CN106397752A - 含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶。该感光性树脂具有下述通式(I)所示的结构：其中，R₁为氢、C₁～C₁₀的直链和支链烷基、C₆～C₂₀的芳基和C₁～C₁₀的烷氧基组成中的组中的任意一种；m₁、m₂各自独立地为0、1～4中的任意一个整数，n₁、n₂各自独立地为0、1～3中的任意一个整数；R₂为C₁～C₁₀的直链和支链烷基组成中的组中的任意一种；R₃为C₁～C₈的直链和支链烷基组成中的组中的任意一种；R₄为氢或甲基；A、B各自独立地代表取代基团，n为1～20中的任意一个整数。该树脂固化性和成膜性较好，与基板的密合性较高且形成的图案的直线性较高。

Description

含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和 光刻胶

技术领域

本发明涉及固化材料领域，具体而言，涉及一种含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶。

背景技术

具有芴骨架的高分子化合物具有高耐热性、高透明性、高折射率、低膨胀系数等优异特性，且人们试图利用芴骨架化合物的这些优异的特性，将含有芴骨架的化合物中引入含有自由基聚合性的不饱和键结构化合物形成含有芴骨架的高分子化合物。

但是实际应用中，该类高分子化合物不能够充分利用芴骨架的结构特性，存在分子量低、结构柔软、折射率低、酸值及耐热性不佳等缺陷，因此人们设法对其进一步改造，如专利文献CN100564349C、CN101965375A等分别公开了对含有芴骨架高分子化合物的改进，有效的解决了分子量、折射率及耐热性问题，但是其光固化速率不够理想，且在微小图案的形成过程中，与基板的密合性难以达到要求。

另一方面，随着光电子工业的发展，对光固化材料形成图案的直线性要求也越来越高，而现有的含芴骨架的树脂往往性能难以全方面的满足要求，在一定程度上限制了其使用。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶，以解决现有技术中的含有芴骨架的高分子化合物的光固化速率不理想的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种含芴的感光性树脂，该感光性树脂具有下述通式(I)所示的结构：

其中，R₁为氢、C₁～C₁₀的直链烷基、C₁～C₁₀的支链烷基、C₆～C₂₀的芳基和C₁～C₁₀的烷氧基组成中的组中的任意一种；m₁、m₂各自独立地为0、1～4中的任意一个整数，n₁、n₂各自独立地为0、1～3中的任意一个整数；R₂为C₁～C₁₀的直链烷基和C₁～C₁₀的支链烷基组成中的组中的任意一种；R₃为C₁～C₈的直链烷基和C₁～C₈的支链烷基组成中的组中的任意一种；R₄为氢或甲基；A、B各自独立地代表取代基团，n为1～20中的任意一个整数。

进一步地，上述A选自如下基团中的任意一种：

进一步地，上述B选自如下基团中的任意一种：乙基、丙基、叔丁基、

进一步地，上述R₁为氢或甲基。

进一步地，上述m₁、m₂、n₁和n₂各自独立地为0或1。

进一步地，上述R₂为C₁～C₅的直链烷基和C₁～C₅的支链烷基组成中的组中的任意一种。

进一步地，上述R₃为C₁～C₄的直链烷基或C₁～C₄的支链烷基组成中的组中的任意一种。

进一步地，上述R₄为氢或甲基。

进一步地，上述n为1～10的任意一个整数。

根据本申请的另一方面，提供了一种上述感光性树脂的制备方法，该制备方法包括：步骤S1，使具有结构式A的双酚芴类化合物和具有结构式B的卤代烷氧杂环丁烷类化合物进行醚化反应，得到具有结构式C的第一中间体；步骤S2，使第一中间体与具有结构式D的丙烯酸或甲基丙烯酸在第一催化剂及阻聚剂存在下进行开环反应，得到具有结构式E的第二中间体；步骤S3，使第二中间体与四元酸二酐类化合物进行加成反应，并交联聚合形成大分子化合物，接着通过单酸酐进行封端，得到感光性树脂，其中，结构式A为结构式B为结构式C为结构式D为结构式E为结构式B中的X表示卤素，各结构式中的m₁、m₂、n₁、n₂、R₁、R₂、R₃和R₄分别对应感光性树脂的结构式中的m₁、m₂、n₁、n₂、R₁、R₂、R₃和R₄。

进一步地，上述步骤S1在醚化催化剂的作用下进行，醚化催化剂为季铵盐类化合物，优选醚化催化剂重量添加量为步骤S1的反应体系的1％～5％，更优选步骤S1的反应温度为80～180℃，进一步优选双酚芴类化合物和卤代烷氧杂环丁烷类化合物的摩尔配比为1:4～8。

进一步地，上述步骤S2中，第一催化剂为季铵盐类化合物，优选阻聚剂为酚类阻聚剂，更优选开环反应的温度为80～280℃，进一步优选第一中间体与丙烯酸或甲基丙烯酸的摩尔配比为1:2.0～2.5。

进一步地，上述四元酸二酐类化合物选自以下化合物中任意一种：

进一步地，上述单酸酐选自以下化合物中任意一种：

进一步地，上述步骤S3在第二催化剂以及溶剂存在的条件下进行，第二催化剂为季铵盐类的化合物，优选第二催化剂在步骤S3的反应体系中的重量含量为0.1～2.0％；优选四元酸二酐类化合物的用量以四元酸二酐计，相对1mol第二中间体的比例为0.5～1.5mol，进一步优选为0.65～1.25mol。

根据本申请的又一方面，还提供了一种光固化组合物，包括感光树脂，该感光树脂为上述任一种感光性树脂。

根据本申请的又一方面，还提供了一种光刻胶，包括感光树脂，该感光树脂为上述任一种感光性树脂。

进一步地，优选上述光刻胶为黑色矩阵用光刻胶。

应用本发明的技术方案，由于该感光性树脂具有上述特定结构式，因此其具有优异的固化速率及成膜性能，在实际应用中与基板的密合性较高，且固化所形成的图案的直线性较高，优化图案形成效果。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将结合实施例来详细说明本发明。

如背景技术所分析的，现有技术中的含有芴骨架的高分子化合物的光固化速率不理想，为了解决该问题，本申请提供了一种含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶。

在本申请一种典型的实施方式中，提供了一种含芴的感光性树脂，该感光性树脂具有下述通式(I)所示的结构：

其中，R₁为氢、C₁～C₁₀的直链烷基、C₁～C₁₀的支链烷基、C₆～C₂₀的芳基和C₁～C₁₀的烷氧基组成中的组中的任意一种；m₁、m₂各自独立地为0、1～4中的任意一个整数，n₁、n₂各自独立地为0、1～3中的任意一个整数；R₂为C₁～C₁₀的直链烷基和C₁～C₁₀的支链烷基组成中的组中的任意一种；R₃为C₁～C₈的直链烷基和C₁～C₈的支链烷基组成中的组中的任意一种；R₄为氢或甲基；A、B各自独立地代表取代基团，n为1～20中的任意一个整数。

本申请的具有上述特定结构式的感光性树脂，具有优异的固化速率及成膜性能，在实际应用中与基板的密合性较高，且固化所形成的图案的直线性较高，优化图案形成效果。

上述结构式(I)中的A所表示的取代基团理论上可以是任意的基团，为了更明显突出感光性树脂的上述优势，优选上述A选自如下基团中的任意一种：

上述通式(I)中的B所表示的取代基团理论上可以是任意的基团，为了更明显突出感光性树脂的上述优势，优选上述B选自如下基团中的任意一种：乙基、丙基、叔丁基、

为了便于合成以及感光性树脂的长期稳定性，优选上述R₁为氢或甲基。更优选上述m₁、m₂、n₁和n₂各自独立地为0或1。进一步优选上述R₂为C₁～C₅的直链烷基和C₁～C₅的支链烷基组成中的组中的任意一种。再优选上述R₃为C₁～C₄的直链烷基或C₁～C₄的支链烷基组成中的组中的任意一种。同时优选上述R₄为氢或甲基。最优选上述n为1～10的任意一个整数。

在本申请另一种典型的实施方式中，提供了一种上述任一种感光性树脂的制备方法，该制备方法包括：步骤S1，使具有结构式A的双酚芴类化合物和具有结构式B的卤代烷氧杂环丁烷类化合物进行醚化反应，得到具有结构式C的第一中间体；步骤S2，使第一中间体与具有结构式D的丙烯酸或甲基丙烯酸在第一催化剂及阻聚剂存在下进行开环反应，得到具有结构式E的第二中间体；步骤S3，使第二中间体与四元酸二酐类化合物进行加成反应，并交联聚合形成大分子化合物，接着通过单酸酐进行封端，得到感光性树脂，其中，结构式A为结构式B为结构式C为结构式D为结构式E为结构式B中的X表示卤素，各结构式中的m₁、m₂、n₁、n₂、R₁、R₂、R₃和R₄分别对应感光性树脂的结构式中的m₁、m₂、n₁、n₂、R₁、R₂、R₃和R₄。其中，上述R₂优选C1～C5的直链烷基和C1～C5的支链烷基中的一种，R₃优选C1～C4的直链烷基或C1～C4的支链烷基中的一种。

上述步骤S1的化学反应过程为：

上述步骤S2的化学反应过程为：

上述步骤S2的化学反应过程为：

使具有结构式A的双酚芴类化合物与四元环氧化合物进行醚化反应得到第一中间体，其中四元环氧化合物连接至双酚芴类化合物上，然后使该第一中间体和具有结构式D的丙烯酸或甲基丙烯酸进行开环反应，得到第二中间体，其中丙烯酸或甲基丙烯酸连接到第二中间体上；接着使第二中间体与四元酸二酐类化合物进行加成反应，并交联聚合形成大分子化合物，最后通过单酸酐进行封端，即合成了本申请的感光性树脂。

为了促进反应进行，优选上述步骤S1在醚化催化剂的作用下进行，醚化催化剂为季铵盐类化合物，其中，季铵盐类化合物可以为苄基三乙基氯化铵、四丁基溴化铵、四丁基氯化铵、四丁基硫酸氢铵、三辛基甲基氯化铵等。同时，为了控制合适的反应速率，优选醚化催化剂重量添加量为步骤S1的反应体系的1％～5％，更优选步骤S1的反应温度为80～180℃。此外，为了提高醚化率，进一步优选双酚芴类化合物和卤代烷氧杂环丁烷类化合物的摩尔配比为1:4～8。

在本申请一种优选的实施例中，优选上述步骤S2中，第一催化剂为季铵盐类化合物，优选阻聚剂为酚类阻聚剂。其中，季铵盐类化合物可以为苄基三乙基氯化铵、四丁基溴化铵、四丁基氯化铵、四丁基硫酸氢铵、三辛基甲基氯化铵等，酚类阻聚剂可以为对苯二酚、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚、2,4-二硝基苯酚、2,6-二硝基对甲苯酚、4-叔丁基邻苯二酚等。为了增加第二中间体的产率，优选上述开环反应的温度为80～280℃，进一步优选第一中间体与丙烯酸或甲基丙烯酸的摩尔配比为1:2.0～2.5。

上述制备方法中，优选上述四元酸二酐类化合物选自以下化合物中任意一种：

以使合成过程易于进行。

封端所采用的但羧酸酐的种类可以从现有技术中选出多种，优选单酸酐选自以下化合物中任意一种：

在本申请另一种优选的实施例中，上述步骤S3在第二催化剂以及溶剂存在的条件下进行，第二催化剂为季铵盐类的化合物，其中，季铵盐类化合物可以为苄基三乙基氯化铵、四丁基溴化铵、四丁基氯化铵、四丁基硫酸氢铵、三辛基甲基氯化铵等，步骤S1、S2和S3可以采用同一种催化剂。优选第二催化剂在步骤S3的反应体系中的重量含量为0.1～2.0％；优选四元酸二酐类化合物的用量以四元酸二酐计，相对1mol第二中间体的比例为0.5～1.5mol，进一步优选为0.65～1.25mol。

本发明化合物合成中使用的原料均是现有技术中的已知化合物，可通过商业购得或者经已知的合成方法制备而成，在知晓了本发明公开的合成思路的基础上，具体反应条件对本领域技术人员而言是容易确定的。

在本申请又一种典型的实施方式中，提供了一种光固化组合物，包括感光树脂和光聚合引发剂、或者包括感光树脂和光敏剂，或者包括感光树脂、光聚合引发剂和光敏剂，该感光树脂为本申请所提供的感光性树脂。

上述光固化组合物中的光聚合引发剂和/或光敏剂可以以溶解或分散于溶剂中的状态混合，或者也可以相对感光性树脂化学地结合。

基于本申请的感光性树脂具有上述优势，因此具有其的光固化组合物也具有相应的优势，即具有优异的固化速率及成膜性能，在实际应用中与基板的密合性较高，且固化所形成的图案的直线性较高，优化图案形成效果。

可用于本发明的光聚合引发剂和/或光敏剂，没有特别限制，示例性的，可为二烷氧基苯乙酮类、α-羟烷基苯酮类、α-胺烷基苯酮类、酰基膦氧化物、二苯甲酮类、苯偶姻类、苯偶酰类、杂环芳酮类、肟酯类光引发剂中的一种或多种的组合。

此外，优选上述光固化组合物还包括具有1个以上不饱和基团的聚合性单体，由此可以改进光固化组合物的流动特性及感光度、耐药品性、耐热性和机械强度。。

作为该聚合性单体，只要是分子内具有1个以上不饱和键的单体，即可没有特别限制地使用，根据应用的用途、目的选择适当的单体即可。例如可以示例：聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯(亚乙基数为2～14)；三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷丙氧基三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯(亚丙基数为2～14)；二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、双酚A聚氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯、双酚A二氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯、双酚A三氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯、双酚A十氧乙烯二(甲基)丙烯酸酯、多元羧酸(邻苯二甲酸酐等)与具有羟基和烯键式不饱和基团的化合物((甲基)丙烯酸β-羟乙酯等)的酯化物、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯；乙二醇二缩水甘油醚、二甘醇二缩水甘油醚、三乙二醇二缩水甘油醚、四乙二醇二缩水甘油醚、聚乙二醇二缩水甘油醚、丙二醇二缩水甘油醚、二丙二醇二缩水甘油醚、三丙二醇二缩水甘油醚、四丙二醇二缩水甘油醚、聚丙二醇二缩水甘油醚、山梨糖醇三缩水甘油醚、丙三醇三缩水甘油醚等环氧化合物的(甲基)丙烯酸加成物；马来酸等不饱和有机酸及其酸酐；N-甲基丙烯酰胺、N-乙基丙烯酰胺、N-异丙基丙烯酰胺、N-羟甲基丙烯酰胺、N-甲基甲基丙烯酰胺、N-乙基甲基丙烯酰胺、N-异丙基甲基丙烯酰胺、N-羟甲基甲基丙烯酰胺、N，N-二甲基丙烯酰胺、N，N-二乙基丙烯酰胺、N，N-二甲基甲基丙烯酰胺、N，N-二乙基甲基丙烯酰胺等丙烯酰胺类；苯乙烯、羟基苯乙烯等苯乙烯类；N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基甲酰胺、N-乙烯基乙酰胺、N-乙烯基咪唑等；可使用它们当中的一种或多种。

根据产品应用需要，上述光固化组合物还可选择性地添加本领域中常用的有机和/或无机助剂，包括但不限于溶剂、增感剂、颜料、染料、流平剂、分散剂、固化剂、表面活性剂、溶剂等，这对本领域技术人员而言是显而易见的。此外，在不对组合物应用效果产生负面影响的前提下，组合物中也可加入其它碱溶性树脂混合使用。

在本申请又一种典型的实施方式中，提供了一种光刻胶，尤其是一种黑色矩阵用光刻胶，包括感光树脂，该感光树脂为本申请所提供的感光性树脂。以利用本申请的感光性树脂的图案直线型较高的优势，改善光刻效果。

以下将结合实施例和对比例进一步说明本申请的有益效果，所示出的实施例是对本发明进行更具体的说明，然而本发明的范围并不限定于这些实施例。

<感光性树脂A-1的合成>

步骤(1)：中间体1a的制备

在2L的四口烧瓶中投入306g双酚芴、1310g 3-氯甲基-3-乙基氧杂环丁烷后搅拌溶解，再向该四口烧瓶中加入6g四丁基溴化铵，继续搅拌且将体系温度加热至80℃，保温反应3h，HPLC检测中控至于原料量不再发生变化，将四口烧瓶降温到25℃，然后向四口烧瓶中滴加50％氢氧化钠溶液80g，并控制四口烧瓶的温度在30℃以内，1h左右滴加完成，接着继续搅拌4～6h，HPLC检测不再发生变化，停止反应，进行如下后处理：将含有中间体1a的溶液缓慢加入2L去离子水中，边加边搅拌形成混合体系，随后将混合体系静置分层，分离得到有机层；接着继续水洗有机层至中性，然后将中性有机层减压蒸馏除去多余的3-氯甲基-3-乙基氧杂环丁烷，蒸馏至体系中有固体出现(即观察到溶液变浑浊)停止减压蒸馏，并降温搅拌结晶后过滤，随后向所得沉淀中加入甲醇进行重结晶，最后60℃烘箱干燥4h，得438g白色固体即中间体1a。

中间体1a产物结构通过核磁共振氢谱及质谱得到确认，具体表征结果如下：

¹H-NMR(CDCl₃，500MHz)：0.9548-0.9876(6H，t)，1.1738-1.3005(4H，m)，4.6581(8H，s)，3.8663(4H，s)，6.8494-7.3627(16H，d)。

MS(m/Z)：535(M+H)⁺。

步骤(2)：中间体1b的制备

在5L小反应釜中分别投0.5g 2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚和127g丙烯酸，搅拌条件下，缓慢向该5L小反应釜加入428g中间体1a、4g苄基三乙基氯化铵，再继续加入500mL丁酮，形成反应体系，向该反应体系通入空气鼓泡，并加压下反应(压力约为0.3MPa)，逐渐升温至100℃，反应过夜，反应过程中进行酸值中控，待酸值不再发生变化，反应完成。得中间体1b的丁酮溶液，补加丁酮调节固含量至55％，孔径为0.25μm的滤膜过滤，即为中间体1b的丁酮溶液，将所得到的溶液再次置于上述小反应釜中。

步骤(3)：感光性树脂A-1的制备

向上述小反应釜中继续加入213g联苯二酐(BPDA)，开启搅拌，通入干燥空气，升温至体系温度150℃，搅拌8h，红外检测酸酐反应情况，待酸酐峰不再减小，向小反应釜中加入四氢苯酐60g，80℃保温反应2～4h，红外检测酸酐消耗情况，加入丁酮调节反应物固体含量50％，降温至70℃左右，出料。趁热0.8μm膜滤除机械杂质，得感光性树脂A-1。

感光性树脂2-9

示例性的，参照实施例1的合成方法，由相应的反应原料得到如下的感光性树脂A-2至A-10：

上述各化合物中，n为1～20的整数中的任意一个。

感光性树脂组合物的制备

通过配置示例性光固化组合物，对本发明的式(I)所示芴感光性树脂的应用性能进行评价。

1、感光性组合物的配制

参照表1中实施例1-16和比较例1-5所示配方，将原料混合均匀即可。

表1

碱溶性树脂B结构为：

n为1-20的整数。

2、感光性组合物应用性能评价

使用旋涂机，将实施例1～16、比较例1～5的感光性树脂组合物涂布在玻璃基板(100mm×100mm)上，在90℃下进行120秒预烘烤，形成膜厚1.0μm的涂膜。然后，使用镜面投影对准曝光器，将曝光间隙设为50μm，隔着形成有20μm的线状图案的负像掩模，对涂膜照射紫外线。曝光量设为20、40、60、120mJ/cm²这4个等级。将曝光后的涂膜在26℃的0.04质量％KOH水溶液中显影40s后，通过在230℃下进行30分钟后烘烤，从而形成线状图案。

同样地，隔着形成有2、5、10、20μm的线状图案的负像掩模，以50μm的曝光间隙，对涂膜照射紫外线。曝光量设为20mJ/cm²。将曝光后的涂膜在26℃的0.04质量％KOH水溶液中显影40秒后，通过在230℃下进行30min后烘烤，从而形成线状图案。

利用光学显微镜观察所形成的线状图案，评价图案直行性及密合性。评价结果见表2，对于图案直行性，按以下标准进行评价：

A：在线的边缘没有抖动；

B：在线的边缘有抖动。

对于图案密合性，按以下标准进行评价：

A：将未从基板中剥落地形成线状图案；

B：将虽然形成了线状图案，然而产生了图案缺损；

C：将从基板中剥落而没有形成线状图案。

表2

从上表可以看出，虽然对比例3和5的密合性能够和各实施例相当，但是在使用了本发明的感光性树脂的情况下，即使在60mJ/cm²这样的低曝光量下，也可以形成直线性优异的图案，即使是在20mJ/cm²这样的低曝光量下，10μm的线状图案也与基板具有很强的密合性，特别是实施例1-5与比较例1-5的对比，进一步体现了本发明所述芴骨架高分子化合物优异的固化性能。

综上所述，本发明所述的含芴骨架高分子化合物及其组合物应用性能非常优异，具有广阔的应用前景。

从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：

本申请的具有上述特定结构式的感光性树脂，具有优异的固化速率及成膜性能，在实际应用中与基板的密合性较高，且固化所形成的图案的直线性较高，优化图案形成效果。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种含芴的感光性树脂，其特征在于，所述感光性树脂具有下述通式(I)所示的结构：

其中，

R₁为氢、C₁～C₁₀的直链烷基、C₁～C₁₀的支链烷基、C₆～C₂₀的芳基和C₁～C₁₀的烷氧基组成中的组中的任意一种；m₁、m₂各自独立地为0、1～4中的任意一个整数，n₁、n₂各自独立地为0、1～3中的任意一个整数；R₂为C₁～C₁₀的直链烷基和C₁～C₁₀的支链烷基组成中的组中的任意一种；R₃为C₁～C₈的直链烷基和C₁～C₈的支链烷基组成中的组中的任意一种；R₄为氢或甲基；A、B各自独立地代表取代基团，n为1～20中的任意一个整数。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂，其特征在于，所述A选自如下基团中的任意一种：

3.根据权利要求1所述的感光性树脂，其特征在于，所述B选自如下基团中的任意一种：乙基、丙基、叔丁基、

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂，其特征在于，所述R₁为氢或甲基；优选所述m₁、m₂、n₁和n₂各自独立地为0或1；更优选所述R₂为C₁～C₅的直链烷基和C₁～C₅的支链烷基组成中的组中的任意一种；进一步优选所述R₃为C₁～C₄的直链烷基或C₁～C₄的支链烷基组成中的组中的任意一种；再优选所述R₄为氢或甲基；最优选所述n为1～10的任意一个整数。

5.一种权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

步骤S1，使具有结构式A的双酚芴类化合物和具有结构式B的卤代烷氧杂环丁烷类化合物进行醚化反应，得到具有结构式C的第一中间体；

步骤S2，使所述第一中间体与具有结构式D的丙烯酸或甲基丙烯酸在第一催化剂及阻聚剂存在下进行开环反应，得到具有结构式E的第二中间体；

步骤S3，使所述第二中间体与四元酸二酐类化合物进行加成反应，并交联聚合形成大分子化合物，接着通过单酸酐进行封端，得到所述感光性树脂，

其中，所述结构式A为所述结构式B为所述结构式C为所述结构式D为所述结构式E为所述结构式B中的X表示卤素，各结构式中的m₁、m₂、n₁、n₂、R₁、R₂、R₃和R₄分别对应所述感光性树脂的结构式中的m₁、m₂、n₁、n₂、R₁、R₂、R₃和R₄。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S1在醚化催化剂的作用下进行，所述醚化催化剂为季铵盐类化合物，优选所述醚化催化剂重量添加量为所述步骤S1的反应体系的1％～5％，更优选所述步骤S1的反应温度为80～180℃，进一步优选所述双酚芴类化合物和所述卤代烷氧杂环丁烷类化合物的摩尔配比为1:4～8。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述第一催化剂为季铵盐类化合物，优选所述阻聚剂为酚类阻聚剂，更优选所述开环反应的温度为80～280℃，进一步优选所述第一中间体与所述丙烯酸或所述甲基丙烯酸的摩尔配比为1:2.0～2.5。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，

所述四元酸二酐类化合物选自以下化合物中任意一种：

优选所述单酸酐选自以下化合物中任意一种：

9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S3在第二催化剂以及溶剂存在的条件下进行，所述第二催化剂为季铵盐类的化合物，优选所述第二催化剂在所述步骤S3的反应体系中的重量含量为0.1～2.0％；优选所述四元酸二酐类化合物的用量以四元酸二酐计，相对1mol所述第二中间体的比例为0.5～1.5mol，进一步优选为0.65～1.25mol。

10.一种光固化组合物，包括感光树脂，其特征在于，所述感光树脂为权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂。

11.一种光刻胶，包括感光树脂，其特征在于，所述感光树脂为权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂。

12.根据权利要求11所述的光刻胶，其特征在于，所述光刻胶为黑色矩阵用光刻胶。