CN106873200B - 光阻烘烤设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种光阻烘烤设备，包括箱体，箱体内分别设有加热温度不同的第一烘烤区和第二烘烤区，在第一烘烤区和第二烘烤区之间设有竖向设置的第一隔板，第一烘烤区与第二烘烤区内分别设有至少二个加热器；在箱体的下部位于第一烘烤区处设有玻璃放置口，箱体的下部位于第二烘烤区处设有与玻璃放置口位置相对应的玻璃取出口，第一烘烤区以及第二烘烤区分别设有第一传送机构、第二传送机构，在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架的传送架，第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有输送机构。与现有技术相比，通过局部不同区域进行温度控制，达到平坦层光阻所需的熔体流动的时间延长，提升平坦层的平坦度。

Description

光阻烘烤设备

技术领域

本发明涉及一种液晶面板生产技术，特别是一种用光阻烘烤设备。

背景技术

现阶段液晶显示业Color Filter(CF彩膜)制程中，有一道制程相对比较重要，即Over Coat(OC平坦层)制程，简称OC制程，该制程作用为隔绝有金属元素的RGB，防止污染液晶，以及作为平坦层使液晶排布更均匀，显示效果更佳，该制程和其他黄光制程不同，整面存留，无需进行曝光显影过程，制程相对比较简单，整个制作过程只有基板清洗，涂布、真空干燥和烘烤过程，其中烘烤分为预烘烤和后烘烤。

预烘烤为使用热板接触式烘烤，温度低于后烘烤装置，仅起到初步固化作业，减少后烘烤部分化学质析出，由于单片腔式(单片所占空间较大)烘烤，为满足整条产线的节拍，实际烘烤时间较短，实际功能性较低。

后烘烤为热风烘烤炉，实际烘烤温度较高(为了使光阻彻底固化，且将大部分无用化学物质析出)，由于使用Center Fork形式(单片所占空间较小)，可以大批量烘烤，烘烤时间可以很长，而且OC制程最重要的制程参数——平坦度，主要影响的是光阻熔体流动(MeltFlow)阶段，OC的光阻在一定温度后会软化具有流动性，在固化温度前，光阻都会具有一定流动效应，以现有的预烘烤和后烘烤装置，制程只能设定一个温度，所有玻璃进出后按同一升温曲线进行，相对的Melt Flow时间很短，无法达到预期要求，从常温加热至指定温度非常快，均无法达到平坦层流平所需的Melt Flow时间需求。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种光阻烘烤设备，从而提高平坦层的平坦度。

本发明提供了一种光阻烘烤设备，包括箱体，所述箱体内分别设有加热温度不同的第一烘烤区和第二烘烤区，在第一烘烤区和第二烘烤区之间设有竖向设置的第一隔板，所述第一烘烤区与第二烘烤区内分别设有至少二个加热器，所述第一烘烤区的加热温度从下至上逐步升高，第二烘烤区的加热温度从上至下逐步升高；在箱体的下部位于第一烘烤区处设有玻璃放置口，箱体的下部位于第二烘烤区处设有与玻璃放置口位置相对应的玻璃取出口，所述第一烘烤区以及第二烘烤区分别设有可带动玻璃支架垂直上升或下降的第一传送机构、第二传送机构，在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架的传送架，传送架分别与玻璃放置口以及玻璃取出口相对，所述第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有输送机构，所述输送机构用于将第一烘烤区的玻璃支架输送至第二烘烤区或将第二烘烤区内的玻璃支架输送至第一烘烤区，在第一隔板上位于输送机构处设有输送口。

进一步地，每排传送架包括至少两个开口与玻璃支架相对并且水平设置的C型支架，在C型支架开口的上下两端分别设有相对设置的滚筒导轨，所述滚筒导轨分别穿过每一个C型支架的开口，在上下两个滚筒导轨之间形成用于与玻璃支架卡接的卡接部，至少一个滚筒导轨上的滚筒连接第二电机，第二电机驱动滚筒将玻璃支架7输送至输送机构中。

