CN106154751B - 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法 - Google Patents

狭缝式涂布机及其狭缝调整方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106154751B
CN106154751B CN201610514872.9A CN201610514872A CN106154751B CN 106154751 B CN106154751 B CN 106154751B CN 201610514872 A CN201610514872 A CN 201610514872A CN 106154751 B CN106154751 B CN 106154751B
Authority
CN
China
Prior art keywords
slit
driving shaft
adjustment
nozzle
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610514872.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106154751A (zh
Inventor
徐彬
刘汉辰
徐涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201610514872.9A priority Critical patent/CN106154751B/zh
Publication of CN106154751A publication Critical patent/CN106154751A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106154751B publication Critical patent/CN106154751B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

本发明提供一种狭缝式涂布机及其狭缝调整方法，该狭缝式涂布机在每一个调整螺栓上均设有从动轴，并在从动轴上方设置主动轴，通过马达驱动主动轴旋转，主动轴再带动从动轴旋转实现对调整螺栓的扭转，整个调整过程均由马达控制完成，无需人工手动操作，调整速度快，可控性强，准确率高，能够实现量化操作和实时操作，且不受工人技术水平的制约。

Description

狭缝式涂布机及其狭缝调整方法
技术领域
本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种狭缝式涂布机及其狭缝调整方法。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，Color Filter)、薄膜晶体管基板(TFT，ThinFilm Transistor)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。
在目前的液晶显示面板等平板显示装置的生产过程中，常常要用到涂布机在基板上涂布光阻，以进行图案化制程。如图1及图2所示，目前最常用的涂布机为狭缝式涂布机，其包括：狭缝喷嘴，所述狭缝喷嘴包括：第一喷嘴分体1、及与所述第一喷嘴分体1固定连接的第二喷嘴分体2，所述第一喷嘴分体1与所述第二喷嘴分体2相对设置且之间形成有狭缝4，在所述第一喷嘴分体1与所述第二喷嘴分体2上的沿所述狭缝4的延伸方向均设有多个调整螺栓3，所述第一喷嘴分体1与所述第二喷嘴分体2上的调整螺栓3的位置一一对应，所述调整螺栓3用于调整狭缝4的宽度，进而提升涂布的均一性。通过拧紧调整螺栓3或拧松调整螺栓3来调整狭缝4的宽度，目前对于调整螺栓3的拧紧或拧松都是操作人员使用六角扳手进行手动调整的，调整时，操作人员一边扭动调整螺栓3一边通过千分表监控第一喷嘴分体1或第二喷嘴分体2下端的形变量，确定调整量级，随后再通过膜厚测量机，对调整后涂布机涂布的材料膜厚进行测量，以检查调整是否成功，反复多次直至调整成功，这种方法要求调整人员经验较高，对于手法有较高要求，仅部分经培训人员能够实施，且单次调整的所需耗时较久，同时调整后很难复归原样，前后调整对比的可对比性较小，尤其产品的尺寸出现变化时，此时普通操作员的手动调整很难达到生产需要的精度，必须要涂布机厂商的专业人员进行现场调整，需要耗费大量人力物力，且涂布机厂商的专业人员不到位就无法调整，严重影响正常的生产进程，灵活性较差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种狭缝式涂布机，能够实现狭缝宽度的自动调整，降低狭缝宽度的调整难度，提升狭缝宽度的调整速度。
