CN105981488B - 基板生产线的生产管理装置 - Google Patents

Abstract

目的在于提供一种能够防止测试生产工序中的基板生产装置的误动作并能够适当地保持生产环境的基板生产线的生产管理装置。基板生产线的生产管理装置具备：是否允许判定部，以由基板生产装置执行了生产处理后的规定数量的初始基板为对象，在从检查装置进行检查的测试生产工序向之后的正式生产工序转移之前，基于检查装置对初始基板的检查状态及检查结果，对是否允许执行基板生产装置接收的动作指令进行判定；及处理管理部，基于是否允许判定部的判定结果对基板生产装置中的动作指令的处理进行控制。

Description

基板生产线的生产管理装置

技术领域

本发明涉及生产安装有元件的基板的基板生产线的生产管理装置。

背景技术

如专利文献1所公开那样，基板生产线由基板生产装置、检查装置等构成。基板生产装置是对基板执行各种生产处理的装置，包括焊料印刷机、元件安装机、回流机等。检查装置是对由基板生产装置执行了生产处理后的基板进行检查的装置，包括焊料检查装置、外观检查装置、功能检查装置等。通过上述检查装置对由基板生产线执行了生产处理后的基板适当地执行检查。例如，处于生产工序的最终阶段的基板由功能检查装置对基板功能是否正常进行检查(参照专利文献2)。

另外，在基板生产线中，在根据生产计划而切换作业的情况下，在实施大量生产基板的正式生产工序之前，有时会实施生产初始基板的测试生产工序。在该测试生产工序中，生产规定数量的初始基板，并执行预先设定的类别的检查。初始基板有时被生产为仅用于检查的专用基板，有时被生产为兼作为检查用并作为产品基板的一部分。通过这种测试生产工序中的检查，来判定安设在基板生产线上的元件类别、设定的控制程序和参数是否适当。基板生产线基于其判定结果来对基板生产装置等进行调整。

专利文献1：日本特开2012-227407号公报

专利文献2：日本特开2009-004714号公报

发明内容

发明要解决的课题

在此，构成基板生产线的基板生产装置即使在测试生产工序的实施中也能够接收操作者的动作指令。因此，在作出测试生产工序的初始基板是否良好的判定之前，可能会错误地开始正式生产工序。这样一来，在之后通过测试生产工序判定为初始基板不良的情况下，在那之前生产的基板白费而会遭受损失。另外，当根据测试生产工序的实施中的动作指令而变更参数等时，可能无法保持换产调整的生产环境。

本发明鉴于这样的情况而作出，目的在于提供一种能够防止测试生产工序中的基板生产装置的误动作并能够适当地保持生产环境的基板生产线的生产管理装置。

用于解决课题的方案

第一方案的基板生产线的生产管理装置对基板生产线的基板生产进行管理，上述基板生产线具有：基板生产装置，对上述基板执行各种生产处理；及检查装置，对执行了生产处理后的上述基板进行检查，上述生产管理装置具备：是否允许判定部，以由上述基板生产装置执行了生产处理后的规定数量的初始基板为对象，在从上述检查装置进行检查的测试生产工序向之后的正式生产工序转移之前，基于上述检查装置对上述初始基板的检查状态及检查结果，对是否允许执行上述基板生产装置接收到的动作指令进行判定；及处理管理部，基于上述是否允许判定部的判定结果对上述基板生产装置中的动作指令的处理进行控制。

根据这样的结构，通过是否允许判定部对是否允许执行基板生产装置接收到的动作指令进行判定。由此，在测试生产工序中，通过处理管理部对基板生产装置的动作指令的处理进行控制。由此，可防止基板生产装置的误工作。另外，对基板生产装置的参数等进行变更的动作指令的处理由处理管理部控制。由此，能适当地保持通过换产调整而构成的基板生产线的生产环境。

附图说明

图1是示意性地表示实施方式的生产管理装置的结构图。

图2是表示生产计划及测试生产数据的图。

图3是表示是否允许判定部进行的是否允许判定处理的流程图。

图4是表示处理管理部进行的动作指令的控制的流程图。

图5是表示主计算机的对于动作指令的允许信号等的送出处理的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图，对将本发明的基板生产线的生产管理装置具体化了的实施方式进行说明。基板生产线例如用于制造集成电路等基板产品。

<实施方式>

(基板生产线的整体结构)

