CN105932117B - 一种GaN基LED外延结构及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于光电子器件领域,具体为一种GaN基LED外延结构及其制备方法。GaN基LED外延结构包括在衬底上依次层叠的自组装GaN纳米棒、非故意掺杂的GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN多量子阱有源层、P型GaN层、P型GaN接触层。本发明在衬底和GaN层之间自组装生长GaN纳米柱,形成了底部具有纳米柱的外延片,一方面纳米柱能够减少由于晶格失配引起的位错、V形坑等缺陷,提高外延片的晶体质量,另一方面纳米柱结构可以看作是表面粗化层能够减少全内反射,提高光的出光效率。因此,底部具有GaN纳米柱的LED外延结构能够提高LED器件的光电性能。
Description
技术领域
本发明属于光电子器件领域,具体为一种GaN基LED外延结构及其制备方法。
背景技术
发光二极管(Light Emitting Diode,LED)具有高亮度、低能耗、长寿命、响应速度快及环保等特点,广泛地应用于室内及路灯照明、交通信号以及户外显示、汽车车灯照明、液晶背光源等多个领域。
目前蓝光GaN 基LED的内量子效率可达80%以上, 但大功率LED芯片的外量子效率通常只有40%左右。制约外量子效率提高的主要因素是GaN界面与空气界面发生全内反射造成光的提取效率较低,这是因为 GaN 材料的折射率2.5,空气的折射率1,GaN与空气界面发生全反射的临界角是23.6°,即有源区产生的光只有少数能够逃逸出体材料。目前国内外主要采用分布布喇格反射层 (DBR) 、图形化衬底(PSS)、表面粗化和光子晶体等技术来提高芯片的光提取效率。DBR、光子晶体和PSS制作过程对设备和工艺要求很高,工艺相对复杂,导致成本偏高,而表面粗化技术采用干法刻蚀或者湿法腐蚀工艺,也存在很大挑战。新型的一维核壳结构的纳米棒在减少外延片中的缺陷密度,提高内量子效率方面有很大优势,但是制备有序的核壳结构纳米棒工艺复杂,难度较高。
发明内容
本发明为了解决传统工艺在提高芯片的光提取效率方面工艺复杂、成本高的问题,提供了一种GaN基LED外延结构及其制备方法。
本发明是采用如下的技术方案实现的:一种GaN基LED外延结构,所述LED器件从下向上依次包括衬底、位于衬底上的自组装GaN纳米柱、位于GaN纳米柱上的非故意掺杂GaN层、位于非故意掺杂GaN层上的N型GaN层、位于N型GaN层上的多量子阱发光层、位于多量子阱发光层上的P型GaN层和位于P型GaN层上的P型GaN接触层。
上述的GaN基LED外延结构,所述衬底为蓝宝石、Si、SiC、GaN中的一种。
上述的一种GaN基LED外延结构,所述GaN纳米柱的高度为500-3000nm,直径为100-800nm,密度为107-109cm-2。
上述的一种GaN基LED外延结构,所述非故意掺杂GaN层为生长在GaN纳米柱上的平整的GaN薄膜。
上述的一种GaN基LED外延结构的制备方法,包括以下步骤:
S1:提供衬底并进行表面氮化,将衬底在H2氛围中烘烤10-20min,温度为1050-1200℃,随后通入NH3进行氮化,生成AlN薄层,氮化时间10-50s;
S2:通入SiNx和NH3在AlN薄层上生成SiNx薄层,生长温度950-1050℃,生长厚度1-10nm,SiNx薄层为不连续的薄膜;
S3:通入TMG和NH3在AlN薄层上生长GaN种子层,N2作为载气,N2流量为4000-8000sccm,生长温度950-1050℃,生长时间为10s-50s,V/III比为10-50,GaN种子层优先生长在AlN薄层上不连续SiNx薄膜和没有覆盖SiNx的交汇处,覆盖SiNx薄膜的位置不会生长GaN种子层;
S4:通入TMG和NH3在GaN种子层上垂直生长GaN纳米柱,载气为N2和H2,N2和H2的比例是35:1-50:1,生长温度950-1050℃,V/III比为10-50,生长初始阶段通入微量的SiH4,SiH4附着于纳米柱的侧壁,能够抑制GaN的横向生长,有助于GaN的垂直生长;
S5:在GaN纳米柱上生长非故意掺杂GaN层,在非故意掺杂GaN层上生长N型GaN层,在N型GaN层上生长多量子阱发光层,在多量子阱发光层上生长P型GaN层,在P型GaN层上生长P型GaN接触层,最后得到GaN基LED外延结构。
该GaN基LED外延结构的制备方法可在MOCVD和MBE设备内完成。
