CN106709099B - 探针台map文件转换方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件的方法。JC6001是集成电路晶圆测试探针台的一种，UF200则是更通用的探针台机型，为了使两种机型能够相互识别各自的测试结果，本发明实现了两种格式MAP图的互相转换，尤其是解决了JC6001到UF200的MAP图转换的诸多难点。

Description

探针台MAP文件转换方法

技术领域

本发明涉及一种JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件的方法，属于集成电路测试技术领域。

背景技术

晶圆测试和打点是两道最关键的工序，Map图不仅记录着管芯的好与坏还记载着被测管芯的其它测试状态信息；由于国际上还没有制定探针台的Map图格式文件通用标准，所以不同类型的探针台生成的Map图格式及信息存在差异，探针台之间也不能相互读取。BIN值通常作为管芯的测试结果分类属性，例如，BIN1为PASS管芯、BIN2为漏电流失效、BIN3为功能失效等。

JC6001晶圆探针台是国内自主研发的，UF200探针台是日本东京精密公司制造的，为业内主流的探针台；两种类型探针台同时运行在测试生产线上，鉴于测试生产项目的需求，一款产品经常需要两种探针台参与测试，会生成不同格式的两种Map图，不能相互读出，一款被测产品自始至终只能选择同一类型探针台进行测试，常常出现设备调度难题，严重影响着生产线的产量。一种机型测试后，可以到另外一种机型进行打点，这样可以合理利用不同机型的优势，极大提高了设备利用率和效率，所以两探针台的MAP格式转换是当务之需。

JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件是本领域技术人员亟待解决的关键技术问题之一。

发明内容

本发明的目的是解决JC6001探针台MAP文件转换为UF200探针台的MAP文件的方法；

本发明的技术解决方案包括如下步骤：

JC6001探针台格式的MAP文件只含有各测试管芯的坐标信息及其BIN值，因此转换为UF200探针台格式的MAP图最大的难点是缺失UF200机台所需的诸多信息。考虑到本发明实现JC6001到UF200格式转换的目的主要是把JC6001的测试结果转换为UF200可以识别的格式，以便快速打点，因此本发明可以直接基于一个UF200的基础模板进行转换，UF200基础模板含有待打点晶圆的完整信息，只需更新MAP文件中管芯的坐标位置与测试BIN值、及测试结果统计有关的信息到基础模板，便可以形成所需的UF200测试文件。

转换步骤如下：

步骤一：复制UF200探针台MAP基础模板(注：MAP文件)

步骤二：通过转换程序界面获得JC6001与UF200坐标转换关系；

步骤三：依次将JC6001各管芯信息转换到复制模板文件；

步骤四：更新模板文件中统计信息，如总测试管芯数量、PASS状态的管芯数量等；

进一步地，完成步骤三转换完所有管芯信息后，更新程序结构中变量wTotalTestedDie(总管芯数)，wTotalPassDie(良品数)，wTotalFailDie(失效管芯数)等；

进一步地，由于JC6001与UF200坐标设定的不同，因此需要在转换前指定两型号探针台各自特征点的坐标，转换时输入两个探针台MAP文件坐标的特征点；特征点一般为晶圆光板处。

进一步地，JC6001探针台与UF200探针台的MAP文件BIN值定义有所不同，在界面上输入Pass的BIN值。

附图说明

下面结合附图和具体实施方案对本发明做进一步说明：

图1流程图

图2操作界面

具体实施方式

下面就本发明将结合附图作进一步详述：在此，本发明的示意性实施实例及其说明仅限于用于解释，但并不作为对本发明的限定。

JC6001格式的MAP文件只含有各测试管芯的坐标信息及其BIN值，因此转换为UF200格式的MAP图最大的难点是缺失UF200机台所需的诸多信息。考虑到本发明实现JC6001到UF200格式转换的目的主要是把JC6001的测试结果转换为UF200可以识别的格式，以便快速打点，因此本发明可以直接基于一个UF200的基础模板进行转换，基础模板含有待打点晶圆的完整信息，更新的管芯的坐标位置与测试BIN值、及测试结果统计有关的信息到基础模板，便可以形成所需的UF200测试文件。

实施流程图见图1。

步骤一是复制UF200探针台基础模板：

UF200探针台MAP基础模板文件开头结构关键变量如下：

步骤二是由转换程序界面获得JC6001与UF200坐标转换关系；界面选择如图2；

步骤三是依次将JC6001各管芯信息转换到复制模板文件；

步骤四是更新模板文件中统计信息，如总测试管芯数量、PASS状态的管芯数量等；

转换完所有管芯后，更新程序结构中变量wTotalTestedDie，wTotalPassDie，wTotalFailDie等。(注：本结构是2.0版本，更高版本含有扩展信息)；

由于JC6001与UF200坐标设定的不同，因此需要在转换前指定两个型号探针台各自特征点的坐标，转换时需进行坐标转换，特征点一般为晶圆光板处。

JC6001与UF200的MAP文件BIN值定义有所不同，在界面上输入Pass的BIN值，以使转换后的文件正确，标准是各管芯的测试结果不变。

以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (1)

1.探针台MAP文件转换方法， 其特征在于；包括以下步骤：

步骤一：复制UF200探针台MAP基础模板；其中，所述基础模板含有待打点晶圆的完整信息，只需更新MAP文件中的管芯的坐标位置与测试BIN值以及测试结果统计有关的信息，便可得到UF200测试文件；

步骤二：通过转换程序界面获得JC6001与UF200坐标转换关系；

步骤三：依次将JC6001探针台MAP文件中各管芯信息转换到复制模板文件中；

步骤四：运行转换文件程序，获得模板文件中统计信息，包括：总测试管芯数量、PASS状态的管芯数量；

其中，JC6001与UF200的MAP文件BIN值定义不同，界面上要求输入Pass的BIN值属性；

完成步骤三转换完所有管芯后，更新程序结构中变量总管芯数，良品数，失效管芯数；

在转换前指定两型号探针台各自特征点的坐标，转换时输入两个探针台MAP文件坐标的特征点。

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