在本实施方式中，基板生产线1具备多个基板生产装置10、多个检查装置20、基板输送装置30而构成。基板生产装置10对基板执行各种生产处理。检查装置20对由基板生产装置10生产的基板进行检查。基板输送装置30由带式输送机等构成，向输送方向(图1的左右方向)依次输送基板。另外，基板生产线1的各装置10、20经由网络而以能够进行通信的方式与主计算机40连接。

在本实施方式中，基板生产线1从基板的输送方向的最上位(最前头)侧依次具备丝网印刷机11、印刷检查装置21、多个元件安装机12、外观检查装置22、回流机13及功能检查装置23而构成。上述丝网印刷机11、元件安装机12及回流机13是基板生产线1的基板生产装置10。印刷检查装置21、外观检查装置22及功能检查装置23是基板生产线1的检查装置20。

丝网印刷机11将膏状的焊料印刷于被送入的基板上的电子元件的安装位置。另外，在本实施方式中，丝网印刷机11位于基板生产线1的最上位。可认为基板生产线1将基板向该丝网印刷机11的送入作为对该基板执行各种生产处理的指令。具体而言，当通过操作者的机上操作等而将基板送入至丝网印刷机11的内部时，以该基板为对象而自动地开始进行焊料的印刷。

印刷检查装置21对通过丝网印刷机11而印刷有焊料的基板的印刷状态进行检查。元件安装机12在从丝网印刷机11侧输送来的基板的焊料上安装电子元件。在本实施方式中，多个元件安装机12沿着基板的输送方向配置。外观检查装置22对安装于从元件安装机12侧输送来的基板上的电子元件是否适当、及电子元件的安装位置和姿势等基板上的电子元件的安装状态进行检查。

回流机13对从元件安装机12侧输送来的基板进行加热，使基板上的焊料熔融来进行钎焊。功能检查装置23对进行了钎焊后的基板的功能进行检查。详细而言，功能检查装置23对基板赋予预定的输入信号，并取得与其对应的输出信号。并且，功能检查装置23基于所取得的输出信号来对作为电子电路的基板功能是否正常进行检查。

这样，基板生产线1将基板依次输送至基板生产装置10及检查装置20，并执行各种生产处理及检查处理来生产基板产品。另外，基板生产线1可根据生产的基板类别等而适当追加、变更其结构。例如，基板生产线1有时也具备基板供给装置或基板翻转装置、护罩安装装置、粘接剂涂布装置、紫外线照射装置等作为其他基板生产装置10而构成。

主计算机40监控基板生产线1的动作状况，并对各装置10、20、30进行控制。该主计算机40具有由硬盘或闪存等构成的存储装置41。在存储装置41中存储有用于对各装置10、20、30进行控制的各种数据。具体而言，存储装置41存储有包含生产的基板类别和生产数量在内的生产计划数据M1(参照图2)、用于使各装置10、20、30动作的控制程序等。

(生产管理装置的整体结构)

如图1所示，基板生产线1的生产管理装置50具备：设于主计算机40中的是否允许判定部51、分别设于各基板生产装置10中的处理管理部52及测试生产数据M2。在从测试生产工序向之后的正式生产工序转移之前，是否允许判定部51基于检查装置20对初始基板的检查状态及检查结果，来判定是否允许执行基板生产装置10接收的动作指令。

在此，基板生产线1进行的基板产品的生产通过实施上述测试生产工序和正式生产工序而进行。“测试生产工序”是通过基板生产装置10生产预先确定的规定数量的初始基板，且检查装置20以该初始基板为对象而执行特定的检查处理的工序。“正式生产工序”是测试生产工序之后的、按照生产计划数据M1而大量生产与测试生产工序相同种类的基板的工序。另外，基板生产线1通过在测试生产工序之前根据需要而进行的换产调整，而构成与生产的基板类别对应的生产环境。另外，初始基板在测试生产工序中，有时被生产为仅用于检查的专用基板，有时被生产为兼作为检查用并作为产品基板的一部分。

另外，测试生产工序根据作为基板生产线1生产的对象的基板类别不同而实施的内容不同。在本实施方式中，如图2所示，基于将测试生产工序中的测试数量、检查类别及限制类型与由正式生产工序生产的各基板类别(图2的A、B、C)建立关联而得到的测试生产数据M2来实施测试生产工序。测试生产数据M2的“测试数量”是在测试生产工序中成为检查的对象的初始基板的数量，相当于本发明的“规定数量”。