本发明的目的还在于提供一种狭缝式涂布机的狭缝调整方法，能够实现狭缝宽度的自动调整，降低狭缝宽度的调整难度，提升狭缝宽度的调整速度。
为实现上述目的，本发明提供了一种狭缝式涂布机，包括：具有狭缝的喷嘴、设于所述喷嘴上的沿所述喷嘴的狭缝的延伸方向排列的多个调整螺栓、与所述多个调整螺栓相连的传动机构、以及与所述传动机构相连的狭缝调整马达；
狭缝调整时，通过狭缝调整马达经由传动机构传递旋转力至调整螺栓上使得调整螺栓旋转，以调整喷嘴的狭缝宽度。
所述传动机构包括：分别与所述多个调整螺栓相连的多个从动轴、设于所述多个从动轴的上方的与所述狭缝调整马达相连的主动轴、分别设于所述主动轴的两端的两个平行的滑轨、与所述主动轴的一端相连的压合汽缸、以及分别与两滑轨相连的两升降汽缸；；
所述主动轴上设有多个螺旋齿部，每一个从动轴远离所述调整螺栓的一端均设有一蜗轮，每一个蜗轮对应一个螺旋齿部；
所述多个从动轴的轴向长度均不相同，所述从动轴的轴线与所述调整螺栓的轴线沿同一方向延伸，所述从动轴的轴线与所述主动轴的轴线相互垂直；
狭缝调整时，所述压合汽缸松开主动轴，所述升降汽缸带动所述主动轴沿所述滑轨滑动，使得主动轴到达需要调整的从动轴所在的位置，并使得所述主动轴上对应的螺旋齿部与该从动轴上的蜗轮啮合，随后压合汽缸压合主动轴使主动轴固定，狭缝调整马达带动主动轴轴向旋转，主动轴的旋转力经由蜗轮和从动轴传递到调整螺栓上，使得调整螺栓旋转，以调整喷嘴的狭缝宽度。
所述多个从动轴的轴向长度沿所述喷嘴的狭缝的延伸方向逐渐增大。
所述狭缝调整马达通过一辅助轴与所述主动轴相连，所述狭缝调整马达与辅助轴之间通过蜗轮蜗杆进行传动，所述辅助轴与所述主动轴之间通过一对螺旋伞齿轮进行传动，所述辅助轴的轴线与所述主动轴的轴线垂直。
所述喷嘴包括：第一喷嘴分体、以及与所述第一喷嘴分体相对设置并固定连接的第二喷嘴分体，所述喷嘴的狭缝形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间。
本发明还提供一种狭缝式涂布机的狭缝调整方法，包括如下步骤：
步骤1、提供一狭缝式涂布机，包括：具有狭缝的喷嘴、设于所述喷嘴上的沿所述喷嘴的狭缝的延伸方向排列的多个调整螺栓、与所述多个调整螺栓相连的与所述多个调整螺栓相连的传动机构、以及与所述传动机构相连的狭缝调整马达；
步骤2、所述狭缝调整马达通过传动机构带动调整螺栓旋转，从而调整喷嘴的狭缝宽度；
步骤3、进行涂布试验，检测调整后涂布机涂布的薄膜厚度是否合格，若合格则结束，若不合格则返回步骤2。
所述传动机构包括：分别与所述多个调整螺栓相连的多个从动轴、设于所述多个从动轴的上方的与所述狭缝调整马达相连的主动轴、分别设于所述主动轴的两端的两个平行的滑轨、与所述主动轴的一端相连的压合汽缸、以及分别与两滑轨相连的两升降汽；
所述主动轴上设有多个螺旋齿部，每一个从动轴远离所述调整螺栓的一端均设有一蜗轮，每一个螺旋齿部对应一个蜗轮；
所述多个从动轴的轴向长度均不相同，所述从动轴的轴线与所述调整螺栓的轴线沿同一方向延伸，所述从动轴的轴线与所述主动轴的轴线相互垂直；
所述步骤2具体包括：
步骤21、确定需要调整的从动轴所在的位置，所述压合汽缸松开主动轴，所述升降汽缸带动所述主动轴沿所述滑轨滑动，使得主动轴到达需要调整的从动轴所在的位置，并使得所述主动轴上对应的螺旋齿部与该从动轴上的蜗轮啮合，随后压合汽缸压合主动轴使主动轴固定；
步骤22、所述狭缝调整马达带动所述主动轴轴向旋转，主动轴的旋转力经由蜗轮和从动轴传递到调整螺栓上，使得调整螺栓旋转，从而调整喷嘴的狭缝宽度。
所述多个从动轴的轴向长度沿所述喷嘴的狭缝的延伸方向逐渐增大。
所述狭缝调整马达通过一辅助轴与所述主动轴相连，所述狭缝调整马达与辅助轴之间通过蜗轮蜗杆进行传动，所述辅助轴与所述主动轴之间通过一对螺旋伞齿轮进行传动，所述辅助轴的轴线与所述主动轴的轴线垂直。
