11a)과 같이 원통 형상부가 형성되어 있지 않아도 된다. 이 관통 구멍(11a)은, 한쪽 단부측의 개구 직경 R3이 다른 쪽 단부측의 개구 직경 R4에 비해서 커지게 되도록 형성되어 있으며, 한쪽 단부측으로부터 다른 쪽 단부측을 향해서 서서히 직경 축소되도록 구성되어 있다. 즉, 관통 구멍(11a)은, 두께 방향에 있어서의 전체 길이에 걸쳐 연속적으로 직경 축소되도록 형성되어 있다. 이 관통 구멍(11a)은, 예를 들어 개구수 NA가 낮은(예를 들어, 0.025) 렌즈를 사용하고, 출력을 80㎽로 하여 0.3㎜의 디포커싱으로 1단계째의 가공을 행하고, 출력을 80㎽로 하여 저스트 포커스싱으로 2단계째의 가공을 행함으로써 형성하는 것이 가능하다.

여기서, 연속적으로 직경 축소되는 경우에는, 도 19에 도시한 제2 변형예에 의한 관통 구멍(11b)과 같이, 한쪽 단부측의 개구 직경 R5가 커지게 됨에 따라 다른 쪽 단부측의 개구 직경 R6이 커지게 된다. 이 관통 구멍(11b)은, 한쪽 단부측으로부터 다른 쪽 단부측을 향해서 서서히 직경 축소되도록 구성되어 있으며, 관통 구멍(11a)에 비해서 전체적으로 개구 직경이 커지게 되어 있다.

그래서, 관통 구멍(11 내지 11b)을 갖는 메시에 대하여 분무 성능의 평가 실험을 행하고, 그 결과를 표 1에 나타낸다. 또한, 2단계로 직경 축소되도록 원통 형상부(112)를 갖는 관통 구멍(11)(도 3 참조)에서는, 입구 개구의 개구 직경 R1이 약 25㎛이며, 출구 개구의 개구 직경 R2가 약 3.3㎛이다. 또한, 연속적으로 직경 축소되는 관통 구멍(11a)(도 18 참조)에서는, 입구 개구의 개구 직경 R3이 약 25㎛이며, 출구 개구의 개구 직경 R4가 약 3.3㎛이다. 또한, 연속적으로 직경 축소되는 관통 구멍(11b)(도 19 참조)에서는, 입구 개구의 개구 직경 R5가 약 28㎛이며, 출구 개구의 개구 직경 R6이 약 4.9㎛이다.

	관통 구멍(11a)을 갖는 메시		관통 구멍(11b)을 갖는 메시		관통 구멍(11)을 갖는 메시
	분무량 (g)	분무 직경 (㎛)	분무량 (g)	분무 직경 (㎛)	분무량 (g)	분무 직경 (㎛)
팔미코트	0.15	5.0	0.25	10.0	0.34	7.6
알레베이르	0.13	3.9	0.53	8.8	0.61	7.6
무코피린	0.08	-	0.31	8.1	0.46	6.4
정수	0.46	6.2	1.10	9.4	1.16	9.1

이 실험에서는, 관통 구멍(11)을 갖는 메시를 이용하여, 팔미코트(등록상표), 알레베이르(등록상표), 무코피린(등록상표) 및 정수를 각각 분사하고, 그 때의 분무량 및 분무 직경의 계측을 행하였다. 관통 구멍(11a)을 갖는 메시 및 관통 구멍(11b)을 갖는 메시에 대해서도 마찬가지이다. 또한, 관통 구멍(11a)을 갖는 메시로 무코피린을 분사한 경우에는, 분무량이 적어, 분무 직경의 계측을 할 수 없었다.

