CN106142800A - 成膜装置及成膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种成膜装置，其包括采用透明材质制成的收容治具，包括有有至少一个容置槽，所述至少一个容置槽用于收容待成膜的零件，所述至少一个容置槽的尺寸大于所述零件的尺寸；与所述收容治具相对的盖板，用于与所述收容治具相配合将所述零件收容于容置槽内；真空收容加压部，包括用于收容所述收容治具及盖板的真空腔体；以及紫外光固化部，所述紫外光固化部用于透过所述真空腔体及收容治具向所述容置槽提供紫外光线。本发明还涉及一种利用上述成膜装置的成膜方法。

Description

成膜装置及成膜方法

技术领域

本发明涉及一种成膜装置及一种成膜方法。

背景技术

通常，通过喷涂等方式在电子产品的零部件表面形成保护膜层。然而喷涂方式形成的膜层均匀度较差，容易产生死角即零部件表面部分区域未形成膜层，并且喷涂成膜所需要的喷涂装置体积比较庞大，所需要的投资金额也较大。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种均匀性较好且成本较低的成膜装置及一种成膜方法。

一种成膜装置，包括：收容治具，所述收容治具为采用透明材质制作形成，所述收容治具内形成有至少一个容置槽，所述至少一个容置槽用于收容待成膜的零件，所述至少一个容置槽的尺寸大于待成膜的所述零件的尺寸；盖板，与所述收容治具相对，用于与所述收容治具相配合从而将待成膜零件收容于收容治具的容置槽内；真空收容加压部，包括用于收容所述收容治具及盖板的真空腔体，其中，所述真空腔体的侧壁及底壁透光；以及紫外光固化部，所述紫外光固化部用于透过所述真空腔体及收容治具向所述容置槽提供紫外光线。

一种成膜方法，包括步骤：提供一如上所述的成膜装置；在所述收容治具的容置槽的底部注入紫外光固化胶体；将待成膜的零件一一对应容置于所述至少一个容置槽内，将所述盖板盖设于所述收容治具及待成膜的所述零件上，所述零件与对应的所述容置槽的侧壁间形成有间隙；将收容有所述零件的收容治具及盖板容置于所述真空收容加压部的真空腔体，对所述真空腔体内抽真空，并向所述盖板加压，使所述容置槽底部的部分紫外光固化胶体流动填满所述间隙；使所述紫外光固化部固化所述紫外光固化胶体从而在每个所述零件的表面形成一膜层；以及将每个所述零件连带所述膜层一起与所述收容治具分离，得到表面形成有所述膜层的零件。

相较于现有技术，本技术方案的成膜装置及成膜方法通过在一个透明的收容治具内设待成膜零件，通过真空收容加压部使所述收容治具内的胶体均匀流动，从而在所述收容治具的容置槽的底部及与所述待成膜零件之间的间隙内填充紫外光固化胶体，并通过紫外光照使所述紫外光固化胶体，从而可以在所述待成膜零件表面形成一均匀的膜层，并且不容易产生死角；另外，本技术方案的成膜厚度可以通过容置槽的尺寸来控制，即膜层厚度容易控制。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的收容有待成膜零件的成膜装置的剖面示意图。

图2为将图1的真空收容加压部的真空腔体抽真空并向盖板加压后使紫外光固化胶体填满收容治具与待成膜零件之间的空隙后的剖面示意图。

图3为图2中待成膜零件脱膜后的剖面示意图。

图4为本发明第二实施例提供的成膜方法的流程示意图。

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

主要元件符号说明

成膜装置	10
		收容治具	111
盖板	112
		真空收容加压部	113
紫外光固化部	114
		弹性元件	115
上表面	1111
		下表面	1112
容置槽	1113
		定位孔	1114
收容孔	1115
		顶面	1121
底面	1122
		侧面	1120
定位柱	1123
		逃气通道	1124
真空腔体	1131
		活塞	1132
真空气泵	1133
		零件	30
间隙	21
		UV光固化胶体	20
膜层	40

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

如图1-3所示，本发明第一实施例提供的成膜装置10包括收容治具111、盖板112、真空收容加压部113、紫外（UV）光固化部114及弹性元件115。

所述收容治具111为采用透明材质制作形成，如透明塑料如聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯中的一种或几种，或透明玻璃等，以使所述收容治具111能够透光，特别是能够透过紫外光。所述收容治具111包括相背的上表面1111及下表面1112。所述收容治具111内形成有一个容置槽1113，所述容置槽1113自所述上表面1111向所述下表面1112延伸，所述容置槽1113用于收容待成膜的零件。所述容置槽1113的形状与待成膜零件的形状相同，所述容置槽1113的尺寸大于待成膜的所述零件的尺寸，以使待成膜所述的零件置于所述容置槽1113内时与所述容置槽1113的底壁及侧壁之间均可以有一定的间隙，所述间隙的宽度与预设的待成膜的厚度相当。所述收容治具111上还形成有多个定位孔1114及多个收容孔1115，所述多个定位孔1114及所述多个收容孔1115均位于所述容置槽1113的周围且自所述上表面1111向所述收容治具111内部延伸。

在其他实施例中，所述容置槽1113的槽壁表面还可以形成有一离型层（图未示），所述离型层可以通过在容置槽1113的槽壁镀覆或喷涂离型剂等方式形成，所述离型层用于使成膜后的零件更容易脱离所述容置槽1113。

在其它实施例中，所述容置槽1113的数量还可以为多个，当所述收容治具111内形成多个容置槽1113时，这样的收容治具111可以同时收容多个待成膜零件。

所述盖板112用于与所述收容治具111相配合从而将待成膜的零件收容于收容治具111的容置槽1113内。所述盖板112包括顶面1121、底面1122及侧面1120，所述顶面1121与所述底面1122相背，所述侧面1120连接所述顶面1121与所述底面1122。所述盖板112的底面1122与所述收容治具111的上表面1111相对且可以相贴配合。所述底面1122凸设有多个定位柱1123，所述多个定位柱1123与所述多个定位孔1114一一对应且可收容于对应的定位孔1114内。所述底面1122还凹设有至少一个逃气通道1124，所述逃气通道1124还延伸至所述侧面1120，所述逃气通道1124与所述容置槽1113的靠边缘位置相对应，当所述盖板112与所述收容治具111相配合时，所述逃气通道1124与所述容置槽1113相通。

所述弹性元件115设置于所述收容治具111与所述盖板112之间。本实施例中，所述弹性元件115为多个弹簧，所述多个弹簧的与所述多个收容孔1115一一对应且分别收容于对应的收容孔1115内，所述弹簧处于自然状态时长度大于对应的收容孔1115的深度，从而，当弹簧一端与所述收容孔1115的底部接触时，另一端突出于所述上表面1111。

在其它实施例中，所述弹性元件115还可以为弹片等。所述弹性元件115还可以不设置于所述收容孔1115内，而直接连接于所述收容治具111的上表面1111；所述弹性元件115还可以设置于所述盖板112的底面1122。

所述真空收容加压部113包括一真空腔体1131、一活塞1132及一真空气泵1133。所述真空腔体1131用于收容相配合的收容治具111及盖板112。本实施例中，所述真空腔体1131的侧壁及底壁均设有透明窗口（图未示）以透过光线。所述活塞1132可以在所述真空腔体1131内做往复运动，用于向真空腔体1131内所述盖板112加压。所述真空气泵与所述真空腔体1131相连以对所述真空腔体1131抽真空。在其他实施例中，所述真空腔体1131也可以全部由透明材料合围形成。

所述UV光固化部114包括一个UV光源，所述UV光源用于发出UV光线。本实施例中，所述UV光固化部114设置于所述真空收容加压部113外侧，且其发射的UV光线可通过真空腔体1131的透明窗口进入所述真空腔体1131。

