CN106996937A - 一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 248
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 235
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 108
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims abstract description 60
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000004438 eyesight Effects 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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Abstract
本发明公开了一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置，玻璃基板内缺陷检测方法包括：将光源(1)和第一摄像装置(2)分别设置在待检测玻璃基板(3)板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，所述光源(1)发射的光线穿过待检测玻璃基板(3)后射入所述第一摄像装置(2)；根据所述第一摄像装置(2)内的视场识别待检测玻璃基板(3)内是否存在缺陷。通过本发明的玻璃基板内缺陷检测方法及装置能够判断玻璃基板内是否存在缺陷，并且能够准确地识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板(3)的板面。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃基板检测技术领域，具体地，涉及一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置。
背景技术
平板显示基板玻璃是一种对内部缺陷容忍要求极高的超薄平板玻璃，对于内部的气泡、结石、析晶等缺陷要求不能超过一定的尺寸。现有技术中，玻璃基板内是否存在缺陷的检测方法非常复杂，而且，现有技术中对缺陷的位置，即接近于玻璃基板上板面还是下板面，是无能为力的。而实际上，下游客户对于玻璃基板内部的缺陷位置，是区别对待的。对于接近于制作薄膜晶体管那面的缺陷要求比接近于另一面缺陷的要求要严苛。因此，如何确定玻璃基板内部缺陷位置是亟待解决的问题，需要发明一种能够区分缺陷所处位置的检测方法。
发明内容
本发明的目的是提供一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置，通过本发明的装置和方法既能检测出玻璃基板内是否存在缺陷，并且能够识别出玻璃基板中距离缺陷更近的基板板面。
为了实现上述目的，本发明提供一种玻璃基板内缺陷检测方法，该玻璃基板内缺陷检测方法包括：将光源和第一摄像装置分别设置在待检测玻璃基板板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板发生相对移动过程中，所述光源发射的光线穿过待检测玻璃基板后射入所述第一摄像装置；根据所述第一摄像装置内的视场识别待检测玻璃基板内是否存在缺陷。
可选地，当所述第一摄像装置内为不变的明亮视场时，判断待检测玻璃基板内无缺陷；当所述第一摄像装置内为变化的明亮视场时，判断待检测玻璃基板内存在缺陷。
可选地，该玻璃基板内缺陷检测方法还包括：在所述光源和待检测玻璃基板发生相对移动过程中，设置第二摄像装置，使第二摄像装置的焦点位于待检测玻璃基板内部所述光源发射的光线上并且与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；当所述第一摄像装置内为变化的明亮视场时，根据所述第二摄像装置内的视场识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板的板面；优选地，所述第二摄像装置的焦点与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的五分之一。
