CN106981556A - 一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法 - Google Patents

一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106981556A
CN106981556A CN201710183202.8A CN201710183202A CN106981556A CN 106981556 A CN106981556 A CN 106981556A CN 201710183202 A CN201710183202 A CN 201710183202A CN 106981556 A CN106981556 A CN 106981556A
Authority
CN
China
Prior art keywords
scm system
key component
fine adjustment
spacing
film machine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710183202.8A
Other languages
English (en)
Inventor
刘召军
熊兆斌
覃丽环
杨扬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sun Yat Sen University
SYSU CMU Shunde International Joint Research Institute
Original Assignee
Sun Yat Sen University
SYSU CMU Shunde International Joint Research Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sun Yat Sen University, SYSU CMU Shunde International Joint Research Institute filed Critical Sun Yat Sen University
Priority to CN201710183202.8A priority Critical patent/CN106981556A/zh
Publication of CN106981556A publication Critical patent/CN106981556A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Actuator (AREA)

Abstract

本发明涉及一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法,所述可精密调节间距的扩膜机包括:气缸和机械装置;所述气缸内设置有压力传感器和活塞,所述机械装置内设置有按键部件、精密马达和单片机系统;所述压力传感器、按键部件、精密马达均和单片机系统连接;所述精密马达还和活塞连接。操作者能够根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据,按键部件将间距数据发送给单片机系统;所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;所述精密马达接收到控制指令,会做出相应的动作,控制活塞上下移动,从而精确控制气缸内气压,从而实现对扩膜间距的精确控制。

