JP5734074B2 - 基板生産ライン - Google Patents

Description

本発明は、検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインに関する。

多数の部品が実装された基板を生産する装置として、はんだ印刷装置、部品実装装置、リフロー装置、検査装置などがあり、これらを基板搬送装置で連結して基板生産ラインを構築する場合が多い。検査装置としては、はんだ検査装置や外観検査装置などが用いられ、適宜ラインの途中に配置される。はんだ検査装置は、はんだ印刷装置の後工程に配置されて基板のはんだ印刷状態を検査する装置であり、検査結果が合格であれば当該の合格基板を部品実装装置に搬送し、不合格であれば当該の不合格基板をラインの流れから外して、作業ステーションなどに搬送する。作業ステーションに不合格基板が搬送されると、オペレータは不合格基板を目視および専用モニタで確認し、確認作業の作業結果に基づいて不合格基板に対処する。例えば、はんだ不足による印刷不良の場合は、不合格基板をはんだ印刷装置に戻して再度の印刷（追いはんだ）を行う。

本願出願人は、この種のはんだ印刷および検査の方法に関する技術例を特許文献１のマスク印刷方法およびマスク印刷装置に開示している。このマスク印刷方法は、印刷工程および検査工程と、検査工程で被印刷剤の量が不足であることが発見された場合に修正印刷を行う修正印刷工程とを含むことを特徴としている。さらに、実施形態では、印刷位置の下流にはんだ検査位置を配置した印刷機において、はんだ検査位置での検査結果によりはんだ不足と判断したら、基板を印刷部に戻して追加印刷を行うことが記載されている。つまり、検査結果に基づいて、検査後の基板の搬送先を変更できるようになっている。

ここで、検査装置の合否判定基準は使用不可となる不良に対して余裕度を持つのが一般的であり、検査装置で不合格とされてもオペレータの確認作業により使用可すなわち合格に訂正される場合がある。また、オペレータがリペア作業を行うことで不良箇所を正常な状態に修復する場合もあり得る。オペレータが確認作業やリペア作業を行う場合、不合格基板への対処方法や搬送先が多様化することが多い。例えば、不合格基板であっても実際には不良箇所がなく、オペレータにより不合格判定を虚報として合格判定に訂正し、基板をはんだ検査装置の後工程に搬送すべき場合がある。また、はんだ不足による印刷不良のときに、はんだ印刷装置に戻して再度の印刷を行うのではなく、オペレータ自身が作業ステーションではんだ塗布機を用いてリペアする場合がある。この場合、リペアした基板をはんだ検査装置に搬送して再検査するのが妥当になる。さらには、不良程度が著しく再度の印刷やリペアが困難で、当該の不合格基板を基板生産ラインから取り外して廃棄する場合もある。

外観検査装置においても、オペレータの作業に基づく不合格基板への対処方法や搬送先の多様化は同様である。すなわち、リペアによる再検査の場合、不合格判定を虚報として合格判定に訂正する場合、およびリペアが困難で不合格基板を廃棄する場合が生じる。

特開２００１−４７６００号公報

ところで、上述のように不合格基板への対処方法や搬送先が多様化すると、オペレータの作業負荷が増大し、また人為的ミスも生じ易くなるという問題点が生じる。例えば、はんだ不足時に追いはんだを行う場合、オペレータは不合格基板をハンドキャリーして、はんだ印刷装置の前側の基板搬送装置に載置しなければならない。もし、基板搬送装置に空きスペースがなければ、オペレータは不合格基板をさらに前工程側の基板搬入バッファステーションに置かなければならなくなる。また、リペアを行った場合や、合格判定に訂正した場合は、それぞれ異なる搬送先にハンドキャリーで不合格基板を搬入する必要があり、搬送先の動作状況によっては直ぐに搬入することができず待ち時間が生じる場合もある。このように、不合格基板の対処に時間を要して作業負荷が増加するので、実質的に基板生産ラインを担当するオペレータの増員が必要となってしまう。また、ハンドキャリー中に不合格基板を落下させてしまったり、不合格基板の搬送先を誤ったりする人為的ミスが生じ易くなる。

本発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたもので、検査装置で不合格基板が発生したときのオペレータの作業負荷を軽減するとともに、不合格基板に対処する際の人為的ミスを減少させる基板生産ラインを提供することを解決すべき課題とする。

上記課題を解決する請求項１に係る基板生産ラインの発明は、検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、前記検査装置が前記作業ステーションの後工程に配置される。
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記不合格基板搬送制御手段は、前記作業ステーションの前記不合格基板の搬送先を、前記検査装置、前記作業ステーションの前工程の基板生産工程装置、および前記検査装置の後工程の基板生産工程装置から三者択一する。

請求項３に係る発明は、検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、前記検査装置は前記作業ステーションの後工程に配置されたはんだ検査装置であり、前記作業ステーションの前工程の前記基板生産工程装置ははんだ印刷装置であり、前記不合格基板搬送制御手段は、オペレータが前記作業ステーションで前記不合格基板にリペアを行ったとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を前記作業ステーションから前記はんだ検査装置に搬送し、前記はんだ検査装置での不合格判定が誤りであるとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を合格基板として前記はんだ検査装置の後工程の前記基板生産工程装置に搬送し、前記不合格基板に前記はんだ印刷装置で追いはんだ印刷する必要があるとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を前記作業ステーションから前記はんだ印刷装置に搬送するように、前記不合格基板搬送装置を制御する。

請求項４に係る発明は、検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、前記検査装置は前記作業ステーションの前工程に配置された外観検査装置であり、前記作業ステーションの後工程の前記基板生産工程装置はシールド装着装置であり、前記不合格基板搬送制御手段は、オペレータが前記不合格基板に前記作業ステーションでリペアを行ったとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を前記作業ステーションから前記外観検査装置に搬送して再検査に供し、前記外観検査装置での不合格判定が誤りであるとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を合格基板として前記シールド装着装置に搬送するように、前記不合格基板搬送装置を制御する。