进一步地，所述第一传送机构以及第二传送机构为链条传动，包括设于第一烘烤区和第二烘烤区上下其中一端的电机、设于电机输出轴上的主动齿轮以及设于第一烘烤区和第二烘烤区另一端的从动齿轮，在主动齿轮与从动齿轮上套有与其啮合的O形链条，传送架均匀分布固定在O形链条的表面上。

进一步地，所述输送机构包括动力式滚筒输送机，动力式滚筒输送机与设置在C型支架开口下端的滚筒导轨设于同一水平面上。

进一步地，所述传送架中与输送机构相邻的C型支架的开口中设有可封闭或开启该C型支架开口的拨杆。

进一步地，所述C型支架上位于拨杆处设有气动阀。

进一步地，所述第一传送机构和第二传送机构的上下两端分别设有用于控制气动阀复动以及第二电机启动的传感单元。

进一步地，所述第一烘烤区内设有水平设置的第二隔板，第二隔板将第一烘烤区划分为多个温度不同的第一烘烤子区，每个第一烘烤子区中对应设置一个加热器，第二隔板上设有第一玻璃支架出入口；所述第二烘烤区内设有水平设置的第三隔板，第三隔板将第二烘烤区划分为多个温度不同的第二烘烤子区，每个第二烘烤子区中对应设置一个加热器，第三隔板上设有第二玻璃支架出入口。

进一步地，所述第二隔板以及第三隔板分别设有两块，两块第二隔板将第一烘烤区划分为3个第一烘烤子区；两块第三隔板将第二烘烤区划分为3个第二烘烤子区。

进一步地，所述输送机构还包括与动力式滚筒输送机相对设置的滚筒输送机，滚筒输送机与设置在C型支架开口上端的滚筒导轨设于同一水平面上，在动力式滚筒输送机与滚筒输送机之间设有供玻璃支架经过的通道。

本发明与现有技术相比，通过将预烘烤以及后烘烤装置集成在一起，并通过对局部不同的区域进行温度控制，达到平坦层光阻所需的熔体流动的时间延长，从而提升平坦层的平坦度。

附图说明

图1-1是本发明的内部结构示意图一；

图1-2是本发明的内部结构示意图二；

图2-1是本发明第一传送机构以及第二传送机构的结构示意图一；

图2-2是本发明第一传送机构以及第二传送机构的结构示意图二；

图3是本发明传送架的结构示意图；

图4是本发明玻璃支架运动方向的示意图；

图5是本发明C型支架的内部结构示意图；

图6是本发明玻璃支架的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1-1和图1-2所示，本发明的一种光阻烘烤设备，包括一个箱体1，箱体1内分别设有加热温度不同的第一烘烤区2和第二烘烤区3，其中第一烘烤区2为预烘烤区，第二烘烤区3为后烘烤区；在第一烘烤区2和第二烘烤区3之间设有竖向设置的第一隔板19，第一隔板19用于将两个烘烤区进行隔离，防止温度相互串扰；所述第一烘烤区2与第二烘烤区3内分别设有至少二个加热器4，此处加热器4设置有至少三个，从而使第一烘烤区2的加热温度从下至上逐步升高，第二烘烤区3的加热温度从上之下逐步升高，实现烘烤设备中两个烘烤区的温度逐步提升；在箱体1的下部位于第一烘烤区2处设有玻璃放置口5，玻璃放置口5的长度以及宽度大于玻璃支架7的长度以及高度；箱体1的下部位于第二烘烤区处设有与玻璃放置口5位置相对应的玻璃取出口6，玻璃取出口6的长度以及宽度与玻璃放置口5的长度以及宽度相同；所述第一烘烤区2以及第二烘烤区3分别设有可带动玻璃支架7垂直上升或下降的第一传送机构、第二传送机构，所述第一传送机构与第二传送机构的运动方向相反，其中，第一传送机构的运动方向为从下至上，第二传送机构的运动方向为从上之下，这样能够实现玻璃支架在第一烘烤区2和第二烘烤区3中循环，在箱体1外还设有为加热器4、第一传送机构、第二传送机构以及输送机构供电的电源30。

在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架7的传送架8，传送架8分别与玻璃放置口5以及玻璃取出口6相对，所述第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有运动方向相反的输送机构，所述输送机构用于将第一烘烤区2的玻璃支架7输送至第二烘烤区3或将第二烘烤区3内的玻璃支架7输送至第一烘烤区2，在第一隔板19上位于输送机构处设有输送口21，输送口21的长度和宽度大于玻璃支架7的长度以及高度。

放入光阻烘烤设备中的玻璃均放置在玻璃支架7上，玻璃支架7采用如图6所示的结构实现，其为叉子状，包括用于与传送架8相互卡接的横杆71以及设置在横杆71上的多根支臂72，支臂72上形成玻璃放置平台。

如图1-1所示，为了能够对第一烘烤区2和第二烘烤区3中的加热温度分别控制，在此第一烘烤区2和第二烘烤区3分别划分为多个烘烤子区，具体为，在第一烘烤区2内设有水平设置的第二隔板20，第二隔板20将第一烘烤区2划分为多个温度不同的第一烘烤子区28，每个第一烘烤子区中对应设置一个加热器4，第二隔板20上设有第一玻璃支架出入口22，第一玻璃支架出入口22的长度和宽度大于玻璃支架7长度和宽度；所述第二烘烤区3内设有水平设置的第三隔板23，第三隔板23将第二烘烤区3划分为多个温度不同的第二烘烤子区29，每个第二烘烤子区29中对应设置一个加热器4，第三隔板23上设有第二玻璃支架出入口24，第二玻璃支架出入口24与第一玻璃支架出入口22的大小相等。

优选地，第二隔板20以及第三隔板23分别设有两块，两块第二隔板20将第一烘烤区2划分为3个第一烘烤子区；两块第三隔板23将第二烘烤区3划分为3个第二烘烤子区，第二隔板20与第三隔板23的设置位置相对应，从而使第一烘烤区2和第二烘烤区3中的烘烤子区分别一一对应设备，这样能够保证加热温度逐步升高。

如图2-1所示，为本发明第一传送机构以及第二传送机构的结构示意图，在本发明中，第一传送机构与第二传送机构采用相同结构，因此针对第一传送机构的具体结构进行说明，值得注意的是，第一传送机构以及第二传送机构的区别仅在于运动方向的不同。

本发明中第一传送机构以及第二传送机构为链条传动，包括设于第一烘烤区2和第二烘烤区3上下其中一端的与电源30连接的第一电机12、设于第一电机12输出轴上的主动齿轮13以及设于第一烘烤区2和第二烘烤区3另一端的从动齿轮14，在主动齿轮13与从动齿轮14上套有与其啮合的O形链条15，传送架8均匀分布固定在O形链条15的表面上。

具体地，如图2-2所示，在第一烘烤区2和第二烘烤区3中分别设有传送机构支架，第一电机12优选地固定位置为第一传送机构的第一电机12固定在传送机构支架的上端，第二传送机构的第一电机12固定在传送机构支架的下端，主动齿轮13设有多个，通过轴杆串接在一起，轴杆通过轴承座固定在传送机构支架上，轴杆与第一电机12的输出轴之间通过联轴器联接，从动齿轮14设置在与主动齿轮13相对的传送机构支架的另一侧上，从动齿轮14的设置数量与主动齿轮13的设置数量相一致；从动齿轮14通过轴杆串接在一起并通过轴承座固定在传送机构支架上，O形链条15的数量可与主动齿轮13的数量相一致，也可以为相互拼接形成具有一定宽度的带状结构，O形链条15的设置放置不限，传送架7固定在O形链条15的表面上。

如图3所示，每排传送架8包括至少两个开口与玻璃支架7相对并且水平设置的C型支架9，在C型支架9开口的上下两端分别设有相对设置的滚筒导轨10，所述滚筒导轨10分别穿过每一个C型支架9的开口，在上下两个滚筒导轨10之间形成用于与玻璃支架7卡接的卡接部11，至少一个滚筒导轨10中的滚筒与第二电机31连接，第二电机31与电源30连接，第二电机31驱动滚筒将玻璃支架7输送至输送机构中，具体地，滚筒导轨10包括导轨101以及设于导轨101凹槽内的滚筒102，第二电机31与其中一个滚筒102连接，优选地，第二电机31与滚筒导轨10中部的滚筒102连接。滚筒导轨也可以采用内部具有电机的滚筒，这样无需另外设置第二电机31。

优选地，C型支架9设有五个，其中两个设于与玻璃支架7两端位置相对应处，另外三个设置在最外侧两个玻璃支架7之间，并且等距离分布。

如图1-1和图3所示，所述输送机构包括动力式滚筒输送机16，动力式滚筒输送机16与设置在C型支架9开口下端的滚筒导轨10设于同一水平面上。

具体地，设置在上端的输送机构朝第二烘烤区3的方向转动，从而使位于第一烘烤区2中到达输送机构处的玻璃支架7输送转移至第二烘烤区3中；设置在下端的输送机构朝第一烘烤区2的方向转动，将经过第一烘烤区2和第二烘烤区3后的玻璃在需要再次烘烤时通过输送机构送回至第一烘烤区2中继续烘烤。

优选地，输送机构还包括与动力式滚筒输送机16相对设置的滚筒输送机26，滚筒输送机26与设置在C型支架9开口上端的滚筒导轨10设于同一水平面上，在动力式滚筒输送机16与滚筒输送机26之间设有供玻璃支架7经过的通道，值得注意的是，此处的滚筒输送机26也可以为具有动力的动力式滚筒输送机，若为动力式滚筒输送机时，设于下端的动力式滚筒输送机16与设于上端的滚筒输送机26的转动方向相反，使夹在通道中的玻璃支架7能够朝指定的方向移动。

如图5所示，与输送机构相邻的C型支架9的开口中设有可封闭或开启该C型支架9的开口的拨杆17，所述拨杆17通过气动阀27控制，气动阀27设于C型支架9上，优选地，拨杆17设有一对，分别设置在C型支架9开口的上下两端，气动阀27为SDA气动阀。

在本发明中，拨杆17可以设置在每排传送架8最外侧的两个C型支架9上，在第一传送机构和第二传送机构的上、下两端位于传送机构支架上分别设有用于控制气动阀27复动以及第二电机31启动的传感单元25，传感单元25可采用常规的位置传感器或者是红外传感器等具有触动功能的传感器，在此不做具体限定。

本发明的工作流程如下，如图4所示，玻璃支架7依次通过玻璃放置口5放入第一烘烤区2内，玻璃支架7与传送架8卡接，第一传送机构带动传送架8上升，玻璃支架7上的玻璃依次在不同第一烘烤子区中进行烘烤后到达第一烘烤区2的上方，此时传感单元25感知到达此处的传送架8时，向气动阀发送信息，气动阀驱动拨杆17开启；辊子导轨将传送架8推出至上端的输送机构，输送机构将传送架8输送至第二烘烤区3中，传送架8进入第二传送机构中的传送架8后，第二传送机构带动传送架8下降，传送架远离位于第二传送机构上端的传感单元25后，向该传送架8上的气动阀发送信号，气动阀驱动拨杆17关闭，玻璃支架7上的玻璃依次在不同第二烘烤子区中进行烘烤后到达第二烘烤区3的下方，选择通过玻璃取出口6取出玻璃或继续进入第一烘烤区2中进行循环烘烤，直到烘烤完成。

本发明的辊子导轨、第一传送机构、第二传送机构、输送机构以及传感单元均可通过控制器进行控制，在此不做具体限定。

虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (8)

1.一种光阻烘烤设备，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内分别设有加热温度不同的第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)，在第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)之间设有竖向设置的第一隔板(19)，所述第一烘烤区(2)与第二烘烤区(3)内分别设有至少二个加热器(4)，所述第一烘烤区(2)的加热温度从下至上逐步升高，第二烘烤区(3)的加热温度从上至下逐步升高；在箱体(1)的下部位于第一烘烤区(2)处设有玻璃放置口(5)，箱体(1)的下部位于第二烘烤区(3)处设有与玻璃放置口(5)位置相对应的玻璃取出口(6)，所述第一烘烤区(2)以及第二烘烤区(3)分别设有可带动玻璃支架(7)垂直上升或下降的第一传送机构、第二传送机构，在第一传送机构与第二传送机构上分别设有多排用于固定玻璃支架(7)的传送架(8)，传送架(8)分别与玻璃放置口(5)以及玻璃取出口(6)相对，所述第一传送机构与第二传送机构之间的上下两端后侧分别设有输送机构，所述输送机构用于将第一烘烤区(2)的玻璃支架(7)输送至第二烘烤区(3)或将第二烘烤区(3)内的玻璃支架(7)输送至第一烘烤区(2)，在第一隔板(19)上位于输送机构处设有输送口(21)，

所述第一烘烤区(2)内设有水平设置的第二隔板(20)，第二隔板(20)将第一烘烤区(2)划分为多个温度不同的第一烘烤子区(28)，每个第一烘烤子区(28)中对应设置一个加热器(4)，第二隔板(20)上设有第一玻璃支架出入口(22)；所述第二烘烤区(3)内设有水平设置的第三隔板(23)，第三隔板(23)将第二烘烤区(3)划分为多个温度不同的第二烘烤子区(29)，每个第二烘烤子区(29)中对应设置一个加热器(4)，第三隔板(23)上设有第二玻璃支架出入口(24)，

所述第二隔板(20)以及第三隔板(23)分别设有两块，两块第二隔板(20)将第一烘烤区(2)划分为3个第一烘烤子区(28)；两块第三隔板(23)将第二烘烤区(3)划分为3个第二烘烤子区(29)。

2.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：每排传送架(8)包括至少两个开口与玻璃支架(7)相对并且水平设置的C型支架(9)，在C型支架(9)开口的上下两端分别设有相对设置的滚筒导轨(10)，所述滚筒导轨(10)分别穿过每一个C型支架(9)的开口，在上下两个滚筒导轨(10)之间形成用于与玻璃支架(7)卡接的卡接部(11)，至少一个滚筒导轨(10)上的滚筒连接有第二电机(31)，第二电机(31)驱动滚筒将玻璃支架(7)输送至输送机构中。

3.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述第一传送机构以及第二传送机构为链条传动，包括设于第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)上下其中一端的电机(12)、设于电机(12)输出轴上的主动齿轮(13)以及设于第一烘烤区(2)和第二烘烤区(3)另一端的从动齿轮(14)，在主动齿轮(13)与从动齿轮(14)上套有与其啮合的O形链条(15)，传送架(8)均匀分布固定在O形链条(15)的表面上。

4.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述输送机构包括动力式滚筒输送机(16)，动力式滚筒输送机(16)与设置在C型支架(9)开口下端的滚筒导轨(10)设于同一水平面上。

5.根据权利要求2所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述传送架(8)中与输送机构相邻的C型支架(9)的开口中设有可封闭或开启该C型支架(9)开口的拨杆(17)。

6.根据权利要求5所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述C型支架(9)上位于拨杆(17)处设有气动阀(27)。

7.根据权利要求6所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述第一传送机构和第二传送机构的上下两端分别设有用于控制气动阀复动以及第二电机(31)启动的传感单元(25)。

8.根据权利要求4所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述输送机构还包括与动力式滚筒输送机(16)相对设置的滚筒输送机(26)，滚筒输送机(26)与设置在C型支架(9)开口上端的滚筒导轨(10)设于同一水平面上，在动力式滚筒输送机(16)与滚筒输送机(26)之间设有供玻璃支架(7)经过的通道。

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