所述喷嘴包括：第一喷嘴分体、以及与所述第一喷嘴分体相对设置并固定连接的第二喷嘴分体，所述喷嘴的狭缝形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间。
本发明的有益效果：本发明提供了一种狭缝式涂布机，该狭缝式涂布机在每一个调整螺栓上均设有从动轴，并在从动轴上方设置主动轴，通过马达驱动主动轴旋转，主动轴再带动从动轴旋转实现对调整螺栓的扭转，整个调整过程均由马达控制完成，无需人工手动操作，调整速度快，可控性强，准确率高，能够实现量化操作和实时操作，不受工人技术水平的制约。本发明提供了一种狭缝式涂布机的狭缝调整方法，能够实现狭缝宽度的自动调整，降低狭缝宽度的调整难度，提升狭缝宽度的调整速度。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为现有的狭缝式涂布机的喷嘴的剖面图；
图2为现有的狭缝式涂布机的喷嘴的主视图；
图3为本发明的狭缝式涂布机的结构示意图；
图4为本发明的狭缝式涂布机的狭缝调整方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图3，本发明首先提供一种狭缝式涂布机，包括：具有狭缝的喷嘴10、设于所述喷嘴10上的沿所述喷嘴10的狭缝的延伸方向排列的多个调整螺栓20、与所述多个调整螺栓20相连的传动机构、以及与所述传动机构相连的狭缝调整马达80；
狭缝调整时，通过狭缝调整马达80经由传动机构传递旋转力至调整螺栓上使得调整螺栓20旋转，以调整喷嘴的狭缝宽度。
其中，所述传动机构包括：分别与与所述多个调整螺栓20相连的多个从动轴30、设于所述多个从动轴30的上方的与所述狭缝调整马达80相连的主动轴50、分别设于所述主动轴50的两端的两个平行的滑轨60、与所述主动轴50的一端相连的压合汽缸70、以及分别与两滑轨60相连的两升降汽缸90；
所述主动轴50上设有多个螺旋齿部51，每一个从动轴30远离所述调整螺栓20的一端均设有一蜗轮40，每一个螺旋齿部51对应一个蜗轮40；
所述多个从动轴30的轴向长度均不相同，所述从动轴30的轴线与所述调整螺栓20的轴线沿同一方向延伸，所述从动轴30的轴线与所述主动轴50的轴线相互垂直。
具体地，所述喷嘴10包括：第一喷嘴分体、以及与所述第一喷嘴分体相对设置并固定连接的第二喷嘴分体，所述喷嘴10的狭缝形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间，所述调整螺栓20设于第一喷嘴分体、或第二喷嘴分体、或成对设置于第一喷嘴分体和第二喷嘴分体上，通过拧紧所述调整螺栓20使第一喷嘴分体或第二喷嘴分体产生形变，从而扩大形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间狭缝，反之通过拧松所述调整螺栓20使第一喷嘴分体或第二喷嘴分体的形变减小，从而缩小形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间狭缝。也即，所述调整螺栓20上的力矩越大，所述喷嘴10的狭缝宽度越大。
进一步地，所述狭缝式涂布机在进行狭缝调整时，通过压合汽缸70使主动轴50固定或松开，固定时，所述主动轴50不能沿所述滑轨60滑动，松开时，所述主动轴50能够沿所述滑轨60滑动，所述滑轨60的延伸方向与所述主动轴50的轴线垂直。先通过压合汽缸70使主动轴50松开，所述升降汽缸90带动所述主动轴50沿所述滑轨60滑动，使得主动轴50到达需要调整的从动轴30所在的位置，并使得所述主动轴50上对应的螺旋齿部51与该从动轴30上的蜗轮40啮合，再通过压合汽缸70使主动轴固定，接着通过狭缝调整马达80带动主动轴50轴向旋转，主动轴50的旋转力经由蜗轮40和从动轴30传递到调整螺栓20上，使得调整螺栓20旋转，以调整喷嘴10的狭缝宽度。整个过程均由马达控制完成，无需人工手动操作，对操作员的技术水平及操作经验的要求极低，且相比于人工调整，其单次调整速度也更快，尤其当产品的尺寸出现变化时，也可以通过马达完成调整，无需再请求涂布机厂商的专业人员到生产现场调整，避免在调整时受制于涂布机厂商的专业人员，掌握生产的主动性，提升工作效率。而且，通过控制马达的旋转的方向和速度等方式，可以实现量化调整，单次调整速度快，无需反复确认，并且可以在调整后复归原样，调整准确性高。
优选地，所述多个从动轴30的轴向长度沿所述喷嘴10的狭缝的延伸方向逐渐增大。