請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか一項において、前記不合格基板搬送装置は、前記作業ステーションに前記基板搬送装置と並列に配設され、コンベア搬送面に前記不合格基板を載置して正逆方向に搬送が可能である搬送コンベアを備える。

請求項６に係る発明は、検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、さらに、前記検査装置と該検査装置に隣接する前記基板生産工程装置との間に配置され、前記基板搬送装置の一部をなす下方基板搬送装置と、前記下方基板搬送装置の上方に配置され、基板を前記両装置間で正逆方向に搬送可能な上方基板搬送装置と、前記下方基板搬送装置および前記上方基板搬送装置を、前記下方基板搬送装置が前記基板搬送装置と整列する上昇位置と、前記上方基板搬送装置が前記基板搬送装置と整列する下降位置との間で昇降させるリフト装置と、を備え、前記不合格基板搬送装置は、前記リフト装置によって前記下降位置で前記基板搬送装置に整列された前記上方基板搬送装置であり、前記作業ステーションは、前記リフト装置によって前記上昇位置に上昇された前記上方基板搬送装置である。

請求項１に係る基板生産ラインの発明では、オペレータが不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力手段に入力すると、作業結果に基づいた不合格基板搬送制御手段からの制御により、不合格基板搬送装置は不合格基板を検査装置あるいは別の基板生産工程装置に搬送する。この不合格基板の搬送は、オペレータによる作業結果の入力以降は自動で行われるので、不合格基板のハンドキャリーは不要となりオペレータの作業負荷が軽減される、また、不合格基板を落下させてしまったり、不合格基板の搬送先を誤ったりする人為的ミスが減少する。
請求項２に係る発明では、オペレータが検査装置で不合格とされた不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力手段に入力すると、不合格基板搬送制御手段は、作業結果に基づいて不合格基板の搬送先を、検査装置、作業ステーションの前工程の基板生産工程装置、および検査装置の後工程の基板生産工程装置から三者択一する。したがって、請求項１と同様で不合格基板のハンドキャリーは不要となりオペレータの作業負荷が軽減される、また、不合格基板を落下させてしまったり、不合格基板の搬送先を誤ったりする人為的ミスが減少する。

請求項３に係る発明では、オペレータがはんだ検査装置で不合格とされた不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力手段に入力すると、作業結果に基づいて不合格基板搬送装置は不合格基板をはんだ検査装置、はんだ検査装置の後工程の基板生産工程装置、およびはんだ印刷装置のいずれかに自動的に搬送する。したがって、請求項１と同様で不合格基板のハンドキャリーは不要となりオペレータの作業負荷が軽減される、また、不合格基板を落下させてしまったり、不合格基板の搬送先を誤ったりする人為的ミスが減少する。

請求項４に係る発明では、オペレータが外観検査装置で不合格とされた不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力手段に入力すると、作業結果に基づいて不合格基板搬送装置は不合格基板を外観検査装置、またはシールド装着装置に自動的に搬送する。したがって、請求項１と同様で不合格基板のハンドキャリーは不要となりオペレータの作業負荷が軽減される、また、不合格基板を落下させてしまったり、不合格基板の搬送先を誤ったりする人為的ミスが減少する。

請求項５に係る発明では、不合格基板搬送装置は、作業ステーションに基板搬送装置と並列に配設され、コンベア搬送面に前記不合格基板を載置して正逆方向に搬送が可能である搬送コンベアを備えている。これにより、不合格基板は検査装置から搬送コンベアに払い出され、コンベア搬送面を作業ステーションとしてオペレータによる作業が可能となり、作業性が良好となる。一方で、不合格基板が発生したときに、基板搬送装置および検査装置による基板の生産を支障なく継続できる。

請求項６に係る発明では、リフト装置が上方基板搬送装置を昇降させることで、不合格基板搬送装置および作業ステーションが実現される。これにより、不合格基板が載置された上方基板搬送装置が上昇位置に上昇されることでオペレータによる作業が可能となり、作業性が良好となる。一方で、不合格基板が発生したときに、下方基板搬送装置が上昇位置で基板の搬送を行え、基板の生産を支障なく継続できる。

第１実施形態の基板生産ラインおよび第２実施形態の基板生産ラインを包含した基板生産システムの全体構成を模式的に示す平面図である。 第１実施形態の基板生産ラインの構成を説明する平面図である。 第１実施形態の基板生産ラインの動作を説明するフローチャートの図である。 第２実施形態の基板生産ラインの構成を説明する平面図である。 第２実施形態の基板生産ラインの動作を説明するフローチャートの図である。 第３実施形態の基板生産ラインの構成を説明する図であり、（１）は平面図、（２）は基板搬送方向の側方から見た側面図である。 第３実施形態の基板生産ラインの動作を説明する図であり、（１）〜（４）は時系列変化の順序を示している。

本発明の第１実施形態の基板生産ライン１について、図１〜図３を参考にして説明する。図１は、第１実施形態の基板生産ライン１および第２実施形態の基板生産ライン２を包含した基板生産システム１００の全体構成を模式的に示す平面図である。基板生産システム１００は、並行配置された２組の基板搬送装置を備えるダブルレーンタイプのシステムであり、基板生産工程装置としてはんだ印刷装置３、第１部品実装ライン４、第２部品実装ライン５、およびリフロー装置６が直列に配置されて構成されている。通常時、基板Ｋ（図中に斜線を付して示す）は上記基板生産工程装置３〜６を記載順（図１の左方から右方）に搬送され、はんだ印刷、印刷検査、部品実装、外観検査、シールド装着、およびリフローの各生産工程が実施される。

