CN105990376B - 显示设备及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种显示设备及其制造方法。该显示设备包括：第一基板，包括显示区域以及围绕显示区域的周围区域，显示区域包括多个像素；多条驱动信号传输线，在第一基板上并被布置在周围区域中；第一绝缘层，在第一基板上并被布置在多条驱动信号传输线下方；以及第二绝缘层，在多条驱动信号传输线的一部分上并被布置在显示区域中，并且第一绝缘层包括在多条驱动信号传输线中彼此相邻的两条驱动信号传输线之间的沟槽，并且第二绝缘层的边缘部分与沟槽重叠。

Description

显示设备及其制造方法
相关申请的交叉引用
此申请要求2015年3月17日提交到韩国知识产权局的韩国专利申请No.10-2015-0036961的优先权和权益，其全部内容通过引用被合并于此。
技术领域
本发明实施例的方面涉及显示设备和显示设备的制造方法。
背景技术
随着显示设备的面积增大，信号线被拉长，并因此信号线的电阻增加。如上所述，如果信号线的电阻增加，可能产生信号延迟或电压降，为了解决这些问题，有必要使用具有低电阻率的材料形成信号线。因此，作为具有低电阻率的材料中的一种，银(Ag)可以被用来形成诸如数据线的导线。
然而，在银(Ag)被沉积之后，银(Ag)离子可能残留，然后蔓延到设置在信号线附近的绝缘层的边界部分，由此导致相邻信号线之间的导线短路。
在此背景技术部分公开的上述信息仅用于增强对本发明背景的理解，并因此其可能包含不构成在该国家本领域普通技术人员已经知晓的现有技术的信息。
发明内容
根据本发明实施例的一方面，显示设备可以防止或基本上防止由残留在设置在信号线附近的绝缘层的边缘上的银(Ag)在相邻信号线之间产生的导线短路。
根据本发明的一个或多个示例性实施例，显示设备包括：第一基板，包括显示区域以及围绕显示区域的周围区域，显示区域包括多个像素；多条驱动信号传输线，在第一基板上并被布置在周围区域中；第一绝缘层，在第一基板上并被布置在多条驱动信号传输线下方；以及第二绝缘层，在多条驱动信号传输线的一部分上并被布置在显示区域中，并且第一绝缘层包括在多条驱动信号传输线中彼此相邻的两条驱动信号传输线之间的沟槽，并且第二绝缘层的边缘部分与沟槽重叠。
驱动信号传输线可以包括银(Ag)。
驱动信号传输线中的每一条可以包括第一膜、设置在第一膜上的第二膜、以及设置在第二膜上的第三膜。
第二膜可以包括银(Ag)。
第一膜和第三膜可以包括钛(Ti)。
显示设备可以进一步包括布置在第一基板上的数据线，并且多条驱动信号传输线中的一驱动信号传输线可以连接到数据线。
在第一绝缘层中的沟槽可以有多个，并且第二绝缘层的边缘部分可以有多个并与多个沟槽的至少一部分重叠。
显示设备可以进一步包括在第一绝缘层下方的第三绝缘层，并且沟槽可以在第一绝缘层和第三绝缘层中。
根据本发明实施例的一方面，在显示设备中，可以防止或基本上防止由于残留在设置在信号线周围的绝缘层的边缘上的银(Ag)在相邻信号线之间产生导线短路。
附图说明
图1是根据本发明一个示例性实施例的显示设备的示意性布局图。
图2是沿线II-II截取的、图1的显示设备的剖视图。
图3是沿线III-III截取的、图1的显示设备的剖视图。
图4是常规显示设备的绝缘层的边界部分的剖视图。
图5和图6是常规显示设备的绝缘层的边界部分的剖视图。
图7是金属纳米颗粒的枝晶现象的电子显微镜照片。
图8是根据本发明一个示例性实施例的显示设备的绝缘层的边界部分的剖视图。
图9是沿图1的线II-II截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图。
图10是沿图1的线III-III截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图。
图11是沿图1的线II-II截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图。
图12是沿图1的线III-III截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图。
对图中表示一些要素的附图标记的说明
100：显示区域 110：绝缘基板
120：栅绝缘层 130：第一绝缘层
140：第二绝缘层 141：边缘部分