표 1에 나타낸 실험 결과로부터, 관통 구멍(11b)을 갖는 메시는, 관통 구멍(11a)을 갖는 메시에 비해서 분무량이 많아짐과 함께, 분무 직경이 커지게 되는 것이 판명되었다. 이것은, 관통 구멍(11b)의 출구 개구의 개구 직경 R6이 관통 구멍(11a)의 출구 개구의 개구 직경 R4에 비해서 크기 때문이라고 생각된다. 즉, 연속적으로 직경 축소되는 경우에는, 분무량의 증가를 도모하면, 분무 직경이 커져 버린다.

그리고, 관통 구멍(11)을 갖는 메시에서는, 관통 구멍(11a)을 갖는 메시에 비해서 분무량을 많게 함과 함께, 관통 구멍(11b)을 갖는 메시에 비해서 분무 직경을 작게 할 수 있었다. 따라서, 2단계로 직경 축소되는 관통 구멍(11)을 갖는 메시에서는, 분무량의 증가를 도모하면서, 분무 직경이 커지게 되는 것을 억제할 수 있으므로, 분무 성능이 바람직한 것이 판명되었다.

또한, 관통 구멍(11)을 갖는 메시와 관통 구멍(11b)을 갖는 메시에서는, 정수에 대한 분무 직경의 값이 가까워지고 있지만, 약액(팔미코트, 알레베이르, 무코피린)에 대해서는 분무 직경의 값이 현저하게 상이하다. 즉, 관통 구멍(11)을 갖는 메시에서는, 특히 약액을 분무하는 경우에 분무 성능이 좋다고 할 수 있다. 또한, 정수와 약액의 이와 같은 차이는, 점성이나 표면 장력의 차이에 기인하는 것이라 생각된다.

-보강 부재의 형상-

다음으로, 보강 부재의 형상과 분무량의 관계에 대하여 설명한다. 또한, 이하에서는, 보강 부재의 두께와 분무량의 관계를 설명한 후에, 보강 부재의 개구부의 개구 직경과 분무량의 관계에 대하여 설명한다.

[두께에 대하여]

우선, 30㎛의 간격으로 지그재그 형상으로 2800개의 관통 구멍을 갖는 메시 본체를 복수 제작하였다. 또한, 관통 구멍은, 입구 개구의 개구 직경이 25㎛이며, 출구 개구의 개구 직경이 3.5㎛이다. 또한, 두께가 상이한 보강 부재를 복수 제작하였다. 또한, 각 보강 부재는, 개구부의 개구 직경이 2.3㎜이며 동일하게 되어 있다. 그리고, 메시 본체 및 보강 부재를 접합함으로써, 보강 부재의 두께가 상이한 복수의 메시를 제작하였다. 그리고, 각 메시의 분무량을 계측하고, 그 결과를 도 20에 나타내었다.

도 20에 도시한 바와 같이, 보강 부재의 두께가 크게 800㎛ 정도인 경우, 및 보강 부재의 두께가 작게 200㎛ 정도인 경우에는, 분무량이 저하되는 것이 판명되었다. 또한, 각 메시에 있어서의 관통 구멍의 총 개구 면적은 동일하다. 따라서, 보강 부재의 두께로서는, 300㎛ 내지 600㎛가 바람직하다.

[개구부의 개구 직경에 대하여]

우선, 상기와 마찬가지의 메시 본체를 복수 제작하였다. 또한, 개구 직경이 상이한 보강 부재를 복수 제작하였다. 또한, 각 보강 부재는, 두께가 440㎛이며 동일하게 되어 있다. 그리고, 메시 본체 및 보강 부재를 접합함으로써, 개구 직경이 상이한 복수의 메시를 제작하였다. 그리고, 각 메시의 분무량을 계측하고, 그 결과를 도 21에 나타내었다.

도 21에 도시한 바와 같이, 개구 직경이 커서 4㎜ 정도인 경우, 및 개구 직경이 작아 1.6㎜ 정도인 경우에는, 분무량이 저하되는 것이 판명되었다. 또한, 각 메시에 있어서의 관통 구멍의 총 개구 면적은 동일하다. 따라서, 보강 부재의 개구 직경으로서는, 2.3㎜ 내지 3.2m가 바람직하다.