测试生产数据M2的“检查类别”是在测试生产工序中与最终需要的检查结果对应的类别。在本实施方式中，检查装置20如上所述是印刷检查装置21、外观检查装置22及功能检查装置23中的任一个。由此，测试生产数据M2设定了与任一个检查装置20对应的检查类别。测试数量及检查数量例如可根据基板类别的生产实际成绩、换产调整的生产环境的变更程度等来确定。

更具体而言，在基板生产线1中生产的基板为新的基板类别A的情况下，作为检查类别而设定为功能检查(图2的No1)。另外，在同一基板生产线1中，在再次生产同一基板类别A的情况下，考虑到生产实际成绩及换产调整的生产环境的变更程度，作为检查类别而设定为外观检查(图2的No4)。

测试生产数据M2的“限制类型”表示对基板生产装置10接收到的动作指令进行何种程度的限制。在此，基板生产装置10接收到的“动作指令”是要求基板生产装置10的动作的指令。具体而言，动作指令包括基板向基板生产装置10的送入指定、生产处理的参数的变更指令、在元件安装机12中安设于元件供给装置(未图示)的电子元件的更换指令等。基板生产装置10以操作者的机上操作、以及实质性地要求基板生产装置10的动作的操作、配置、作业等的方式来接收上述动作指令。

测试生产数据M2的限制类型也根据基板生产装置10的机型不同而具体的限制内容不同，例如类型L1设定为禁止向正式生产工序转移、电子元件的更换、参数的变更等。是否允许判定部51基于测试生产数据M2的限制类型，在基板生产线1从测试生产工序向正式生产工序转移之前(包括测试生产工序的实施期间、正式生产工序的开始的待机期间)，对是否允许执行基板生产装置10接收的动作指令进行判定。

是否允许判定部51的判定结果存储于主计算机40的存储装置41作为限制信息数据M3(参照图1)。处理管理部52基于是否允许判定部51的判定结果来对基板生产装置10的动作指令的处理进行控制。详细而言，在基板生产装置10通过操作者的机上操作而接收到动作指令的情况下，处理管理部52参照限制信息数据M3来对是否执行与该动作指令对应的处理进行控制。

例如，在测试生产工序的实施期间，在操作者进行了使正式生产工序开始那样的错误的机上操作的情况下，是否允许判定部51基于限制信息数据M3对向正式生产工序的转移处理的执行进行限制。另一方面，即使在测试生产工序的实施期间，例如在接收到基板生产装置10的检修操作或参数的确认操作的情况下，是否允许判定部51基于限制信息数据M3也执行上述处理。

(生产管理装置对基板生产装置的控制)

参照图2～图5，对上述生产管理装置50对基板生产装置10的控制进行说明。生产管理装置50的是否允许判定部51在任意时刻进行判定处理，而生成或更新限制信息数据M3。进行判定处理的时刻是从测试生产工序向正式生产工序转移之前，例如换产调整的结束时、从检查装置20输入了检查结果时、从基板生产装置10接收到通知时、从上次的判定处理起经过了一定时间时等。

在此，对按照图2所示的生产计划数据M1来生产基板类别A(图2的No1)的情况进行说明。如图3所示，是否允许判定部51基于生产计划数据M1及测试生产数据M2，取得与接下来要实施的正式生产工序对应的测试生产工序中的测试数量、检查类别及限制类型(步骤11(以下，将“步骤”记为“S”)。在此，作为测试数量而取得“一块”，作为检查类别而取得“功能检查”，作为限制类型而取得“L1”。

接下来，是否允许判定部51取得基板生产线1的测试生产工序中的检查状态及检查结果(S12)。具体而言，检查状态包括初始基板是否为生产期间，开始了生产的初始基板的数量等。另外，检查结果包括最终需要的检查的结果及该检查以前的中间检查的结果等。

接下来，是否允许判定部51基于所取得的检查状态及检查结果，来对是否允许执行基板生产装置10接收的动作指令进行判定(S13)。并且，是否允许判定部51基于该判定的结果，生成限制信息数据M3(S14)。另外，在已存在上述限制信息数据M3的情况下，是否允许判定部51对该数据进行更新(S14)。

具体而言，是否允许判定部51对由功能检查装置23取得的检查结果是否合格进行判定(S13)，上述功能检查装置23进行由测试生产数据M2指定的检查类别“功能检查”的检查。在测试数量设定有多个的情况下，是否允许判定部51对测试数量的初始基板进行是否合格的判定。是否允许判定部51基于该判定结果和限制类型“L1”，生成或更新限制信息数据M3，以对成为对象的动作指令进行限制(S14)。