上述的一种GaN基LED外延结构的制备方法,非故意掺杂GaN层生长时采取横向生长的方式形成表面平坦的GaN层,生长厚度为2~4um,生长温度为950-1200℃,V/III比为500-5000。
本发明通过以上工艺,形成底部具有GaN纳米柱的LED外延结构。一方面纳米柱能够减少由于晶格失配引起的位错、V形坑等缺陷,提高外延片的晶体质量,另一方面纳米柱结构可以看作是表面粗化层,能够减少全内反射,提高光的出光效率。因此,底部具有GaN纳米柱的LED外延结构能够提高LED器件的光电性能。
附图说明
图1为现有技术中GaN基LED外延结构示意图。
图2为本发明中GaN基LED外延结构示意图。
图3为本发明中GaN基LED外延片制备的LED芯片结构示意图。
图中:1-衬底,2-GaN纳米柱,3-非故意掺杂GaN层,4-N型GaN层,5-多量子阱发光层,6-P型GaN层,7-N型电极,8-P型电极。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明作进一步说明。
图1为现有技术中GaN基LED 外延片的结构示意图,从下向上依次包括:蓝宝石衬底、GaN 成核层、非故意掺杂 GaN 层、N 型 GaN 层、多量子阱发光层、P 型 GaN 层和 P 型GaN 接触层。
图2为本发明中GaN基LED外延片的结构示意图,外延片结构包括衬底,本实施方式中衬底为蓝宝石衬底,在其他实施方式中也可以为其他衬底材料,如Si、SiC、GaN等;位于衬底上的自组装GaN纳米柱,GaN纳米柱的高度为500-3000nm,直径为100-800nm,密度为107-109cm-2;位于GaN纳米柱上的非故意掺杂GaN层,非故意掺杂GaN层为生长在GaN纳米柱上的平整的GaN薄膜;位于非故意掺杂 GaN 层上的N型GaN层;位于N型GaN 层上多量子阱发光层;位于多量子阱发光层上的P型GaN层;位于P型GaN层上的 P 型 GaN 接触层。
实施例一:
一种GaN基LED外延结构的制备方法,包括以下步骤:
S1:清洁蓝宝石衬底并进行表面氮化,将衬底在H2氛围中烘烤10min,温度为1050℃,随后通入NH3进行氮化,生成AlN薄层,氮化时间10s;
S2:通入SiNx和NH3在AlN薄层上生成SiNx薄层,生长温度950℃,生长厚度1nm,SiNx薄层为不连续的薄膜;
S3:通入TMG和NH3在AlN薄层上生长GaN种子层,N2作为载气,N2流量为4000sccm,生长温度950℃,生长时间为10s,V/III比为10,GaN种子层优先生长在AlN薄层上不连续SiNx薄膜和没有覆盖SiNx薄膜的交汇处,覆盖SiNx薄膜的位置不会生长GaN种子层;
S4:通入TMG和NH3在GaN种子层上垂直生长GaN纳米柱,载气为N2和H2,N2和H2的比例是35:1,生长温度950℃,V/III比为10,生长的初始阶段通入微量的SiH4,SiH4附着于纳米柱的侧壁,能够抑制GaN的横向生长,有助于GaN的垂直生长;
S5:在GaN纳米柱上生长非故意掺杂GaN层,非故意掺杂GaN层生长时采取横向生长的方式形成表面平坦的GaN层,生长厚度为2um,生长温度为950℃,V/III比为500,在非故意掺杂GaN层上生长N型GaN层, 在N型GaN层上生长多量子阱发光层,在多量子阱发光层上生长P型GaN层,在P型GaN层上生长P型GaN接触层,最后得到GaN基LED外延结构。
实施例二:
上述的一种GaN基LED外延结构的制备方法,包括以下步骤:
S1:清洁蓝宝石衬底并进行表面氮化,将衬底在H2氛围中烘烤20min,温度为1200℃,随后通入NH3进行氮化,生成AlN薄层,氮化时间50s;
S2:通入SiNx和NH3在AlN薄层上生成SiNx薄层,生长温度1050℃,生长厚度10nm,SiNx薄层为不连续的薄膜;
S3:通入TMG和NH3在AlN薄层上生长GaN种子层,N2作为载气,N2流量为8000sccm,生长温度1050℃,生长时间为50s,V/III比为50,GaN种子层优先生长在AlN薄层上不连续SiNx薄膜和没有覆盖SiNx薄膜的交汇处,覆盖SiNx薄膜的位置不会生长GaN种子层;
S4:通入TMG和NH3在GaN种子层上垂直生长GaN纳米柱,载气为N2和H2,N2和H2的比例是50:1,生长温度1050℃,V/III比为50,生长初始阶段通入微量的SiH4,SiH4附着于纳米柱的侧壁,能够抑制GaN的横向生长,有助于GaN的垂直生长;