- 다른 실시 형태-

또한, 금회 개시한 실시 형태는, 모든 점에서 예시로서, 한정적인 해석의 근거가 되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는, 상기한 실시 형태에 의해서만 해석되는 것이 아니라, 청구범위의 기재에 기초하여 획정된다. 또한, 본 발명의 기술적 범위에는, 청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.

예를 들어, 본 실시 형태에서는, 메시 본체(10)와 보강 부재(20)가 레이저 용착에 의해 접합되는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 메시 본체와 보강 부재가 그 밖의 방법에 의해 접합되어 있어도 된다. 또한, 보강 부재가 설치되어 있지 않아도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 원통 형상부(112)와 직경 축소부(113)를 갖는 관통 구멍(11)을 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 도 22에 도시한 제3 변형예에 의한 관통 구멍(11c)과 같이, 개구 직경이 상이한 복수의 원통 형상부(111c 및 112c)가 형성되어 있어도 된다. 이 관통 구멍(11c)은, 한쪽 단부측(입구 개구)의 개구 직경이 다른 쪽 단부측(출구 개구)의 개구 직경에 비해 커지도록 형성되어 있다. 또한, 관통 구멍(11c)은, 한쪽 단부측에 형성된 원통 형상부(111c)와, 다른 쪽 단부측에 형성된 원통 형상부(112c)를 갖고 있으며, 원통 형상부(111c 및 112c)가 단차부를 통해 이어지도록 되어 있다. 원통 형상부(111c)의 개구 직경이 원통 형상부(112c)의 개구 직경에 비해서 커지게 되어 있으며, 원통 형상부(111c 및 112c)는 각각 두께 방향에 있어서의 개구 직경이 거의 동일하다. 또한, 관통 구멍(11c)은, 개구 직경이 상이한 2개의 원통 형상부(111c 및 112c)를 갖는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 관통 구멍은, 개구 직경이 상이한 3개 이상의 원통 형상부를 갖고 있어도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 메시 본체(10)의 두께가 30㎛인 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 메시 본체의 두께가 30㎛ 이외여도 된다. 또한, 메시 본체의 두께는, 바람직하게는 100㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 50㎛ 이하이다.

또한, 본 실시 형태에서는, 메시 본체(10)가 폴리카르보네이트제인 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 관통 구멍을 형성 가능하며, 네블라이저에 사용하는 것이 가능하면, 메시 본체가 그 밖의 재료에 의해 형성되어 있어도 된다. 메시 본체의 재료의 일례로서는, 폴리술폰, 폴리페닐술폰, 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리페닐렌술피드, 폴리불화비닐리덴, 폴리페닐렌에테르, 폴리아세탈, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등을 들 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 보강 부재(20)의 두께가 410㎛인 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 보강 부재의 두께가 410㎛ 이외여도 된다. 또한, 보강 부재의 두께는, 바람직하게는 100㎛ 이상이며, 보다 바람직하게는 300㎛ 이상이다.

또한, 본 실시 형태에서는, 보강 부재(20)가 폴리카르보네이트제인 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 메시 본체에 접합 가능하며, 네블라이저에 사용하는 것이 가능하면, 보강 부재가 그 밖의 재료에 의해 형성되어 있어도 된다. 보강 부재의 재료의 일례로서는, 폴리술폰, 폴리페닐술폰, 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리페닐렌술피드, 폴리불화비닐리덴, 폴리페닐렌에테르, 폴리아세탈, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등을 들 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 디포커스에 의해 관통 구멍(11)을 형성하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 저스트 포커스 위치에서 헬리컬 가공을 행함으로써, 원하는 형상의 관통 구멍을 형성하도록 해도 된다. 마찬가지로, 마스크 전사법으로 마스크 사이즈를 바꿈으로써, 원하는 형상의 관통 구멍을 형성하도록 해도 된다. 마찬가지로, 마스크 사이즈를 연속적으로 가변하고, 레이저 빔 직경을 바꿈으로써 개구수 NA를 바꾸게 되어, 관통 구멍의 직경 축소 각도를 제어하여 원하는 형상의 관통 구멍을 형성하도록 해도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 2단계로 자외선 레이저를 조사함으로써 1개의 관통 구멍(11)을 형성하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 3단계 이상의 레이저의 조사로 관통 구멍을 형성하도록 해도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 자외선 레이저로서 YAG 제4 고조파를 사용하였지만, 이것으로 한정되지 않고, 자외선 레이저로서 YAG 제3 고조파나 엑시머 레이저를 사용해도 된다. 또한, 자외선 레이저의 파장은 350㎚ 이하가 바람직하다.

