CN103941674B - 一种多通道管控工艺流程的设计方法 - Google Patents
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Abstract
一种多通道管控工艺流程的设计方法，包括根据同种技术节点的不同产品特性，建立满足所述不同产品共性条件工艺流程的主工艺流程，并在主工艺流程上预设不同条件工艺流程的分支流程；其中，主工艺流程包括多个工艺站点和虚拟站点，分支流程的设置以一个开始站点开始和以其相应的结束站点结束；接着将待建立工艺流程与主工艺流程进行比较，得到不同于主工艺流程中工艺站点的集合；然后从工艺站点集合中归纳出一个或多个具有连续站点的子集，将子集用在主工艺流程上预设不同条件工艺流程的相应分支流程替代；最后依次将主工艺流程中相同的工艺站点与分支流程通过虚拟站点串接起来，得到该待建产品的工艺流程。
Description
技术领域
本发明涉及半导体微电子技术领域中的工艺流程建立技术，更具体地说，涉及一种多通道管控工艺流程的设计方法。
背景技术
所谓的半导体工艺指得是集成电路IC在由设计文件生产成为实体的过程步骤和技术，比如，掺杂、注入、光刻和腐蚀都是现在比较流行也是传统的半导体生产工艺。而扩展到集成电路上，这个“半导体工艺”名词一般又多了一层“特征尺寸”的感念，比如，CPU是core2duo，用的是45nm的工艺；当然，现在，最先进的工艺已经达到了30nm左右，甚至在实验室中有更低的数值得以实现。
为了确保产品性能合格、稳定可靠，并有高的成品率，对各种产品的生产均需建立相应工艺流程。通常，工艺流程的建立是一个产品一条主流程，建立工艺流程的方式，需要把每一个工艺步骤中相应的工艺条件一步一步输入，比如，设备信息、程式信息和数据收集信息等。
通常，在制造执行系统控制下，进行不同的工艺流程具有不同的工艺条件，工艺图就是一种半导体产品生产工艺流程的示意，包括原料投入到产品包装的全过程，一般是用一个方框表示一个工序，旁边简单注明工艺条件(如温度，压力，酸碱度和PH值等)，方框与方框之间用箭头表示工序的走向，关键设备可画出形象性示意图；一般熟练的工艺技术人员可根据工艺流程图组织和管理生产。
目前，建立主工艺流程的方式，需要把每一个工艺步骤中相应的工艺条件一步一步输入，比如设备信息，程式信息，数据收集信息等。产品试验有一个专门的系统去建立这个试验的每个步骤条件，在这个系统中所有的数据都需要人为去建立设定。
然而，当一个产品的主流程与另一个产品的主流程差异性不是很大时，例如：同一个技术节点55nmLP的两个产品，A产品是有深N阱(DNW)这一道流程的，而B产品是没有DNW这一道流程，这时候，系统中就必须建立两套主流程来满足两个产品的各自需求，这样的建立方法增加了操作系统的装载量，同时，也增加了操作人员的工作量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多通道管控工艺流程的设计方法，该方法通过对一条工艺主流程(mainflow)预设不同条件的工艺流程的分支流程(branchflow)，同种技术节点的不同产品可以根据产品的特性来选择适合本产品的分支流程，减少了工艺流程建立的时间，提高了工作效率。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种多通道管控工艺流程的设计方法，用于对同种技术节点中的不同产品进行工艺流程的整体设计，所述方法包括如下步骤：
步骤S01：根据同种技术节点的不同产品特性，建立满足所述不同产品共性条件工艺流程的主工艺流程；并在主工艺流程上预设满足所述不同产品差异性条件工艺流程的分支流程；其中，所述主工艺流程包括多个工艺站点和虚拟站点，所述虚拟站点包括开始站点和结束站点，所述开始站点与结束站点成对出现，一个开始站点只对应一个结束站点；所述分支流程的设置以一个开始站点开始和以其相应的结束站点结束；
步骤S02：将待建立工艺流程与所述主工艺流程进行比较，得到不同于所述主工艺流程中工艺站点的集合；
步骤S03：从所述工艺站点集合中归纳出一个或多个具有连续站点的子集，将所述子集用所述在主工艺流程上预设不同条件工艺流程的相应分支流程替代；
步骤S04：依次将所述主工艺流程中相同的工艺站点与所述分支流程通过所述虚拟站点串接起来，得到所述待建产品的工艺流程。
优选地，所述开始站点和以其相应的结束站点之间包括0个、1个或多个工艺站点。
优选地，上一个所述分支流程中的结束站点是下一个分支流程中的开始站点。
从上述技术方案可以看出，本发明一种多通道管控工艺流程的设计方法，通过使用多通道管(Multi-path)的功能来建立工艺流程，其可以针对同一技术节点的工艺流程建立一条主工艺流程，对主工艺流程(mainflow)预设不同条件的工艺流程的分支流程，再根据产品的特性来选择适合本产品的branchflow，这样，提高了mainflow的共用性，避免了建立多个mainflow，提高了工作效率。
附图说明
图1为通过本发明设计方法生成的多通道管控工艺流程结构示意图
图2为生成本发明多通道管控工艺流程不允许出现的结构示意图
图3为本发明实施例中需生成的多通道管控工艺流程的示意图
图4为图3所示实施例中需生成的多通道管控等效工艺流程示意图
具体实施方式
需要说明的是，本发明的多通道管控工艺流程的设计方法，适合用于对同种技术节点中的不同产品进行工艺流程的整体设计，尤其适用于当同种技术节点中的不同产品，它们中一个产品的主工艺流程与另一个产品的主流程差异性不是很大时，就不必建立多套主工艺流程来满足多个产品的各自需求，而只要建立一条具有共性的主流程，将多个产品的各自工艺需求差异用分支流程替代，这样大大减少了操作人员的工作量。
上述系统中技术可以由硬件、软件或软硬件相结合实现，在本实施例中，可以用于由上位机+下位机架构构成；其中，下位机为可编程控制器。(ProgrammableLogicDevice,简称PLD)。在本发明实施例中的技术方案可以概括如下：即该方法具体包括如下步骤：
步骤S01：根据同种技术节点的不同产品特性，建立满足上述不同产品共性条件工艺流程的主工艺流程；并在主工艺流程上预设满足上述不同产品差异性条件工艺流程的分支流程；其中，该主工艺流程包括多个工艺站点和虚拟站点，虚拟站点包括开始站点和结束站点，开始站点与结束站点成对出现，一个开始站点只对应一个结束站点；该分支流程的设置以一个开始站点开始和以其相应的结束站点结束；
步骤S02：将待建立工艺流程与上述主工艺流程进行比较，得到不同于上述主工艺流程中工艺站点的集合；
步骤S03：从上述工艺站点集合中归纳出一个或多个具有连续站点的子集，将上述子集用所述在主工艺流程上预设不同条件工艺流程的相应分支流程替代；
步骤S04：依次将上述主工艺流程中相同的工艺站点与上述分支流程通过上述虚拟站点串接起来，得到上述产品的待建立工艺流程。
下面结合附图1-4，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
请参阅图1，图1为通过本发明设计方法生成的多通道管控工艺流程结构示意图。首先，在本实施例中，需根据同种技术节点的不同产品特性，建立满足不同产品共性条件工艺流程的主工艺流程；如图所示，该主工艺流程包括了10个站点00100、00200、00300、00400、00500、00600、00700、00800、00900和001000；其中，00100、00300、00400、00600、00700、00900和001000为工艺站点，00200、00500和00800是虚拟站点。
虚拟站点是为在主工艺流程上预设不同条件工艺流程的分支流程准备的。虚拟站点分为开始站点和结束站点，分支流程的设置以一个开始站点开始和以其相应的结束站点结束。如图1所示，开始站点00200和与结束站点00500成对出现，即一个开始站点00200只对应一个结束站点00500；在一些实施例中，上一个所述分支流程中的结束站点可以是下一个分支流程中的开始站点；例如，上述分支流程中的结束站点00500可以作为与结束站点00800相配对的开始站点00500。
上述开始站点和以其相应的结束站点之间包括0个、1个或多个工艺站点。例如，图1中的开始站点00200和以其相应的结束站点00500之间的3个分支流程均包括2个工艺站点B00100和B00200。
请参阅图2，图2为生成本发明多通道管控工艺流程不允许出现的结构示意图。如图所示，在本实施例中，图2中有下列三种情况是不允许出现的：
①.连续两个开始站点之间设置分支流程是不允许的；如图2中所示，开始站点00200又有一个开始站点00400的情况。
②.完全嵌套设置分支流程是不允许，如图2中所示，开始站点00200和结束站点00500定义的分支流程，不能嵌套在以开始站点00100和结束站点00600定义的分支流程中。
③.连续出现两个分支流程的结束站点是不允许，如图2中所示，两个开始于开始站点00200不能有两个结束站点00500和00700。
下面通过一个具体实施例，详细叙述对本发明设计方法的实现原理。请参阅图3，图3为本发明实施例中需生成的多通道管控工艺流程的示意图。如图所示，在主工艺流程上设置了三个分支流程：BRFlow01、BRFlow02和BRFlow03；该三个分支流程的开始站点均为00200，结束站点为00500；第一分支流程BRFlow01具有两个工艺站点B00100和B00200，第二分支流程BRFlow02具有两个工艺站点B00100和B00200，第三分支流程BRFlow03没有工艺站点，直接跳过主流程中的站点00300和00400。
该技术节点具有4个不同的产品，在每个产品上设置了该产品所需要使用的分支流程。如图中所示：
①.产品PROD1/PROD2：在主工艺流程的基础上所设置的分支流程是BRFlow1；
②.产品PROD3：在主工艺流程的基础上所设置的分支流程是BRFlow2；
③.产品PROD1：在主工艺流程的基础上所设置的分支流程是BRFlow3。
请参阅图4，图4为图3所示实施例中需生成的多通道管控等效工艺流程示意图。如图所示，产品PROD1、产品PROD2和产品PROD3，最后生成各自的工艺流程相同，即上述三个产品执行了主工艺站点00100、00200、分支流程工艺站点B00100、B00200、主工艺站点00500、00600和00700；而产品PROD4跳过了两个主工艺站点，只执行了工艺站点00100、00200、00500、00600和00700。
综上所述，本发明通过使用多通道管控(Multi-path)的功能来建立工艺流程，可以针对同一技术节点的工艺流程建立一条主工艺流程，对主工艺流程预设不同条件的工艺流程的分支流程，再根据产品的特性来选择适合本产品的分支流程，这样提高了主工艺流程的共用性，避免了建立多个主工艺流程，提高了工作效率。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。
Claims (3)
1.一种多通道管控工艺流程的设计方法，其特征在于，用于对同种技术节点中的不同产品进行工艺流程的整体设计，所述方法包括如下步骤：
步骤S01：根据同种技术节点的不同产品特性，建立满足所述不同产品共性条件工艺流程的主工艺流程；并在主工艺流程上预设满足所述不同产品差异性条件工艺流程的分支流程；其中，所述主工艺流程包括多个工艺站点和虚拟站点，所述虚拟站点包括开始站点和结束站点，所述开始站点与结束站点成对出现，一个开始站点只对应一个结束站点；所述分支流程的设置以一个开始站点开始和以其相应的结束站点结束；
步骤S02：将待建立工艺流程与所述主工艺流程进行比较，得到不同于所述主工艺流程中工艺站点的集合；
步骤S03：从所述工艺站点集合中归纳出一个或多个具有连续站点的子集，将所述子集用所述在主工艺流程上预设差异性条件工艺流程的相应分支流程替代；
步骤S04：依次将所述主工艺流程中相同的工艺站点与所述分支流程通过所述虚拟站点串接起来，得到待建产品的工艺流程。
2.根据权利要求1所述的多通道管控工艺流程的设计方法，其特征在于，所述开始站点和以其相应的结束站点之间包括0个、1个或多个工艺站点。
3.根据权利要求1所述的多通道管控工艺流程的设计方法，其特征在于，上一个所述分支流程中的结束站点是下一个分支流程中的开始站点。
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