200：驱动器 31：驱动信号传输线
32a：金属纳米颗粒 41：沟槽
具体实施方式
在本文中参考其中示出了本发明一些示例性实施例的附图更充分地描述本发明一些示例性实施例的方面和特征。然而，本发明可以以不同的形式体现，并且不应当被认为限于本文所提出的实施例。相反，提供这些实施例是为了向本领域技术人员传达本发明的范围。如本领域技术人员将认识到的那样，所描述的实施例可以以各种不同的方式来修改，所有这些都不脱离本发明的精神或范围。
在图中，为了清楚，层、膜、面板、区域等的厚度可能被夸大。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的要素。将理解的是，当诸如层、膜、区域或基板的要素被称为在另一要素“上”时，其可以直接在另一要素上，或者也可以存在一个或多个中间要素。相反，当要素被称为“直接”在另一要素“上”时，不存在中间要素。
将参考图1至图3描述根据本发明一个示例性实施例的显示设备。图1是根据本发明一个示例性实施例的显示设备的示意性布局图；图2是沿线II-II截取的、图1的显示设备的剖视图；并且图3是沿线III-III截取的、图1的显示设备的剖视图。
参考图1和图2，根据本示例性实施例的显示设备包括：包含多个像素PX的显示区域100、设置在显示区域100附近并将驱动信号传输到显示区域100的驱动器200、以及设置在显示区域100和驱动器200之间的多条驱动信号传输线31。
参考图2和图3，栅绝缘层120被设置在绝缘基板110上，并且第一绝缘层130被设置在栅绝缘层120上。多条驱动信号传输线31被设置在第一绝缘层130上。多条驱动信号传输线31中的每一条可以包括：第一膜31p、设置在第一膜31p上的第二膜31q、以及设置在第二膜31q上的第三膜31r。第一膜31p和第三膜31r可以包括钛(Ti)，并且第二膜31q可以包括银(Ag)。
第二绝缘层140被设置在显示区域100和驱动信号传输线31的一部分上。栅绝缘层120和第一绝缘层130包括沟槽41，该沟槽41被设置在彼此相邻的两条驱动信号传输线31之间并且与第二绝缘层140的边缘重叠。
在一个示例性实施例中，沟槽41与第二绝缘层140的设置在彼此相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141重叠，沟槽41被设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间，并且沟槽41被形成在栅绝缘层120和第一绝缘层130中。
因此，在部分地设置在驱动信号传输线31上的第二绝缘层140的边缘当中，设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的第二绝缘层140的边缘部分141被设置在沟槽41中。也就是说，第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141与沟槽41重叠。以这种方式，由于第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141被设置在沟槽41中，而沟槽41被设置在栅绝缘层120和第一绝缘层130中，栅绝缘层120和第一绝缘层130被设置在驱动信号传输线31下方，因此第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的表面高度低于第一绝缘层130的表面。因此，尽管第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141可能被提升，提升也不会高于第一绝缘层130的表面高度。
驱动信号传输线31可以连接到设置在显示区域100中的数据线。
将参考图4至图7描述常规显示设备的第二绝缘层140'的边缘。图4是常规显示设备的绝缘层的边界部分的剖视图；图5和图6是常规显示设备的绝缘层的边界部分的剖视图；并且图7是金属纳米颗粒的枝晶现象的电子显微镜照片。
参考图4，在分离部分51处，当在栅绝缘层120'上方的第一绝缘层130'上形成第二绝缘层140'时，第二绝缘层140'的边缘部分141'可能被提升。
然而，依据根据本发明一个示例性实施例的显示设备，如图3所示，当在第一绝缘层130上形成第二绝缘层140时，在第二绝缘层140的边缘之中设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141与形成在栅绝缘层120和第一绝缘层130中的沟槽41重叠。
因此，尽管第二绝缘层140的边缘可能被提升，但在第二绝缘层140的边缘之中设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141被设置在多个沟槽41中。因此，设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的分离部分51被设置在沟槽41中。因而，尽管第二绝缘层140的边缘被提升，但是第二绝缘层140的边缘部分141的分离部分51的高度低于第一绝缘层130的表面的高度。
当在第二绝缘层140上形成附加的金属层时，驱动信号传输线31的未被第二绝缘层140覆盖的部分成分与用于形成附加金属层的蚀刻剂反应，并且可能在第二绝缘层140的边缘附近残留。这将参考图5和图6详细描述。
图5和图6是常规显示设备的绝缘层的边界部分的剖视图。
首先，参考图5，当在第一绝缘层130'上形成第二绝缘层140'时，第二绝缘层140'的边缘被提升，使得在第二绝缘层140'的边缘和第一绝缘层130'之间产生分离部分51。在这种情况下，在形成第二绝缘层140'后，当在第二绝缘层140'上形成附加的金属层时，驱动信号传输线31'的未被第二绝缘层140'覆盖的金属成分可能以纳米颗粒形状残留在提升的第二绝缘层140'的边缘下方的分离部分51中。具体地说，驱动信号传输线31'的金属成分的金属纳米颗粒32a残留在第二绝缘层140'的边缘和第一绝缘层130'之间的分离部分51中。
金属纳米颗粒32a可以是包括在驱动信号传输线31'中的成分，例如铝(Al)。
以这种方式，残留在第二绝缘层140'的边缘下方的金属纳米颗粒32a在显示设备的高温或高湿情况下由于枝晶现象在相邻驱动信号传输线31'之间蔓延，并且如图6所示，相邻驱动信号传输线31'可能被短路。
接下来将参考图7描述设置在提升的第二绝缘层140'的边缘下方的金属纳米颗粒32a的枝晶现象。图7是金属纳米颗粒的枝晶现象的电子显微镜照片。
参考图7，不同于根据本发明示例性实施例的显示设备，当形成第二绝缘层140'而不形成与第二绝缘层140'的边缘重叠的沟槽41时，可以确认在第二绝缘层140'的边缘部分141'下方设置的金属纳米颗粒32a被逐渐蔓延。
如上所述，根据常规显示设备，由于第二绝缘层140'被设置在第一绝缘层130'上并且第二绝缘层140'的边缘的下表面的高度与第一绝缘层130'的高度大致相同，第二绝缘层140'的边缘被提升，使得设置在第一绝缘层130'上的相邻驱动信号传输线31'可以由残留在第二绝缘层140'的边缘下方的金属纳米颗粒32a的扩散短路。
接下来将参考图8描述根据本发明一个示例性实施例的显示设备的第二绝缘层140的边缘。图8是根据本发明一个示例性实施例的显示设备的绝缘层的边界部分的剖视图。
如图8所示，在根据本发明一个示例性实施例的显示设备中，设置在第一绝缘层130上的第二绝缘层140的边缘之中设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141与形成在第一绝缘层130和设置在第一绝缘层130下方的栅绝缘层120中的沟槽41重叠。
因此，尽管在第二绝缘层140的边缘之中设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141可能被提升，但是被提升的第二绝缘层140的边缘部分141的分离部分被设置在沟槽41中，该沟槽41被形成在栅绝缘层120和第一绝缘层130中，栅绝缘层120和第一绝缘层130被设置在第二绝缘层140下方。因此，第二绝缘层140的边缘部分141的下表面的高度低于第一绝缘层130的表面高度。因此，尽管残留在第二绝缘层140的边缘部分141下方的金属纳米颗粒32a可能由枝晶现象蔓延，金属纳米颗粒32a也不会触及设置在第一绝缘层130上的驱动信号传输线31。因此，尽管残留在第二绝缘层140的边缘部分141下方的金属纳米颗粒32a可能被蔓延，但是可以防止或基本上防止相邻驱动信号传输线31彼此短路。
接下来将参考图9和图10以及图1描述根据本发明另一示例性实施例的显示设备。图9是沿图1的线II-II截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图；并且图10是沿图1的线III-III截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图。
参考图9和图10连同图1，根据本发明另一示例性实施例的显示设备与上面参考图1至图3和图8描述的示例性实施例的显示设备相似。因此，类似构成要素的详细描述被省略。
根据本示例性实施例的显示设备包括：包含多个像素PX的显示区域100、设置在显示区域100附近并将驱动信号传输到显示区域100的驱动器200、以及设置在显示区域100和驱动器200之间的多条驱动信号传输线31。
栅绝缘层120被设置在绝缘基板110上，并且第一绝缘层130被设置在栅绝缘层120上。多条驱动信号传输线31被设置在第一绝缘层130上。多条驱动信号传输线31中的每一条可以包括第一膜31p、设置在第一膜31p上的第二膜31q、以及设置在第二膜31q上的第三膜31r。第一膜31p和第三膜31r可以包括钛(Ti)，并且第二膜31q可以包括银(Ag)。
第二绝缘层140被设置在显示区域100和驱动信号传输线31的一部分上。栅绝缘层120和第一绝缘层130包括多个沟槽41，该多个沟槽41在彼此相邻的两条驱动信号传输线31之间并且与第二绝缘层140的边缘重叠。
在一个示例性实施例中，多个沟槽41与第二绝缘层140的设置在彼此相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141重叠，沟槽41被设置在相邻的两条的驱动信号传输线31之间，并且沟槽41被设置形成在栅绝缘层120和第一绝缘层130中。
因此，在设置在驱动信号传输线31的一部分上的第二绝缘层140的边缘当中，设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的第二绝缘层140的边缘部分141的至少一部分被设置在多个沟槽41中。
以这种方式，由于第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的至少一部分被设置在多个沟槽41中，而沟槽41被设置形成在栅绝缘层120和第一绝缘层130中，栅绝缘层120和第一绝缘层130被设置在驱动信号传输线31下方，因此第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的至少一部分的下表面高度低于第一绝缘层130的表面。因此，尽管第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141可能被提升，但是第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的至少一部分不会被提升为高于第一绝缘层130的表面高度。
因此，残留在边缘部分141附近的纳米颗粒32a由于多个沟槽41之间的台阶部分而不被扩散到相邻的两条驱动信号传输线31。
以这种方式，尽管残留在第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘附近的金属纳米颗粒32a可能由枝晶现象而扩散，但是因为多个沟槽41之间的台阶部分，金属纳米颗粒32a不会触及设置在第一绝缘层130上的驱动信号传输线31。因此，尽管残留在第二绝缘层140的边缘部分141附近的位置处的金属纳米颗粒32a可能被扩散，但是可以防止或基本上防止相邻驱动信号传输线31彼此短路。
参考图1至图3和图8描述的根据示例性实施例的显示设备的特征可以被应用到根据本示例性实施例的显示设备。
接下来将参考图11和图12以及图1描述根据本发明另一示例性实施例的显示设备。图11是沿图1的线II-II截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图；并且图12是沿图1的线III-III截取的、根据本发明另一示例性实施例的显示设备的剖视图。
参考图11和图12以及图1，根据本发明另一示例性实施例的显示设备与上面参考图1至图3和图8描述的示例性实施例的显示设备相似。因此，类似构成要素的详细描述被省略。
根据本示例性实施例的显示设备包括：包含多个像素PX的显示区域100、设置在显示区域100附近并将驱动信号传输到显示区域100的驱动器200、以及设置在显示区域100和驱动器200之间的多条驱动信号传输线31。
栅绝缘层120被设置在绝缘基板110上，并且第一绝缘层130被设置在栅绝缘层120上。多条驱动信号传输线31被设置在第一绝缘层130上。多条驱动信号传输线31中的每一条可以包括第一膜31p、设置在第一膜31p上的第二膜31q、以及设置在第二膜31q上的第三膜31r。第一膜31p和第三膜31r可以包括钛(Ti)，并且第二膜31q可以包括银(Ag)。
第二绝缘层140被设置在显示区域100和驱动信号传输线31的一部分上。设置在第二绝缘层140下方的第一绝缘层130包括沟槽41，该沟槽41被设置在彼此相邻的两条驱动信号传输线31之间并且与第二绝缘层140的边缘重叠。
在一个示例性实施例中，沟槽41与第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141重叠，沟槽41被设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间，并且沟槽41被形成在第一绝缘层130中。
因此，在设置在驱动信号传输线31的一部分上的第二绝缘层140的边缘当中，设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的第二绝缘层140的边缘部分141中的至少一部分被设置在沟槽41中。
以这种方式，由于第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的至少一部分被设置在沟槽41中，而沟槽41被形成在设置在驱动信号传输线31下方的第一绝缘层130中，因此第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的至少一部分的下表面高度低于第一绝缘层130的表面。因此，尽管第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141可能被提升，但是第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的至少一部分不会被提升为高于第一绝缘层130的表面高度。
因此，残留在边缘部分141附近的纳米颗粒32a由于沟槽41的台阶不被扩散到相邻的两条驱动信号传输线31。
如上所述，尽管残留在第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘附近的位置处的金属纳米颗粒32a可能由枝晶现象被扩散，但是由于沟槽41的台阶，金属纳米颗粒32a不会触及设置在第一绝缘层130上的驱动信号传输线31。因此，尽管残留在第二绝缘层140的边缘部分141附近的位置处的金属纳米颗粒32a可能被扩散，但是可以防止或基本上防止相邻驱动信号传输线31彼此短路。
参考图1至图3和图8、图9和图10描述的根据示例性实施例的显示设备的特征可以被应用到根据本示例性实施例的显示设备。
现在将参考图1至图3和图8描述根据示例性实施例的显示设备的制造方法。
栅绝缘层120被形成在绝缘基板110上，并且第一绝缘层130被形成在栅绝缘层120上。多条驱动信号传输线31被形成在第一绝缘层130上。多条驱动信号传输线31中的每一条可以包括第一膜31p、形成在第一膜31p上的第二膜31q、以及形成在第二膜31q上的第三膜31r。第一膜31p和第三膜31r可以包括钛(Ti)，并且第二膜31q可以包括银(Ag)。沟槽41被形成在栅绝缘层120和第一绝缘层130中，并且沟槽41被形成在彼此相邻的两条驱动信号传输线31之间。然后第二绝缘层140被形成在显示区域100和驱动信号传输线31的一部分上，并且沟槽41与第二绝缘层140的边缘重叠。第二绝缘层140的设置在相邻的两条驱动信号传输线31之间的边缘部分141的表面高度低于第一绝缘层130的表面。然后，虽然未示出，附加层可以被形成在第二绝缘层140上。这里，驱动信号传输线31的一部分可以用在形成附加层时使用的蚀刻剂蚀刻，并且金属纳米颗粒32a可以被形成并由枝晶现象而蔓延。然而，根据依照示例性实施例的显示设备的制造方法，第二绝缘层140的边缘部分141的下表面的高度低于第一绝缘层130的表面高度，并因此金属纳米颗粒32a不会触及形成在第一绝缘层130上的驱动信号传输线31。因此，尽管残留在第二绝缘层140的边缘部分141下方的金属纳米颗粒32a可能蔓延，但是可以防止或基本上防止相邻的驱动信号传输线31彼此短路。
尽管已经结合当前认为是实用的一些示例性实施例描述了此发明，但是应该理解的是，本发明不限于所公开的实施例，而是相反，意在覆盖被包括在所附权利要求及其等同方案的精神和范围内的各种修改和等同布置。

Claims (20)

1.一种显示设备，包括：
第一基板，包括显示区域以及围绕所述显示区域的周围区域，所述显示区域包括多个像素；
多条驱动信号传输线，在所述第一基板上并被布置在所述周围区域中；
第一绝缘层，在所述第一基板上并被设置在所述多条驱动信号传输线下方；以及
第二绝缘层，被设置在所述多条驱动信号传输线的一部分上并被布置在所述显示区域中，
其中所述第一绝缘层包括在所述多条驱动信号传输线中彼此相邻的两条驱动信号传输线之间的沟槽，并且
其中所述第二绝缘层在所述第一绝缘层的所述沟槽中是断开的，使得所述第二绝缘层的边缘被设置在所述第一绝缘层的所述沟槽中。
2.根据权利要求1所述的显示设备，其中所述驱动信号传输线包括银。
3.根据权利要求2所述的显示设备，
其中所述驱动信号传输线中的每一条包括第一膜、在所述第一膜上的第二膜、以及在所述第二膜上的第三膜，并且
其中所述第二膜包括银。
4.根据权利要求3所述的显示设备，其中所述第一膜和所述第三膜包括钛。
5.根据权利要求4所述的显示设备，进一步包括在所述第一基板上的数据线，其中所述多条驱动信号传输线中的一驱动信号传输线被连接到所述数据线。
6.根据权利要求1所述的显示设备，
其中形成在所述第一绝缘层中的所述沟槽有多个，并且
其中所述第二绝缘层的所述边缘有多个并被设置在所述多个沟槽的至少一部分中。
7.根据权利要求6所述的显示设备，进一步包括
位于所述第二绝缘层的所述边缘下方的金属纳米颗粒，
其中所述金属纳米颗粒包括银。
8.根据权利要求7所述的显示设备，
其中所述驱动信号传输线中的每一条包括第一膜、在所述第一膜上的第二膜、以及在所述第二膜上的第三膜。
9.根据权利要求8所述的显示设备，其中所述第一膜和所述第三膜包括钛。
10.根据权利要求9所述的显示设备，进一步包括形成在所述第一基板上的数据线，其中所述多条驱动信号传输线中的一驱动信号传输线被连接到所述数据线。
11.一种显示设备的制造方法，包括：
在第一基板上形成第一绝缘层，所述第一基板包括显示区域以及围绕所述显示区域的周围区域，所述显示区域包括多个像素；
形成多条驱动信号传输线，所述多条驱动信号传输线在所述第一基板上并被布置在所述周围区域中；
在所述第一绝缘层中形成沟槽，所述沟槽在所述多条驱动信号传输线中彼此相邻的两条驱动信号传输线之间；以及
在所述多条驱动信号传输线的一部分上形成第二绝缘层，所述第二绝缘层被布置在所述显示区域中并在所述第一绝缘层的所述沟槽中是断开的，使得所述第二绝缘层的边缘被设置在所述第一绝缘层的所述沟槽中。
12.根据权利要求11所述的制造方法，其中金属纳米颗粒残留在所述第二绝缘层的所述边缘下方并且所述金属纳米颗粒包括银。
13.根据权利要求12所述的制造方法，
其中所述驱动信号传输线中的每一条包括第一膜、在所述第一膜上的第二膜、以及在所述第二膜上的第三膜。
14.根据权利要求13所述的制造方法，其中所述第一膜和所述第三膜包括钛。
15.根据权利要求14所述的制造方法，进一步包括在所述第一基板上形成数据线，其中所述多条驱动信号传输线中的一驱动信号传输线被连接到所述数据线。
16.根据权利要求11所述的制造方法，
其中形成所述沟槽包括在所述第一绝缘层中形成多个沟槽，并且
其中所述第二绝缘层被形成为具有被设置在所述多个沟槽的至少一部分中的多个边缘。
17.根据权利要求16所述的制造方法，其中金属纳米颗粒残留在所述第二绝缘层的所述边缘下方并且所述金属纳米颗粒包括银。
18.根据权利要求17所述的制造方法，
其中所述驱动信号传输线中的每一条包括第一膜、在所述第一膜上的第二膜、以及在所述第二膜上的第三膜。
19.根据权利要求18所述的制造方法，其中所述第一膜和所述第三膜包括钛。
20.根据权利要求19所述的制造方法，进一步包括在所述第一基板上形成数据线，其中所述多条驱动信号传输线中的一驱动信号传输线被连接到所述数据线。
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