또한, 본 실시 형태에서는, 텔레센트릭 fθ 렌즈로 집광하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, fθ 렌즈나 구면 렌즈 등의 그 밖의 렌즈로 집광하도록 해도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 단일 레이저 빔을 주사하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 회절 광학 소자 등을 사용해서 레이저 빔을 분기시켜서, 복수의 레이저 빔을 일괄적으로 주사하도록 해도 된다. 이와 같이 구성하면, 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 갈바노 미러로 주사함으로써, 하나의 메시 형성 영역 T1에 다수의 관통 구멍(11)을 형성하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 갈바노 미러로 주사함으로써, 복수의 메시 형성 영역에 각각 다수의 관통 구멍을 형성하도록 해도 된다. 이와 같이 구성하면, XY 스테이지를 동작시키는 횟수를 저감시킬 수 있으므로, 가공 시간의 단축을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 각종 검사를 행하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 검사를 행하지 않도록 해도 되며, 일부의 검사만을 행하도록 해도 된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 메시(100)의 직경, 관통 구멍(11)의 수 및 그 간격이나 배치 등은 모두 일례로서, 적절히 변경 가능하다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)를 접합하는 레이저로서 반도체 레이저를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 제1 필름재 및 제2 필름재가 그 밖의 레이저에 의해 접합되어 있어도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 필름재(50) 및 제2 필름재(60)를 접합하는 레이저 접합의 용착 영역으로서, 각 개구부(21)의 주위의 환 형상 영역 T2가 용착에 의해 접합되는 것을 나타내었지만, 환 형상 영역 T2를 용착하기 전에, 선 형상 혹은 점 형상의 용착 개소를 단일 혹은 복수 개소 형성하여도 된다. 이와 같은 구성으로 하면, 선 형상 혹은 점 형상의 용착 개소에 의해 임시 고정할 수 있으므로, 환 형상 영역 T2를 레이저 용착했을 때의 수축을 더 억제할 수 있다. 따라서, 개구부(21)에 대한 관통 구멍(11)의 위치 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 관통 구멍(11)이 형성된 제1 필름재(50)와 개구부(21)가 형성된 제2 필름재(60)를 적층하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 개구부가 형성된 제2 필름재와 제1 필름재를 적층한 상태에서, 제1 필름재에 관통 구멍을 형성하도록 해도 된다. 이와 같이 구성하면, 개구부에 대한 관통 구멍의 위치 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 필름재(50)가 접합용 레이저를 투과하고, 제2 필름재(60)가 접합용 레이저를 흡수하는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 제2 필름재가 접합용 레이저를 투과하고, 제1 필름재가 접합용 레이저를 흡수하도록 해도 된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 잘라 내어 복수의 메시(100)를 형성한 후에, 그 메시(100)를 세정하는 공정이 마련되어 있어도 된다. 또한, 메시(100)의 분무 성능을 평가하는 공정이 마련되어 있어도 된다.

본 발명은, 복수의 관통 구멍이 형성된 메시의 제조 방법 및 메시에 이용 가능하다.

10: 메시 본체
11: 관통 구멍
11a: 관통 구멍
11b: 관통 구멍
11c: 관통 구멍
20: 보강 부재
21: 개구부
50: 제1 필름재
60: 제2 필름재
100: 메시
111c: 원통 형상부
112: 원통 형상부
112c: 원통 형상부
113: 직경 축소부
T1: 메시 형성 영역

Claims

수지제의 메시 본체와, 상기 메시 본체를 보강하는 수지제의 보강 부재를 구비하는 메시의 제조 방법이며,
수지제의 제1 필름재의 메시 형성 영역에 레이저에 의해 복수의 관통 구멍을 형성하는 공정과,
수지제의 제2 필름재에 개구부를 형성하는 공정과,
상기 제1 필름재 및 상기 제2 필름재를 적층함과 함께, 상기 메시 형성 영역과 상기 개구부를 대응하는 위치에 배치하는 공정과,
상기 제1 필름재 및 상기 제2 필름재를 상기 개구부의 주위에서 레이저 용착에 의해 접합하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는, 메시의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 필름재 및 상기 제2 필름재의 접합부의 외측 에지를 잘라 내는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는, 메시의 제조 방법.
제2항에 있어서,
상기 제1 필름재에는 복수의 상기 메시 형성 영역이 마련됨과 함께, 상기 제2 필름재에는 복수의 상기 개구부가 형성되고, 상기 복수의 메시 형성 영역과 상기 복수의 개구부가 각각 대응하는 위치에 배치되고,
레이저 용착에 의해 상기 복수의 개구부의 주위를 접합한 후에, 복수의 접합부의 주위를 잘라 내는 것을 특징으로 하는, 메시의 제조 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 필름재에 상기 관통 구멍을 형성한 후에, 상기 제1 필름재 및 상기 제2 필름재를 접합하는 것을 특징으로 하는, 메시의 제조 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 필름재의 두께를 계측하는 공정을 구비하고,
상기 제1 필름재의 두께의 계측 결과에 따라서 상기 관통 구멍을 형성할 때의 레이저의 조사 조건을 설정하는 것을 특징으로 하는, 메시의 제조 방법.
수지제의 메시 본체와, 상기 메시 본체를 보강하는 수지제의 보강 부재를 구비하는 메시의 제조 방법이며,
수지제의 제1 필름재에, 개구부를 갖는 수지제의 제2 필름재를 적층하는 공정과,
상기 제1 필름재의 메시 형성 영역에 레이저에 의해 복수의 관통 구멍을 형성하는 공정과,
상기 제1 필름재 및 상기 제2 필름재를 상기 개구부의 주위에서 레이저 용착에 의해 접합하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는, 메시의 제조 방법.
수지제의 메시 본체와, 상기 메시 본체를 보강하는 수지제의 보강 부재를 구비하는 메시이며,
상기 메시 본체에는, 메시 형성 영역이 마련되어 있으며, 상기 메시 형성 영역에 레이저에 의해 복수의 관통 구멍이 형성되고,
상기 보강 부재는, 상기 메시 형성 영역을 둘러싸도록 환 형상으로 형성되고,
상기 메시 본체 및 상기 보강 부재는, 레이저 용착에 의해 접합되어 있는 것을 특징으로 하는, 메시.
제7항에 있어서,
상기 관통 구멍은, 한쪽 단부측의 개구 직경이 다른 쪽 단부측의 개구 직경에 비해 커지도록 형성되어 있으며, 상기 한쪽 단부측으로부터 상기 다른 쪽 단부측을 향해서 서서히 직경 축소되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 메시.
제7항에 있어서,
상기 관통 구멍은, 한쪽 단부측의 개구 직경이 다른 쪽 단부측의 개구 직경에 비해 커지도록 형성되어 있으며, 원통 형상부와, 상기 원통 형상부로부터 상기 다른 쪽 단부측을 향해서 서서히 직경 축소되는 직경 축소부를 갖는 것을 특징으로 하는, 메시.
제7항에 있어서,
상기 관통 구멍은, 한쪽 단부측의 개구 직경이 다른 쪽 단부측의 개구 직경에 비해 커지도록 형성되어 있으며, 개구 직경이 상이한 복수의 원통 형상부를 갖는 것을 특징으로 하는, 메시.