值得一提的是，所述狭缝调整马达80通过一辅助轴82与所述主动轴50相连，所述狭缝调整马达80与辅助轴82之间通过蜗轮蜗杆进行传动，所述辅助轴82与所述主动轴50之间通过一对螺旋伞齿轮进行传动，所述辅助轴82的轴线与所述主动轴50的轴线垂直。此外，所述狭缝调整马达80还设有齿轮变速箱81，通过齿轮变速箱81优化所述主动轴50旋转并带动调整螺栓20旋转时的精度，实现高精度的调整。
基于上述狭缝式涂布机，请参阅图4，本发明还提供一种狭缝式涂布机的狭缝调整方法，包括如下步骤：
步骤1、提供一狭缝式涂布机，包括：具有狭缝的喷嘴10、设于所述喷嘴10上的沿所述喷嘴10的狭缝的延伸方向排列的多个调整螺栓20、与所述多个调整螺栓20相连的传动机构、以及与所述传动机构相连的狭缝调整马达80；
其中，所述传动机构包括：分别与与所述多个调整螺栓20相连的多个从动轴30、设于所述多个从动轴30的上方的与所述狭缝调整马达80相连的主动轴50、分别设于所述主动轴50的两端的两个平行的滑轨60、与所述主动轴50的一端相连的压合汽缸70、以及分别与两滑轨60相连的两升降汽缸90；
所述主动轴50上设有多个螺旋齿部51，每一个从动轴30远离所述调整螺栓20的一端均设有一蜗轮40，每一个螺旋齿部51对应一个蜗轮40；
所述多个从动轴30的轴向长度均不相同，所述从动轴30的轴线与所述调整螺栓20的轴线沿同一方向延伸，所述从动轴30的轴线与所述主动轴50的轴线相互垂直。
具体地，所述喷嘴10包括：第一喷嘴分体、以及与所述第一喷嘴分体相对设置并固定连接的第二喷嘴分体，所述喷嘴10的狭缝形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间，所述调整螺栓20设于第一喷嘴分体、或第二喷嘴分体、或成对设置于第一喷嘴分体和第二喷嘴分体上，通过拧紧所述调整螺栓20使第一喷嘴分体或第二喷嘴分体产生形变，从而扩大形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间狭缝，反之通过拧松所述调整螺栓20使第一喷嘴分体或第二喷嘴分体的形变减小，从而缩小形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间狭缝。也即，所述调整螺栓20上的力矩越大，所述喷嘴10的狭缝宽度越大。
优选地，所述多个从动轴30的轴向长度沿所述喷嘴10的狭缝的延伸方向逐渐增大。
步骤2、所述狭缝调整马达80通过传动机构带动调整螺栓20旋转，从而调整喷嘴10的狭缝宽度。
具体地，所述步骤2包括：步骤21、确定需要调整的从动轴30所在的位置，所述压合汽缸70松开主动轴50，所述升降汽缸90带动所述主动轴50沿所述滑轨60滑动，使得主动轴50到达需要调整的从动轴30所在的位置，并使得所述主动轴50上对应的螺旋齿部51与该从动轴30上的蜗轮40啮合，随后压合汽缸70压合主动轴50使主动轴50固定；
步骤22、所述狭缝调整马达80带动所述主动轴50轴向旋转，主动轴50的旋转力经由蜗轮40和从动轴30传递到调整螺栓20上，使得调整螺栓20旋转，从而调整喷嘴10的狭缝宽度。
具体地，所述狭缝调整马达80通过一辅助轴82与所述主动轴50相连，所述狭缝调整马达80与辅助轴82之间通过蜗轮蜗杆进行传动，所述辅助轴82与所述主动轴50之间通过一对螺旋伞齿轮进行传动，所述辅助轴82的轴线与所述主动轴50的轴线垂直。此外，所述狭缝调整马达80还设有齿轮变速箱81，通过齿轮变速箱81优化所述主动轴50旋转并带动调整螺栓20旋转时的精度，实现高精度的调整。
值得一提的是，上述调整过程均由马达控制完成，无需人工手动操作，对操作员的技术水平及操作经验的要求极低，且相比于人工调整，其单次调整速度也更快，尤其当产品的尺寸出现变化时，也可以通过马达完成调整，无需再请求涂布机厂商的专业人员到生产现场调整，避免在调整时受制于涂布机厂商的专业人员，掌握生产的主动性，提升工作效率。而且，通过控制马达的旋转的方向和速度等方式，可以实现量化调整，单次调整速度快，无需反复确认，并且可以在调整后复归原样，调整准确性高。
步骤3、进行涂布试验，检测调整后涂布机涂布的薄膜厚度是否合格，若合格则结束，若不合格则返回步骤2。
可以理解的是，所述狭缝式涂布机的传动机构也可为其他传动设计，只要能够实现将狭缝调整马达80的旋转力传递到调整螺栓20上即可。
