CN106631037A - 一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法 - Google Patents

一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106631037A
CN106631037A CN201611153910.9A CN201611153910A CN106631037A CN 106631037 A CN106631037 A CN 106631037A CN 201611153910 A CN201611153910 A CN 201611153910A CN 106631037 A CN106631037 A CN 106631037A
Authority
CN
China
Prior art keywords
dumping
aluminium nitride
aluminum nitride
green compact
nitride green
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201611153910.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106631037B (zh
Inventor
邱基华
童文欣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanchong Three Circle Electronics Co Ltd
Original Assignee
Chaozhou Three Circle Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chaozhou Three Circle Group Co Ltd filed Critical Chaozhou Three Circle Group Co Ltd
Priority to CN201611153910.9A priority Critical patent/CN106631037B/zh
Publication of CN106631037A publication Critical patent/CN106631037A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106631037B publication Critical patent/CN106631037B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
    • C04B35/638—Removal thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

本发明公开了一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法，一种氮化铝生坯的排胶方法，所述排胶方法包括以下步骤：(1)将氮化铝生坯在氮气气氛中升温至290～320℃，然后保温1～2h；(2)将所述步骤(1)所得的产品在氮气气氛中升温至530～550℃，然后保温3～5h；(3)将所述步骤(2)所得的产品在氮气气氛中降温至190～210℃，然后保温1～2h；(4)将所述步骤(3)所得的产品在空气气氛中升温至480～500℃，然后保温1～2h；(5)自然冷却。经本发明排胶方法排胶后的产品内部和外部残碳量均匀，翘曲度≤0.02mm/25.4mm。在烧结后即可直接进入下一道工序，无需对翘曲度进行修正，节约产品制造成本。

Description

一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法
技术领域
本发明涉及一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法，尤其涉及一种均一的、舒缓的氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法。
背景技术
氮化铝陶瓷烧结前必须经过排胶方法，目前采用的排胶方法基本是在空气气氛下进行排胶。在空气气氛下排胶时，生坯表面和内部有机物的燃烧速度不同，导致生坯残碳量存在差异，在装烧时容易破碎，并且会引起产品翘曲，影响产品的性能和合格率，需要通过后续的工艺对产品翘曲进行修正，方可进入下一步工序，增加成本和周期。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法，可以有效解决目前产品烧结后产生的翘曲、破碎等问题。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种氮化铝生坯的排胶方法，所述排胶方法包括以下步骤：
(1)将氮化铝生坯在氮气气氛中升温至290～320℃，然后保温1～2h；
(2)将所述步骤(1)所得的产品在氮气气氛中升温至530～550℃，然后保温3～5h；
(3)将所述步骤(2)所得的产品在氮气气氛中降温至190～210℃，然后保温1～2h；
(4)将所述步骤(3)所得的产品在空气气氛中升温至480～500℃，然后保温1～2h；
(5)自然冷却。
由于生坯的基数大，如果仅在空气中排胶，单位空间粘合剂分解或者是烧结空气的发生量大，有可能引起开裂。本发明所述氮化铝生坯的排胶方法在低温气氛炉中进行，步骤(1)～(3)为生坯在氮气中的排胶，氮气中排胶由于是通过吸热反应进行缓慢热分解，发生量少，是舒缓的排胶。步骤(4)是在空气中燃烧剩余的少量碳成分的工艺。以最适化的升温温度向空气转换，可以解决残碳不均匀和开裂等问题。氮气的纯度为99.9％，氮气通气流量为10～20L/min，空气的通气流量为10～20L/min。
优选地，所述步骤(1)中升温的时间为4～6h。
优选地，所述步骤(2)中升温的过程为3～5h。
优选地，所述步骤(3)中降温的过程为4～6h。
优选地，所述步骤(4)中升温的过程为8～10h。
本发明提供了一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
(a)提供氮化铝生坯；
(b)在氮化铝生坯表面敷隔粘粉；
(c)将敷好隔粘粉的氮化铝生坯叠放在一起；
(d)在叠放好的氮化铝生坯的最上层放置重物，并进行热处理；
(f)将热处理后的氮化铝生坯按上述任一排胶方法进行排胶；
(g)将排胶后所得产品进行烧结，烧结后得到所述氮化铝陶瓷基板。
优选地，步骤(d)中，步骤(d)中，所述热处理的温度为100～120℃，所述热处理的时间为2～3h。在排胶之前进行热处理，可以使生坯中的有机物达到软化点，有利于排胶。
优选地，步骤(g)中，所述烧结的条件为：在真空石墨炉中、氮气气氛中、烧结温度为1700～1900℃下保温4～6h。
本发明还提供了一种采用上述任一方法制备的氮化铝陶瓷基板。
本发明的有益效果在于：本发明提供了一种均一的、舒缓的氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法，经过本发明所述排胶方法排胶后，产品内部和外部残碳量均匀，翘曲度≤0.02mm/25.4mm。在烧结后即可直接进入下一道工序，无需对翘曲度进行修正，节约产品制造成本。
具体实施方式
为更好的说明本发明的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例对本发明作进一步说明。
实施例1
本实施例所述一种氮化铝生坯的排胶方法，所述排胶方法包括以下步骤：
(1)将生坯在氮气气氛中经过4h升温至290℃，保温1h；
(2)将步骤(1)所得产品在氮气气氛中经过3h升温至530℃，保温3h；
(3)将步骤(2)所得产品在氮气气氛中经过4h降温至190℃，保温1h；
(4)将步骤(3)所得产品在空气气氛中经过8h升温至480℃，保温1h；
(5)自然冷却得排胶后的产品。
本实施例所述一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
(a)制备135×135mm的氮化铝生坯产品；
(b)对氮化铝生坯产品表面敷隔粘粉；
(c)将敷好隔粘粉的氮化铝生坯产品按15片每叠叠放在一起；
(d)在叠放好的氮化铝生坯产品的最上层放置玻璃板并压一定重量的铁块，并在100℃下热处理2.5h；
(f)将热处理后的生坯产品按本实施例所述排胶方法进行排胶；
(g)将排胶后所得产品在真空石墨炉中、氮气气氛中、烧结温度为1700℃保温4h的条件下烧结。
实施例2
本实施例所述一种氮化铝生坯的排胶方法，所述排胶方法包括以下步骤：
(1)将生坯在氮气气氛中经过5h升温至300℃，保温1.5h；
(2)将步骤(1)所得产品在氮气气氛中经过4h升温至540℃，保温4h；
(3)将步骤(2)所得产品在氮气气氛中经过5h降温至200℃，保温1.5h；
(4)将步骤(3)所得产品在空气气氛中经过9h升温至490℃，保温1.5h；
(5)自然冷却得排胶后的产品。
本实施例所述一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
(a)制备135×135mm的氮化铝生坯产品；
(b)对氮化铝生坯产品表面敷隔粘粉；
(c)将敷好隔粘粉的氮化铝生坯产品按15片每叠叠放在一起；
(d)在叠放好的氮化铝生坯产品的最上层放置玻璃板并压一定重量的铁块，并在110℃下热处理2h；
(f)将热处理后的生坯产品按本实施例所述排胶方法进行排胶；
(g)将排胶后所得产品在真空石墨炉中、氮气气氛中、烧结温度为1780℃保温5h的条件下烧结。
实施例3
本实施例所述一种氮化铝生坯的排胶方法，所述排胶方法包括以下步骤：
(1)将生坯在氮气气氛中经过6h升温至320℃，保温2h；
(2)将步骤(1)所得产品在氮气气氛中经过5h升温至550℃，保温5h；
(3)将步骤(2)所得产品在氮气气氛中经过6h降温至210℃，保温2h；
(4)将步骤(3)所得产品在空气气氛中经过10h升温至500℃，保温2h；
(5)自然冷却得排胶后的产品。
本实施例所述一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
(a)制备135×135mm的氮化铝生坯产品；
(b)对氮化铝生坯产品表面敷隔粘粉；
(c)将敷好隔粘粉的氮化铝生坯产品按15片每叠叠放在一起；
(d)在叠放好的氮化铝生坯产品的最上层放置玻璃板并压一定重量的铁块，并在120℃下热处理3h；
(f)将热处理后的生坯产品按本实施例所述排胶方法进行排胶；
(g)将排胶后所得产品在真空石墨炉中、氮气气氛中、烧结温度为1900℃保温6h的条件下烧结。
实施例4
本实施例所述一种氮化铝生坯的排胶方法，所述排胶方法包括以下步骤：
(1)将生坯在氮气气氛中经过5h升温至300℃，保温1h；
(2)将步骤(1)所得产品在氮气气氛中经过4h升温至540℃，保温5h；
(3)将步骤(2)所得产品在氮气气氛中经过5h降温至200℃，保温1h；
(4)将步骤(3)所得产品在空气气氛中经过9h升温至480℃，保温2h；
(5)自然冷却得排胶后的产品。
本实施例所述一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
(a)制备135×135mm的氮化铝生坯产品；
(b)对氮化铝生坯产品表面敷隔粘粉；
(c)将敷好隔粘粉的氮化铝生坯产品按15片每叠叠放在一起；
(d)在叠放好的氮化铝生坯产品的最上层放置玻璃板并压一定重量的铁块，并在110℃下热处理2h；
(f)将热处理后的生坯产品按本实施例所述排胶方法进行排胶；
(g)将排胶后所得产品在真空石墨炉中、氮气气氛中、烧结温度为1780℃保温5h的条件下烧结。
实施例5
本实施例所述一种氮化铝生坯的排胶方法，所述排胶方法包括以下步骤：
(1)将生坯在氮气气氛中经过5h升温至320℃，保温1h；
(2)将步骤(1)所得产品在氮气气氛中经过4h升温至550℃，保温5h；
(3)将步骤(2)所得产品在氮气气氛中经过5h降温至210℃，保温1h；
(4)将步骤(3)所得产品在空气气氛中经过9h升温至500℃，保温2h；
(5)自然冷却得排胶后的产品。
本实施例所述一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
(a)制备135×135mm的氮化铝生坯产品；
(b)对氮化铝生坯产品表面敷隔粘粉；
(c)将敷好隔粘粉的氮化铝生坯产品按15片每叠叠放在一起；
(d)在叠放好的氮化铝生坯产品的最上层放置玻璃板并压一定重量的铁块，并在110℃下热处理2h；
(f)将热处理后的生坯产品按本实施例所述排胶方法进行排胶；
(g)将排胶后所得产品在真空石墨炉中、氮气气氛中、烧结温度为1780℃保温5h的条件下烧结。
实施例6
以下为随机抽取的10片实施例1～5所得氮化铝陶瓷基板曲翘度(mm/25.4mm)的测量值：
经过本发明所述排胶方法排胶后，产品内部和外部残碳量均匀，经测量，
实施例1～5所得氮化铝陶瓷基板的残碳量为0.04％～0.05％。
最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (9)

1.一种氮化铝生坯的排胶方法，其特征在于，所述排胶方法包括以下步骤：
(1)将氮化铝生坯在氮气气氛中升温至290～320℃，然后保温1～2h；
(2)将所述步骤(1)所得的产品在氮气气氛中升温至530～550℃，然后保温3～5h；
(3)将所述步骤(2)所得的产品在氮气气氛中降温至190～210℃，然后保温1～2h；
(4)将所述步骤(3)所得的产品在空气气氛中升温至480～500℃，然后保温1～2h；
(5)自然冷却。
2.如权利要求1所述氮化铝生坯的排胶方法，其特征在于，所述步骤(1)中升温的时间为4～6h。
3.如权利要求1所述氮化铝生坯的排胶方法，其特征在于，所述步骤(2)中升温的时间为3～5h。
4.如权利要求1所述氮化铝生坯的排胶方法，其特征在于，所述步骤(3)中降温的时间为4～6h。
5.如权利要求1所述氮化铝生坯的排胶方法，其特征在于，所述步骤(4)中升温的时间为8～10h。
6.一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
(a)提供氮化铝生坯；
(b)在氮化铝生坯表面敷隔粘粉；
(c)将敷好隔粘粉的氮化铝生坯叠放在一起；
(d)在叠放好的氮化铝生坯的最上层放置重物，并进行热处理；
(f)将热处理后的氮化铝生坯按如权利要求1～5中任一所述排胶方法进行排胶；
(g)将排胶后所得产品进行烧结，烧结后得到所述氮化铝陶瓷基板。
7.如权利要求6所述的氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤(d)中，所述热处理的温度为100～120℃，所述热处理的时间为2～3h。
8.如权利要求6所述的氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤(g)中，所述烧结的条件为：在真空石墨炉中、氮气气氛中、烧结温度为1700～1900℃下保温4～6h。
9.一种采用如权利要求6～8中任一所述方法制备的氮化铝陶瓷基板。
CN201611153910.9A 2016-12-14 2016-12-14 一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法 Active CN106631037B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611153910.9A CN106631037B (zh) 2016-12-14 2016-12-14 一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611153910.9A CN106631037B (zh) 2016-12-14 2016-12-14 一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106631037A true CN106631037A (zh) 2017-05-10
CN106631037B CN106631037B (zh) 2020-01-21

Family

ID=58822293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611153910.9A Active CN106631037B (zh) 2016-12-14 2016-12-14 一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106631037B (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108516838A (zh) * 2018-04-25 2018-09-11 浙江正天新材料科技有限公司 一种石墨炉烧结氮化铝陶瓷基板的方法
CN110736134A (zh) * 2019-10-22 2020-01-31 中国电子科技集团公司第四十三研究所 一种高强度高导热氮化铝陶瓷基板及其制备方法
CN115259864A (zh) * 2022-09-26 2022-11-01 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 一种电子陶瓷坯体的排胶方法
CN115321993A (zh) * 2022-10-17 2022-11-11 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 一种陶瓷坯体快速排pvb胶的方法
CN116135818A (zh) * 2023-03-03 2023-05-19 上海科技大学 一种陶瓷坯体的排胶方法和陶瓷工件的制备方法
CN117550902A (zh) * 2023-11-24 2024-02-13 苏州众芯联电子材料有限公司 一种适用于高热导率氮化铝陶瓷的排胶方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05330808A (ja) * 1992-05-28 1993-12-14 Kawasaki Steel Corp 窒化アルミニウム粉末の製造方法
CN1557776A (zh) * 2004-02-05 2004-12-29 中国科学院上海硅酸盐研究所 水基流延法制备高热导率氮化铝陶瓷基片的方法
CN102718492A (zh) * 2012-05-21 2012-10-10 苏州晶品光电科技有限公司 一种led用透明陶瓷荧光基板的制备方法
CN102898141A (zh) * 2012-10-31 2013-01-30 中南大学 一种高导热氮化铝陶瓷异形件的制备方法
CN103121848A (zh) * 2013-02-25 2013-05-29 潮州三环（集团）股份有限公司 一种氮化铝陶瓷基板烧结工艺

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05330808A (ja) * 1992-05-28 1993-12-14 Kawasaki Steel Corp 窒化アルミニウム粉末の製造方法
CN1557776A (zh) * 2004-02-05 2004-12-29 中国科学院上海硅酸盐研究所 水基流延法制备高热导率氮化铝陶瓷基片的方法
CN102718492A (zh) * 2012-05-21 2012-10-10 苏州晶品光电科技有限公司 一种led用透明陶瓷荧光基板的制备方法
CN102898141A (zh) * 2012-10-31 2013-01-30 中南大学 一种高导热氮化铝陶瓷异形件的制备方法
CN103121848A (zh) * 2013-02-25 2013-05-29 潮州三环（集团）股份有限公司 一种氮化铝陶瓷基板烧结工艺

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108516838A (zh) * 2018-04-25 2018-09-11 浙江正天新材料科技有限公司 一种石墨炉烧结氮化铝陶瓷基板的方法
CN110736134A (zh) * 2019-10-22 2020-01-31 中国电子科技集团公司第四十三研究所 一种高强度高导热氮化铝陶瓷基板及其制备方法
CN110736134B (zh) * 2019-10-22 2021-10-26 中国电子科技集团公司第四十三研究所 一种高强度高导热氮化铝陶瓷基板及其制备方法
CN115259864A (zh) * 2022-09-26 2022-11-01 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 一种电子陶瓷坯体的排胶方法
CN115321993A (zh) * 2022-10-17 2022-11-11 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 一种陶瓷坯体快速排pvb胶的方法
CN116135818A (zh) * 2023-03-03 2023-05-19 上海科技大学 一种陶瓷坯体的排胶方法和陶瓷工件的制备方法
CN117550902A (zh) * 2023-11-24 2024-02-13 苏州众芯联电子材料有限公司 一种适用于高热导率氮化铝陶瓷的排胶方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106631037B (zh) 2020-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106631037A (zh) 一种氮化铝生坯的排胶方法及氮化铝陶瓷基板的制备方法
CN104630527B (zh) 一种制备铜基金刚石复合材料的方法
CN106882773B (zh) 一种制备氮化铝的方法
CN106041421B (zh) 一种锻件加工的稳定化处理工艺
CN106241803A (zh) 一种利用废轮胎热解炭黑制成活性炭的方法
CN101648271B (zh) 一种铁铬铝烧结纤维毡的制备方法
CN107673761A (zh) 一种大规格致密碳化硅陶瓷板的制备方法
CN103204682B (zh) 一种高导热氮化铝陶瓷散热基片及其制备方法
CN104177087A (zh) 用微波烧结法制备氮化硅结合碳化硅复合材料的方法
JP5811391B2 (ja) 窒化珪素質セラミックス焼結体の製造方法および焼成容器
CN102344133B (zh) 细颗粒高体密石墨制品的制备方法及敞开式环式焙烧炉
CN106271188A (zh) 一种钛杯专用真空钎料及其加工方法和钎焊工艺
CN103578734A (zh) 一种钕铁硼磁体的烧结工艺
CN104945013A (zh) 一种c/c复合材料及其表面抗氧化复合涂层的制备方法
WO2009139552A2 (ko) 전자레인지용 발열 세라믹 용기 및 그 제조 방법
CN102363844A (zh) 一种微波烧结制备孔隙梯度金属或合金材料的方法
CN110451971A (zh) 一种耐高温耐腐蚀碳化硅制品的制备方法
CN202470725U (zh) 一种制备稀土永磁材料的真空烧结炉
CN104926311A (zh) 反应烧结碳化硅陶瓷均温板
CN108395286B (zh) 高效去除氮化铝陶瓷烧结用氮化硼炉具中氧杂质的方法
CN202936472U (zh) 一种新型燃气加热箱式渗碳炉后室
CN1793051A (zh) 一种泡沫陶瓷的加热方法
JPH09228036A (ja) Ｉｔｏスパッタリング用ターゲットの製造方法
CN109836046A (zh) 一种用于铝碳化硅器件密封封接的玻璃及其封接方法
JPH02275769A (ja) 窒化アルミニウム焼結体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20180124

Address after: 515646 Chaozhou City, Shandong Province, the town of San Huan industrial city

Applicant after: Chaozhou Three-Circle (Group) Co., Ltd.

Applicant after: Nanchong Three-Circle Electronics Co., Ltd.

Address before: 515646 Chaozhou City, Shandong Province, the town of San Huan industrial city

Applicant before: Chaozhou Three-Circle (Group) Co., Ltd.

GR01 Patent grant
GR01 Patent grant