请一并参阅图1-4，本发明第二实施例提供的成膜方法包括如下步骤：

S12，提供一如第一实施例所述的成膜装置10。

S14，在所述收容治具111的容置槽1113内注入UV光固化胶体20。所述UV光固化胶体20因具有流动性而形成于所述容置槽1113的底部。所述UV光固化胶体20的注入量可以根据待成膜的厚度、待成膜的零件的尺寸及所述容置槽1113的尺寸计算得到。

S16，将一待成膜的零件30容置于所述容置槽1113内，并将所述盖板112盖设于所述收容治具111及待成膜的所述零件30上，所述多个定位柱1123均部分收容于对应的定位孔1114内，且所述彈性元件115顶住所述盖板112的底面1122。

部分收容也即，每个所述定位柱1123的朝向收容治具111的端面与所述定位孔1114的底部均形成有间距。

因所述容置槽1113的尺寸大于所述待成膜零件30的尺寸，故，所述容置槽1113的侧壁与待成膜的所述零件30之间形成有间隙21。

S18，将所述收容有待成膜零件30的收容治具111及盖板112容置于所述真空收容加压部113的真空腔体1131，通过所述真空气泵对所述真空腔体1131内抽真空，并推动所述活塞1132向所述盖板112加压，使部分UV光固化胶体20被挤压填满所述间隙21，从而容置槽1113底部的UV光固化胶体20的厚度减薄。

因所述真空腔体1131内为真空，且所述逃气通道1124延伸至所述侧面1120且与所述容置槽1113相通，故，所述间隙21与所述真空腔体1131也相通从而也为真空，在真空与压力的同时作用下，所述收容治具111的容置槽1113底部的UV光固化胶体20可以向所述间隙21流动直至填满所述间隙21，且流动时不会产生气泡，从而使形成的膜层更为均匀致密。并且，所述盖板112与所述收容治具111之间设置有所述弹性元件115，因弹性元件115的缓冲作用及可压缩特性，加压可使所述盖板112 的底面1122靠近所述收容治具111的上表面1111的速度平稳缓慢，使UV光固化胶体20可以不产生飞溅而均匀的逐渐的填满所述间隙21。

将所述盖板112盖设于所述收容治具111及待成膜的所述零件30上时，设置每个所述定位柱1123的朝向收容治具111的端面与所述定位孔1114的底部均形成有间距，原因即为了避免定位柱1123阻挡所述盖板112的移动，使所述盖板112 的底面1122逐渐的靠近所述收容治具111的上表面1111时，每个所述定位柱1123的朝向收容治具111的端面也逐渐靠近所述定位孔1114的底部。

其中，可以通过控制压力、设定弹簧的最大压缩尺寸、或设定定位柱1123长度与定位孔1114的深度关系等方式使留在容置槽1113底部的UV光固化胶体的厚度与间隙21厚度相同。

S20，通过所述UV光固化部114固化所述容置槽1113底部及所述间隙21内的UV光固化胶体20从而在待成膜的所述零件30表面形成一膜层40。

所述UV光固化部114发出UV光线并照射所述收容治具111，从而因所述收容治具111为透明材质制成，故UV光线可以透过所述收容治具111照射所述收容治具111的容置槽1113内的UV光固化胶体20，使UV光固化胶体20固化形成所述膜层40。

S22，将所述收容治具111、盖板112并零件30自所述真空腔体1131中取出，并将所述零件30连带所述膜层40一起与所述收容治具111分离，得到表面形成有膜层40的零件。

本技术方案的成膜装置及成膜方法通过在一个透明的收容治具内设待成膜的零件，通过真空收容加压部使所述收容治具内的胶体均匀流动，从而在所述收容治具的容置槽的底部及与待成膜的所述零件之间的间隙内填充紫外光固化胶体，并通过紫外光照使所述紫外光固化胶体，从而可以在待成膜的所述零件表面形成一均匀的膜层，并且不容易产生死角；另外，本技术方案的成膜厚度可以通过容置槽的尺寸来控制，即膜层厚度容易控制。

可以理解的是，本领域技术人员还可在本发明精神内做其它变化等用在本发明的设计，只要其不偏离本发明的技术效果均可。这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种成膜装置，包括：

收容治具，所述收容治具为采用透明材质制作形成，所述收容治具内形成有至少一个容置槽，所述至少一个容置槽用于收容待成膜的零件，所述至少一个容置槽的尺寸大于所述待成膜零件的尺寸；

盖板，与所述收容治具相对，用于与所述收容治具相配合从而将待成膜的零件收容于收容治具的容置槽内；

真空收容加压部，包括用于收容所述收容治具及盖板的真空腔体，其中，所述真空腔体的侧壁及底壁透光；以及

紫外光固化部，所述紫外光固化部用于透过所述真空腔体及收容治具向所述容置槽提供紫外光线。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述至少一个容置槽的槽壁表面形成有一离型层，所述离型层通过在所述至少一个容置槽的槽壁镀覆或喷涂离型剂形成。

3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述收容治具的朝向所述盖板的表面为上表面，所述收容治具上形成有多个定位孔，所述多个定位孔均位于所述容置槽的周围且自所述收容治具的上表面向所述收容治具内部延伸，所述盖板上凸设有多个定位柱，所述多个定位柱与所述多个定位孔一一对应且可收容于对应的定位孔内。

4.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述成膜装置还包括一设于所述收容治具与所述盖板之间的弹性元件。

5.如权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，所述弹性元件为多个弹簧；所述收容治具的朝向所述盖板的表面为上表面，所述收容治具上形成有多个收容孔，所述多个收容孔均位于所述容置槽的周围且自所述收容治具的上表面向所述收容治具内部延伸，所述多个弹簧的与所述多个收容孔一一对应且分别收容于对应的收容孔内，所述弹簧处于自然状态时长度大于对应的收容孔的深度，当弹簧一端与所述收容孔的底部接触时，另一端突出于所述上表面。

6.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述盖板包括相对的顶面和底面，及连接顶面与底面的侧面，所述底面与所述收容治具相对，所述底面凹设有至少一个逃气通道，所述逃气通道还延伸至所述侧面，所述逃气通道与所述容置槽的靠边缘位置相对应，当所述盖板与所述收容治具相配合时，所述逃气通道与所述容置槽相通。

7.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述真空收容加压部还包括一真空气泵，所述真空气泵与所述真空腔体相连以对所述真空腔体抽真空。

8.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述真空收容加压部还包括一活塞，所述活塞可以在所述真空腔体内做往复运动，用于向收容于所述真空腔体内的盖板施压。

9.一种成膜方法，包括步骤：

提供一如权利要求1至7任一项所述的成膜装置；

在所述收容治具的容置槽的底部注入紫外光固化胶体；

将待成膜的零件一一对应容置于所述至少一个容置槽内，将所述盖板盖设于所述收容治具及待成膜的所述零件上，每个所述零件与对应的所述容置槽的侧壁间形成有间隙；

将收容有所述零件的收容治具及盖板容置于所述真空收容加压部的真空腔体，对所述真空腔体内抽真空，并向所述盖板加压，使所述容置槽底部的部分紫外光固化胶体流动填满所述间隙；

之后，使所述紫外光固化部固化所述紫外光固化胶体从而在每个所述零件的表面形成一膜层；以及

将每个所述零件连带所述膜层一起与所述收容治具分离，得到表面形成有所述膜层的零件。

10.如权利要求9所述的成膜方法，其特征在于，提供一如权利要求5所述的成膜装置；将所述盖板盖设于所述收容治具及待成膜的所述零件上时，使所述多个定位柱均部分收容于对应的定位孔内，且使所述弹簧一端抵住所述收容孔的底部，另一端顶住所述盖板；推动所述活塞向所述盖板加压时，使所述多个定位柱逐渐靠近对应的定位孔的底部。