はんだ印刷装置３は図略の印刷部を有し、図略の基板供給装置から供給された基板Ｋにペースト状のはんだを印刷する装置である。はんだ印刷装置３には、例えば回路構成の型紙に相当するスクリーンを備えたスクリーン印刷装置や、はんだを噴射するノズルを備えたノズル印刷装置などを用いることができる。はんだ印刷装置３とその後工程側の第１部品実装ライン４との間は、並列配置され独立して動作する第１および第２基板搬送装置７１、７２で連結されている。第１および第２基板搬送装置７１、７２は、コンベア搬送面に基板Ｋを載置して正逆方向に搬送が可能である搬送コンベアを備え、正転搬送および逆転搬送により基板Ｋを搬入出できるようになっている。

第１部品実装ライン４は、モジュール形の基板生産工程装置を８台列設可能なラインである。第１部品実装ライン４の先頭には、基板Ｋのはんだ印刷状態を検査するモジュール形のはんだ検査装置４１が配置されている。はんだ検査装置４１の後工程側には、基板Ｋに部品を実装するモジュール形の第１〜第６部品実装装置４２〜４７が一列に配置されている。第６部品実装装置４７の後工程側の末尾には、基板Ｋの部品実装外観を検査するモジュール形の外観検査装置４８が配置されている。

各モジュール形装置４１〜４８の間は、並列配置され独立して動作する第３および第４基板搬送装置７３、７４で連結されており、正転搬送により基板Ｋを順次後工程側のモジュール形装置に搬送できるようになっている。第３および第４基板搬送装置７３、７４は、実際にはモジュール形装置４１〜４８ごとに設けられた搬送装置の集合体である。第１部品実装ライン４とその後工程側の第２部品実装ライン５との間は、並列配置され独立して動作する第５および第６基板搬送相装置７５、７６で連結されている。第５および第６基板搬送相装置７５、７６は、コンベア搬送面に基板Ｋを載置して正逆方向に搬送が可能である搬送コンベアを備え、正転搬送および逆転搬送により基板Ｋを搬入出できるようになっている。

第２部品実装ライン５は、モジュール形の基板生産工程装置を２台列設可能なラインである。実施形態において、第２部品実装ライン５の前側には、基板Ｋにシールド部品を装着するシールド装着装置５１が配置されている。シールド部品を装着した後では基板Ｋの部品実装外観を検査できないので、シールド装着装置５１は外観検査装置４８よりも後工程側に配置されている。第２部品実装ライン５には、並列配置され独立して動作する第７および第８基板搬送装置７７、７８が設けられており、正転搬送により基板Ｋを後工程側に搬送できるようになっている。第２部品実装ライン５とその後工程側のリフロー装置６との間は、並列配置され独立して動作する第９および第１０基板搬送相装置７９、７Ａで連結されており、正転搬送により基板Ｋを搬送できるようになっている。

リフロー装置６は、ペースト状のはんだを加熱して溶融させ、冷却させることではんだを固化してはんだ付けを完結させる装置である。リフロー装置６には、周知の各種方式の装置を用いることができる。

また、各基板生産工程装置３、４１〜４８、５１、６にはそれぞれ、図略の制御コンピュータが設けられてそれぞれの動作が制御され、さらに、各制御コンピュータを統括制御するホストコンピュータが設けられている。各制御コンピュータおよびホストコンピュータの協調制御により、各基板搬送装置７１〜７９、７Ａの動作および停止や、正転搬送および逆転搬送も制御されるようになっている。各制御コンピュータおよびホストコンピュータは一体的に制御を行うので、これらを特に区別せずにまとめて制御部と呼称する。

なお、はんだ印刷装置３、第１部品実装ライン４、第２部品実装ライン５、およびリフロー装置６の装置間あるいは装置内部に、並行する基板搬送装置の間で基板Ｋを受け渡すシャトル装置を適宜設けてもよい。

第１実施形態の基板生産ライン１は、はんだ印刷装置３と第１部品実装ライン４のはんだ検査装置４１とを含んで構成されている。図２は、第１実施形態の基板生産ライン１の構成を説明する平面図である。はんだ印刷装置３ではんだが印刷された基板Ｋは、第１および第２基板搬送装置７１、７２の一方によってはんだ検査装置４１に搬入される。ここで、はんだ検査装置４１により基板Ｋのはんだ印刷状態が不合格と判定された場合を考える。制御部は、不合格基板ＫＸ（図中に斜格子線を付して示す）を搬入した第１および第２基板搬送装置７１、７２の一方を逆転させ、不合格基板ＫＸを逆転搬送してはんだ印刷装置３とはんだ検査装置４１との間の位置まで搬送する。

はんだ印刷装置３とはんだ検査装置４１との間の第１および第２基板搬送装置７１、７２のコンベア搬送面では、不合格基板ＫＸにオペレータＭ１が作業を行うことが可能となっており、このエリアが本発明の作業ステーション８１となる。つまり、作業ステーション８１は、はんだ印刷装置３の後工程側に隣接しかつはんだ検査装置４１の前工程側に隣接して設けられる。また、不合格基板ＫＸを逆転搬送する第１および第２基板搬送装置７１、７２の一方が本発明の不合格基板搬送装置８２となる。図２には、矢印Ｒで示されるように、第２基板搬送装置７２が不合格基板搬送装置８２となって不合格基板ＫＸを逆転搬送し、そのコンベア搬送面が作業ステーション８１となる直前の状態が示されている。仮に、第１基板搬送装置７１によりはんだ検査装置４１に搬入された基板Ｋが不合格と判定されれば、第１基板搬送装置７１が不合格基板搬送装置８２となって不合格基板ＫＸを逆転搬送する。制御部により、第１および第２基板搬送装置７１、７２の一方を不合格基板搬送装置８２に設定しかつ搬送動作を制御する機能が、本発明の不合格基板搬送制御手段に相当する。