Description

一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法
技术领域
本发明涉及led扩膜机和扩晶机领域,更具体地,涉及一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法。
背景技术
扩膜机广泛应用于发光二极管、中小功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产中的晶粒扩张工序。扩膜机是将排列紧密的LED晶片均匀分开,使之更好地植入焊接工件上。它利用LED薄膜的加热可塑性,将单张LED晶片均匀地向四周扩散,达到满意的晶片间隙后自动成型,膜片紧绷不变行。恒温设计,操作简单。
传统的扩膜机是利用膜预热收缩,然后使用气压实现气缸内活塞的上下移动,达到对膜的扩张拉伸。然而,现有的扩膜机,扩膜后,单张LED晶片均匀地四周扩散,但其芯片与芯片之间的间距误差太大,且间距不可精密控制。这很可能会导致材料的损耗,浪费很多资源,工艺的完整性也会相应下降,从而提高了制作成本,这不利于长期发展。
发明内容
本发明提供一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法,以克服间距不可精密控制的问题。
本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题。
为了达到上述技术效果,本发明的技术方案如下:
一种可精密调节间距的扩膜机,包括:气缸和机械装置;所述气缸内设置有压力传感器和活塞,所述机械装置内设置有按键部件、精密马达和单片机系统;所述压力传感器、按键部件、精密马达均和单片机系统连接;所述精密马达还和活塞连接。
优选地,还包括:金属棒;所述精密马达通过金属棒还和活塞连接。
优选地,还包括:数据显示模块;所述数据显示模块和单片机系统连接。
优选地,所述按键部件包括:第一按键,第二按键;所述第一按键、第二按键均和单片机系统连接。
优选地,所述压力传感器的数量为至少两个。
一种可精密调节间距的扩膜机的调节方法,包括:将所述气缸内的气压数据发送给单片机系统,单片机系统对所述气压数据进行处理;操作者根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据,按键部件将间距数据发送给单片机系统;所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;所述精密马达根据控制指令驱动活塞做出相应的动作,以调节气缸内的气压。
优选地,操作者根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据的步骤包括:单片机系统将气压数据的处理结果发送到数据显示模块;操作者根据数据显示模块显示的处理结果在按键部件输入间距数据。
与现有技术相比,本发明技术方案的有益效果是:
操作者能够根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据,按键部件将间距数据发送给单片机系统;所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;所述精密马达接收到控制指令,会做出相应的动作,控制活塞上下移动,从而精确控制气缸内气压,从而实现对扩膜间距的精确控制。
附图说明
图1为一实施例的一种可精密调节间距的扩膜机的示意性结构图。
图2为图1实施例的一种可精密调节间距的扩膜机的机械装置的示意性结构图。图3为一实施例的一种可精密调节间距的扩膜机的调节方法的示意性流程图。
具体实施方式
附图仅用于示例性说明,不能理解为对本专利的限制;
为了更好说明本实施例,附图某些部件会有省略、放大或缩小,并不代表实际产品的尺寸;
对于本领域技术人员来说,附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
下面结合附图和实施例对本发明的技术方案做进一步的说明。
实施例1
图1为一实施例的一种可精密调节间距的扩膜机的示意性结构图。图2为图1实施例的一种可精密调节间距的扩膜机的机械装置的示意性结构图。下面结合图1和图2进行说明。如图1和图2所示,一种可精密调节间距的扩膜机,包括:气缸4和机械装置3;所述气缸4内设置有压力传感器5和活塞1,所述机械装置3内设置有按键部件7、精密马达8和单片机系统9;所述压力传感器5、按键部件7、精密马达均8和单片机系统9连接;所述精密马达8还和活塞1连接。
在本实施例,所述可精密调节间距的扩膜机还包括:金属棒2;所述精密马达8通过金属棒2还和活塞4连接。所述金属棒2为一根高强度的金属棒,它能够牢固的连接金属棒2和活塞4。
在本实施例,所述可精密调节间距的扩膜机还包括:数据显示模块6;所述数据显示模块6和单片机系统9连接。单片机系统9将压力传感器5采集的气体压力数据进行处理,所述数据显示模块6对气体压力数据进行处理结果进行显示,方便操作者直接观察气缸4内的气体的气压值,操作者根据观察到的气缸4内的气体的气压值来决定是否需要对气缸4内的气体的气压进行调整。具体地,所述数据显示模块6可为一显示屏。
在本实施例,所述按键部件7包括:第一按键10,第二按键11;所述第一按键10、第二按键11均和单片机系统9连接。作为一种可实施的方式,按压第一按键10可增大扩膜间距,按压第二按键11可减少扩膜间距。
在本实施例,所述压力传感器5的数量为至少两个。在气缸4内部分多个压力传感器5,能够更准确的检测气缸4内的气体的气压。
在本实施例,所述压力传感器5为气体压力传感器,用于采集气缸4内的气体压力,并将气体压力数据通过气缸4内部电路实时传输到精密可调机械装置3的单片机系统9。单片机系统9接收气体压力数据,并对气体压力数据进行处理,操作者根据单片机系统9对气体压力数据的处理结果,来决定是否需要对气缸4内的气体的气压进行调整。若操作者认为需要对气缸4内的气体的气压进行调整,则在按键部件7输入间距数据,具体的,可通过按压所述第一按键10、第二按键11来可调节的间距增减,单片机系统采集间距数据并对间距数据处理,得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;所述精密马达接收到控制指令,会做出相应的动作,控制活塞上下移动,从而精确控制气缸内气压,从而实现对扩膜间距的精确控制。
本实施例的操作者能够根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据,按键部件将间距数据发送给单片机系统;所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;所述精密马达接收到控制指令,会做出相应的动作,控制活塞上下移动,从而精确控制气缸内气压,从而实现对扩膜间距的精确控制。
实施例2
图3为一实施例的一种可精密调节间距的扩膜机的调节方法的示意性流程图。如图3所示,一种可精密调节间距的扩膜机的调节方法,包括:
S1,将所述气缸内的气压数据发送给单片机系统,单片机系统对所述气压数据进行处理;
在本实施例,分布在气缸内的压力传感器实时检测气缸内的气压,并将气缸内的气压数据发送给单片机系统,单片机系统对所述气压数据进行处理。
S2,操作者根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据,按键部件将间距数据发送给单片机系统;
作为一优选实施例,操作者根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据的步骤包括:单片机系统将气压数据的处理结果发送到数据显示模块;操作者根据数据显示模块显示的处理结果在按键部件输入间距数据。具体的,具体的,可通过按压所述第一按键、第二按键来可调节的间距增减。作为一种可实施的方式,按压第一按键10可增大扩膜间距,按压第二按键11可减少扩膜间距。
S3,所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;
S4,所述精密马达根据控制指令驱动活塞做出相应的动作,以调节气缸内的气压。
本实施例的操作者能够根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据,按键部件将间距数据发送给单片机系统;所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;所述精密马达接收到控制指令,会做出相应的动作,控制活塞上下移动,从而精确控制气缸内气压,从而实现对扩膜间距的精确控制。
相同或相似的标号对应相同或相似的部件;
附图中描述位置关系的用于仅用于示例性说明,不能理解为对本专利的限制;
显然,本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种可精密调节间距的扩膜机,其特征在于,包括:气缸和机械装置;
所述气缸内设置有压力传感器和活塞,所述机械装置内设置有按键部件、精密马达和单片机系统;
所述压力传感器、按键部件、精密马达均和单片机系统连接;所述精密马达还和活塞连接。
2.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机,其特征在于,还包括:金属棒;
所述精密马达通过金属棒还和活塞连接。
3.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机,其特征在于,还包括:数据显示模块;
所述数据显示模块和单片机系统连接。
4.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机,其特征在于,所述按键部件包括:第一按键,第二按键;
所述第一按键、第二按键均和单片机系统连接。
5.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机,其特征在于,所述压力传感器的数量为至少两个。
6.一种可精密调节间距的扩膜机的调节方法,其特征在于,包括:
将所述气缸内的气压数据发送给单片机系统,单片机系统对所述气压数据进行处理;
操作者根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据,按键部件将间距数据发送给单片机系统;
所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令,并将控制指令发送给精密马达;
所述精密马达根据控制指令驱动活塞做出相应的动作,以调节气缸内的气压。
7.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机的调节方法,其特征在于,操作者根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据的步骤包括:
单片机系统将气压数据的处理结果发送到数据显示模块;
操作者根据数据显示模块显示的处理结果在按键部件输入间距数据。
CN201710183202.8A 2017-03-24 2017-03-24 一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法 Pending CN106981556A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710183202.8A CN106981556A (zh) 2017-03-24 2017-03-24 一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710183202.8A CN106981556A (zh) 2017-03-24 2017-03-24 一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106981556A true CN106981556A (zh) 2017-07-25