另外，在基板生产装置10接收到动作指令的情况下，生产管理装置50的处理管理部52对该动作指令的处理进行控制。详细而言，如图4所示，处理管理部52对关于接收到的动作指令是否需要是否允许判定部51的执行允许进行判定(S21)。例如，在动作指令是与基板的生产不相关的照明灯的调整或作业门的开闭的情况下，处理管理部52判定为不需要是否允许判定的结果(S21：否)。

另一方面，在处理管理部52根据限制类型(参照图2)而判定为接收到的动作指令需要执行允许的情况下(S21：是)，对主计算机40进行询问(S22)。该询问包括接收到的动作指令的内容、确定接收到的基板生产装置10的信息等。主计算机40基于动作指令的内容、限制信息数据M3等，对进行了询问的基板生产装置10送出允许信号或不允许信号。

处理管理部52判定接收到的信号是允许执行还是不允许执行(S23)。在动作指令的处理不需要是否允许判定的结果的情况下(S21：否)及从主计算机40接收到允许信号的情况下(S23：是)，处理管理部52执行该动作指令的处理(S24)。另一方面，在从主计算机40接收到不允许信号的情况下(S23：否)，以避免进行该动作指令的处理的方式进行限制。

另外，在S22中接收到询问的主计算机40如上所述，对基板生产装置10送出允许信号或不允许信号。详细而言，如图5所示，主计算机40对动作指令的内容进行辨别(S31)。并且，主计算机40参照在S14中由是否允许判定部51预先生成或更新的限制信息数据M3，来提取是否允许执行动作指令的处理的结果。

主计算机40在提取的是否允许执行的结果为允许的情况下(S32：是)，对有无基板生产线1的管理者的限制进行判定(S33)。管理者具有对基板生产线1的基板的生产进行总括管理的权限。主计算机40在通过管理者，而例如接收到生产的中断指示或者接收到使基板生产装置10的机上操作无效的指示的情况下(S33：否)，无论S32中的结果如何都向基板生产装置10送出对于存在询问的动作指令的处理的不允许信号(S36)。

接下来，在没有管理者的限制的情况下(S33：是)，主计算机40对有无异常报告的限制进行判定(S34)。在此，“异常报告”是主计算机40在事前接收到的在各装置10、20、30中检测出的各种异常的报告。主计算机40在基于异常报告的内容而判断为应限制测试生产工序的继续实施或向正式生产工序转移的情况下(S34：否)，无论S33中的结果如何，都向基板生产装置10送出对于存在询问的动作指令的处理的不允许信号(S36)。

另一方面，在例如异常报告的内容轻微或者通过管理者或维护作业者解除了具有报告的异常等没有异常报告的限制的情况下(S34：是)，主计算机40向存在询问的基板生产装置10送出对于动作指令的处理的允许信号(S35)。在存在异常报告的限制的情况下(S34：否)，主计算机40向基板生产装置10送出对于存在询问的动作指令的处理的不允许信号(S36)。

在此，如上所述，本实施方式的基板生产线1将基板向位于基板的输送方向的最上位的丝网印刷机11的送入作为对基板执行各种生产处理的指令。即，基板生产线1在换产调整之后，当将基板依次送入至丝网印刷机11后，向正式生产工序转移。因此，在基板生产装置10接收到向丝网印刷机11送入基板的动作指令的情况下，处理管理部52根据从主计算机40接收的允许信号或不允许信号来对基板的送入处理的执行进行控制。

例如，在基板向丝网印刷机11的送入是用于在测试生产工序中生产测试数量的初始基板的情况下，允许基板向丝网印刷机11的送入。另一方面，在测试生产工序中在向丝网印刷机11送入了测试数量的基板之后，在对测试数量的生产基板作出了合格判定之前，不允许以向正式生产工序转移为目的而向丝网印刷机11送入基板。但是，在测试生产工序中，在例如基于检查结果而对基板生产装置10等进行调整的情况下，允许以追加生产初始基板为目的而向丝网印刷机11送入基板。

这样，处理管理部52通过限制基板向丝网印刷机11的送入，对从测试生产工序向正式生产工序的转移处理进行控制。另外，在基板供给装置配置于基板生产线1的最前头的情况下，处理管理部52对基板供给装置的基板的供给进行控制。