S5:在GaN纳米柱上生长非故意掺杂GaN层,非故意掺杂GaN层生长时采取横向生长的方式形成表面平坦的GaN层,生长厚度为4um,生长温度为1200℃,V/III比为2000,在非故意掺杂GaN层上生长N型GaN层, 在N型GaN层上生长多量子阱发光层,在多量子阱发光层上生长P型GaN层,在P型GaN层上生长P型GaN接触层,最后得到GaN基LED外延结构。
实施例三:
上述的一种GaN基LED外延结构的制备方法,包括以下步骤:
S1:清洁蓝宝石衬底并进行表面氮化,将衬底在H2氛围中烘烤15min,温度为1150℃,随后通入NH3进行氮化,生成AlN薄层,氮化时间30s;
S2:通入SiNx和NH3在AlN薄层上生成SiNx薄层,生长温度1000℃,生长厚度5nm,SiNx薄层为不连续的薄膜;
S3:通入TMG和NH3在AlN薄层上生长GaN种子层,N2作为载气,N2流量为6000sccm,生长温度1000℃,生长时间为30s,V/III比为20,GaN种子层优先生长在AlN薄层上不连续SiNx薄膜和没有覆盖SiNx薄膜的交汇处,覆盖SiNx薄膜的位置不会生长GaN种子层;
S4:通入TMG和NH3在GaN种子层上垂直生长GaN纳米柱,载气为N2和H2,N2和H2的比例是40:1,生长温度1000℃,V/III比为20,生长初始阶段通入微量的SiH4,SiH4附着于纳米柱的侧壁,能够抑制GaN的横向生长,有助于GaN的垂直生长;
S5:在GaN纳米柱上生长非故意掺杂GaN层,非故意掺杂GaN层生长时采取横向生长的方式形成表面平坦的GaN层,生长厚度为3um,生长温度为1050℃,V/III比为5000,在非故意掺杂GaN层上生长N型GaN层, 在N型GaN层上生长多量子阱发光层,在多量子阱发光层上生长P型GaN层,在P型GaN层上生长P型GaN接触层,最后得到GaN基LED外延结构。
Claims (5)
1.一种GaN基LED外延结构,其特征在于从下向上依次包括衬底(1)、位于衬底上的自组装GaN纳米柱(2)、位于GaN纳米柱上的非故意掺杂GaN层(3)、位于非故意掺杂GaN层上的N型GaN层(4)、位于N型GaN层上的多量子阱发光层(5)、位于多量子阱发光层上的P型GaN层(6)和位于P型GaN层上的P型GaN接触层,该外延结构的制备方法,包括以下步骤:
S1:清洁衬底并进行表面氮化,将衬底在H2氛围中烘烤10-20min,温度为1050-1200℃,随后通入NH3进行氮化,生成AlN薄层,氮化时间10-50s;
S2:通入SiNx和NH3在AlN薄层上生成SiNx薄层,生长温度950-1050℃,生长厚度1-10nm,SiNx薄层为不连续的薄膜;
S3:通入TMG和NH3在AlN薄层上生长GaN种子层,N2作为载气,N2流量为4000-8000sccm,生长温度为950-1050℃,生长时间为10s-50s,V/III比为10-50,GaN种子层优先生长在AlN薄层上不连续SiNx薄膜和没有覆盖SiNx薄膜的交汇处;
S4:通入TMG和NH3在GaN种子层上垂直生长GaN纳米柱,载气为N2和H2,N2和H2的比例是35:1-50:1,生长温度950-1050℃,V/III比为10-50,生长初始阶段通入SiH4,SiH4附着于纳米柱的侧壁,能够抑制GaN纳米柱的横向生长,有助于GaN纳米柱的垂直生长;
S5:在GaN纳米柱上生长非故意掺杂GaN层,在非故意掺杂GaN层上生长N型GaN层,在N型GaN层上生长多量子阱发光层,在多量子阱发光层上生长P型GaN层,在P型GaN层上生长P型GaN接触层,最后得到GaN基LED外延结构。
2.如权利 要求1所述的GaN基LED外延结构,其特征在于所述衬底为蓝宝石、Si、SiC、GaN中的一种。
3.如权利 要求1或2所述的一种GaN基LED外延结构,其特征在于所述GaN纳米柱的高度为500-3000nm,直径为100-800nm,密度为107-109cm-2。
4.如权利 要求1或2所述的一种GaN基LED外延结构,其特征在于所述非故意掺杂GaN层为生长在GaN纳米柱上的平整的GaN薄膜。
5.如权利 要求1所述的一种GaN基LED外延结构,其特征在于非故意掺杂GaN层生长时采取横向生长的方式形成表面平坦的GaN层,生长厚度为2~4um,生长温度为950-1200℃,V/III比为500-5000。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
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