CN105895545B - 一种用于探针台的map图增加墨点标识的方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法，涉及集成电路测试、制造领域。本发明方法包括如下步骤：1）得到晶圆空跑出来标准的UF200原始图像数据调用MAP图文件。2）打开MAP图文件，将头文件和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来，输出到ASCII编码的《UF200.txt》模板。3）打开需要打点的MAP图文件统一格式，转换为标准的ASCII编码的《OTHER.txt》MAP文件。4）读取需要打点的ASCII编码的《OTHER.txt》文件将每个芯片的行列参数提取出来，结合其在《UF200.txt》模板的位置信息，将其还原，输出到“ink_MAP.txt”文件。5）打开“ink_MAP.txt”文件，将头文件表头和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来生成“UF200_ink_MAP.dat”。本发明提高了设备能力和生产效率。

Description

一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法

技术领域

本发明涉及集成电路测试、制造领域，特别是集成电路的晶圆制造中TSK UF系列探针台的MAP图增加墨点标识的方法。

背景技术

基于摩尔定律，集成电路制造工艺不断进步，芯片的集成度越来越高，晶圆直径达到了300mm，芯片的特征线宽已达22nm以下。在制造过程中需要对芯片进行测试、减划、封装，在这三个环节中芯片的相关信息需要识别、共享和高效传递。其中测试由测试系统（ATE）和探针台(Prober)来共同完成物理的连接与测试，通过晶圆测试对所有芯片进行分类：分出失效、合格的芯片以便后续的减划、封装。

现有技术中，为了满足先进的工艺和自动化的要求，一般采用电子式MAP图，该MAP图是探针台在测试过程中由探针台或测试系统自动生成的。MAP图不仅记录着芯片的好与坏状态，还记载着被测芯片的其它测试信息。生产中需要把测试过的晶圆和电子式MAP图同步传递到下一道工序，比如：把MAP图录入，该工序的设备就能自动完成芯片的识别与操作，做到生产自动化，因此MAP图的生成和应用非常重要。

由于国际上还没有制定探针台和测试仪的MAP图格式文件通用标准，所以不同类型的探针台、测试仪生成的MAP图格式及信息存在差异，各设备之间并不能做到完全相互共享。在分工精细的当今，生产制造越来越模块化，大部分的芯片厂都将测试、减划等后道制程外包出去，MAP上的差异会给生产制造带来极大不便。

在当前芯片的测试环节中可以做到直接对测试失效芯片进行打墨点标识，也可以在减划前由独立的打墨点设备来完成。在现有的封装设备中有一部分是基于墨点识别的方式来拾取芯片的，另一方面出于预防错误的考虑很多厂家也会对芯片进行打墨点标识，防止封装的时候因为调用MAP错误导致封装拾片错误。因此在实际生产过程中会面临以下几种打墨点需求：

一：不同格式编码的MAP，在打点设备上识别追加墨点

二：同一格式编码，但缺失打点标记的MAP在打点设备上识别追加墨点。

发明内容

针对上述现有技术中存在的不足，本发明的目的是提供一种用于TSK UF系列的UF200探针台的MAP图增加墨点标识的方法。

UF200系列(适应直径200mm晶圆测试)探针台由日本东京精密TSK公司制造，UF200探针台具有运行速度快、时间短，精度高，操作灵活等优点，是业内主流的探针台。

为了达到上述发明目的，本发明的技术方案以如下方式实现：

一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法，其包括如下步骤：

1）得到晶圆WAFER在UF200系列探针台的测试机上空跑出来标准的UF200原始图像数据调用MAP图文件。

2）采用十六进制模式打开MAP图文件，按照UF200探针台设定的数据格式和长度将头文件和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来，输出到ASCII编码的《UF200.txt》模板。

3）采用文本方式打开需要打点的MAP图文件统一格式，转换为标准的ASCII编码的《OTHER.txt》MAP文件。

4）读取需要打点的ASCII编码的《OTHER.txt》文件将每个芯片的行列参数提取出来，结合其在《UF200.txt》模板的位置信息，将其还原，输出到“ink_MAP.txt”文件。

5）打开“ink_MAP.txt”文件，按照UF200探针台设定的数据格式和长度将头文件表头和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来生成“UF200_ink_ MAP.dat”。

本发明由于采用了上述方法，通过获取各探针台的标准MAP模板，取舍相关参数，输出为ASCII编码的统一格式的文本MAP模板，从而实现可视化的访问与编辑，将需要打点的MAP根据打点需要还原到标准MAP模板文件中，还原其坐标系等记录信息，然后反解析前面生成的MAP文件生成对应平台的MAP文件。采用本发明方法，提高了设备能力和生产效率。