可选地，所述第一摄像装置内为变化的明亮视场，当所述第二摄像装置内为暗视场并闪现光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置焦点距离较近的待检测玻璃基板的板面，当所述第二摄像装置内为暗视场且无光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置焦点距离较远的待检测玻璃基板的板面。
可选地，所述玻璃基板内缺陷检测方法在暗场环境中进行。
可选地，所述第一摄像装置的光轴与所述光源发射的光线平行。
可选地，在所述光源和待检测玻璃基板发生相对移动过程中，保持所述光源、所述第一摄像装置和所述第二摄像装置静止移动待检测玻璃基板。
可选地，所述第二摄像装置的光轴与待检测玻璃基板的板面相垂直。
本发明还提供一种玻璃基板内缺陷检测装置，该玻璃基板内缺陷检测装置包括：位于待检测玻璃基板板面相对两侧的光源和第一摄像装置，焦点位于待检测玻璃基板内部所述光源发射的光线上的第二摄像装置；在与待检测玻璃基板发生相对移动过程中，所述光源发射的光线穿过待检测玻璃基板后射入所述第一摄像装置，所述第二摄像装置的焦点与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；优选地，所述第二摄像装置的焦点与待检测玻璃基板其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的五分之一。
可选地，所述待检测玻璃基板为透明玻璃基板，所述光源发射的光线为线性光，线性光的宽度小于待检测玻璃基板厚度的二分之一；优选地，所述光源发射的光线为线性光，线性光的宽度小于待检测玻璃基板厚度的三分之一。
通过本发明的玻璃基板内缺陷检测方法及装置能够判断玻璃基板内是否存在缺陷，并且能够准确地识别出玻璃基板中距离缺陷更近的基板板面。
本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是通过本发明的玻璃基板内缺陷检测装置检测玻璃基板内缺陷时的一种具体实施方式的结构示意图。
图2是通过本发明的玻璃基板内缺陷检测装置检测玻璃基板内缺陷时的一种具体实施方式的结构示意图。
附图标记说明
1 光源 2 第一摄像装置
3 待检测玻璃基板 4 第二摄像装置
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
本发明所述的玻璃基板内缺陷检测方法指检测玻璃基板内是否存在缺陷以及缺陷的位置；所述检测玻璃基板内缺陷的位置指的是检测玻璃基板内缺陷与哪个基板板面的距离更近，也可以说是识别出玻璃基板中距离缺陷更近的基板板面。
本发明提供一种玻璃基板内缺陷检测方法，该玻璃基板内缺陷检测方法可以包括：将光源1和第一摄像装置2分别设置在待检测玻璃基板3板面的相对两侧；在与待检测玻璃基板3发生相对移动过程中，所述光源1发射的光线穿过待检测玻璃基板3后射入所述第一摄像装置2；根据所述第一摄像装置2内的视场识别待检测玻璃基板3内是否存在缺陷。
如图1或2所示，通过移动光源1或者移动待检测玻璃基板3均可以使光源1和待检测玻璃基板3间发生相对移动，在发生相对移动的过程中可以使光源1发射的光线与待检测玻璃基板3的板面间的角度保持不变为30-70度，使光源1发射的光线可以一直射入第一摄像装置2内，并且使光源1发射的光线扫过待检测玻璃基板3的整个板面，在这个过程中，通过第一摄像装置2内的视场可以识别待检测玻璃基板3内是否存在缺陷。
根据本发明，当所述第一摄像装置2内为不变的明亮视场时，可以判断待检测玻璃基板3内无缺陷；当所述第一摄像装置2内为变化的明亮视场时，可以判断待检测玻璃基板3内存在缺陷。
若第一摄像装置2内为不变的明亮视场，即通过光源1和待检测玻璃基板3间发生相对移动使光源1发射的光线扫射过整个待检测玻璃基板3板面的过程中，第一摄像装置2内观察到的视场一直为正常的明亮视场即不变的明亮视场，说明整个待检测玻璃基板3内部是均一的结构、不存在缺陷。
如果待检测玻璃基板3内存在缺陷，光源1的光线扫射到达此处时，光线就会部分被缺陷阻挡或散射等，此时，第一摄像装置2内的视场就会发生变化，因为缺陷体积往往很小，所以第一摄像装置2内的视场可以由明亮视场、瞬间暗视场或者瞬间亮度变暗后迅速恢复明亮视场，因此，第一摄像装置2内为变化的明亮视场时，可以判断待检测玻璃基板3内存在缺陷，并且第一摄像装置2内视场发生变化时，光源1的光线在基板内走过的光路上存在缺陷，但是缺陷距离待检测玻璃基板3哪个板面的距离更近仍然不能确定。
根据本发明，该玻璃基板内缺陷检测方法还可以包括：在所述光源1和待检测玻璃基板3发生相对移动过程中，可以设置第二摄像装置4，可以使第二摄像装置4的焦点位于待检测玻璃基板3内部所述光源1发射的光线上并且与待检测玻璃基板3其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；当所述第一摄像装置2内为变化的明亮视场时，根据所述第二摄像装置4内的视场可以识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板3的板面；优选地，所述第二摄像装置4的焦点与待检测玻璃基板3其中一个板面间的距离可以不大于待检测玻璃基板3厚度的五分之一。
在本发明的玻璃基板内缺陷检测方法中，首先可以通过光源1和第一摄像装置2判断待检测玻璃基板3内是否存在缺陷，当第一摄像装置2内视场为变化的明亮视场时，可以判断待检测玻璃基板3内存在缺陷，进而可以通过第二摄像装置4内的视场判断缺陷的位置，本发明中“判断缺陷的位置”指判断待检测玻璃基板3中哪个板面距离缺陷更近。
根据本发明，所述第一摄像装置2内为变化的明亮视场，当所述第二摄像装置4内为暗视场并闪现光线时，可以判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置4焦点距离较近的待检测玻璃基板3的板面，当所述第二摄像装置4内为暗视场且无光线时，可以判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置4焦点距离较远的待检测玻璃基板3的板面。
在所述光源1和待检测玻璃基板3发生相对移动的整个过程中，若第一摄像装置2内一直为正常的、不变的明亮视场，同时，第二摄像装置4内一直为暗视场，则可以判断待检测玻璃基板3内不存在缺陷(第二摄像装置4的焦点位于光源1发射的光线上，光线在待检测玻璃基板3内沿直线传播，若没有缺陷则没有光的散射，则第二摄像装置4不会拍摄到光线)；若第一摄像装置2内为明亮视场，并且在光源1和待检测玻璃基板3发生相对移动的过程中第一摄像装置2内的明亮视场发生了变化，比如发生短时间内明亮视场的亮度变暗或者短时间变为暗视场，则此时光源1发射的光线在待检测玻璃基板3内的光路上存在缺陷，往往明亮视场发生变化的时间非常短、变化后很快恢复明亮视场，观测者可能会觉得仅仅是瞬间的变化，这是因为缺陷的体积往往很小，因此，光源1发射的光线在待检测玻璃基板3内碰到缺陷时会使光线被阻挡或者折射等，因此第一摄像装置2中的明亮视场会发生瞬间或短时间的变化；设置第二摄像装置4，使第二摄像装置4的焦点位于待检测玻璃基板3内部所述光源1发射的光线上并且接近于其中一个基板板面，比如，可以通过调整第二摄像装置4使其焦点距离基板上板面的距离不超过基板厚度的五分之一，在第一摄像装置2内明亮视场发生变化时，若第二摄像装置4内观测到了少量的光线，则判断缺陷所在位置与接近于第二摄像装置4焦点的那个基板板面的距离更近，因为缺陷距离该板面的距离更近，因此光源1发射的光线在碰到缺陷发生散射时，第二摄像装置4才可以拍摄到少量的散射光线，若第一摄像装置2内明亮视场发生变化时，第二摄像装置4内没有观测或拍摄到散射光线，仍然一直为暗视场，则可以判断缺陷所在位置与接近于第二摄像装置4焦点的那个基板板面距离更远，进而可以推测出另一个基板板面距离缺陷更近。
在本发明的玻璃基板内缺陷检测方法中，可以实时对所述第一摄像装置2和第二摄像装置4中的视场进行观测，也可以使第一摄像装置2和第二摄像装置4分别对其观测到的视场进行全程拍摄，检测结束后通过观看第一摄像装置2和第二摄像装置4中的拍摄记录判断待检测玻璃基板3中是否存在缺陷、以及缺陷的位置(缺陷距离玻璃基板哪个板面的距离更近)；待检测玻璃基板3可以保持一定的速度匀速移动，通过拍摄记录确定出现缺陷的时间进而可以知道玻璃基板发生移动的距离，使玻璃基板回到检测到缺陷的位置处，仍然使光源的光线照射此处，光线与玻璃基板板面的角度等都保持与测试时一致，对光线射入玻璃基板板面的区域进行标记，对光线射出玻璃基板板面的区域进行标记，进而可以初步推断待检测玻璃基板中缺陷所在的大体区域。
根据本发明，所述玻璃基板内缺陷检测方法可以在暗场环境中进行。
根据本发明，所述第一摄像装置2的光轴与所述光源1发射的光线可以平行。
根据本发明，在所述光源1和待检测玻璃基板3发生相对移动过程中，可以保持所述光源1、所述第一摄像装置2和所述第二摄像装置4静止移动待检测玻璃基板3。在所述光源1和待检测玻璃基板3发生相对移动过程中，光源1发射的光线和待检测玻璃基板3间的角度可以保持不变为30-70度，第一摄像装置2可以一直接收到光源1发射的光线，第二摄像装置4的焦点可以一直保持距离其中一个基板板面的距离很近，不超过待检测玻璃基板3厚度的五分之一，并且焦点可以一直位于基板内部的光源1发射的光线上。
根据本发明，所述第二摄像装置4的光轴与待检测玻璃基板3的板面可以相垂直。
本发明还提供一种玻璃基板内缺陷检测装置，该玻璃基板内缺陷检测装置可以包括：位于待检测玻璃基板3板面相对两侧的光源1和第一摄像装置2，焦点位于待检测玻璃基板3内部所述光源1发射的光线上的第二摄像装置4；在与待检测玻璃基板3发生相对移动过程中，所述光源1发射的光线可以穿过待检测玻璃基板3后射入所述第一摄像装置1，所述第二摄像装置4的焦点与待检测玻璃基板3其中一个板面间的距离可以不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；优选地，所述第二摄像装置4的焦点与待检测玻璃基板3其中一个板面间的距离可以不大于待检测玻璃基板厚度的五分之一。
根据本发明，所述待检测玻璃基板3可以为透明玻璃基板，所述光源1发射的光线可以为线性光，线性光的宽度可以小于待检测玻璃基板3厚度的二分之一；优选地，所述光源1发射的光线可以为线性光，线性光的宽度可以小于待检测玻璃基板3厚度的三分之一。
所述光源1可以包括卤素灯、LED灯、红外线光源和激光光源等，所述第一摄像装置2和所述第二摄像装置4可以为摄像机。
所述光源1、待检测玻璃基板3、第一摄像装置2和第二摄像装置4构成一个检查装置，检查装置可以与待检测玻璃基板3有相对运动，形成扫描检查。
本发明所述的玻璃基板内缺陷检测方法及装置适用于检测透明的玻璃基材内的缺陷。
以下通过实施例进行进一步详细说明本发明。以下的实施例将对本发明作进一步的说明，但并不因此限制本发明。
实施例1
在暗场环境中，水平放置待检测玻璃基板，在待检测玻璃基板板面的上方设置光源、板面下方设置第一摄像机，使光源发射的光线与基板板面成30度角，光源发射的光线穿过玻璃基板后恰射入第一摄像机，第一摄像机可以观测到明亮视场；在玻璃基板板面的上方设置第二摄像机，使第二摄像机的焦点位于玻璃基板内部光源发射的光线上并且距离上板面的距离很近、小于玻璃基板厚度的五分之一；保持光源、第一摄像机和第二摄像机的位置不变水平移动待检测玻璃基板，移动过程中光源发射的光线与基板板面保持角度为30度不变，并且第一摄像机一直能接收到光源发出的光线，在移动的整个过程中，通过观测发现，在光源的光线扫射通过玻璃基板板面所有区域的过程中，第一摄像机中的视场一直为不变的、正常的明亮视场，并且第二摄像机中一直为不变的暗视场，判断待检测玻璃基板中不存在缺陷。
实施例2
在暗场环境中，水平放置待检测玻璃基板，在待检测玻璃基板板面的上方设置光源、板面下方设置第一摄像机，使光源发射的光线与基板板面成70度角，光源发射的光线穿过玻璃基板后恰射入第一摄像机，第一摄像机可以观测到明亮视场；在玻璃基板板面的上方设置第二摄像机，使第二摄像机的焦点位于玻璃基板内部光源发射的光线上并且距离上板面的距离很近小于玻璃基板厚度的五分之一；保持光源、第一摄像机和第二摄像机的位置不变水平移动待检测玻璃基板，移动过程中光源发射的光线与基板板面保持角度为70度不变，通过设置第一摄像机的光轴与光源发射的光束平行使第一摄像机一直能接收到光源发出的光线，在移动的整个过程中，光源的光线扫射通过了玻璃基板板面所有的区域，第一摄像机中开始为明亮视场，在移动的过程中某时刻发生了变化，明亮视场变暗后瞬间恢复明亮视场，并且第一摄像机中明亮视场发生变化时，第二摄像机中观测到少量光线(闪现光线)，判断第一摄像机中明亮视场发生变换、第二摄像机中观测到少量光线时，光源发射的光线在玻璃基板内经过的光路上存在缺陷，且该缺陷距离玻璃基板上板面的距离更近、距离下板面的距离更远。
实施例3
在暗场环境中，水平放置待检测玻璃基板，在待检测玻璃基板板面的上方设置光源、板面下方设置第一摄像机，使光源发射的光线与基板板面成45度角，光源发射的光线穿过玻璃基板后恰射入第一摄像机，第一摄像机可以观测到明亮视场；在玻璃基板板面的下方设置第二摄像机，使第二摄像机的焦点位于玻璃基板内部光源发射的光线上并且距离下板面的距离很近小于玻璃基板厚度的五分之一；保持光源、第一摄像机和第二摄像机的位置不变水平移动待检测玻璃基板，移动过程中光源发射的光线与基板板面保持角度为45度不变，并且第一摄像机一直能接收到光源发出的光线，使第二摄像机的光轴与所述玻璃基板板面垂直，在移动的整个过程中第一摄像机和第二摄像机可以对各自视场进行全程拍摄，通过观看摄像视频发现，在光源的光线扫射通过玻璃基板板面所有区域的过程中，第一摄像机中开始为明亮视场，在移动的过程中某时刻发生了变化，明亮视场变暗后瞬间恢复明亮视场，第二摄像机拍摄的视频中的视场全程都是暗视场，判断第一摄像机中明亮视场发生变化时，光源发射的光线在玻璃基板内经过的光路上存在缺陷，且该缺陷距离玻璃基板上板面的距离更近、距离下板面的距离更远。
测试实施例1
在实施例2中第一摄像机中的明亮视场发生变化且第二摄像机中观测到少量光线时，在光线射入玻璃基板板面的区域进行标记，并记为标记1，在光线射出玻璃基板板面的区域进行标记，并记为标记2，沿垂直于玻璃基板板面的方向将光线射出基板板面的标记2在光线射入基板板面上对应位置做标记3，在标记1和标记3的中间、沿垂直于玻璃基板板面的方向将玻璃基板切割为两块，通过显微镜分别观察两个切割面检测是否存在缺陷以及缺陷的位置，检测结果见表1。
测试实施例2
在实施例3中第一摄像机中的明亮视场发生变化时，在光线射入玻璃基板板面的区域进行标记，并记为标记1，在光线射出玻璃基板板面的区域进行标记，并记为标记2，沿垂直于玻璃基板板面的方向将光线射出基板板面的标记2在光线射入基板板面上对应位置做标记3，在标记1和标记3的中间、沿垂直于玻璃基板板面的方向将玻璃基板切割为两块，通过显微镜分别观察两个切割面检测是否存在缺陷以及缺陷的位置，检测结果见表1。
表1测试实施例1、2的检测结果表
| 是否观测到缺陷 | 与缺陷距离近的基板板面 | |
| 测试实施例1 | 是 | 上板面 |
| 测试实施例2 | 是 | 上板面 |
通过实施例可以看出，通过本发明的玻璃基板内缺陷检测方法及装置可以准确判断出透明玻璃基板内是否存在缺陷，同时还能检测出缺陷距离玻璃基板的哪个板面更近即识别出玻璃基板中距离缺陷更近的基板板面，进而能够极大地为后续的生产、加工工作提供便利。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
Claims (10)
1.一种玻璃基板内缺陷检测方法，其特征在于，该玻璃基板内缺陷检测方法包括：
将光源(1)和第一摄像装置(2)分别设置在待检测玻璃基板(3)板面的相对两侧；
在与待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，所述光源(1)发射的光线穿过待检测玻璃基板(3)后射入所述第一摄像装置(2)；
根据所述第一摄像装置(2)内的视场识别待检测玻璃基板(3)内是否存在缺陷。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，
当所述第一摄像装置(2)内为不变的明亮视场时，判断待检测玻璃基板(3)内无缺陷；
当所述第一摄像装置(2)内为变化的明亮视场时，判断待检测玻璃基板(3)内存在缺陷。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，该玻璃基板内缺陷检测方法还包括：在所述光源(1)和待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，设置第二摄像装置(4)，使第二摄像装置(4)的焦点位于待检测玻璃基板(3)内部所述光源(1)发射的光线上并且与待检测玻璃基板(3)其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板(3)厚度的三分之一；当所述第一摄像装置(2)内为变化的明亮视场时，根据所述第二摄像装置(4)内的视场识别距离缺陷位置较近的待检测玻璃基板(3)的板面；
优选地，所述第二摄像装置(4)的焦点与待检测玻璃基板(3)其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板(3)厚度的五分之一。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，所述第一摄像装置(2)内为变化的明亮视场，
