CN108405266B - 狭缝涂布装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种狭缝涂布装置。所述狭缝涂布装置包括：载台、设于所述载台上方的第一喷嘴和第二喷嘴、与所述第一喷嘴及第二喷嘴相连的喷嘴升降机构以及与所述喷嘴升降机构电性连接的控制单元；所述控制单元能控制所述喷嘴升降机构对所述第一喷嘴和第二喷嘴进行升降，以选中所述第一喷嘴或第二喷嘴进行狭缝涂布，利用第一喷嘴和第二喷嘴交替工作，在一个喷嘴清理维护时，通过另一个喷嘴继续进行狭缝涂布制程，能够减少停机时间，提升生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种狭缝涂布装置。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，Color Filter)、薄膜晶体管基板(TFT，ThinFilm Transistor)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。
在目前的液晶显示面板等平板显示装置的生产过程中，常常要用到涂布机在基板上涂布光阻，以进行图案化制程。目前最常用的涂布机为狭缝式涂布机，其包括：喷嘴，所述喷嘴包括：第一喷嘴分体及与所述第一喷嘴分体固定连接的第二喷嘴分体，所述第一喷嘴分体与所述第二喷嘴分体相对设置且之间形成有狭缝，工作时，将涂布材料注入到所述喷嘴中，并从所述喷嘴的狭缝中流出涂布到基板上。但目前的狭缝式涂布机的维护时间长工作效率不高，主要表现在以下几个方面：首先，狭缝的缝隙大小的调整过程复杂，需要设备厂商的专业人员才能操作，操作耗时较长；其次，狭缝容易堵塞，每当狭缝堵塞时，均需要停机进行清理，影响生产效率；最后，当更换涂布材料时，需要对喷嘴中残留的旧涂布材料进行清理，清理时生产无法继续，影响生产效率，并且涂布材料在一个喷嘴中频繁切换可能导致清理残留，造成产品不良。
发明内容
本发明的目的在于提供一种狭缝涂布装置，能够减少停机时间，提升生产效率。
为实现上述目的，本发明提供了一种狭缝涂布装置，包括：载台、设于所述载台上方的第一喷嘴和第二喷嘴、与所述第一喷嘴及第二喷嘴相连的喷嘴升降机构以及与所述喷嘴升降机构电性连接的控制单元；
所述控制单元能控制所述喷嘴升降机构对所述第一喷嘴和第二喷嘴进行升降，以选中所述第一喷嘴或第二喷嘴进行狭缝涂布。
所述狭缝涂布装置还包括：缝隙调整机构，所述第一喷嘴和第二喷嘴上均设有一缝隙调整机构，所述缝隙调整机构用于调整所述狭缝的缝隙大小。
所述缝隙调整机构包括：调整壁、多个间隔排列的调整柱以及与所述多个调整柱均相连的调整驱动器，所述调整壁与所述第一喷嘴的侧壁或第二喷嘴的侧壁相对设置，所述调整柱连接所述调整壁与所述第一喷嘴的侧壁或第二喷嘴的侧壁，通过调整驱动器控制所述调整柱施加至所述所述第一喷嘴的侧壁或第二喷嘴的侧壁上的力的大小控制所述第一喷嘴或第二喷嘴中的狭缝的缝隙大小。
所述狭缝涂布装置还包括：第一进料泵和第二进料泵；
所述第一进料泵与所述第一喷嘴相连，用于向所述第一喷嘴提供涂布材料；
所述第二进料泵与所述第二喷嘴相连，用于向所述第二喷嘴提供涂布材料。
所述第一喷嘴上设有间隔排列的第一主注入口、第一副注入口以及第一气泡排出口；
所述第二喷嘴上设有间隔排列的第二主注入口、第二副注入口以及第二气泡排出口；
所述第一进料泵与所述第一主注入口和第一副注入口相连，所述第二进料泵与第二主注入口和第二副注入口相连。
所述第一喷嘴和第二喷嘴均包括：左喷嘴分体以及与所述左喷嘴分体相对设置并固定连接的右喷嘴分体，所述狭缝形成于左喷嘴分体与右喷嘴分体之间。
所述喷嘴升降机构包括：升降轨道及升降驱动器，所述第一喷嘴和第二喷嘴分别安装于所述升降轨道的两侧，所述升降驱动器与第一喷嘴和第二喷嘴相连以带动所述第一喷嘴和第二喷嘴沿所述升降轨道升降，所述升降驱动器与所述控制单元电性连接。
所述控制单元控制所述喷嘴升降机构将所述第一喷嘴和第二喷嘴中进行狭缝涂布的一个降下，所述第一喷嘴和第二喷嘴中未进行狭缝涂布的一个升起。。
所述控制单元还用于设置第一喷嘴和第二喷嘴升降的高度，所述喷嘴升降机构根据所述控制单元的设置将所述第一喷嘴和第二喷嘴升降至对应的高度。
本发明的有益效果：本发明提供一种狭缝涂布装置，所述狭缝涂布装置包括：载台、设于所述载台上方的第一喷嘴和第二喷嘴、与所述第一喷嘴及第二喷嘴相连的喷嘴升降机构以及与所述喷嘴升降机构电性连接的控制单元；所述控制单元能控制所述喷嘴升降机构对所述第一喷嘴和第二喷嘴进行升降，以选中所述第一喷嘴或第二喷嘴进行狭缝涂布，利用第一喷嘴和第二喷嘴交替工作，在一个喷嘴清理维护时，通过另一个喷嘴继续进行狭缝涂布制程，能够减少停机时间，提升生产效率。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的狭缝涂布装置的结构图；
图2为本发明的狭缝涂布装置的第一喷嘴、第二喷嘴及喷嘴升降机构的侧视图；
图3为本发明的狭缝涂布装置的缝隙调整机构的示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1，本发明提供一种狭缝涂布装置，包括：载台10、设于所述载台上方的第一喷嘴20和第二喷嘴30、与所述第一喷嘴20及第二喷嘴30相连的喷嘴升降机构40、以及与所述喷嘴升降机构40电性连接的控制单元50；
所述控制单元50能控制所述喷嘴升降机构40对所述第一喷嘴20和第二喷嘴30进行升降，以选中所述第一喷嘴20或第二喷嘴30进行狭缝涂布。
具体地，如图2所示，为了进行有效的狭缝涂布，所述第一喷嘴20和第二喷嘴30中均形成有用于吐出涂布材料的狭缝301，进一步地，所述第一喷嘴20和第二喷嘴30均包括：左喷嘴分体91以及与所述左喷嘴分体91相对设置并固定连接的右喷嘴分体92，所述狭缝301形成于左喷嘴分体91与右喷嘴分体92之间。
具体地，为了对所述狭缝301的缝隙大小进行调整，使得狭缝涂布时，涂布材料沿所述狭缝301的延伸方向分布更均匀，所述狭缝涂布装置还包括：缝隙调整机构100，所述第一喷嘴20和第二喷嘴30上均设有一缝隙调整机构100，所述缝隙调整机构100用于调整所述狭缝301的缝隙大小。
进一步地，如图3所示，所述缝隙调整机构100包括：调整壁51、多个间隔排列的调整柱52以及与所述多个调整柱52均相连的调整驱动器53，所述调整壁51与所述第一喷嘴20的侧壁或第二喷嘴30的侧壁相对设置，所述调整柱52连接所述调整壁51与所述第一喷嘴20的侧壁或第二喷嘴30的侧壁，通过调整驱动器53控制所述调整柱52施加至所述所述第一喷嘴20的侧壁或第二喷嘴30的侧壁上的力的大小控制所述第一喷嘴20或第二喷嘴30中的狭缝301的缝隙大小。
进一步地，所述调整柱52与所述左喷嘴分体91或右喷嘴分体92相连，通过增加调整驱动器53施加到所述调整柱52上的力使得左喷嘴分体91或右喷嘴分体92的形变增大，从而减小形成于左喷嘴分体91或右喷嘴分体92之间狭缝301的缝隙大小，反之通过减小调整驱动器53施加到所述调整柱52上的力使左喷嘴分体91或右喷嘴分体92的形变减小，从而增大形成于左喷嘴分体91或右喷嘴分体92之间狭缝301.也即，所述施加到所述调整柱52上的力越大，所述狭缝301的缝隙越小。
进一步地，所述多个调整柱52沿所述狭缝301的延伸方向间隔分布，从而在调整时，可根据涂布时涂布材料沿所述狭缝301的延伸方向的均匀性，判断出所述狭缝301的缝隙大小不均匀的位置，并对应调整施加到该位置的调整柱52的力，使得狭缝301的缝隙大小均匀，所述调整驱动器53与所述多个调整柱52相连，能够独立调整施加到每一个调整柱52上的力的大小。
具体地，所述狭缝涂布装置，还包括：第一进料泵61和第二进料泵62；所述第一进料泵61与所述第一喷嘴20相连，用于向所述第一喷嘴20提供涂布材料；所述第二进料泵62与所述第二喷嘴30相连，用于向所述第二喷嘴30提供涂布材料。
进一步地，如图2所示，所述第一喷嘴20上设有间隔排列的第一主注入口71、第一副注入口72以及第一气泡排出口73；所述第二喷嘴30上设有间隔排列的第二主注入口81、第二副注入口82以及第二气泡排出口83；所述第一进料泵61与所述第一主注入口71和第一副注入口72相连，所述第二进料泵62与第二主注入口81和第二副注入口82相连。
需要说明的是，
具体地，如图2所示，所述喷嘴升降机构40包括：升降轨道41及升降驱动器42，所述第一喷嘴20和第二喷嘴30分别安装于所述升降轨道41的两侧，所述升降驱动器42与第一喷嘴20和第二喷嘴30相连以带动所述第一喷嘴20和第二喷嘴30沿所述升降轨道41升降，所述升降驱动器42与所述控制单元50电性连接。
进一步地，所述控制单元50控制所述喷嘴升降机构40将所述第一喷嘴20和第二喷嘴30中进行狭缝涂布的一个降下，所述第一喷嘴20和第二喷嘴30中未进行狭缝涂布的一个升起，使得所述第一喷嘴20的底端与所述第二喷嘴30的底端始终相差2～6厘米，防止未进行狭缝涂布的喷嘴影响正在进行狭缝涂布的喷嘴的正常工作。
进一步地，所述控制单元50还用于设置第一喷嘴20和第二喷嘴30升降的高度，所述喷嘴升降机构40根据所述控制单元50的设置将所述第一喷嘴20和第二喷嘴30升降至对应的高度。通过对所述第一喷嘴20和第二喷嘴30升降的高度的控制，能够根据制程需要控制所述第一喷嘴20和第二喷嘴30与待涂布的基板之间的距离。
需要说明的是，本发明的狭缝涂布装置正常工作时，会选中第一喷嘴20进行狭缝涂布，而第二喷嘴30处于升起状态不进行狭缝涂布，当所述第一喷嘴20的狭缝301中进入大颗粒异物导致堵塞时，可将所述第一喷嘴20升起进行故障排除，同时第二进料泵62打开向第二喷嘴30提供涂布材料，第二喷嘴30下降取代第一喷嘴30进行狭缝涂布，减少停机时间，提升生产效率。
进一步地，在需要采用不同的涂布材料进行狭缝涂布时，本发明的狭缝涂布装置可先将两种不同的涂布材料填充到第一进料泵61和第二进料泵62中，接着用第一进料泵61向第一喷嘴20提供一种涂布材料进行涂布，然后切换至第二进料泵62向第二喷嘴30提供另一种涂布材料进行涂布，切换过程中无需进行喷嘴的清理等过程，减少停机时间，提升生产效率，且不同材料采用不同的进料泵和喷嘴，还能够避免不同材料之间的污染，提升产品良率。
综上所述，本发明提供一种狭缝涂布装置，所述狭缝涂布装置包括：载台、设于所述载台上方的第一喷嘴和第二喷嘴、与所述第一喷嘴及第二喷嘴相连的喷嘴升降机构以及与所述喷嘴升降机构电性连接的控制单元；所述控制单元能控制所述喷嘴升降机构对所述第一喷嘴和第二喷嘴进行升降，以选中所述第一喷嘴或第二喷嘴进行狭缝涂布，利用第一喷嘴和第二喷嘴交替工作，在一个喷嘴清理维护时，通过另一个喷嘴继续进行狭缝涂布制程，能够减少停机时间，提升生产效率。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (6)
1.一种狭缝涂布装置，其特征在于，包括：载台(10)、设于所述载台上方的第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)、与所述第一喷嘴(20)及第二喷嘴(30)相连的喷嘴升降机构(40)以及与所述喷嘴升降机构(40)电性连接的控制单元(50)；
所述控制单元(50)能控制所述喷嘴升降机构(40)对所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)进行升降，以选中所述第一喷嘴(20)或第二喷嘴(30)进行狭缝涂布；
所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)中均形成有用于吐出涂布材料的狭缝(301)；
还包括：缝隙调整机构(100)，所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)上均设有一缝隙调整机构(100)，所述缝隙调整机构(100)用于调整所述狭缝(301)的缝隙大小；
所述缝隙调整机构(100)包括：调整壁(51)、多个间隔排列的调整柱(52)以及与所述多个调整柱(52)均相连的调整驱动器(53)，所述调整壁(51)与所述第一喷嘴(20)的侧壁或第二喷嘴(30)的侧壁相对设置，所述调整柱(52)连接所述调整壁(51)与所述第一喷嘴(20)的侧壁或第二喷嘴(30)的侧壁，通过调整驱动器(53)控制所述调整柱(52)施加至所述第一喷嘴(20)的侧壁或第二喷嘴(30)的侧壁上的力的大小控制所述第一喷嘴(20)或第二喷嘴(30)中的狭缝(301)的缝隙大小；
所述喷嘴升降机构(40)包括：升降轨道(41)及升降驱动器(42)，所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)分别安装于所述升降轨道(41)的两侧，所述升降驱动器(42)与第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)相连以带动所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)沿所述升降轨道(41)升降，所述升降驱动器(42)与所述控制单元(50)电性连接。
2.如权利要求1所述的狭缝涂布装置，其特征在于，还包括：第一进料泵(61)和第二进料泵(62)；
所述第一进料泵(61)与所述第一喷嘴(20)相连，用于向所述第一喷嘴(20)提供涂布材料；
所述第二进料泵(62)与所述第二喷嘴(30)相连，用于向所述第二喷嘴(30)提供涂布材料。
3.如权利要求2所述的狭缝涂布装置，其特征在于，所述第一喷嘴(20)上设有间隔排列的第一主注入口(71)、第一副注入口(72)以及第一气泡排出口(73)；
所述第二喷嘴(30)上设有间隔排列的第二主注入口(81)、第二副注入口(82)以及第二气泡排出口(83)；
所述第一进料泵(61)与所述第一主注入口(71)和第一副注入口(72)相连，所述第二进料泵(62)与第二主注入口(81)和第二副注入口(82)相连。
4.如权利要求1所述的狭缝涂布装置，其特征在于，所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)均包括：左喷嘴分体(91)以及与所述左喷嘴分体(91)相对设置并固定连接的右喷嘴分体(92)，所述狭缝(301)形成于左喷嘴分体(91)与右喷嘴分体(92)之间。
5.如权利要求1所述的狭缝涂布装置，其特征在于，所述控制单元(50)控制所述喷嘴升降机构(40)将所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)中进行狭缝涂布的一个降下，所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)中未进行狭缝涂布的一个升起。
6.如权利要求1所述的狭缝涂布装置，其特征在于，所述控制单元(50)还用于设置第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)升降的高度，所述喷嘴升降机构(40)根据所述控制单元(50)的设置将所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)升降至对应的高度。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810502027.9A CN108405266B (zh) | 2018-05-23 | 2018-05-23 | 狭缝涂布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810502027.9A CN108405266B (zh) | 2018-05-23 | 2018-05-23 | 狭缝涂布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108405266A CN108405266A (zh) | 2018-08-17 |
| CN108405266B true CN108405266B (zh) | 2020-01-31 |
Family
ID=63140425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810502027.9A Active CN108405266B (zh) | 2018-05-23 | 2018-05-23 | 狭缝涂布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108405266B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7450571B2 (ja) * | 2021-03-10 | 2024-03-15 | 株式会社日立製作所 | 液滴塗布装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5600624B2 (ja) * | 2011-03-22 | 2014-10-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 |
| CN106154751B (zh) * | 2016-07-01 | 2019-07-02 | 武汉华星光电技术有限公司 | 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法 |
-
2018
- 2018-05-23 CN CN201810502027.9A patent/CN108405266B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108405266A (zh) | 2018-08-17 |
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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