CN106896971A

CN106896971A - 触摸屏的制造工艺

Info

Publication number: CN106896971A
Application number: CN201710157838.5A
Authority: CN
Inventors: 贾仁宝; 王令
Original assignee: SHENZHEN JUNDA OPTOELECTRONICS CO Ltd
Current assignee: SHENZHEN JUNDA OPTOELECTRONICS CO Ltd
Priority date: 2017-03-16
Filing date: 2017-03-16
Publication date: 2017-06-27

Abstract

本发明公开了触摸屏的制造工艺，包括在ITO薄膜上蚀刻出多条X电极和多条Y电极、在ITO薄膜上丝印第一绝缘层及在ITO薄膜上丝印银胶导电层；X电极保持连续，Y电极在与X电极交叉的区域断开；第一绝缘层包括多个绝缘桥，各绝缘桥位于相应Y电极的断开区域并连接该断开区域两侧的Y电极；银胶导电层包括多条搭接线和多条驱动线，各搭接线位于相应绝缘桥上并导通相应断开区域两侧的Y电极。单层ITO薄膜上蚀刻出X电极和Y电极并丝印第一绝缘层和银胶导电层即可完成触感用导电线路布设，工序少，生产效率高，通过蚀刻、丝印形成的线路具有更高的精度和结构稳定性，保证良好显示性能和工作稳定性，实现触摸屏轻薄化。

Description

触摸屏的制造工艺

技术领域

本发明属于触摸屏领域，具体涉及触摸屏的制造工艺。

背景技术

电容触摸屏是利用人体的感应电流进行工作的，当手指触摸到屏幕上的某个点时，触摸屏的触控IC控制器需要获得该点分别在X轴方向和Y方向的电流信息，以精确计算触摸点的位置。

如若在单层导电薄膜上设置X电极和Y电极，并用银线作为连接断开的电极的搭接线，搭接线不可避免会在显示区域内显示，当搭接线较宽时，搭接线可视而影响触摸屏使用时的视觉效果；当搭接线较窄时，搭接线附着力差而影响触摸屏的触摸灵敏度、使用寿命。

单层导电薄膜上设置X电极和Y电极，出于设计成本与工艺开发的考虑，均是采用印刷绝缘来阻隔ITO电极与搭接线路，从而实现多点触摸功能。目前行内常规使用的绝缘油墨流动性较强，一方面绝缘油墨在印刷后容易因流动而导致整个层面绝缘油墨分布不均匀，进而影响绝缘功能，另一方面，绝缘油墨易存在气泡，影响搭接线路的稳定性甚至造成短路，导致触摸功能不稳定。

为了克服上述问题，部分厂商尝试使用印刷若干层绝缘油墨来降低不良率，但依然不能避免出现气泡，且若干次印刷绝缘油墨，会导致工序复杂化和绝缘油墨过厚，进而引起搭接线在过渡区域产生断裂。

发明内容

本发明所要解决的一个技术问题在于提供工序少，能够高效生产轻薄化触摸屏的触摸屏的制造工艺。

为解决上述技术问题，本发明触摸屏的制造工艺采用的技术方案是：

触摸屏的制造工艺，包括：

在ITO薄膜上蚀刻出多条相互间隔开的X电极和多条相互间隔开的Y电极；所述X电极沿X轴方向延伸并在X轴方向上保持连续，所述Y电极沿Y轴方向延伸并在与所述X电极交叉的区域断开；

在所述ITO薄膜上丝印第一绝缘层；所述第一绝缘层包括多个绝缘桥，所述绝缘桥与所述Y电极的断开区域一一对应，所述绝缘桥位于所述Y电极的断开区域并连接该断开区域两侧的所述Y电极；

在所述ITO薄膜上丝印银胶导电层；所述银胶导电层包括多条搭接线和多条驱动线，所述搭接线与所述绝缘桥一一对应，所述搭接线位于所述绝缘桥上并导通相应断开区域两侧的所述Y电极，各所述驱动线位于所述ITO薄膜的边框区域，一部分所述驱动线与所述X电极电连接，另一部分所述驱动线与所述Y电极电连接。

进一步地，在所述ITO薄膜上丝印第一绝缘层的步骤包括：

在所述ITO薄膜的显示区域丝印一层第一绝缘油墨，并对所述第一绝缘油墨进行固烤；在所述ITO薄膜上丝印所述第一绝缘油墨的刮刀压力为28～32Kgf，刮刀速度为118～123mm/min，网版目数为500～550目，印刷厚度为2～3μm。

更进一步地，对所述第一绝缘油墨进行固烤的温度为135～145℃，时间为28～30min。

进一步地，在所述ITO薄膜上丝印所述银胶导电层的步骤包括：

在所述ITO薄膜上丝印一层银胶油墨，并对所述银胶油墨进行固烤；在所述ITO薄膜上丝印所述银胶油墨的刮刀压力为28～32Kgf，刮刀速度为78～82mm/min，网版目数为500～550目，印刷厚度为3～3.5μm。

更进一步地，对所述银胶油墨进行固烤的温度为135～145℃，时间为58～62min。

进一步地，还包括：在所述ITO薄膜上印刷第二绝缘层，所述第二绝缘层位于所述ITO薄膜的边框区域并覆盖各所述驱动线。

更进一步地，在所述ITO薄膜上印刷第二绝缘层的步骤包括：

在所述ITO薄膜的边框区域丝印一层第二绝缘油墨，并对所述第二绝缘油墨进行固烤；在所述ITO薄膜上丝印所述第二绝缘油墨的刮刀压力为28～32Kgf，刮刀速度为118～123mm/min，网版目数为400～450目，印刷厚度为5～7μm。

进一步地，还包括在所述ITO薄膜上印刷第二绝缘层后进行的如下步骤：

在所述ITO薄膜上贴保护膜，所述保护膜覆盖所述ITO薄膜的显示区域和边框区域。

更进一步地，在所述ITO薄膜上贴保护膜的速度为4～5m/min，压力为0.3MPa。

进一步地，所述ITO薄膜包括PET基材和设于所述PET基材上表面的ITO涂层；在所述ITO薄膜上蚀刻出多条所述X电极和多条所述Y电极的步骤为：

对所述ITO薄膜进行缩水老化处理，直至所述PET基材和所述ITO涂层完全结晶；

在所述ITO薄膜上贴合干膜，所述干膜覆盖所述ITO涂层；

根据所述X电极和所述Y电极的形状对所述干膜进行紫外曝光，并对紫外曝光后的所述干膜进行显影，发生反应的干膜对所述ITO涂层进行保护；

利用蚀刻液蚀刻掉不受所述干膜保护的所述ITO涂层；

剥离发生反应的所述干膜。

本发明提供的触摸屏的制造工艺的有益效果在于：只需在单层ITO薄膜上蚀刻出X电极和Y电极，再丝印第一绝缘层和银胶导电层即可完成触摸屏触感用触感线路、导电搭接线路和驱动线路的设置，通过驱动线连接IC控制器即可将触摸点的电流信息传递至IC控制器实现触控，减少了触摸屏的层数，具有良好的挠曲性能，易于加工，节省用料，工序少，有利于提高生产效率、提高良品率和降低成本，通过蚀刻、丝印形成的线路，具有更高的精度和结构的稳定性，能够在保证触摸屏的良好显示性能和工作稳定性的前提下实现轻薄化；各绝缘桥通过丝印工艺同步设置到ITO薄膜上，既简化了工艺，又易于控制绝缘桥尺寸，丝印工艺形成的绝缘桥对ITO薄膜的附着力强；通过丝印工艺同步完成各搭接线和各驱动线的同步设置，进一步简化了工艺，而且能够极大的提高搭接线和驱动线的尺寸精度和对ITO薄膜和绝缘桥的附着力，避免搭接线和驱动线剥离，既不影响线路的过流能力，又有利于将搭接线的尺寸缩小到肉眼不可见的尺寸，以避免搭接线干扰显示，实现触摸屏的良好显示效果。

附图说明

图1为本发明实施例提供的触摸屏的制造工艺的流程图；

图2为本发明实施例提供的ITO薄膜上蚀刻出多条X电极和多条Y电极后的结构示意图；

图3为图2的ITO薄膜上丝印多个绝缘桥后的结构示意图；

图4为图3的ITO薄膜上设置多条搭接线后的结构示意图；

其中：1-ITO薄膜、11-X电极、12-Y电极、2-绝缘桥、3-搭接线。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1-4所示，本发明实施例提供的触摸屏的制造工艺，包括在ITO薄膜1上蚀刻出多条相互间隔开的X电极11和多条相互间隔开的Y电极12、在ITO薄膜1上丝印第一绝缘层、在ITO薄膜1上丝印银胶导电层；X电极11沿X轴方向延伸并在X轴方向上保持连续，Y电极12沿Y轴方向延伸并在与X电极11交叉的区域断开；第一绝缘层包括多个绝缘桥2，绝缘桥2与Y电极12的断开区域一一对应，绝缘桥2位于Y电极12的断开区域并连接该断开区域两侧的Y电极12；银胶导电层包括多条搭接线3和多条驱动线，搭接线3与绝缘桥2一一对应，搭接线3位于绝缘桥2上并导通相应断开区域两侧的Y电极12，各驱动线位于ITO薄膜1的边框区域，一部分驱动线与X电极11电连接，另一部分驱动线与Y电极12电连接。所谓的丝印是指丝网印刷。

只需在单层ITO薄膜1上蚀刻出导电电极(指X电极11和Y电极12)，再丝印第一绝缘层和银胶导电层即可完成触摸屏触感用触感线路、导电搭接线3路和驱动线路等导电线路的设置，通过驱动线连接IC控制器即可将触摸点的电流信息传递至IC控制器实现触控，减少了触摸屏的层数，具有良好的挠曲性能，易于加工，节省用料，工序少，有利于提高生产效率、提高良品率和降低成本，通过蚀刻、丝印形成的线路，具有更高的精度和结构的稳定性，能够在保证触摸屏的良好显示性能和工作稳定性的前提下实现轻薄化；各绝缘桥2通过丝印工艺同步设置到ITO薄膜1上，既简化了工艺，又易于控制绝缘桥2尺寸，丝印工艺形成的绝缘桥2对ITO薄膜1的附着力强；通过丝印工艺同步完成各搭接线3和各驱动线的同步设置，进一步简化了工艺，而且能够极大的提高搭接线3和驱动线的尺寸精度和对ITO薄膜1和绝缘桥2的附着力，避免搭接线3和驱动线剥离，既不影响线路的过流能力，又有利于将搭接线3的尺寸缩小到肉眼不可见的尺寸，以避免搭接线3干扰显示，实现触摸屏的良好显示效果。

进一步地，在本发明实施例中，在ITO薄膜1上丝印第一绝缘层的步骤包括：在ITO薄膜1的显示区域丝印一层第一绝缘油墨，并对第一绝缘油墨进行固烤，直至第一绝缘油墨固化形成第一绝缘层；能够同步完成各绝缘桥2的设置，减少工序，而且丝印工艺能够对各绝缘桥2的方位、尺寸进行精确控制。优选在ITO薄膜1上丝印第一绝缘油墨的刮刀压力为28～32Kgf，刮刀速度为118～123mm/min，网版目数为500～550目，印刷厚度为2～3μm；缩短丝印工艺的时间，一方面印刷厚度为2～3μm，避免第一绝缘油墨过厚而影响搭接线3的稳定性，避免第一绝缘油墨过厚而导致内部包裹气泡而存在汽泡坍塌影响触控性能的风险，还保证了第一绝缘油墨处于肉眼不可见的状态，另一方面通过刮刀压力的控制、刮刀速度和网版目数的选择，既保证第一绝缘油墨的厚度均匀性，又有利于提高第一绝缘油墨在ITO薄膜1上的附着力，又有利于避免第一绝缘油墨内部包裹汽泡，保证绝缘的可靠性，避免搭接线3与X电极11短路，保证良好的触控性能。

更进一步地，在本发明实施例中，对第一绝缘油墨进行固烤的温度为135～145℃，时间为28～30min；既利于提高丝印效率，又保证第一绝缘油墨完全固化，小分子的有效去除，得到具有良好结构稳定性的绝缘桥2，又避免绝缘桥2老化。

具体地，在ITO薄膜1上丝印第一绝缘层的步骤中，刮刀压力为30Kgf，刮刀速度为120mm/min，网版目数为500目，印刷厚度为2～3μm，固烤温度为140℃，时间为30min。得到的绝缘桥2厚度均匀且较薄，具有可靠的绝缘性能，且不会干扰显示。

进一步地，在本发明实施例中，在ITO薄膜1上丝印银胶导电层的步骤包括：在ITO薄膜1上丝印一层银胶油墨，并对银胶油墨进行固烤；能够同步完成各搭接线3和各驱动线的设置，减少工序，而且丝印工艺能够对各搭接线3和各驱动线的方位、尺寸进行精确控制。优选地，在ITO薄膜1上丝印银胶油墨的刮刀压力为28～32Kgf，刮刀速度为78～82mm/min，网版目数为500～550目，印刷厚度为3～3.5μm；缩短丝印工艺的时间，一方面印刷厚度为3～3.5μm，避免银胶油墨过厚而造成搭接线3可视甚至影响搭接线3在绝缘桥2上的稳定性，还能避免银胶油墨过厚而导致内部包裹气泡，提高银胶油墨在绝缘桥2和Y电极12上的附着力，保证触摸灵敏度，另一方面通过刮刀压力的控制、刮刀速度和网版目数的选择，既保证银胶油墨的厚度均匀性，又有利于提高银胶油墨在绝缘桥2和Y电极12上的附着力，又有利于避免银胶油墨内部包裹汽泡，保证导电连接的可靠性，避免搭接线3与Y电极12之间出现开路，保证良好的触控性能。

进一步地，在本发明实施例中，搭接线3的线宽为5μm以内。通过前述丝印工艺的选择能够将搭接线3的线宽、线距缩小到5μm以内，保证在使用触摸屏时肉眼看不到搭接线3，有效避免搭接线3干扰显示，保证触摸屏的良好显示效果，加之搭接线3能够牢牢附着在ITO薄膜1上(具体是附着在绝缘桥2和Y电极12上)，线宽的减小不会影响过流能力，能够保障触感灵敏度。优选搭接线3的线宽(甚至线距)为3～5μm，这样既满足过流需求，又肉眼不可见，又因为是经前述丝印工艺形成搭接线3，线宽的减小不会影响搭接线3的附着能力，得到的触摸屏既具有良好的结构稳定性，触摸时能够灵敏的反馈信号，使用寿命长，又具有良好的显示效果。搭接线3的线宽可等于或略小于绝缘桥2的宽度。

进一步地，在本发明实施例中，对银胶油墨进行固烤的温度为135～145℃，时间为58～62min。既利于提高丝印效率，又保证银胶油墨完全固化，小分子的有效去除，得到具有良好结构稳定性的搭接线3和驱动线，又避免搭接线3和驱动线老化。

具体地，在ITO薄膜1上丝印银胶导电层的步骤中，刮刀压力为30Kgf，刮刀速度为80mm/min，网版目数为500目，印刷厚度为3～3.5μm，固烤温度为140℃，时间为60min。得到的搭接线3和驱动线厚度均匀且较薄，牢牢地附着在ITO薄膜1的相关结构上(如绝缘桥2、Y电极12、边框区域等)，既具有良好的触控性能，又具有良好的显示性能。

进一步地，在本发明实施例中，还包括在ITO薄膜1上印刷第二绝缘层，第二绝缘层位于ITO薄膜1的边框区域并覆盖各驱动线。印刷第二绝缘层，能够保护位于边框区域的驱动线。避免各驱动线短路，增加各驱动线在TIO薄膜上的稳定性，保证良好的触控性能。

更进一步地，在本发明实施例中，在ITO薄膜1上印刷第二绝缘层的步骤包括：

在ITO薄膜1的边框区域丝印一层第二绝缘油墨，并对第二绝缘油墨进行固烤，直至第二绝缘油墨固化形成第二绝缘层，能够同步完成各驱动线的保护绝缘设置，减少工序，而且丝印工艺能够对第二绝缘层的方位、尺寸进行精确控制。优选地，在ITO薄膜1上丝印第二绝缘油墨的刮刀压力为28～32Kgf，刮刀速度为118～123mm/min，网版目数为400～450目，印刷厚度为5～7μm。印刷厚度为5～7μm，与绝缘桥2和搭接线3的厚度和大致相当，这样既能够保护驱动线，又使得布设有导电线路(X电极11、Y电极12、搭接线3和驱动线)的ITO薄膜1表面平整，当在TIO薄膜上设置玻璃盖板时，ITO薄膜1与玻璃盖板之间能够紧密贴合，提升触摸屏的结构稳定性，另一方面通过刮刀压力的控制、刮刀速度和网版目数的选择，既保证第二绝缘油墨的厚度均匀性，又有利于提高第二绝缘油墨在ITO薄膜1上的附着力，又有利于避免第二绝缘油墨内部包裹汽泡，保证绝缘的可靠性，避免各驱动线间短路，保证良好的触控性能。

更进一步地，在本发明实施例中，对第二绝缘油墨进行固烤的方式为紫外固烤，且紫外固烤的能量为620～670MJ/cm²，时间为2～3s；既利于提高丝印第二绝缘层的效率，又保证第二绝缘油墨完全固化，小分子的有效去除，得到具有良好结构稳定性的第二绝缘层，又避免第二绝缘层老化。

进一步地，在本发明实施例中，还包括在ITO薄膜1上印刷第二绝缘层后进行的如下步骤：

在ITO薄膜1上贴保护膜，保护膜覆盖ITO薄膜1的显示区域和边框区域；保护膜能够对ITO薄膜1上布设的导电线路进行保护，避免导电线路磨损、剥落。

更进一步地，在本发明实施例中，在ITO薄膜1上贴保护膜的滚贴速度为4～5m/min，滚贴压力为0.25～0.35MPa。既提高贴保护膜效率，又保证了保护膜与ITO薄膜1之间的紧密结合，避免保护膜与TIO薄膜分离。

进一步地，在本发明实施例中，ITO薄膜1包括PET基材和设于PET基材上表面的ITO涂层；在ITO薄膜1上蚀刻出多条X电极11和多条Y电极12的步骤为：

对ITO薄膜1进行缩水老化处理，直至PET基材和ITO涂层完全结晶；

在ITO薄膜1上贴合干膜，干膜覆盖ITO涂层；

根据X电极11和Y电极12的形状对干膜进行紫外曝光，并对紫外曝光后的干膜进行显影，发生反应的干膜对ITO涂层进行保护；

利用蚀刻液蚀刻掉不受干膜保护的ITO涂层；

剥离发生反应的干膜。

利用干膜的影像转移功能，在ITO薄膜1上同步完成导电电极(包括X电极11和Y电极12)蚀刻，工艺简单，保证导电电极的精度，提高良品率。ITO薄膜1的基材为PET(即聚对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜，在较宽的温度范围内具有优良的物理机械性能，长期使用温度可达120℃，电绝缘性优良，抗蠕变性、耐疲劳性、耐摩擦性及尺寸稳定性都很好，适合作为触摸屏结构的基材，能保证触摸屏工作性能的稳定。

进一步地，在本发明实施例中，对ITO薄膜1进行缩水老化处理的温度为138～142℃，老化速率为2.3～2.7m/min；增加ITO薄膜1的结构稳定性，以便后续工艺中精确控制ITO薄膜1及其上设置的结构(如绝缘桥2、搭接线3、驱动线)的尺寸和方位精度。

进一步地，在本发明实施例中，在ITO薄膜1上贴合干膜的温度为108～112℃、滚贴压力为0.33～0.37MPa，滚贴速度为2.3～2.7m/min；既利于提高贴膜效率，又能避免ITO薄膜1变形，还能够使干膜能够更好的与ITO薄膜1贴合，进而更好的保护ITO薄膜1上对应X电极11和Y电极12的ITO涂层，保证X电极11和Y电极12的加工精度，保证触摸屏的良好显示效果。

进一步地，在本发明实施例中，在ITO薄膜1上贴合干膜后，先进行切片工序，得到触摸屏触屏功能区对应的功能片，再对功能片进行曝光显影。这样可以利用卷对卷工艺在ITO薄膜1上贴合干膜，增加ITO薄膜1与干膜之间的贴合可靠性，避免ITO薄膜1与干膜之间出现气泡而影响后续蚀刻控制，保证X电极11和Y电极12的尺寸和方位精度。

进一步地，在本发明实施例中，对干膜进行紫外曝光的紫外能量为70-80MJ/cm²，时间为5～7s。提高了曝光效率，避免显影不净或显影过度，保证干膜均匀、稳定地固化，使干膜固化部分与ITO薄膜1更好的结合。

进一步地，在本发明实施例中，干膜显影的速度为3.8～4.2m/min，提高显影效率，有利于保证将未固化的干膜部分完全去除，而又不影响固化的干膜部分。其中，干膜显影的显影剂可选碱液，具体可采用质量比为(1～2)：100的碳酸钠和水配制的碱液，既具有高效显影能力，又无损ITO薄膜1，还有利于降低成本，无污染，方便回收废液。

进一步地，在本发明实施例中，利用ITO蚀刻液蚀刻掉不受干膜保护的ITO涂层的速度为3.8～4.2m/min，具有较高的蚀刻效率，有利于提高蚀刻精度，保证X电极11和Y电极12的方位、尺寸精度，以保证良好的触摸性能和显示性能。其中，ITO蚀刻液可选酸液，具体可采用体积比为(21～23)：(1～1.2)：100的盐酸、硝酸和水配制的酸液，其中盐酸指分析纯的盐酸，硝酸指分析纯的硝酸，既具有高效蚀刻能力，又避免侵蚀X电极11和Y电极12所在的ITO涂层，还有利于降低成本，方便回收废液。

更进一步地，在本发明实施例中，在剥离发生反应的干膜步骤中，先采用脱膜碱液浸润ITO薄膜1后，再行剥离干膜，避免剥离干膜时损伤X电极11和Y电极12。脱膜碱液具体可采用质量比为(2.5～3.5)：100的氢氧化钠和水配制的碱液，能够高效破坏固化的干膜与ITO薄膜1之间的贴合，利于快速剥离干膜而不损伤X电极11和Y电极12，还有利于降低成本，方便回收废液。

进一步地，在本发明实施例中，在ITO薄膜1的导电侧贴合玻璃盖板，通过玻璃盖板来防护ITO薄膜1；具体步骤可包括：在ITO薄膜1的导电侧贴合OCA光学胶层，再将玻璃盖板贴合到OCA光学胶层与ITO薄膜1相背的一侧。工艺简单，仅需一层OCA光学胶层将ITO薄膜1与玻璃盖板粘合，保证触摸屏具有良好的挠曲性能。当设有保护膜时，OCA光学胶层可贴合在保护膜上。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.触摸屏的制造工艺，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，在所述ITO薄膜上丝印第一绝缘层的步骤包括：

3.根据权利要求2所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，对所述第一绝缘油墨进行固烤的温度为135～145℃，时间为28～30min。

4.根据权利要求1所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，在所述ITO薄膜上丝印所述银胶导电层的步骤包括：

5.根据权利要求4所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，对所述银胶油墨进行固烤的温度为135～145℃，时间为58～62min。

6.根据权利要求1所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，还包括：

在所述ITO薄膜上印刷第二绝缘层，所述第二绝缘层位于所述ITO薄膜的边框区域并覆盖各所述驱动线。

7.根据权利要求6所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，在所述ITO薄膜上印刷第二绝缘层的步骤包括：

8.根据权利要求6所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，还包括在所述ITO薄膜上印刷所述第二绝缘层后进行的如下步骤：

9.根据权利要求8所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，在所述ITO薄膜上贴所述保护膜的速度为4～5m/min，压力为0.3MPa。

10.根据权利要求1所述的触摸屏的制造工艺，其特征在于，所述ITO薄膜包括PET基材和设于所述PET基材上表面的ITO涂层；在所述ITO薄膜上蚀刻出多条所述X电极和多条所述Y电极的步骤为：

在所述ITO薄膜上贴合干膜，所述干膜覆盖所述ITO涂层；

根据所述X电极和所述Y电极的形状对所述干膜进行紫外曝光，并对紫外曝光后的所述干膜进行显影，发生反应的所述干膜对所述ITO涂层进行保护；

利用蚀刻液蚀刻掉不受所述干膜保护的所述ITO涂层；

剥离发生反应的所述干膜。