(实施方式的结构的效果)

本实施方式的生产管理装置50是对基板生产线1的基板生产进行管理的装置。基板生产线1具有：对基板执行各种生产处理的基板生产装置10；对生产处理后的基板进行检查的检查装置20。是否允许判定部51以由基板生产装置10执行了生产处理后的规定数量的初始基板为对象，在从检查装置20进行检查的测试生产工序向之后的正式生产工序转移之前，基于检查装置20对初始基板的检查状态及检查结果，来对是否允许执行基板生产装置10接收的动作指令进行判定。处理管理部52基于是否允许判定部51的判定结果来对基板生产装置10的动作指令的处理进行控制。

根据这样的结构，通过是否允许判定部51判定是否允许执行基板生产装置10接收的动作指令。由此，在向正式生产工序转移之前，由处理管理部52控制基板生产装置10的动作指令的处理。由此，可防止基板生产装置10的误工作。另外，对基板生产装置10的参数等进行变更的动作指令的处理由处理管理部52控制。由此，可适当地保持通过换产调整而构成的基板生产线1的生产环境。

另外，测试生产工序包括通过检查装置20(功能检查装置23)对基板功能进行检查的功能检查。是否允许判定部51基于以规定数量的初始基板为对象的功能检查的结果，来对是否允许执行从测试生产工序向正式生产工序的转移处理的动作指令进行判定。

在基板生产线1中，在例如生产新的基板类别的情况下，有时会实施检查在与产品相同的状态下要求的基板功能是否能适当发挥的功能检查。但是，在进行功能检查的情况下，比其他检查到检查结束为止更需要时间。因此，在测试生产工序的检查类别包括功能检查的情况下，从换产调整到正式生产工序开始为止的期间变长。这样一来，由于操作者的机上操作等而基板生产装置10接收到动作指令的机会增多。即使在这样的状态下也保持基板生产线1的生产环境，能可靠地防止误工作，特别有用。

另外，处理管理部52通过限制基板向在基板生产线1中位于基板的输送方向的最上位的基板生产装置10(丝网印刷机11)的送入，来对从测试生产工序向正式生产工序的转移处理进行控制。

本实施方式的基板生产线1构成为将基板向位于基板的输送方向的最上位的丝网印刷机11的送入作为基板的生产的开始。在这样的基板生产线1中，通过处理管理部52对该基板的送入的动作指令的处理进行控制，来防止错误地向正式生产工序转移。

另外，生产管理装置50具备将测试生产工序的检查的检查类别与通过正式生产工序生产的各基板类别建立关联而得到的测试生产数据M2。是否允许判定部51从测试生产数据M2取得与接下来要实施的正式生产工序对应的测试生产工序的检查类别，并基于进行该检查类别的检查的检查装置20对初始基板的检查状态及检查结果，来对是否允许执行基板生产装置10接收到的动作指令进行判定。

根据这样的结构，是否允许判定部51参照测试生产数据M2，进行与生产计划的基板类别对应的是否允许判定。即，是否允许判定部51按照测试生产数据M2的内容，自动地切换基于哪个检查装置20的检查结果来进行判定。由此，可实施与基板类别对应的测试生产工序，因此基板生产线1的生产效率提高。

<实施方式的变形形态>

在实施方式中，生产管理装置50具备设于主计算机40的是否允许判定部51、分别设于多个基板生产装置10的多个处理管理部52、存储于存储装置41的测试生产数据M2而构成。与此相对，是否允许判定部51、处理管理部52及测试生产数据M2只要能够与基板生产装置10及检查装置20进行通信即可，除了设于基板生产装置10之外，也可以设于外部装置。

另外，在实施方式中，限制信息数据M3与测试生产数据M2一起由存储装置41存储。与此相对，限制信息数据M3作为表示基板生产装置10的动作指令的是否允许判定的结果的数据，也可以存储于配置有处理管理部52的基板生产装置10。由此，在基板生产装置10接收到动作指令的情况下，处理管理部52能够在不与主计算机40进行通信的情况下，参照限制信息数据M3而对该动作指令的处理进行控制。

另外，是否允许判定部51在任意时刻进行判定处理，生成或更新限制信息数据M3。在此，在处理管理部52限制了动作指令的处理之后，在更新检查装置20的检查结果的情况下，是否允许判定部51也可以再次对是否允许执行动作指令进行判定。由此，限制信息数据M3被适当地更新成最新的信息。并且，处理管理部52也可以构成为，在通过是否允许判定部51允许了之前限制的动作指令的情况下，自动地解除对该动作指令的处理的限制。

