CN106891183A - 一种真空吸盘装置及固定、卸载加工部件的方法 - Google Patents

一种真空吸盘装置及固定、卸载加工部件的方法 Download PDF

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葛钟
库黎明
王永涛
朱秦发
闫志瑞
李磊
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You Yan Semi Materials Co Ltd
Grinm Semiconductor Materials Co Ltd
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    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
    • B23Q3/06—Work-clamping means
    • B23Q3/08—Work-clamping means other than mechanically-actuated
    • B23Q3/088—Work-clamping means other than mechanically-actuated using vacuum means

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明公开了一种真空吸盘装置及固定、卸载加工部件的方法。该真空吸盘装置包括吸盘本体和抽真空装置，吸盘本体上设有凹槽，该凹槽上设有贯穿真空吸盘本体的管路通孔，所述管路通孔外接三通阀，该三通阀的两个管口分别连接抽真空装置和进液装置。采用该真空吸盘装置固定、卸载加工部件的方法是：将加工部件放置于吸盘本体上，关闭与进液装置连接的三通阀管口，打开与抽真空装置连接的三通阀管口，抽真空，吸盘本体固定住加工部件；加工结束后，关闭与所抽真空装置连接的三通阀管口，打开与进液装置连接的三通阀管口，液体进入凹槽中，从而使加工部件脱离吸盘本体。采用该真空吸盘装置，能够避免在卸载加工部件时损坏、划伤等问题的产生。

Description

一种真空吸盘装置及固定、卸载加工部件的方法
技术领域
本发明涉及一种真空吸盘装置及固定、卸载加工部件的方法，属于机械、电子等材料加工、工装技术领域。
背景技术
在机械、电子等材料的加工、工装领域，经常会用到真空吸盘，以实现对工件的夹持、定位等要求。工件加工时在液体环境中进行，加工过程中抽真空，使得工件与吸盘表面的结合处进入液体。加工结束后，工件与吸盘表面的结合处液体的张力使得工件卸载困难，更严重的是用力不当导致工件损坏、表面产生划伤问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种真空吸盘装置，用于加工部件的固定，在加工完成后卸载加工部件时避免损坏、划伤等问题的产生。
本发明的另一个目的在于提供一种采用所述真空吸盘装置固定、卸载加工部件的方法。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种真空吸盘装置，包括吸盘本体和抽真空装置，其中所述吸盘本体上设有凹槽，该凹槽上设有贯穿真空吸盘本体的管路通孔，所述管路通孔外接三通阀，该三通阀的两个管口分别连接抽真空装置和进液装置。
所述吸盘本体的边缘上设有隔挡。该隔挡的高度低于待加工的部件。
一种采用所述真空吸盘装置固定、卸载加工部件的方法，将加工部件放置于吸盘本体上，关闭与进液装置连接的三通阀管口，打开与抽真空装置连接的三通阀管口，抽真空，吸盘本体固定住加工部件；加工结束后，关闭与所抽真空装置连接的三通阀管口，打开与进液装置连接的三通阀管口，液体进入凹槽中，从而使加工部件脱离吸盘本体。
本发明的优点在于：
本发明的真空吸盘装置结构简单，采用该真空吸盘装置，能够避免在卸载加工部件时损坏、划伤等问题的产生。
附图说明
图1为本发明的一种真空吸盘装置的结构示意图。
图2为本发明的另一种真空吸盘装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步说明，但本发明的实施方式不限于此。
实施例1
如图1所示，本发明的一种真空吸盘装置包括吸盘本体1和抽真空装置2，其中所述吸盘本体1上设有凹槽3，该凹槽3上设有贯穿真空吸盘本体1的管路通孔4，所述管路通孔4外接三通阀5，该三通阀5的两个管口分别连接抽真空装置2和进液装置6。即三通阀5经管路通孔4与凹槽3连通，三通阀5的管口7连接抽真空装置2，三通阀5的管口8连接进液装置6。
在采用该吸盘装置固定、卸载加工部件时，首先，将加工部件放置于所述吸盘本体1上，加工时关闭与进液装置6连接的三通阀管口8，打开与抽真空装置2连接的三通阀管口7，通过抽真空，使吸盘本体1固定住加工部件；工件加工结束后，关闭与抽真空装置2连接的三通阀管口7，打开与进液装置6连接的三通阀管口8，向凹槽3中进液，液体漫过凹槽3，使加工部件脱离吸盘本体1。这种方式易于卸载工件，不会产生强行卸载损坏工件现象，且工件与吸盘面之间存在液体阻隔，有效的避免了划伤问题产生。
实施例2
在实施1中，工件加工结束后，关闭与抽真空装置2连接的三通阀管口7，打开与进液装置6连接的三通阀管口8，向凹槽3中进液，液体漫过凹槽3，使加工部件脱离吸盘本体1，因吸盘本体上存在一层液体，工件会在吸盘本体上滑动，可能导致工件滑出吸盘掉落摔坏。对此本发明对实施例1作进一步优化，如图2所示，在吸盘本体的边缘上设置隔挡件9。该隔挡件的高度低于待加工部件的高度。

Claims (4)

1.一种真空吸盘装置，包括吸盘本体和抽真空装置，其特征在于，所述吸盘本体上设有凹槽，该凹槽上设有贯穿真空吸盘本体的管路通孔，所述管路通孔外接三通阀，该三通阀的两个管口分别连接抽真空装置和进液装置。
2.根据权利要求1所述的真空吸盘装置，其特征在于，所述吸盘本体的边缘上设有隔挡。
3.根据权利要求2所述的真空吸盘装置，其特征在于，所述隔挡的高度低于待加工的部件。
4.一种采用权利要求1-3中任一项所述真空吸盘装置固定、卸载加工部件的方法，其特征在于，将加工部件放置于吸盘本体上，关闭与进液装置连接的三通阀管口，打开与抽真空装置连接的三通阀管口，抽真空，吸盘本体固定住加工部件；加工结束后，关闭与所抽真空装置连接的三通阀管口，打开与进液装置连接的三通阀管口，液体进入凹槽中，从而使加工部件脱离吸盘本体。
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