当所述第二摄像装置(4)内为暗视场并闪现光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置(4)焦点距离较近的待检测玻璃基板(3)的板面；
当所述第二摄像装置(4)内为暗视场且无光线时，判断缺陷位置接近于与所述第二摄像装置(4)焦点距离较远的待检测玻璃基板(3)的板面。
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，所述玻璃基板内缺陷检测方法在暗场环境中进行。
6.根据权利要求1-4中任意一项所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，所述第一摄像装置(2)的光轴与所述光源(1)发射的光线平行。
7.根据权利要求3或4所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，在所述光源(1)和待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，保持所述光源(1)、所述第一摄像装置(2)和所述第二摄像装置(4)静止移动待检测玻璃基板(3)。
8.根据权利要求3或4所述的玻璃基板内缺陷检测方法，其中，所述第二摄像装置(4)的光轴与所述待检测玻璃基板(3)的板面相垂直。
9.一种玻璃基板内缺陷检测装置，其特征在于，该玻璃基板内缺陷检测装置包括：位于待检测玻璃基板(3)板面相对两侧的光源(1)和第一摄像装置(2)，焦点位于待检测玻璃基板(3)内部所述光源(1)发射的光线上的第二摄像装置(4)；在与待检测玻璃基板(3)发生相对移动过程中，所述光源(1)发射的光线穿过待检测玻璃基板(3)后射入所述第一摄像装置(1)，所述第二摄像装置(4)的焦点与待检测玻璃基板(3)其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的三分之一；
优选地，所述第二摄像装置(4)的焦点与待检测玻璃基板(3)其中一个板面间的距离不大于待检测玻璃基板厚度的五分之一。
10.根据权利要求9所述的玻璃基板内缺陷检测装置，其特征在于，所述待检测玻璃基板(3)为透明玻璃基板，所述光源(1)发射的光线为线性光，线性光的宽度小于待检测玻璃基板(3)厚度的二分之一；
优选地，所述光源(1)发射的光线为线性光，线性光的宽度小于待检测玻璃基板(3)厚度的三分之一。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710453855.3A CN106996937B (zh) | 2017-06-15 | 2017-06-15 | 一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710453855.3A CN106996937B (zh) | 2017-06-15 | 2017-06-15 | 一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106996937A true CN106996937A (zh) | 2017-08-01 |
| CN106996937B CN106996937B (zh) | 2019-09-06 |
Family
ID=59436548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710453855.3A Active CN106996937B (zh) | 2017-06-15 | 2017-06-15 | 一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
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| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PP01 | Preservation of patent right |
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| PD01 | Discharge of preservation of patent |
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