作業ステーション８１には、作業専用モニタ８３が配置されている。作業専用モニタ８３は、表示画面８３１、シグナルタワー８３２、および４つの押しボタン８３３〜８３６を備えている。また、作業専用モニタ８３は、はんだ印刷装置３およびはんだ検査装置４１の制御コンピュータさらにはホストコンピュータと連携しており、制御部の一部となっている。表示画面８３１は、はんだ検査装置４１が不合格と判定した内容、例えば、不合格基板ＫＸのＩＤコードや不合格の発生している基板上の位置、不合格の状況（はんだ不足、はんだはみ出し）などを表示して、オペレータＭ１の作業の便宜を図るようになっている。シグナルタワー８３２は、不合格基板ＫＸが発生したときに、音声によりオペレータＭ１への通報を行うようになっている。

４つの押しボタン８３３〜８３６は本発明の入力手段であり、具体的には『虚報』ボタン８３３、『リペア』ボタン８３４、『追いはんだ』ボタン８３５、および『廃棄』ボタン８３６である。オペレータＭ１は、作業ステーション８１で不合格基板ＫＸに作業を行った後に、いずれかの押しボタン８３３〜８３６を押下して作業結果を入力する。作業専用モニタ８３は、押下された押しボタン８３３〜８３６に基づいて不合格基板ＫＸの搬送先を決定し、不合格基板搬送装置８２を制御する。また、作業専用モニタ８３は、搬送先となるはんだ印刷装置３およびはんだ検査装置４１に直接あるいはホストコンピュータを介して、作業結果を通知する。

次に、上述のように構成された第１実施形態の基板生産ライン１の動作について説明する。図３は、第１実施形態の基板生産ライン１の動作を説明するフローチャートの図である。このフローチャートは、１枚の基板Ｋに対する処理内容を示しており、基板生産システム１００が生産する基板Ｋの枚数だけ繰返して実施される。ステップＳ１で、はんだ検査装置４１は、搬入された基板Ｋのはんだ印刷状態を検査する。ステップＳ２で、検査結果が合格のときステップＳ３に進み、第１部品実装装置４２へ合格した基板Ｋを正転搬送して、一連の処理が終了する。

ステップＳ２で検査結果が不合格のとき、ステップＳ４に進む。このとき、作業専用モニタ８３のシグナルタワー８３２が、不合格基板ＫＸの発生した旨をオペレータＭ１に通報する。また、不合格基板ＫＸをはんだ検査装置４１に搬入した第１および第２基板搬送装置７１、７２の一方が不合格基板搬送装置８２となる。不合格基板搬送装置８２は、ステップＳ４で逆転して作業ステーション８１へ不合格基板ＫＸを逆転搬送し、ステップＳ５で作業ステーション８１に不合格基板ＫＸを停止させる。

次にステップＳ６で、オペレータＭ１が不合格基板ＫＸの目視確認作業を行う。確認作業の結果、実際には不良箇所がなくあるいは不良程度が軽微で許容範囲内であるとき、不合格の検査結果を虚報として合格に訂正判定する。そしてステップＳ７で、オペレータＭ１は『虚報』ボタン８３３を押下する。ステップＳ８で不合格基板搬送装置８２は正転し、合格に訂正判定された基板Ｋを作業ステーション８１からはんだ検査装置４１へ正転搬送する。同時に『虚報』の作業結果がはんだ検査装置４１に通知される。後工程のはんだ検査装置４１は、通知に基づいて合格基板と確定して再検査の必要がない当該の基板ＫをスルーさせてステップＳ３に進み、一連の処理が終了する。

ステップＳ６で不良箇所があるときにはステップＳ９に進み、オペレータＭ１は、リペアの必要があるか否かを判定する。リペアが必要と判断したときにはステップＳ１０に進み、オペレータＭ１はリペア作業を行う。このとき、作業ステーション８１上でリペア作業を実施してもよく、作業ステーション８１から不合格基板ＫＸを取り外し別の場所でリペア作業を実施した後に作業ステーション８１に戻すようにしてもよい。リペア作業の終了後、ステップＳ１１で、オペレータＭ１は『リペア』ボタン８３４を押下する。ステップＳ１２で不合格基板搬送装置８２は正転し、リペアされた不合格基板ＫＸを作業ステーション８１からはんだ検査装置４１へ正転搬送する。同時に、『リペア』の作業結果がはんだ検査装置４１に通知される。後工程のはんだ検査装置４１は、通知に基づいて再検査が必要と判定し、ステップＳ１に戻る。

なお、この場合、オペレータＭ１が不合格基板ＫＸ上でリペア作業を行った範囲、部位を作業専用モニタ８３に入力し、作業結果が『リペア』であることとリペア作業を行った範囲、部位をはんだ検査装置４１に通知するようにしてもよい。これにより、はんだ検査装置４１における再検査の検査対象範囲を限定して再検査時間を短縮することができる。

ステップＳ９でリペアが不要と判断したときにはステップＳ１３に進み、オペレータＭ１は、追いはんだ（再度の印刷）の必要があるか否かを判定する。追いはんだが必要なとき、ステップＳ１４でオペレータＭ１は『追いはんだ』ボタン８３５を押下する。ステップＳ１５で不合格基板搬送装置８２は逆転し、不合格基板ＫＸを作業ステーション８１からはんだ印刷装置３へ逆転搬送する。同時に、『追いはんだ』の作業結果がはんだ印刷装置３に通知される。ステップＳ１６で、前工程のはんだ印刷装置３は、通知に基づいて追いはんだ（再度の印刷）を行う。続くステップＳ１７で、不合格基板搬送装置８２が正転し、不合格基板ＫＸに追いはんだ印刷を行った基板Ｋをはんだ印刷装置３からはんだ検査装置４１へ正転搬送する。さらに、再検査の必要があるのでステップＳ１に戻る。

ステップＳ１３で追いはんだ印刷を行っても合格となる見込みがないときにはステップＳ１８に進み、オペレータＭ１は、作業ステーション８１から不合格基板ＫＸを取り外して廃棄する。続くステップＳ１９で、オペレータＭ１は『廃棄』ボタン８３６を押下し、一連の処理が終了する。

第１実施形態の基板生産ライン１では、オペレータＭ１がはんだ検査装置４１で不合格とされた不合格基板ＫＸに作業を行った後に、作業専用モニタ８３の『虚報』ボタン８３３、『リペア』ボタン８３４、『追いはんだ』ボタン８３５、および『廃棄』ボタン８３６のいずれかを押下して作業結果を入力する。これにより、不合格基板搬送装置８２は、不合格基板ＫＸをはんだ検査装置４１、はんだ検査装置４１の後工程の第１部品実装装置４２、およびはんだ印刷装置３のいずれかに自動的に搬送するとともに作業結果を通知する。したがって、不合格基板ＫＸのハンドキャリーは不要となりオペレータＭ１の作業負荷が軽減される、また、不合格基板ＫＸを落下させてしまったり、不合格基板ＫＸの搬送先を誤ったりする人為的ミスが減少する。

さらに、並列配置された第１および第２基板搬送装置７１、７２の一方を不合格基板搬送装置８２とするので、不合格基板ＫＸははんだ検査装置４１から逆転搬送されてコンベア搬送面に払い出される。このため、コンベア搬送面を作業ステーション８１としてオペレータＭ１による作業が可能となり、作業性が良好となる。一方で、第１および第２基板搬送装置７１、７２の他方は基板Ｋの搬送を継続できるので、不合格基板ＫＸが発生したときに、シングルレーンによる基板Ｋの生産を支障なく継続できる。さらに、シャトル装置を適宜設けた態様では、不合格基板ＫＸが発生したときに、シャトル装置による基板Ｋの受け渡しを行いダブルレーンによる基板Ｋの生産を支障なく継続できる。

次に、第２実施形態の基板生産ライン２について説明する。第２実施形態の基板生産ライン２は、第１部品実装ライン４の外観検査装置４８と第２部品実装ライン５のシールド装着装置５１とを含んで構成されている。図４は、第２実施形態の基板生産ライン２の構成を説明する平面図である。外観検査装置４８で部品実装外観が検査された基板Ｋは、通常は第５および第６基板搬送装置７５、７６の一方によってシールド装着装置５１に搬入される。ここで、外観検査装置４８により基板Ｋの部品実装外観が不合格と判定された場合を考える。制御部は、不合格基板ＫＹ（図中に斜格子線を付して示す）を搬出する第５および第６基板搬送装置７５、７６の一方を正転させ、不合格基板ＫＸを正転搬送して外観検査装置４８とシールド装着装置５１との間の位置まで搬送する。

外観検査装置４８とシールド装着装置５１との間の基板搬送装置７５、７６のコンベア搬送面では、不合格基板ＫＹにオペレータＭ２が作業を行うことが可能となっており、このエリアが本発明の作業ステーション８５となる。つまり、作業ステーション８５は、外観検査装置４８の後工程側に隣接しかつシールド装着装置５１の前工程側に隣接して設けられる。また、不合格基板ＫＹを正転搬送する第５および第６基板搬送装置７５、７６の一方が本発明の不合格基板搬送装置８６となる。図４には、矢印Ｓで示されるように、第５基板搬送装置７５が不合格基板搬送装置８６となって不合格基板ＫＹを正転搬送し、そのコンベア搬送面が作業ステーション８５となった直後の状態が示されている。仮に、外観検査装置４８が不合格と判定した不合格基板ＫＹを第６基板搬送装置７６が搬送する場合には、第６基板搬送装置７６が不合格基板搬送装置８６となる。制御部により、第５および第６基板搬送装置７５、７６の一方を不合格基板搬送装置８６に設定しかつ搬送動作を制御する機能が、本発明の不合格基板搬送制御手段に相当する。

作業ステーション８５には、作業専用モニタ８３０が配置されている。作業専用モニタ８３０は、第１実施形態の作業専用モニタ８３と同一品であり、『追いはんだ』ボタン８３５を未使用としている点が異なる。表示画面８３１は、外観検査装置４８が不合格と判定した内容、例えば、不合格基板のＩＤコードや不合格の発生している基板上の位置、不合格となった部品種または部品番号、不合格の状況（部品姿勢不良や欠品）などを表示して、オペレータＭ２の作業の便宜を図るようになっている。シグナルタワー８３２は、不合格基板ＫＹが発生したときに、音声によりオペレータＭ２への通報を行うようになっている。

また、３つの押しボタン、すなわち『虚報』ボタン８３３、『リペア』ボタン８３４、および『廃棄』ボタン８３６の使用方法は第１実施形態と同様である。作業専用モニタ８３０は、押下された押しボタン８３３、８３４、８３６に基づいて不合格基板ＫＹの搬送先を決定し、不合格基板搬送装置８６を制御する。また、作業専用モニタ８３は、搬送先となる外観検査装置４８およびシールド装着装置５１に直接あるいはホストコンピュータを介して、作業結果を通知する。

次に、上述のように構成された第２実施形態の基板生産ライン２の動作について説明する。図５は、第２実施形態の基板生産ライン２の動作を説明するフローチャートの図である。このフローチャートは、１枚の基板Ｋに対する処理内容を示しており、基板生産システム１００が生産する基板Ｋの枚数だけ繰返して実施される。ステップＳ３１で、外観検査装置４８は、搬入された基板Ｋの部品実装外観を検査する。ステップＳ３２で、検査結果が合格のときステップＳ３３に進み、シールド装着装置５１へ合格した基板Ｋを正転搬送して、一連の処理が終了する。

ステップＳ３２で、検査結果が不合格のときステップＳ３４に進む。このとき、作業専用モニタ８３０のシグナルタワー８３２が、不合格基板ＫＹの発生した旨をオペレータＭ２に通報する。また、不合格基板ＫＹを外観検査装置４８から搬出する第５および第６基板搬送装置７５、７６の一方が不合格基板搬送装置８６となる。不合格基板搬送装置８６は、ステップＳ３４で正転して作業ステーション８５へ不合格基板ＫＹを正転搬送し、ステップＳ３５で作業ステーション８５に不合格基板ＫＹを停止させる。

次にステップＳ３６で、オペレータＭ２が不合格基板ＫＹの目視確認作業を行う。確認作業の結果、実際には不良箇所がなくあるいは不良程度が軽微で許容範囲内であるとき、不合格の検査結果を虚報として合格に訂正判定する。そしてステップＳ３７で、オペレータＭ１は『虚報』ボタン８３３を押下する。これによりステップＳ３３に合流し、不合格基板搬送装置８２は正転し、合格に訂正判定された基板Ｋを作業ステーション８５からシールド装着装置５１へ正転搬送する。同時に、『虚報』の作業結果がシールド装着装置５１に通知され、一連の処理が終了する。この後、後工程のシールド装着装置５１は、合格に訂正判定された基板Ｋにシールド部品の装着を行う。

ステップＳ３６で不良箇所があるときにはステップＳ３８に進み、オペレータＭ２は、リペアの必要があるか否かを判定する。リペアが必要と判断したときにはステップＳ３９に進み、オペレータＭ２はリペア作業を行う。このとき、作業ステーション８５上でリペア作業を実施してもよく、作業ステーション８５から不合格基板ＫＹを取り外し別の場所でリペア作業を実施した後に作業ステーション８５上に戻すようにしてもよい。リペア作業の終了後、ステップＳ４０で、オペレータＭ２は『リペア』ボタン８３４を押下する。ステップＳ４１で不合格基板搬送装置８６は逆転し、リペアされた不合格基板ＫＹを作業ステーション８６から外観検査装置４８へ逆転搬送する。同時に、『リペア』の作業結果が外観検査装置４８に通知される。前工程の外観検査装置４８は、通知に基づいて再検査が必要と判定し、ステップＳ３１に戻る。

なお、この場合、オペレータＭ２が不合格基板ＫＹ上でリペア作業を行った範囲、部位を作業専用モニタ８３０に入力し、作業結果が『リペア』であることとリペア作業を行った範囲、部位を外観検査装置４８に通知するようにしてもよい。これにより、外観検査装置４８における再検査の検査対象範囲を限定して再検査時間を短縮することができる。

ステップＳ３８でリペアを行っても合格となる見込みがないときにはステップＳ４２に進み、オペレータＭ２は、作業ステーション８５から不合格基板ＫＹを取り外して廃棄する。続くステップＳ４３で、オペレータＭ２は『廃棄』ボタン８３６を押下し、一連の処理が終了する。

第２実施形態の基板生産ライン２では、オペレータＭ２が外観検査装置４８で不合格とされた不合格基板ＫＹに作業を行った後に、作業専用モニタ８３上の『虚報』ボタン８３３、『リペア』ボタン８３４、および『廃棄』ボタン８３６のいずれかを押下して作業結果を入力する。これにより、不合格基板搬送装置８６は、不合格基板ＫＹを外観検査装置４８またはシールド装着装置５１のどちらかに自動的に搬送するとともに作業結果を通知する。したがって、不合格基板ＫＹのハンドキャリーは不要となりオペレータＭ２の作業負荷が軽減される、また、不合格基板ＫＹを落下させてしまったり、不合格基板ＫＹの搬送先を誤ったりする人為的ミスが減少する。

さらに、並列配置された第５および第６基板搬送装置７５、７６の一方を不合格基板搬送装置８６とするので、不合格基板ＫＹは外観検査装置４８から搬送コンベアに払い出される。このため、コンベア搬送面を作業ステーション８５としてオペレータＭ２による作業が可能となり、作業性が良好となる。一方で、第５および第６基板搬送装置７５、７６の他方は基板Ｋの搬送を継続できるので、不合格基板ＫＹが発生したときに、シングルレーンによる基板Ｋの生産を支障なく継続できる。さらに、シャトル装置を適宜設けた態様では、不合格基板ＫＹが発生したときに、シャトル装置による基板Ｋの受け渡しを行いダブルレーンによる基板Ｋの生産を支障なく継続できる。

次に、第３実施形態の基板生産ライン１０について、第１および第２実施形態と異なる点を主に説明する。図６は、第３実施形態の基板生産ライン１０の構成を説明する図であり、（１）は平面図、（２）は基板搬送方向の側方から見た側面図である。第３実施形態の基板生産ライン１０は、１系列の基板搬送装置を有するシングルレーンタイプであり、基板生産工程装置としてのはんだ印刷装置３０、およびはんだ検査装置４１０を含んで構成されている。

はんだ印刷装置３０は、印刷部を有して図略の基板供給装置から供給された基板Ｋ（図中に斜線を付して示す）にペースト状のはんだを印刷する装置であり、シングルレーンタイプである点が第１実施形態と異なる。はんだ検査装置４１０はモジュール形の装置であり、後工程側にモジュール形の部品実装装置４２０が列設されている。はんだ検査装置４１０と部品実装装置４２０との間は基板搬送装置７３０で連結されており、正転搬送により基板Ｋを搬送できるようになっている。なお、各基板生産工程装置３０、４１０、４２０にそれぞれ制御コンピュータが設けられ、さらにホストコンピュータが設けられ、これらをまとめて制御部と呼称する点は第１実施形態と同様である。

はんだ印刷装置３０とはんだ検査装置４１０との間に、制御部によって制御される下方基板搬送装置９１、上方基板搬送装置９２、およびリフト装置９３が設けられている。下方基板搬送装置９１は、コンベア搬送面に基板Ｋを載置して正転搬送が可能である搬送コンベアを備え、はんだ印刷装置３０からはんだ検査装置４１０へ基板Ｋを搬送する基板搬送装置の一部となっている。上方基板搬送装置９２は、コンベア搬送面に基板Ｋを載置して正逆方向に搬送が可能である搬送コンベアを備え、正転搬送および逆転搬送により基板Ｋを搬入出できるようになっている。リフト装置９３は、下方基板搬送装置９１を下側に保持し、上方基板搬送装置９２を上側に保持し、両者９１、９２を揃えて昇降させるように構成されている。

図６の（２）には、リフト装置９３が下方および上方基板搬送装置９１、９２を上昇位置に上昇させた状態が示されている。図示される上昇位置で、下方基板搬送装置９１は、はんだ印刷装置３０内の基板搬送装置３１、およびはんだ検査装置４１０側の基板搬送装置７３０と整列する。これにより、通常生産時に、下方基板搬送装置９１を介してはんだ印刷装置３０からはんだ検査装置４１０へ基板Ｋが搬送される。

また、リフト装置９３が下方および上方基板搬送装置９１、９２を下降させた下降位置では、上方基板搬送装置９２が基板搬送装置３１および基板搬送装置７３０と整列する。これにより、はんだ検査装置４１０で不合格基板ＫＺが発生したときに、上方基板搬送装置９２が逆転し、不合格基板ＫＺがはんだ検査装置４１から逆転搬送されてコンベア搬送面に払い出される。リフト装置９３によって下降位置で基板搬送装置３１、７３０に整列された上方基板搬送装置９２が不合格基板搬送装置８９となる。

不合格基板ＫＺをコンベア搬送面に戴置した上方基板搬送装置９２が上昇位置に上昇されると、不合格基板ＫＺにオペレータＭ３が作業を行うことが可能となり、このエリアが本発明の作業ステーション８８となる。つまり、作業ステーション８８は、はんだ印刷装置３０の後工程側に隣接しかつはんだ検査装置４１０の前工程側に隣接して設けられる。制御部により、リフト装置９３の昇降動作および上方基板搬送装置９２の搬送動作を制御する機能が、本発明の不合格基板搬送制御手段に相当する。作業ステーション８８には、第１実施形態と同じ作業専用モニタ８３が配置されている。

次に、上述のように構成された第３実施形態の基板生産ライン１０の動作について説明する。図７は、第３実施形態の基板生産ライン１０の動作を説明する図であり、（１）〜（４）は時系列変化を示している。図６の（２）に示されるように、通常生産時に上昇位置で、下方基板搬送装置９１が基板Ｋを搬送していて、はんだ検査装置４１０で不合格基板ＫＺ（図中に斜格子線を付して示す）が発生した場合を考える。不合格基板ＫＺが発生すると、まず作業専用モニタ８３のシグナルタワー８３２が、不合格基板ＫＺの発生した旨をオペレータＭ３に通報する。

また、リフタ装置９３が下方および上方基板搬送装置９１、９２を下降位置に下降させて図７の（１）に示される状態になり、上方基板搬送装置９２が不合格基板搬送装置８９となる。次に、不合格基板搬送装置８９が逆転し、はんだ検査装置４１０から不合格基板ＫＺが逆転搬送されてコンベア搬送面に払い出され、図７の（２）に示される状態になる。さらに、リフタ装置９３が下方および上方基板搬送装置９１、９２を上昇位置に上昇させて、図７の（３）に示される状態になる。この状態で、コンベア搬送面に不合格基板ＫＺが戴置された上方基板搬送装置９２は作業ステーション８８となり、オペレータＭ３による不合格基板ＫＺへの作業が行えるようになる。一方、下方基板搬送装置９１ははんだ印刷装置３０の基板Ｋをはんだ検査装置４１０に正転搬送して生産を継続できる。

作業ステーション８８におけるオペレータＭ３の作業が終了して、『虚報』ボタン８３３、『リペア』ボタン８３４、および『追いはんだ』ボタン８３５のいずれかを押下すると、リフタ装置９３が下方および上方基板搬送装置９１、９２を下降位置に下降させて図７の（４）に示される状態になる。このとき、上方基板搬送装置９２がふたたび不合格基板搬送装置８９となる。したがって、不合格基板搬送装置８９は、『虚報』ボタン８３３の押下で正転し、合格に訂正判定された基板Ｋをはんだ検査装置４１０へ正転搬送し、さらにスルーさせて部品実装装置４２０に搬送する。また、不合格基板搬送装置８９は、『リペア』ボタン８３４の押下で正転し、リペアされた不合格基板ＫＺをはんだ検査装置４１へ正転搬送し、再検査に供する。さらに、不合格基板搬送装置８９は、『追いはんだ』ボタン８３５の押下で逆転し、不合格基板ＫＺをはんだ印刷装置３へ逆転搬送して追いはんだ印刷（再度の印刷）に供する。また、不合格基板搬送装置８９の正転搬送および逆転搬送と同時に、搬送先となるはんだ印刷装置３およびはんだ検査装置４１０に直接あるいはホストコンピュータを介して、作業結果が通知される。

なお、『虚報』ボタン８３３および『リペア』ボタン８３４の押下では、はんだ検査装置４１０に搬入空きスペースがあることを確認した後に、不合格基板搬送装置８９が正転する。仮に、はんだ検査装置４１０に搬入空きスペースがない場合は、基板Ｋの検査が終了して搬入空きスペースができるまで待機する。また、『追いはんだ』ボタン８３５の押下では、はんだ印刷装置３０に搬入空きスペースがあることを確認した後に、リフタ装置９３による下降を行う。仮に、はんだ印刷装置３０に搬入空きスペースがない場合は、印刷済の基板Ｋを下方基板搬送装置９２で正転搬送して搬入空きスペースを確保してから、リフタ装置９３による下降を行う。