Family

ID=59339801

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710183202.8A Pending CN106981556A (zh) 2017-03-24 2017-03-24 一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106981556A (zh)

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63317788A (ja) * 1987-06-19 1988-12-26 Tokyo Electron Ltd 検査装置
US20040159997A1 (en) * 2003-02-13 2004-08-19 Kwang-Ho Han Apparatus and method for positioning semiconductor substrate
CN1735284A (zh) * 2004-08-11 2006-02-15 宝星电子株式会社 利用真空压力自动拉伸薄膜的设备
JP2009064937A (ja) * 2007-09-06 2009-03-26 Shinkawa Ltd 半導体ダイのピックアップ装置及びピックアップ方法
CN202205803U (zh) * 2011-08-04 2012-04-25 厦门市弘瀚电子科技有限公司 一种全自动贴膜贴片机
CN202495466U (zh) * 2011-08-04 2012-10-17 厦门市弘瀚电子科技有限公司 一种全自动扩膜机
WO2014101728A1 (zh) * 2012-12-31 2014-07-03 Sun Xiaojun 一种压力精密调节装置
CN104037111A (zh) * 2014-06-26 2014-09-10 上海海展自动化设备有限公司 一种精密型扩膜装置
CN203895484U (zh) * 2014-06-04 2014-10-22 深圳市晶台股份有限公司 一种led扩晶机切膜装置
CN204481001U (zh) * 2015-01-12 2015-07-15 天津中商美华科技有限公司 自动扩膜机
CN207097854U (zh) * 2017-03-24 2018-03-13 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院 一种可精密调节间距的扩膜机