综上所述，本发明提供了一种狭缝式涂布机，该狭缝式涂布机在每一个调整螺栓上均设有从动轴，并在从动轴上方设置主动轴，通过马达驱动主动轴旋转，主动轴再带动从动轴旋转实现对调整螺栓的扭转，整个过程调整过程由马达控制完成，无需人工手动操作，调整速度快，可控性强，准确率高，能够实现量化操作和实时操作，不受工人技术水平的制约。本发明提供了一种狭缝式涂布机的狭缝调整方法，能够实现狭缝宽度的自动调整，降低狭缝宽度的调整难度，提升狭缝宽度的调整速度。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种狭缝式涂布机，其特征在于，包括：具有狭缝的喷嘴(10)、设于所述喷嘴(10)上的沿所述喷嘴(10)的狭缝的延伸方向排列的多个调整螺栓(20)、与所述多个调整螺栓(20)相连的传动机构、以及与所述传动机构相连的狭缝调整马达(80)；
狭缝调整时，通过狭缝调整马达(80)经由传动机构传递旋转力至调整螺栓(20)上使得调整螺栓(20)旋转，以调整喷嘴(10)的狭缝宽度；
所述传动机构包括：分别与所述多个调整螺栓(20)相连的多个从动轴(30)、设于所述多个从动轴(30)的上方的与所述狭缝调整马达(80)相连的主动轴(50)、分别设于所述主动轴(50)的两端的两个平行的滑轨(60)、与所述主动轴(50)的一端相连的压合汽缸(70)、以及分别与两滑轨(60)相连的两升降汽缸(90)。
2.如权利要求1所述的狭缝式涂布机，其特征在于，所述主动轴(50)上设有多个螺旋齿部(51)，每一个从动轴(30)远离所述调整螺栓(20)的一端均设有一蜗轮(40)，每一个螺旋齿部(51)对应一个蜗轮(40)；
所述多个从动轴(30)的轴向长度均不相同，所述从动轴(30)的轴线与所述调整螺栓(20)的轴线沿同一方向延伸，所述从动轴(30)的轴线与所述主动轴(50)的轴线相互垂直；
狭缝调整时，所述压合汽缸(70)松开主动轴(50)，所述升降汽缸(90)带动所述主动轴(50)沿所述滑轨(60)滑动，使得主动轴(50)到达需要调整的从动轴(30)所在的位置，并使得所述主动轴(50)上对应的螺旋齿部(51)与该从动轴(30)上的蜗轮(40)啮合，随后压合汽缸(70)压合主动轴(50)使主动轴(50)固定，狭缝调整马达(80)带动主动轴(50)轴向旋转，主动轴(50)的旋转力经由蜗轮(40)和从动轴(30)传递到调整螺栓(20)上，使得调整螺栓(20)旋转，以调整喷嘴(10)的狭缝宽度。
3.如权利要求2所述的狭缝式涂布机，其特征在于，所述多个从动轴(30)的轴向长度沿所述喷嘴(10)的狭缝的延伸方向逐渐增大。
4.如权利要求2所述的狭缝式涂布机，其特征在于，所述狭缝调整马达(80)通过一辅助轴(82)与所述主动轴(50)相连，所述狭缝调整马达(80)与辅助轴(82)之间通过蜗轮蜗杆进行传动，所述辅助轴(82)与所述主动轴(50)之间通过一对螺旋伞齿轮进行传动，所述辅助轴(82)的轴线与所述主动轴(50)的轴线垂直。
5.如权利要求1所述的狭缝式涂布机，其特征在于，所述喷嘴(10)包括：第一喷嘴分体、以及与所述第一喷嘴分体相对设置并固定连接的第二喷嘴分体，所述喷嘴(10)的狭缝形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间。
6.一种狭缝式涂布机的狭缝调整方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、提供一狭缝式涂布机，包括：具有狭缝的喷嘴(10)、设于所述喷嘴(10)上的沿所述喷嘴(10)的狭缝的延伸方向排列的多个调整螺栓(20)、与所述多个调整螺栓(20)相连的传动机构、以及与所述传动机构相连的狭缝调整马达(80)；
步骤2、所述狭缝调整马达(80)通过传动机构带动调整螺栓(20)旋转，从而调整喷嘴(10)的狭缝宽度；
步骤3、进行涂布试验，检测调整后涂布机涂布的薄膜厚度是否合格，若合格则结束，若不合格则返回步骤2；
所述传动机构包括：分别与所述多个调整螺栓(20)相连的多个从动轴(30)、设于所述多个从动轴(30)的上方的与所述狭缝调整马达(80)相连的主动轴(50)、分别设于所述主动轴(50)的两端的两个平行的滑轨(60)、与所述主动轴(50)的一端相连的压合汽缸(70)、以及分别与两滑轨(60)相连的两升降汽缸(90)。
7.如权利要求6所述的狭缝式涂布机的狭缝调整方法，其特征在于，所述主动轴(50)上设有多个螺旋齿部(51)，每一个从动轴(30)远离所述调整螺栓(20)的一端均设有一蜗轮(40)，每一个螺旋齿部(51)对应一个蜗轮(40)；
所述多个从动轴(30)的轴向长度均不相同，所述从动轴(30)的轴线与所述调整螺栓(20)的轴线沿同一方向延伸，所述从动轴(30)的轴线与所述主动轴(50)的轴线相互垂直；
所述步骤2具体包括：
步骤21、确定需要调整的从动轴(30)所在的位置，所述压合汽缸(70)松开主动轴(50)，所述升降汽缸(90)带动所述主动轴(50)沿所述滑轨(60)滑动，使得主动轴(50)到达需要调整的从动轴(30)所在的位置，并使得所述主动轴(50)上对应的螺旋齿部(51)与该从动轴(30)上的蜗轮(40)啮合，随后压合汽缸(70)压合主动轴(50)使主动轴(50)固定；
步骤22、所述狭缝调整马达(80)带动所述主动轴(50)轴向旋转，主动轴(50)的旋转力经由蜗轮(40)和从动轴(30)传递到调整螺栓(20)上，使得调整螺栓(20)旋转，从而调整喷嘴(10)的狭缝宽度。
8.如权利要求7所述的狭缝式涂布机的狭缝调整方法，其特征在于，所述多个从动轴(30)的轴向长度沿所述喷嘴(10)的狭缝的延伸方向逐渐增大。
9.如权利要求7所述的狭缝式涂布机的狭缝调整方法，其特征在于，所述狭缝调整马达(80)通过一辅助轴(82)与所述主动轴(50)相连，所述狭缝调整马达(80)与辅助轴(82)之间通过蜗轮蜗杆进行传动，所述辅助轴(82)与所述主动轴(50)之间通过一对螺旋伞齿轮进行传动，所述辅助轴(82)的轴线与所述主动轴(50)的轴线垂直。
10.如权利要求6所述的狭缝式涂布机的狭缝调整方法，其特征在于，所述喷嘴(10)包括：第一喷嘴分体、以及与所述第一喷嘴分体相对设置并固定连接的第二喷嘴分体，所述喷嘴(10)的狭缝形成于第一喷嘴分体与第二喷嘴分体之间。
CN201610514872.9A 2016-07-01 2016-07-01 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法 Active CN106154751B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610514872.9A CN106154751B (zh) 2016-07-01 2016-07-01 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610514872.9A CN106154751B (zh) 2016-07-01 2016-07-01 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106154751A CN106154751A (zh) 2016-11-23
CN106154751B true CN106154751B (zh) 2019-07-02

Family

ID=57351019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610514872.9A Active CN106154751B (zh) 2016-07-01 2016-07-01 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106154751B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106737327A (zh) * 2016-12-16 2017-05-31 中车长春轨道客车股份有限公司 直接头分体式扳手
CN110361935B (zh) * 2018-04-10 2023-10-20 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 涂布机及涂布方法和掩膜板的形成方法
CN110412837A (zh) * 2018-04-28 2019-11-05 上海微电子装备（集团）股份有限公司 喷洒装置、显影系统和显影方法
CN108405266B (zh) * 2018-05-23 2020-01-31 武汉华星光电技术有限公司 狭缝涂布装置
JP6697645B1 (ja) * 2020-03-19 2020-05-20 日東電工株式会社 押出方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101347773A (zh) * 2007-07-16 2009-01-21 泉州新日成热熔胶设备有限公司 具有改进支承机构的狭缝式涂布装置
KR20100016669A (ko) * 2008-08-05 2010-02-16 박찬휘 분수대 노즐의 회전장치
CN101915613A (zh) * 2010-08-02 2010-12-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种可双向调节缝宽的狭缝调整装置
CN102103240A (zh) * 2009-12-22 2011-06-22 天津市拓普仪器有限公司 无级可变狭缝装置
CN202778837U (zh) * 2012-07-27 2013-03-13 北京京东方光电科技有限公司 涂布装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101347773A (zh) * 2007-07-16 2009-01-21 泉州新日成热熔胶设备有限公司 具有改进支承机构的狭缝式涂布装置
KR20100016669A (ko) * 2008-08-05 2010-02-16 박찬휘 분수대 노즐의 회전장치
CN102103240A (zh) * 2009-12-22 2011-06-22 天津市拓普仪器有限公司 无级可变狭缝装置
CN101915613A (zh) * 2010-08-02 2010-12-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种可双向调节缝宽的狭缝调整装置
CN202778837U (zh) * 2012-07-27 2013-03-13 北京京东方光电科技有限公司 涂布装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106154751A (zh) 2016-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106154751B (zh) 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法
US20200406282A1 (en) Mold paint-spraying device
CN107742495A (zh) 驱动电路和显示装置
WO2019051925A1 (zh) 显示装置及其驱动方法
CN107564484A (zh) 显示装置及其驱动方法
CN101718541B (zh) 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法
CN105618340A (zh) 一种控制无溶剂复合机在不同速度下涂胶量一致的方法
CN107694834A (zh) 一种调节装置
CN104773594B (zh) 一种覆晶薄膜贴附装置
CN1887668B (zh) 导轮组
CN106425932A (zh) 多规格工件固定夹具
WO2019184114A1 (zh) 显示装置及其驱动方法
CN108356503B (zh) 压合装置
CN110415661A (zh) 液晶显示装置及其驱动方法
CN106681034B (zh) 基板切割机夹板垫片组合及基板切割方法
CN103885220B (zh) 一种用于显示装置的物料粘贴装置
CN211843423U (zh) 一种印刷开槽机的调节装置
CN106646949B (zh) 点灯测试设备及点灯测试方法
CN206106660U (zh) 一种多工位全自动激光打标机
CN208008119U (zh) 一种用于涂布设备中的气胀轴安装座
CN104503114A (zh) 压接设备和方法
CN205594262U (zh) 治具
CN108405266A (zh) 狭缝涂布装置
CN205647790U (zh) 一种网络摄像机管理系统
CN217574420U (zh) 一种便于调节的印刷设备用印刷辊

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant