CN209821110U - 热阻测试装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种热阻测试装置,包括热阻测试模块,所述热阻测试模块由模拟电路构成,所述热阻测试模块上设有多个程序控制接口,所述热阻测试模块通过相应的程序控制接口与待测电子器件连接。实施本实用新型的热阻测试装置,具有以下有益效果:能很好地解决半导体生产商原有机械手工位不足问题、避免重新投入大量资金来升级机械手、也便半导体生产商对测试程序的管理、加快测试速度提高产能。

Description

热阻测试装置
技术领域
本实用新型涉及电子器件测试领域,特别涉及一种热阻测试装置。
背景技术
随着科学与技术的发展与进步,对电子器件的稳定性要求越来越高。很多器件以前在生产测量中并没有需求测试器件热阻参数的,现在基本上都需要进行测试。由于很多半导体生产商之前投资购买的机械手(或测试工装夹具)没有多余的工位增加热阻测试,他们急需一种能和DC测试机一起同工位进行测试量的热阻测试机。
现有产品有如下两种情况:1、独立机型:这类机器热阻测试功率稍大,热阻测试功能为独立的一台机器,必须占据一个工位同时测试数据为独立一份数据没有和DC合并在一起。2、DC测试机内置热阻测试功能:这种热阻测试功率比较弱,而且容易受DC测试功能电路的影响,导致测试热阻不稳定及偏差。
可见,传统技术中的一种测试方式是热阻测试功能为独立的一台机器,需独占一个测量工位。半导体生产商需要投入大量资金升级机械手。同时独立机器的测试数据难与DC的数据进行合并,需要增加人力物力进行测试程序管控。另外一种测试方式是将热阻测试功能集成在DC测试机内部,虽然没有了独立机的缺点,但输出功率比较少,最高输出的电压也不够高,只适合应用于小功率、低电压的产品测试。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种能很好地解决半导体生产商原有机械手工位不足问题、避免重新投入大量资金来升级机械手、也便半导体生产商对测试程序的管理、加快测试速度提高产能的热阻测试装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种热阻测试装置,包括热阻测试模块,所述热阻测试模块由模拟电路构成,所述热阻测试模块上设有多个程序控制接口,所述热阻测试模块通过相应的程序控制接口与待测电子器件连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,还包括控制盒,所述热阻测试模块通过相应的所述程序控制接口与所述控制盒连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,还包括供电电源,所述供电电源分别与所述热阻测试模块和控制盒连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,还包括上位机,所述上位机与所述控制盒连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,所述控制盒为QT-4100控制盒。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,还包括DC测试机,所述热阻测试模块通过相应的所述程序控制接口与所述DC测试机连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,还包括供电电源,所述供电电源分别与所述热阻测试模块和DC测试机连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,还包括测试头,所述热阻测试模块通过相应的所述程序控制接口与所述测试头连接,所述测试头还与所述DC测试机连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,还包括上位机,所述上位机与所述DC测试机连接。
在本实用新型所述的热阻测试装置中,所述DC测试机为QT-4100测试机。
实施本实用新型的热阻测试装置,具有以下有益效果:由于热阻测试模块由模拟电路构成,热阻测试模块上设有多个程序控制接口,热阻测试模块通过相应的程序控制接口与待测电子器件连接,本实用新型将热阻测试机做成了一个功能模块,通过对应的通讯接口(即程序控制接口)可以将热阻测试模块变成DC测试机的一部分,将热阻测试模块和控制盒配合在一起又可以组成独立的一台机器,可以单独运行测试,分类,并上传测量结果,因此本实用新型能很好地解决半导体生产商原有机械手工位不足问题、避免重新投入大量资金来升级机械手、也便半导体生产商对测试程序的管理、加快测试速度提高产能。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型热阻测试装置第一实施例中的结构示意图;
图2为本实用新型热阻测试装置第二实施例中的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型热阻测试装置第一实施例中,该热阻测试装置的结构示意图如图1所示。图1中,该热阻测试装置包括热阻测试模块TR-BOX,热阻测试模块TR-BOX由模拟电路构成,热阻测试模块TR-BOX上设有多个程序控制接口,热阻测试模块TR-BOX通过相应的程序控制接口与待测电子器件D.U.T连接,本实用新型主要是改变了独立热阻测试机的结构,将程序控制部分与模拟输出电路部分进行分割。模拟电路部分单独出来做成热阻测试模块TR-BOX,留有程序控制接口,其他机器通过程序控制接口就可以控制热阻测试模块TR-BOX的电压和电流输出,并可以读取热阻测试模块TR-BOX的测量结果。因为热阻测试模块TR-BOX是独立于其他机器的,因此可以把输出功率比较大,又不受其他器件内部电路影响测量结果。
在第一实施例中,该热阻测试装置还包括控制盒,热阻测试模块TR-BOX通过相应的程序控制接口与控制盒连接。该控制盒为QT-4100控制盒。热阻测试模块TR-BOX与控制盒一起组成独立的结构,也就是热阻测试模块TR-BOX与控制盒配合组成独立的测试机,具有单独测试热阻的能力,独自在一个工位上测试热阻,与DC不同工位测试提高整体测试生产的UPH值。
第一实施例中,该热阻测试装置还包括供电电源PowerSupply,供电电源PowerSupply分别与热阻测试模块TR-BOX和控制盒连接、用于提供工作电源。该热阻测试装置还包括上位机PC,上位机PC与控制盒连接。
图2为本实用新型热阻测试装置第二实施例中的结构示意图,第二实施例与第一实施例不同的是,该热阻测试装置除了包括热阻测试模块EXTR-BOX外,还包括DC测试机,热阻测试模块EXTR-BOX通过相应的程序控制接口与DC测试机连接。该DC测试机为QT-4100测试机。
第二实施例中,该热阻测试装置还包括供电电源EXTR-PowerSupply,供电电源EXTR-PowerSupply分别与热阻测试模块EXTR-BOX和DC测试机连接。
第二实施例中,该热阻测试装置还包括测试头TestHead,热阻测试模块EXTR-BOX通过相应的程序控制接口与测试头TestHead连接,测试头TestHead还与DC测试机连接。该热阻测试装置还包括上位机PC,上位机PC与DC测试机连接。
第二实施例中,热阻测试模块EXTR-BOX与DC测试机一起组合成DC+热阻测试的结构,热阻测试模块EXTR-BOX与DC测试机一起对同一个工位的器件进行DC+TR测试(TR与DC数据合并)。使普通的DC测试机具用热阻测量的功能。
本实用新型将热阻测试功能做成一个模块的方式。当机械手缺少工位时可以外挂的方式将热阻测试模块当成DC测试机的一部分,接受DC测试机的控制。热阻测试模块的输出功率可以做到独立热阻测试机的功率一样。测试程序是和DC的测试程序合并成一个测试程序,测量结果和DC的测量结果合并生产一份文件。
可见,本实用新型的热阻测试模块除了可以外挂于DC测试机工作之外,还可以和控制盒配合,一起组成独立的工作的机器。而传统技术中没有能外挂到DC测试机一超工作的功能。应用上没有本实用新型灵活。
总之,本实用新型在不降低输出功率的情况下可以简便地和DC组合成一体,只需一个测量工位,就可以解决热阻测试和DC测试问题。其能大大降低半导体生产升级机械手的资金投入,也方便半导体生产商对测试程序的管理。同时本实用新型还能组合成独立运行的机器,在应用环境允许情况下可以和DC一起同时测试,加快测试速度提高产能。热阻测试模块可以灵活应用,既可以外挂到其他机器上进行同工位测试热阻,也可以独立运行测量。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种热阻测试装置,其特征在于,包括热阻测试模块,所述热阻测试模块由模拟电路构成,所述热阻测试模块上设有多个程序控制接口,所述热阻测试模块通过相应的程序控制接口与待测电子器件连接。
2.根据权利要求1所述的热阻测试装置,其特征在于,还包括控制盒,所述热阻测试模块通过相应的所述程序控制接口与所述控制盒连接。
3.根据权利要求2所述的热阻测试装置,其特征在于,还包括供电电源,所述供电电源分别与所述热阻测试模块和控制盒连接。
4.根据权利要求3所述的热阻测试装置,其特征在于,还包括上位机,所述上位机与所述控制盒连接。
5.根据权利要求2至4任意一项所述的热阻测试装置,其特征在于,所述控制盒为QT-4100控制盒。
6.根据权利要求1所述的热阻测试装置,其特征在于,还包括DC测试机,所述热阻测试模块通过相应的所述程序控制接口与所述DC测试机连接。
7.根据权利要求6所述的热阻测试装置,其特征在于,还包括供电电源,所述供电电源分别与所述热阻测试模块和DC测试机连接。
8.根据权利要求7所述的热阻测试装置,其特征在于,还包括测试头,所述热阻测试模块通过相应的所述程序控制接口与所述测试头连接,所述测试头还与所述DC测试机连接。
9.根据权利要求8所述的热阻测试装置,其特征在于,还包括上位机,所述上位机与所述DC测试机连接。
10.根据权利要求6至9任意一项所述的热阻测试装置,其特征在于,所述DC测试机为QT-4100测试机。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113419120A (zh) * 2021-05-08 2021-09-21 同济大学 一种介质薄膜与金属界面热阻的测量方法及系统

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