下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步说明。

附图说明

图1是本发明实施例中UF200MAP图存储芯片信息。

图2是本发明实施例中根据芯片在探针台上生成的模板MAP示意图。

图3是本发明实施例中生成交互的可视化ASCII编码的txt格式MAP示意图。

图4是本发明实施例中还原到模板坐标系后ASCII编码格式的MAP示意图。

图5是本发明实施例中根据UF200的MAP编码结构反解析生成对应的打点MAP图。

图6 是本发明实施例中在UF200上面的识别打点信息图。

具体实施方式

本发明用于TSK UF系列探针台的MAP图增加墨点标识的方法，其包括如下步骤：

1）得到晶圆WAFER在UF200系列探针台的测试机上空跑出来标准的UF200原始图像数据调用MAP图文件。

2）采用十六进制模式打开MAP图文件，按照UF200探针台设定的数据格式和长度将头文件和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来，输出到ASCII编码的《UF200.txt》模板。

3）采用文本方式打开需要打点的MAP图文件统一格式，转换为标准的ASCII编码的《OTHER.txt》MAP文件。

4）读取需要打点的ASCII编码的《OTHER.txt》文件将每个芯片的行列参数提取出来，结合其在《UF200.txt》模板的位置信息，将其还原，输出到“ink_MAP.txt”文件。

5）打开“ink_MAP.txt”文件，按照UF200探针台设定的数据格式和长度将头文件表头和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来生成“UF200_ink_ MAP.dat”。

首先解剖UF200探针台的文件格式与信息。

参看图1，UF200的MAP图是二进制编码的文档，前236字节为固定字段的WAFER的相关记录，后面每6个字节为MAP中的一颗芯片记录，涵盖芯片的测试与否、pass\fail、X\Y坐标、BIN信息、打点信息、测试site。其坐标数据的方式可以描述为对圆形wafer的外切正方形内所有区域进行die尺寸的分解，产生最大行数乘以最大列数个的分解单元。据此获取产品在UF200上面的模板MAP。

其次，编写软件进行转换，将探针台的模板MAP转为ASCII编码的可视化的模板MAP。

将需要打点的MAP图格式根据pass、fail统一起来。将统一格式后打点MAP图根据模板、角度、行列坐标信息还原到模板MAP中，生成完整的ASCII编码的打点MAP。将上面的MAP图处理转换，增加MARK标识，以16进制的方式，按照UF200的编码格式输出最终的打点MAP。

参看图2，为根据芯片在探针台上生成含完整芯片信息的模板MAP，其中S代表空即不存在的芯片，M代表WAFER边缘不完整芯片，0代表完整的有效芯片。

参看图3，为生成统一格式交互的可视化ASCII编码的txt格式MAP，其中包含必要的MAP参数信息，用于信息的交互，可视化查看和编辑。交互的可视化ASCII编码的txt格式MAP，用于信息的交互，只含有3种字符信息，notch方向一致，lot\die尺寸、数量等关键信息，便于可视化查看、编辑，作为格式转换的桥梁。

参看图4，为还原到模板坐标系后ASCII编码格式的MAP，其中涉及到转换角度等。

参看图5，为根据UF200的MAP编码结构，反解析生成对应的MAP，其中已经添加了MARK标识，用于打点操作的MAP文件内容。

参看图6，为在UF200上面的识别打点信息。

采用上述方案进行转换，经实际使用已验证其真实可靠。通过对图4、图6进行对比，虽然两种类型探针台MAP图显示软件在色彩显示上有所差异，但是转换前后的结果完全一致。

上面虽然通过实施例描绘了本发明，但本领域普通技术人员，在不脱离本发明技术思路的基础上能有许多变形和变化，这些显而易见而形成的技术方案也包含在本发明保护的技术范围内。

Claims (1)

1.一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法，其包括如下步骤：

1）得到晶圆（WAFER）在UF系列探针台的测试机上空跑出来标准的UF原始图像数据调用MAP图文件；

2）采用十六进制模式打开MAP图文件，按照UF探针台设定的数据格式和长度将头文件和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来，根据坐标位置，输出到ASCII编码的《UF.txt》模板 ；

3）采用文本方式打开需要打点的MAP图统一格式文件，转换为标准ASCII编码的《OTHER.txt》MAP文件；

4）读取需要打点的ASCII编码的《OTHER.txt》文件将每个芯片的行列参数提取出来，结合其在《UF.txt》模板的位置信息，将其还原到UF探针台坐标系上位置，输出到“ink_MAP.txt”文件；

5）打开“ink_MAP.txt”文件，按照UF探针台设定的数据格式和长度将头文件表头和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来生成“UF_ink_ MAP.dat”。