有时基板生产装置10接收到的动作指令的执行未被是否允许判定部51允许，而由处理管理部52限制。由此，例如在向正式生产工序的转移处理受到限制的情况下，维持基板生产装置10的待机状态。与此相对，可以在根据动作指令的内容而在更新了检查结果之后立即进行处理。因此，如上所述，构成为可基于是否允许判定部51更新的是否允许判定的结果，而自动地解除限制。

由此，可在适当的时刻执行受限制的动作指令的处理。由此，例如在维持基板生产装置10的待机状态的情况下，通过检查装置20作出测试数量的合格判定，由此来更新限制信息数据M3。并且，当解除了对于向正式生产工序的转移处理的限制时，基板生产线1自动地向正式生产工序转移。由此，基板生产装置10的待机时间缩短，基板生产线1的生产效率提高。

另外，在实施方式中，是否允许判定部51与基板生产装置10接收动作指令的时刻无关地预先判定是否允许执行动作指令(S13)。与此相对，也可以是，是否允许判定部51在基板生产装置10接收到某些动作指令时，若需要则基于生产计划数据M1及测试生产数据M2来对是否允许执行该动作指令进行判定。并且，处理管理部52基于对各个动作指令是否允许执行的判定结果，来对动作指令的处理进行控制。在这样的结构中，生产管理装置50可以不具备限制信息数据M3。

附图标记说明

1：基板生产线

10：基板生产装置

11：丝网印刷机，12：元件安装机，13：回流机

20：检查装置

21：印刷检查装置，22：外观检查装置，23：功能检查装置

30：基板输送装置

40：主计算机，41：存储装置

50：生产管理装置，51：是否允许判定部，52：处理管理部

M1：生产计划数据，M2：测试生产数据

M3：限制信息数据

Claims (6)

1.一种基板生产线的生产管理装置，对基板生产线的基板生产进行管理，

所述基板生产线具有：基板生产装置，对所述基板执行各种生产处理；及检查装置，对执行了生产处理后的所述基板进行检查，

所述生产管理装置具备：

是否允许判定部，以由所述基板生产装置执行了生产处理后的规定数量的初始基板为对象，在从所述检查装置进行检查的测试生产工序向之后的正式生产工序转移之前，基于所述检查装置对所述初始基板的检查状态及检查结果，对是否允许执行所述基板生产装置接收到的动作指令进行判定；及

处理管理部，基于所述是否允许判定部的判定结果对所述基板生产装置中的动作指令的处理进行控制。

2.根据权利要求1所述的基板生产线的生产管理装置，其中，

所述测试生产工序包括由所述检查装置对基板功能进行检查的功能检查，

所述是否允许判定部基于以所述规定数量的所述初始基板作为对象的所述功能检查的结果，对是否允许执行从所述测试生产工序向所述正式生产工序的转移处理所涉及的所述动作指令进行判定。

3.根据权利要求1所述的基板生产线的生产管理装置，其中，

所述处理管理部通过对所述基板向在所述基板生产线中位于所述基板的输送方向的最上位的所述基板生产装置的送入进行限制，对从所述测试生产工序向所述正式生产工序的转移处理进行控制。

4.根据权利要求2所述的基板生产线的生产管理装置，其中，

所述处理管理部通过对所述基板向在所述基板生产线中位于所述基板的输送方向的最上位的所述基板生产装置的送入进行限制，对从所述测试生产工序向所述正式生产工序的转移处理进行控制。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板生产线的生产管理装置，其中，

在所述处理管理部限制了所述动作指令的处理之后，在更新了所述检查装置的检查结果的情况下，所述是否允许判定部再次对是否允许执行该动作指令进行判定，

在由所述是否允许判定部允许了该动作指令的情况下，所述处理管理部自动地解除对该动作指令的处理的限制。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的基板生产线的生产管理装置，其中，

所述生产管理装置具备将所述测试生产工序中的检查的检查类别与通过所述正式生产工序生产的各基板类别建立关联而得到的测试生产数据，

所述是否允许判定部从所述测试生产数据取得与接下来要实施的所述正式生产工序对应的所述测试生产工序中的所述检查类别，并基于进行该检查类别的检查的所述检查装置对所述初始基板的检查状态及检查结果，对是否允许执行所述基板生产装置接收到的动作指令进行判定。