また、図７の（３）で作業ステーション８８から不合格基板ＫＺが取り外されて廃棄され、オペレータＭ３が『廃棄』ボタン８３６を押下したときには、その時点で直ちに動作は終了する。つまり、下方および上方基板搬送装置９１、９２は上昇位置のままで、以降の基板Ｋの生産が継続される。

第３実施形態の基板生産ライン１０では、リフト装置９３が上方基板搬送装置９２を昇降させることで、不合格基板搬送装置８９および作業ステーション８８が実現される。これにより、不合格基板ＫＺが載置された上方基板搬送装置９２が上昇位置に上昇されることでオペレータＭ３による作業が可能となり、作業性が良好となる。一方で、不合格基板ＫＺが発生したときに、下方基板搬送装置９１が上昇位置で基板Ｋの搬送を行えるので、基板Ｋの生産を支障なく継続できる。
なお、本発明は上述の第１〜第３実施形態の他にも、様々な応用や変形が可能である。

１、２、１０：基板生産ライン
３、３０：はんだ印刷装置 ３１：基板搬送装置
４：第１部品実装ライン
４１、４１０：はんだ検査装置 ４２〜４７：第１〜第６部品実装装置
４２０：部品実装装置 ４８：外観検査装置
５：第２部品実装ライン ５１：シールド装着装置
６：リフロー装置
７１〜７９、７Ａ：第１〜第１０基板搬送装置 ７３０：基板搬送装置
８１、８５、８８：作業ステーション ８２、８６、８９：不合格基板搬送装置
８３、８３０：作業専用モニタ ８３１：表示画面 ８３２：シグナルタワー
８３３：『虚報』ボタン ８３４：『リペア』ボタン
８３５：『追いはんだ』ボタン ８３６：『廃棄』ボタン
９１：下方基板搬送装置 ９２：上方基板搬送装置 ９３：リフト装置
１００：基板生産システム
Ｋ：基板 ＫＸ、ＫＹ、ＫＺ：不合格基板
Ｍ１、Ｍ２：オペレータ

Claims (6)

1. 検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、
   前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、
   前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、
   前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、
   入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、
   前記検査装置が前記作業ステーションの後工程に配置される基板生産ライン。
2. 請求項１において、
   前記不合格基板搬送制御手段は、前記作業ステーションの前記不合格基板の搬送先を、前記検査装置、前記作業ステーションの前工程の基板生産工程装置、および前記検査装置の後工程の基板生産工程装置から三者択一する基板生産ライン。
3. 検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、
   前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、
   前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、
   前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、
   入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、
   前記検査装置は前記作業ステーションの後工程に配置されたはんだ検査装置であり、
   前記作業ステーションの前工程の前記基板生産工程装置ははんだ印刷装置であり、
   前記不合格基板搬送制御手段は、オペレータが前記作業ステーションで前記不合格基板にリペアを行ったとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を前記作業ステーションから前記はんだ検査装置に搬送し、前記はんだ検査装置での不合格判定が誤りであるとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を合格基板として前記はんだ検査装置の後工程の前記基板生産工程装置に搬送し、前記不合格基板に前記はんだ印刷装置で追いはんだ印刷する必要があるとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を前記作業ステーションから前記はんだ印刷装置に搬送するように、前記不合格基板搬送装置を制御する基板生産ライン。
4. 検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、
   前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、
   前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、
   前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、
   入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、
   前記検査装置は前記作業ステーションの前工程に配置された外観検査装置であり、
   前記作業ステーションの後工程の前記基板生産工程装置はシールド装着装置であり、
   前記不合格基板搬送制御手段は、オペレータが前記不合格基板に前記作業ステーションでリペアを行ったとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を前記作業ステーションから前記外観検査装置に搬送して再検査に供し、前記外観検査装置での不合格判定が誤りであるとの作業結果が前記入力手段に入力されると、前記不合格基板を合格基板として前記シールド装着装置に搬送するように、前記不合格基板搬送装置を制御する基板生産ライン。
5. 請求項１〜４のいずれか一項において、
   前記不合格基板搬送装置は、前記作業ステーションに前記基板搬送装置と並列に配設され、コンベア搬送面に前記不合格基板を載置して正逆方向に搬送が可能である搬送コンベアを備える基板生産ライン。
6. 検査装置を含む複数の基板生産工程装置を基板搬送装置で連結して構成した基板生産ラインであって、
   前記検査装置に隣接して設けられ、前記検査装置で不合格と判定された不合格基板にオペレータが作業を行うことが可能な作業ステーションと、
   前記不合格基板を前記検査装置から前記作業ステーションに搬入出する不合格基板搬送装置と、
   前記作業ステーションに設けられ、前記作業ステーションで前記オペレータが前記不合格基板に作業を行った後に作業結果を入力する入力手段と、
   入力された前記作業結果に基づいて、前記作業ステーションの前記不合格基板を前記検査装置あるいは前記作業ステーションの前工程または後工程の前記基板生産工程装置に搬送するように前記不合格基板搬送装置を制御する不合格基板搬送制御手段と、を備え、さらに、
   前記検査装置と該検査装置に隣接する前記基板生産工程装置との間に配置され、前記基板搬送装置の一部をなす下方基板搬送装置と、
   前記下方基板搬送装置の上方に配置され、基板を前記両装置間で正逆方向に搬送可能な上方基板搬送装置と、
   前記下方基板搬送装置および前記上方基板搬送装置を、前記下方基板搬送装置が前記基板搬送装置と整列する上昇位置と、前記上方基板搬送装置が前記基板搬送装置と整列する下降位置との間で昇降させるリフト装置と、を備え、
   前記不合格基板搬送装置は、前記リフト装置によって前記下降位置で前記基板搬送装置に整列された前記上方基板搬送装置であり、
   前記作業ステーションは、前記リフト装置によって前記上昇位置に上昇された前記上方基板搬送装置である基板生産ライン。

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