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63317788A (ja) * 1987-06-19 1988-12-26 Tokyo Electron Ltd 検査装置
US20040159997A1 (en) * 2003-02-13 2004-08-19 Kwang-Ho Han Apparatus and method for positioning semiconductor substrate
CN1735284A (zh) * 2004-08-11 2006-02-15 宝星电子株式会社 利用真空压力自动拉伸薄膜的设备
JP2009064937A (ja) * 2007-09-06 2009-03-26 Shinkawa Ltd 半導体ダイのピックアップ装置及びピックアップ方法
CN202205803U (zh) * 2011-08-04 2012-04-25 厦门市弘瀚电子科技有限公司 一种全自动贴膜贴片机
CN202495466U (zh) * 2011-08-04 2012-10-17 厦门市弘瀚电子科技有限公司 一种全自动扩膜机
WO2014101728A1 (zh) * 2012-12-31 2014-07-03 Sun Xiaojun 一种压力精密调节装置
CN203895484U (zh) * 2014-06-04 2014-10-22 深圳市晶台股份有限公司 一种led扩晶机切膜装置
CN104037111A (zh) * 2014-06-26 2014-09-10 上海海展自动化设备有限公司 一种精密型扩膜装置
CN204481001U (zh) * 2015-01-12 2015-07-15 天津中商美华科技有限公司 自动扩膜机
CN207097854U (zh) * 2017-03-24 2018-03-13 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院 一种可精密调节间距的扩膜机

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张从力;叶静;鲁绪芝;: "一种步进电机控制的精密压力发生器的设计与实现", 自动化技术与应用, no. 11, 25 November 2007 (2007-11-25) *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102340915B (zh) 品质检测中机器视觉光源亮度实时调整方法及其专用系统
CN106531049B (zh) 一种显示面板的亮度调节方法及系统
WO2020049576A3 (en) System and method for monitoring plants in plant growing areas
CN102736280A (zh) 偏光板贴附精度检测装置及方法
CN207097854U (zh) 一种可精密调节间距的扩膜机
CN109332211A (zh) 一种基于图像处理技术的零件尺寸检测系统及方法
KR102288581B1 (ko) 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법
EP1599052A3 (en) Imaging device, image processing method, and color area setting program
US10354567B2 (en) Cell test method and cell test device
CN106053473A (zh) 一种利用机械手进行视觉定位检测的装置和方法
CN106981556A (zh) 一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法
CN104575361A (zh) 一种补偿电路及其工作方法、显示基板和显示装置
CN108680984A (zh) 导光板及其控制方法、背光模组、显示装置
CN104488405A (zh) 基于机器视觉的高通量玉米果穗考种流水线装置及其方法
KR101569853B1 (ko) 기판 결함 검사 장치 및 방법
CN108906641A (zh) 一种接插件中针座的视觉检测装置
CN206411531U (zh) 一种基于无线传感技术的室内蛇池养蛇环境监控装置
CN109277810A (zh) 一种基于机器视觉的零件自动测量装配系统及方法
CN108811224A (zh) Led驱动电源温度补偿的一种工艺
CN101877457B (zh) 实时微调节激光器波长的装置及方法
CN108556294A (zh) 一种多台注塑机智能联合控制系统
CN209028491U (zh) 一种基于pid调节集成电路的红外焦平面控温装置
CN105321480A (zh) 一种lcd背光调节方法及装置
CN202869435U (zh) 烟草及其加工制品的图像数据获取装置
CN206521482U (zh) 一种实时荧光定量装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination