CN106391548A - 一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明提供的一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，先通过切割、研磨、抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，然后在对双面抛光蓝宝石薄片进行最终清洗，步骤简单，制备方便，整个清洗过程包括利用两次弱碱性环保清洗剂与五次超纯水进行清洗，较原有的清洗工艺而言，利用碱性清洗工艺进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。

Description

一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺
技术领域
本发明涉及蓝宝石技术领域，特别是涉及一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺。
背景技术
蓝宝石晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有以下几个优良特征：1.高光学透射率，蓝宝石晶体有很好的透光性能，其透光范围为0.15～7.5微米，覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段；2.高耐磨性，膨胀系数仅为5X10-6/度，熔点为2050°C，工作温度可达1900°C，具有优秀的耐热冲击和耐高温性能；3.很好的机械性能，其硬度可达莫氏9级，同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度，同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能，抗辐射性能、电绝缘性能。随着蓝宝石窗口片应用领域的发展，对蓝宝石产品规格种类越来越多，在蓝宝石加工过程中，晶片清洗大多采用硫酸清洗工艺，其化学危险性高，清洗过程中产生的硫不利于环保。
发明内容
本发明所要解决的问题是提供一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，解决在蓝宝石加工过程中，晶片清洗大多采用硫酸清洗工艺，其化学危险性高，清洗过程中产生的硫不利于环保的问题。
为解决以上问题本发明所采用的方案：
一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其清洗工艺如下：
（1）制片：先通过切割、研磨与抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，其中双面抛光蓝宝石薄片的厚度为0.5-0.8mm；
（2）第一次清洗：将所制成的双面抛光蓝宝石薄片放入第一弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-30min，每分钟上下抛动20-40次，第一弱碱性环保清洗剂清洗槽内的温度为60℃-80℃；
（3）第二次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第一超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15-45min，每分钟上下抛动10-30次，第一超纯水清洗槽内的温度为50℃-90℃；
（4）第三次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为10-30min，每分钟上下抛动15-45次，第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗的温度为55℃-85℃；
（5）第四次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-30min，每分钟上下抛动10-30次，第二超纯水清洗槽内的温度为20℃-30℃；
（6）第五次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第三超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15-45min，每分钟上下抛动15-45次，第二超纯水清洗槽内的温度为25℃-35℃；
（7）第六次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第四超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为10-30min，每分钟上下抛动10-30次，第二超纯水清洗槽内的温度为10℃-25℃；
（8）第七次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第五超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-60min，每分钟上下抛动20-60次，第二超纯水清洗槽内的温度为80℃-100℃；
（9）烘干：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入烘干槽中进行烘干处理即可，烘干时间为20-30min，烘干温度为70℃-90℃。
上述一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其中，所述的第一弱碱性环保清洗剂与第二弱碱性环保清洗剂均是以20%的弱碱性环保清洗剂与80%的超纯水混合配比而成。
本方案的有益效果：
本发明提供的一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，先通过切割、研磨、抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，然后在对双面抛光蓝宝石薄片进行最终清洗，步骤简单，制备方便，整个清洗过程包括利用两次弱碱性环保清洗剂与五次超纯水进行清洗，较原有的清洗工艺而言，利用碱性清洗工艺进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。
具体实施方式
实施例1：一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其清洗工艺如下：
（1）制片：先通过切割、研磨与抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，其中双面抛光蓝宝石薄片的厚度为0.5mm；
（2）第一次清洗：将所制成的双面抛光蓝宝石薄片放入第一弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为25min，每分钟上下抛动30次，第一弱碱性环保清洗剂清洗槽内的温度为70℃；
（3）第二次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第一超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为25min，每分钟上下抛动30次，第一超纯水清洗槽内的温度为70℃；
（4）第三次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为25min，每分钟上下抛动30次，第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗的温度为70℃；
（5）第四次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为25min，每分钟上下抛动30次，第二超纯水清洗槽内的温度为25℃；
（6）第五次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第三超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为25min，每分钟上下抛动30次，第二超纯水清洗槽内的温度为25℃；
（7）第六次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第四超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为25min，每分钟上下抛动30次，第二超纯水清洗槽内的温度为25℃；
（8）第七次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第五超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为25min，每分钟上下抛动30次，第二超纯水清洗槽内的温度为90℃；
（9）烘干：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入烘干槽中进行烘干处理即可，烘干时间为25min，烘干温度为80℃。
实施例2：一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其清洗工艺如下：
（1）制片：先通过切割、研磨与抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，其中双面抛光蓝宝石薄片的厚度为0.6mm；
（2）第一次清洗：将所制成的双面抛光蓝宝石薄片放入第一弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为20min，每分钟上下抛动20次，第一弱碱性环保清洗剂清洗槽内的温度为60℃；
（3）第二次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第一超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15min，每分钟上下抛动10次，第一超纯水清洗槽内的温度为50℃；
（4）第三次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为10min，每分钟上下抛动15次，第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗的温度为55℃；
（5）第四次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为20min，每分钟上下抛动10次，第二超纯水清洗槽内的温度为20℃；
（6）第五次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第三超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15min，每分钟上下抛动15次，第二超纯水清洗槽内的温度为25℃；
（7）第六次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第四超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为10min，每分钟上下抛动10次，第二超纯水清洗槽内的温度为10℃；
（8）第七次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第五超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为20min，每分钟上下抛动20次，第二超纯水清洗槽内的温度为80℃；
（9）烘干：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入烘干槽中进行烘干处理即可，烘干时间为20min，烘干温度为70℃。
实施例3：一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其清洗工艺如下：
（1）制片：先通过切割、研磨与抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，其中双面抛光蓝宝石薄片的厚度为0.8mm；
（2）第一次清洗：将所制成的双面抛光蓝宝石薄片放入第一弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为30min，每分钟上下抛动40次，第一弱碱性环保清洗剂清洗槽内的温度为80℃；
（3）第二次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第一超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为45min，每分钟上下抛动30次，第一超纯水清洗槽内的温度为90℃；
（4）第三次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为30min，每分钟上下抛动45次，第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗的温度为85℃；
（5）第四次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为30min，每分钟上下抛动30次，第二超纯水清洗槽内的温度为30℃；
（6）第五次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第三超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为45min，每分钟上下抛动45次，第二超纯水清洗槽内的温度为35℃；
（7）第六次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第四超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为30min，每分钟上下抛动30次，第二超纯水清洗槽内的温度为25℃；
（8）第七次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第五超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为60min，每分钟上下抛动60次，第二超纯水清洗槽内的温度为100℃；
（9）烘干：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入烘干槽中进行烘干处理即可，烘干时间为30min，烘干温度为90℃。
上述一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其中，所述的第一弱碱性环保清洗剂与第二弱碱性环保清洗剂均是以20%的弱碱性环保清洗剂与80%的超纯水混合配比而成。
本发明提供的一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，先通过切割、研磨、抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，然后在对双面抛光蓝宝石薄片进行最终清洗，步骤简单，制备方便，整个清洗过程包括利用两次弱碱性环保清洗剂与五次超纯水进行清洗，较原有的清洗工艺而言，利用碱性清洗工艺进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。
本发明提供的一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其中弱碱性环保清洗剂为SP2200清洗机，超纯水为用实验室纯水机自制超纯水。
仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (2)

1.一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其特征为，清洗工艺如下：
（1）制片：先通过切割、研磨与抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，其中双面抛光蓝宝石薄片的厚度为0.5-0.8mm；
（2）第一次清洗：将所制成的双面抛光蓝宝石薄片放入第一弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-30min，每分钟上下抛动20-40次，第一弱碱性环保清洗剂清洗槽内的温度为60℃-80℃；
（3）第二次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第一超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15-45min，每分钟上下抛动10-30次，第一超纯水清洗槽内的温度为50℃-90℃；
（4）第三次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为10-30min，每分钟上下抛动15-45次，第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗的温度为55℃-85℃；
（5）第四次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-30min，每分钟上下抛动10-30次，第二超纯水清洗槽内的温度为20℃-30℃；
（6）第五次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第三超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15-45min，每分钟上下抛动15-45次，第二超纯水清洗槽内的温度为25℃-35℃；
（7）第六次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第四超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为10-30min，每分钟上下抛动10-30次，第二超纯水清洗槽内的温度为10℃-25℃；
（8）第七次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第五超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-60min，每分钟上下抛动20-60次，第二超纯水清洗槽内的温度为80℃-100℃；
（9）烘干：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入烘干槽中进行烘干处理即可，烘干时间为20-30min，烘干温度为70℃-90℃。
2.如权利要求1所述一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其特征为，所述的第一弱碱性环保清洗剂与第二弱碱性环保清洗剂均是以20%的弱碱性环保清洗剂与80%的超纯水混合配比而成。
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