CN105874303A - 用于通过解调相位误差校正的陀螺仪零速率偏移漂移降低的系统和方法 - Google Patents

用于通过解调相位误差校正的陀螺仪零速率偏移漂移降低的系统和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105874303A
CN105874303A CN201480058557.9A CN201480058557A CN105874303A CN 105874303 A CN105874303 A CN 105874303A CN 201480058557 A CN201480058557 A CN 201480058557A CN 105874303 A CN105874303 A CN 105874303A
Authority
CN
China
Prior art keywords
signal
phase
output
demodulator
gyroscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201480058557.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105874303B (zh
Inventor
C·D·伊泽科维
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of CN105874303A publication Critical patent/CN105874303A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105874303B publication Critical patent/CN105874303B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5776Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C25/00Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
    • G01C25/005Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass initial alignment, calibration or starting-up of inertial devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

一种用于处理来自陀螺仪的信号的电路包括分别参考来自陀螺仪的同相和正交相位调制信号生成同相解调信号的第一解调器和生成正交相位解调信号的第二解调器。该电路包括数字处理器,其从解调器接收解调的同相和正交相位信号,并参照同相解调信号和正交相位解调信号生成对应于沿预定轴的陀螺仪的旋转的输出信号以从同步信号去除正交相位信号的一部分。

Description

用于通过解调相位误差校正的陀螺仪零速率偏移漂移降低的 系统和方法
技术领域
本公开大体涉及陀螺仪传感器,并且更具体地,涉及用于校正来自陀螺仪传感器的输出信号中的误差的电路。
背景技术
陀螺仪通常用于感测对象沿着一个或多个旋转轴的旋转或姿态。例如,陀螺仪已经长期用于海军舰艇、飞机和宇宙飞船中以识别船的旋转并且用在稳定性控制系统中。更近期地,陀螺仪已经被并入微机电(MEM)器件。尽管传统陀螺仪绕轴旋转,MEMS陀螺仪典型地包括使用光刻工艺形成在适合于安装到印刷电路板或与其他电子部件一起安装的集成电路中的振动元件。因为MEMS器件绕轴旋转,振动元件的振荡平面趋于保持恒定,并且来自MEMS传感器的经调制的电信号对应于用于MEMS器件绕轴的支撑件的姿态。一些MEMS器件包括多个振动陀螺仪元件,其使能感测沿三维空间中的多个轴的旋转。
当前技术的MEMS陀螺仪被用在宽广范围的设备中,该设备包括但不限于,智能电话、平板电脑和其他便携式电子设备。例如,许多便携式设备包括显示在纵向或横向的取向中的文本和图形的显示屏幕。在移动电子设备中的MEMS陀螺仪生成对应于在横向和纵向取向之间的设备的旋转的信号,并且在移动电子设备中的微处理器基于来自陀螺仪的信号调整图形显示。在移动设备中的MEMS陀螺仪的附加用途包括,但不限于,用户输入和惯性导航应用。
虽然MEMS陀螺仪已在紧凑电子设备中变得流行,现有的MEMS陀螺仪的结构和操作条件将误差引入了在陀螺仪中生成的信号。例如,MEMS陀螺仪的不同的制造公差和波动的操作温度生成在来自陀螺仪中的振动感测元件的信号的输出中的正交信号误差。由于在机械感测元件和从陀螺仪传感器接收调制的模拟信号并生成适合于利用数字微处理器处理的解调数字信号的电子部件中的延迟,引入解调相位误差。用于减轻偏移漂移误差的现有解决方案包括复杂的闭环反馈电路,其增加了陀螺仪传感器系统的成本、复杂性和电功率消耗。因此,利用减少的偏移漂移误差对处理振动陀螺仪传感器中生成的信号的电路的改进将是有利的。
发明内容
在一个实施例中,传感器电路生成对应于陀螺仪传感器的输出的输出信号,其中该传感器电路去除来自陀螺仪的输出信号的偏移漂移中的一些或全部。该电路包括:第一解调器,被配置为从所述陀螺仪中的感测元件的输出接收调制信号,所述第一解调器参考所述调制信号生成同相解调信号;第二解调器,被配置为从所述陀螺仪中的所述感测元件的输出接收所述调制信号,所述第二解调器参考所述调制信号生成正交相位解调信号;以及数字处理器,被配置为接收来自所述第一解调器的输出的解调的同相信号和来自所述第二解调器的输出的解调的正交相位信号。所述数字处理器被配置为参照同相解调信号和正交相位解调信号生成对应于所述陀螺仪沿预定轴的旋转的输出信号,以从所述同相信号去除所述正交相位信号的一部分。
附图说明
图1是在监测陀螺仪的一个或多个轴的输出并去除来自陀螺仪输出的偏移漂移误差的电路中的功能单元的方框图。
图2是监测沿一个或多个轴的陀螺仪的输出并去除来自陀螺仪输出的偏移漂移误差的电路的示意图。
具体实施方式
下面的描述和附图提供本文中公开的系统和方法的环境的大体理解,以及该系统和方法的细节。在附图中,类似的附图标记通篇用于指明类似的元件。
如本文所使用的,术语同相信号指的是来自传感器(诸如陀螺仪传感器)的承载对应于在操作期间传感器测量的属性的来自传感器的信息的信号。例如,来自振动型陀螺仪的同相信号是对应于陀螺仪传感器中的振动元件的运动的调制信号。
如本文所使用的,术语正交信号指的是具有与同相信号的正交相位(90°相位偏移)的来自传感器的另一信号。正交相位信号也被称为正交误差信号。理想的是,同相信号与正交相位信号完全分离。然而,在实际电路中,相位偏移误差可能使得难以测量仅同相信号。
如本文所使用的,术语相位偏移误差指的是由传感器信号的生成和传感器信号的测量之间的时间延迟产生的在来自陀螺仪传感器的信号的测量中的误差。在测量来自传感器的信号的电路中的陀螺仪或其他部件的感测元件中的固有延迟产生相位偏移误差。相位偏移误差导致正交相位信号的一部分在时间上移位而与同相信号的一部分重叠。因此,相位偏移误差导致正交相位误差信号的一部分的包括被包括在测量的同相信号中,这可能导致在陀螺仪的输出的测量中不可接受的大的误差。相位延迟误差在个体陀螺仪传感器和测量电路之间变化,并且可以随着时间的推移而变化,这归因于在安装基板上的陀螺仪传感器的物理配置并且归因于环境因素如背景温度。如下面更详细地描述的,信号处理电路测量同相和正交相位信号两者,并从同相信号的测量结果去除正交相位信号的一部分,以减少或消除该相位偏移误差在来自陀螺仪传感器的测得信号中产生的测量误差。
图1是包括陀螺仪传感器102和同相正交相位(I / Q)解调器120的系统100的功能图,该解调器120解调来自陀螺仪传感器102的调制输出信号。在陀螺仪中,振动构件以预定频率振荡以生成同相调制力104,其产生对应于陀螺仪传感器的旋转的同相速率信号。陀螺仪102还经历正交相位力108,其从同相力104相移90°(π/2弧度)。每当陀螺仪感测元件102在工作,正交相位力108产生在感测质量116中的振荡。当陀螺仪感测元件102旋转时,同相力104还产生除了正交相位力108以外的感测质量116的振荡,作为由图1中的节点112所描绘的矢量和。感测质量116在陀螺仪传感器102中振荡,并且在感测质量116上的电极与在陀螺仪传感器102中的固定电极形成电容器。当陀螺仪传感器102旋转时,同相力104和正交相位力108(它们被在节点112处被加和以用于图1中的图示目的)二者引入不同于感测质量116的自然振荡的感测质量116的调制运动。感测质量116的调制运动生成能够使用电气电路来测量的在陀螺仪传感器102中的调制电容信号。
感测质量116通过传递函数Hs(jω)来表征。感测质量116响应于速率和正交力而振荡。当被陀螺仪的旋转期间在感测质量116中产生振荡运动的速率和正交力作用时,感测质量116经历振荡中的延迟。该延迟产生相位偏移误差,其导致在同相信号104的测量期间测量到正交相位信号108的一部分。相位偏移误差利用以下等式来逼近:,其中T0是预定的参考温度,而T是陀螺仪的当前工作温度。Φ(T0)的值是在参考温度T0下通过校准过程凭经验识别的,诸如在制造陀螺仪期间或通过校准过程。函数近似为其中,c0 = b0kT0 。系数b0,b1和a0...an的数值是在陀螺仪在参考温度T0下工作时测量来自陀螺仪的样本的校准过程期间凭经验识别的。
在本系统100中,同相解调器124生成对应于来自感测质量116的输出信号的同相分量的解调信号。在图1的配置中,同相模块132引入单位增益到来自解调器124的解调的同相信号。在另一配置中,同相模块132的增益对应于的值,而不是单位增益。正交相位解调器128生成解调正交相位信号。的相变对应于所识别的相位误差。因此,相位偏移误差校正模块136将解调正交相位信号乘以的缩放因子,其对应于所识别的相位误差,具有用于从对应的同相信号减去解调正交相位信号的一部分的负(-)缩放因子。I / Q解调器120去除由于相位延迟误差而被包括在所测量的同相信号中的正交相位信号的一部分。加法器140从组合的同相和缩放的正交相位解调信号生成输出信号。在图1的实施例中,加法器140生成同相解调信号和缩放的正交相位解调信号之间的差。在另一配置中,当缩放因子取代在图1中图示的缩放因子时,加法器单元140是生成同相信号和缩放的正交相位信号之间的差的减法单元。
图2是包括被电连接到振动型陀螺仪的输出以减少或消除在陀螺仪的输出信号中的相位延迟误差的I / Q解调器的系统200的一个实施例的示意图。该系统200包括陀螺仪感测元件202、感测通道208A、208B和208C、电容至电压转换器220、幅度调节器224、锁相环(PLL)228、温度传感器236和数字处理设备244。
在系统200中,感测元件202是例如在移动电子设备中使用的MEMS陀螺仪或任何其他合适的振动型陀螺仪之类的振动型陀螺仪。在图2的实施例中,感测元件202包括感测绕三个感测轴204A、204B和204C旋转的感测元件,每一个感测元件被配置为生成对应于振动元件的运动以及分别沿着x、y和z轴中的每个的陀螺仪的对应旋转的信号。x、y和z轴对应于在物理世界中的旋转的三个正交轴。在另一个实施例中,陀螺仪仅包括一个轴或布置在多个轴上的多个感测元件的不同配置。驱动轴206接收在感测轴204A、204B和204C中的每个的振动构件中生成振荡的电驱动信号。驱动轴206以预定频率驱动感测质量,以使能轴204A-204C中的每个以预定频率振荡。
在图2,感测通道208A被电连接到感测轴204A的​​输出。感测通道208A包括电容至电压转换器210,其响应于来自感测轴204A的调制电容输出而生成电压信号。在一个实施例中,PLL 228使用形成有低相位噪声属性的宽带II型半导体PLL来实施,以防止正交误差信号与解调时钟信号的相互混合。在系统200中,感测通道208B和208C以与感测通道208A同样的方式被配置为生成分别对应于来自感测轴204B和204C的解调信号的数字数据。感测通道208A进一步包括I / Q解调器,其包括同相解调器212和正交相位解调器216。同相解调器212和正交相位解调器216两者被电连接到电容至电压转换器210的输出以接收来自感测轴204A的​​调制输出电压信号。在图2的实施例中,同相解调器212和正交相位解调器216被实施为响应于来自PLL 228的同相和正交相位输出的切换信号而对电容至电压转换器210的输出进行解调的斩波电路。如下面更详细描述的,同相解调器212被连接到PLL 228的同相输出,以及正交相位解调器216被连接到PLL 228的正交输出,其具有与同相输出信号的π/2弧度(90°)的相位偏移。同相解调器212和正交相位解调器216生成分别对应于来自感测轴204A的​​调制输出信号的同相和正交相位分量的解调的模拟信号。模数转换器(ADC)214和218生成分别对应于解调器212和216的输出的数字输出数据。在一个实施例中,ADC 214和218是Δ-Σ(delta-sigma)调制器,该调制器包括单比特四阶ADC 214和二阶ADC 218,其对来自解调器212和216的模拟信号过采样。
在系统200中,该驱动轴206从幅度调节器电路224接收电驱动信号。幅度调节器电路224控制用于感测元件202中的驱动轴206的电驱动信号的幅度,其将感测元件202的振荡的幅度维持在预定水平。该PLL 228和幅度调节器224控制在闭环配置中的驱动轴206,其中驱动轴206的输出被供应给电容至电压转换器220,电容至电压转换器220生成对应于驱动轴206的振荡的输出电压。PLL 228从电容至电压转换器220接收输出信号,并生成跟踪信号输出,以控制到驱动轴206的信号的频率和相位。该PLL 228生成时变信号,该时变信号跟踪陀螺仪感测元件202中的移动构件的振荡的固有频率。PLL 228生成同相输出信号,其控制幅度调节器224的操作以操作驱动轴206,并且来自PLL 228的同相输出信号还控制同相解调器212。PLL 228包括相位延迟电路,其生成具有与同相信号的π/2 弧度(90°)的移位相位的移位正交相位输出,以控制正交相位调制器216的操作。
在系统200中,驱动轴206和解调器212和216都是由来自单个PLL 228的输出信号驱动。如上所述,感测轴204A-204C以及系统200中的其他部件在来自感测元件202的同相和正交相位输出信号中引入相位偏移误差。来自PLL 228的同相和正交相位信号也被供应给解调器212和216。现有技术感测电路尝试从同相信号过滤或分离正交相位信号,由于仅同相信号包括来自陀螺仪200中的感测元件的有用信息。然而,在系统200中,来自感测元件202的信号的正交相位分量不被丢弃。替代地,正交相位解调器216和ADC 218生成对应于解调正交相位信号的数字数据。如下面更详细描述的,根据在系统200中的相位偏移误差来缩放解调正交相位信号,并且缩放的正交相位信号分量被从输出信号的同相分量去除,以减少或消除输出信号中的相位偏移误差的影响。
在系统200中,温度传感器236包括温度感测元件238和ADC 240。在一个实施例中,温度感测元件238是与绝对温度成比例(PTAT)传感器元件。温度感测元件238生成对应于感测元件202的温度的模拟信号,并且ADC 240将模拟信号转换成供处理器244附加处理的数字数据。在一个实施例中,ADC 240是递增操作的二阶Δ-Σ调制器。温度传感器236提供用于识别正交相位解调信号数据的缩放因子的温度数据。测得的同相信号和正交相位误差信号之间的相位偏移误差和对应的重叠的大小取决于感测元件202的温度。
在系统200中,数字处理器244被体现为被配置为接收来自同相ADC 214、正交相位ADC 218和温度传感器ADC 240的数字解调信号数据的微处理器、微控制器、数字信号处理器(DSP)、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或任何其他数字处理设备。在一个实施例中,包括机械感测元件202、感测通道208A-208C、温度传感器236、幅度调节器224、PLL 228和数字后端244的整个系统200被集成到使用例如CMOS工艺、MEMS工艺的单个物理封装中。附加实施例包括系统200的机械、模拟电气和数字电子部件的组合。在图2的实施例中,数字处理器244进一步被配置为从感测通道208B和208C中的ADC接收数据,以使能分别监测在感测元件202中的感测轴204B和204C。
图2描绘数字处理器244执行以生成对应于来自感测元件202的信号的数字输出数据的操作的示意性配置。在图2的实施例中,处理器244将低通滤波器248、250和252分别应用于来自温度传感器236、同相解调器212和正交相位解调器216的数字数据。处理器244利用乘法器256将温度传感器236的滤波输出读数乘以常数值c1,并利用加法器260加上常数值c0。常数c0和c1的值是预定常数,其存储在与数字处理器244相关联的存储器中,并在上文参考函数被描述。加法器260的输出对应于方程的结果,其中T是从温度传感器236接收的感测元件202的电容温度读数。处理器244包括乘法器264,其将加法器260的输出乘以对应于来自滤波器252的正交相位解调信号的数字数据,以生成对应于解调的正交相位信号数据的缩放版本的数字数据。如上所述,乘法器264还引入负因子()到乘法处理,以产生对应于解调的正交相位信号数据的负缩放值。
数字处理器244使用加法器268将来自滤波器250的同相信号的数字数据与乘法器264的缩放正交相位误差信号输出相加以生成组合的输出信号。来自加法器268的组合输出信号对应于测得的同相信号和缩放的正交相位误差信号之间的差。因此,由于在系统200中的相位偏移误差引入正交相位误差信号的一部分到同相信号中,数字处理器244利用加法器268从同相解调信号数据中去除正交相位分量。如上所述,数字处理器244基于来自温度传感器236的温度数据并且参照用于陀螺仪感测元件202的校正数据来动态地调整缩放因子,以补偿在系统200的工作期间发生的相位偏移误差的变化。在一个实施例中,数字处理器244执行作为软件程序的部分的所存储的程序指令来执行滤波器248、250和252、乘法器256和264、以及加法器260和268的功能。
本领域的技术人员将认识到,可以对上述具体实施方案做出许多修改。因此,所附的权利要求并不限于图示和以上描述的特定实施例。如原始给出的以及如它们可能被修改的权利要求包含在此公开的实施例和教导的变型、替代、修改、改进、等同物和实质等同物,包括目前无法预料或无法认识的并且例如可以由申请人/专利权人及他人产生的那些。

Claims (11)

1.一种用于处理来自陀螺仪的信号的电路,包括:
第一解调器,被配置为从所述陀螺仪中的感测元件的输出接收调制信号,所述第一解调器参考所述调制信号生成同相解调信号;
第二解调器,被配置为从所述陀螺仪中的所述感测元件的输出接收所述调制信号,所述第二解调器参考所述调制信号生成正交相位解调信号;以及
数字处理器,被配置为接收来自所述第一解调器的输出的解调的同相信号和来自所述第二解调器的输出的解调的正交相位信号, 所述数字处理器被配置为:
参照同相解调信号和正交相位解调信号生成对应于所述陀螺仪沿预定轴的旋转的输出信号,以从所述同相信号去除所述正交相位信号的一部分。
2.如权利要求1所述的电路,所述数字处理器被进一步配置为:
生成对应于所述正交相位信号的数据乘以缩放因子的乘积的缩放数据,以减小数字数据的绝对值;
利用对应于在对应于所述同相信号的数据和所述缩放数据之间的差的另一数据生成所述输出信号。
3.如权利要求2所述的电路,还包括:
温度传感器,被配置为生成对应于所述陀螺仪的温度的信号。
4. 如权利要求3所述的电路,所述温度传感器还包括:
与绝对温度成比例(PTAT)传感器元件;和
第三ADC,其电连接到所述PTAT传感器元件的输出并且被配置为生成对应于由所述PTAT生成的信号的数字温度数据。
5.如权利要求3所述的电路,其中所述数字处理器可操作地连接到所述温度传感器的输出,并且所述数字处理器被进一步配置为:
从所述温度传感器接收对应于所述陀螺仪的温度的数据;
参考所述陀螺仪的温度调整所述缩放因子;和
将对应于所述正交相位信号的数据乘以调整后的缩放因子,以减小对应于所述正交相位信号的数字数据的绝对值。
6.如权利要求1所述的电路,还包括:
锁相环电路,其可操作地连接到所述第一解调器和所述第二解调器,所述锁相环被配置为:
接收对应于在所述陀螺仪中的驱动轴的运动的信号;
生成第一信号以控制所述第一解调器,所述第一信号是响应于来自所述驱动轴的信号以预定频率利用第一相位生成的;和
以所述预定频率利用第二相位生成第二信号来控制所述第二解调器,所述第二相位与所述第一相位不同。
7. 如权利要求6所述的电路,其中所述第二相位与所述第一相位不同大约π/ 2弧度。
8. 如权利要求6所述的电路,还包括:
电容至电压转换器,其电连接到在所述陀螺仪中的所述驱动轴的输出;并且
所述锁相环电路电连接到所述电容至电压转换器的输出,以使所述锁相环电路能够接收来自在所述陀螺仪中的所述驱动轴的信号。
9.如权利要求1所述的电路,还包括:
电容至电压转换器,其电连接到在所述陀螺仪中的所述感测元件的输出;
所述第一解调器电连接到所述电容至电压转换器的输出,以接收来自所述电容至电压转换器的调制信号;并且
所述第二解调器电连接到所述电容至电压转换器的输出,以接收来自所述电容至电压转换器的调制信号。
10.如权利要求1所述的电路,还包括:
第一模数转换器(ADC),其电连接到所述第一解调器的输出且被配置为生成对应于所述同相解调信号的数字数据;
第二模数转换器(ADC),其电连接到所述第二解调器的输出且被配置为生成对应于所述正交相位解调信号的数字数据;并且
所述数字处理器连接到所述第一ADC的输出以接收对应于所述同相解调信号的数字数据,并且所述数字处理器连接到所述第二ADC的输出以接收对应于所述正交相位解调信号的数字数据。
11.如权利要求10所述的电路,其中所述第一ADC和所述第二ADC是Δ-Σ调制器。
CN201480058557.9A 2013-08-26 2014-08-19 用于校正来自陀螺仪传感器的输出信号中的误差的电路 Active CN105874303B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/010,163 US9410806B2 (en) 2013-08-26 2013-08-26 System and method for gyroscope zero-rate-offset drift reduction through demodulation phase error correction
US14/010163 2013-08-26
PCT/US2014/051665 WO2015069359A2 (en) 2013-08-26 2014-08-19 System and method for gyroscope zero-rate-offset drift reduction through demodulation phase error correction

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105874303A true CN105874303A (zh) 2016-08-17
CN105874303B CN105874303B (zh) 2020-04-14

Family

ID=52481128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480058557.9A Active CN105874303B (zh) 2013-08-26 2014-08-19 用于校正来自陀螺仪传感器的输出信号中的误差的电路

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9410806B2 (zh)
EP (1) EP3039379B1 (zh)
JP (1) JP6345252B2 (zh)
KR (1) KR102068973B1 (zh)
CN (1) CN105874303B (zh)
TW (1) TWI646308B (zh)
WO (1) WO2015069359A2 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108253953A (zh) * 2016-12-29 2018-07-06 深迪半导体(上海)有限公司 一种mems陀螺仪的解调系统和解调装置
CN114152266A (zh) * 2020-09-08 2022-03-08 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 Mems陀螺正交误差校正系统

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5768822B2 (ja) * 2013-01-31 2015-08-26 株式会社デンソー センサ信号処理装置およびセンサ装置
US20160102978A1 (en) * 2014-10-14 2016-04-14 Richtek Technology Corporation Rotation velocity sensor and method for sensing rotation velocity
WO2016164543A1 (en) 2015-04-07 2016-10-13 Analog Devices, Inc. Quality factor estimation for resonators
DE102016207887A1 (de) 2016-05-09 2017-11-09 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Verarbeiten von Signalen und Vorrichtung
US11365983B2 (en) 2016-06-03 2022-06-21 Invensense, Inc. Demodulation phase calibration using external input
US10267650B2 (en) * 2016-06-03 2019-04-23 Invensense, Inc. Demodulation phase calibration
US11099031B2 (en) * 2016-12-19 2021-08-24 Idhl Holdings, Inc. Methods and apparatus for determining the zero rate output of a sensor using a learning algorithm
IT201700031167A1 (it) 2017-03-21 2018-09-21 St Microelectronics Srl Demodulatore per segnali modulati in fase e quadratura, giroscopio mems includente il medesimo e metodo di demodulazione
IT201700031177A1 (it) * 2017-03-21 2018-09-21 St Microelectronics Srl Demodulatore compensato per segnali modulati in fase e quadratura, giroscopio mems includente il medesimo e metodo di demodulazione
WO2019221774A2 (en) * 2017-10-16 2019-11-21 The Regents Of The University Of California Bandwidth extension for continuous mode reversal gyroscope
US10578435B2 (en) 2018-01-12 2020-03-03 Analog Devices, Inc. Quality factor compensation in microelectromechanical system (MEMS) gyroscopes
US10782131B2 (en) 2018-02-28 2020-09-22 Apple Inc. Quadrature ADC feedback compensation for capacitive-based MEMS gyroscope
JP6801684B2 (ja) * 2018-03-29 2020-12-16 株式会社デンソー 振動型ジャイロスコープ
JP7024566B2 (ja) 2018-04-06 2022-02-24 株式会社デンソー 振動型ジャイロスコープ
US11112269B2 (en) * 2018-07-09 2021-09-07 Analog Devices, Inc. Methods and systems for self-testing MEMS inertial sensors
US11041722B2 (en) 2018-07-23 2021-06-22 Analog Devices, Inc. Systems and methods for sensing angular motion in the presence of low-frequency noise
US10746550B2 (en) 2018-08-01 2020-08-18 Honeywell International Inc. Resonator fiber-optic gyro with quadrature error reducer
WO2020087088A2 (en) * 2018-09-25 2020-04-30 Ceva Technologies, Inc. Methods and apparatus for calibrating the zero rate output of a sensor
JP7115509B2 (ja) * 2019-06-19 2022-08-09 株式会社村田製作所 ジャイロスコープの連続セルフテスト
US11125560B2 (en) * 2019-07-30 2021-09-21 Invensense, Inc. Robust method for tuning of gyroscope demodulation phase
RU2743656C1 (ru) * 2020-04-29 2021-02-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева - КАИ" (КНИТУ-КАИ) Выключатель цепей коррекции гироскопических приборов ориентации на вираже
DE102020206919A1 (de) 2020-06-03 2021-12-09 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Sensorsystem, Verfahren zum Betreiben eines Sensorsystems
DE102020211317A1 (de) 2020-09-09 2022-03-10 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Sensorsystem, Verfahren zur Kompensation eines Offsets eines Drehratensignals
DE102020211467A1 (de) 2020-09-11 2022-03-17 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Schaltung für ein MEMS-Gyroskop sowie ein Verfahren zum Betreiben einer entsprechenden Schaltung
CN115127534B (zh) * 2022-09-01 2022-11-18 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种基于载波调制的石英陀螺正弦波相位检测补偿方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06109475A (ja) * 1992-09-30 1994-04-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 信号検出回路
US5487015A (en) * 1993-09-13 1996-01-23 Rockwell International Corporation Self-oscillating driver circuit for a quartz resonator of an angular rate sensor
CN1206110A (zh) * 1997-07-14 1999-01-27 利顿系统有限公司 惯性传感器的信号处理系统
US20060260382A1 (en) * 2004-02-04 2006-11-23 Fell Christopher P Method for reducing bias error in a vibrating structure gyroscope
US20070240486A1 (en) * 2005-03-04 2007-10-18 Moore Robert H Inertial measurement system and method with bias cancellation
US20090064781A1 (en) * 2007-07-13 2009-03-12 Farrokh Ayazi Readout method and electronic bandwidth control for a silicon in-plane tuning fork gyroscope
CN101799479A (zh) * 2009-02-10 2010-08-11 罗伯特·博世有限公司 用于转速传感器的振动补偿
CN102089620A (zh) * 2008-07-12 2011-06-08 大西洋惯性系统有限公司 振动结构陀螺仪的或者涉及振动结构陀螺仪的改进
US20110192226A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 Hayner David A Generation, Injection and Use of Pilot Tones for Gyro System Characterization
CN102401653A (zh) * 2010-09-07 2012-04-04 精工爱普生株式会社 角速度检测装置以及电子设备

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3625067A (en) * 1969-07-18 1971-12-07 Gen Motors Corp Device for detecting rotation about an axis and method of using the same
US4499436A (en) 1979-03-01 1985-02-12 Philamon, Inc. Motion amplitude regulator with breaking pulse regulation
US5347359A (en) 1987-10-19 1994-09-13 Litton Systems, Inc. Apparatus and method for correcting ring laser gyroscope phase angle errors induced by lock-in
US5325173A (en) 1990-05-04 1994-06-28 Litton Systems, Inc. Apparatus for compensating for change in laser gyro dither pickoff scale factor
US5289258A (en) 1992-01-15 1994-02-22 Honeywell Inc. Fiber optic gyroscope modulation error reduction
US5654906A (en) 1995-07-06 1997-08-05 Youngquist; John S. Rate gyro error correction and use as heading source
US5992233A (en) 1996-05-31 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope
US5978084A (en) 1997-08-26 1999-11-02 The Texas A&M University System Open loop signal processing circuit and method for a fiber optic interferometric sensor
JP4032758B2 (ja) * 2002-01-24 2008-01-16 トヨタ自動車株式会社 センサ装置
DE10320675B4 (de) 2003-05-08 2006-03-16 Litef Gmbh Betriebsverfahren für einen Corioliskreisel und dafür geeignete Auswerte-/Regelelektronik
US7127932B2 (en) * 2003-06-30 2006-10-31 Siemens Aktiengesellschaft Method for monitoring a rotational speed sensor
EP1639317B8 (de) * 2003-06-30 2007-10-17 Siemens VDO Automotive AG Drehratensensor mit einem vibrationskreisel und verfahren zum abgleich des drehratensensors
EP1642088B1 (de) * 2003-07-04 2007-05-02 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum abgleich eines drehratensensors
DE10360962B4 (de) 2003-12-23 2007-05-31 Litef Gmbh Verfahren zur Quadraturbias-Kompensation in einem Corioliskreisel sowie dafür geeigneter Corioliskreisel
US7464590B1 (en) 2004-03-12 2008-12-16 Thomson Licensing Digitally programmable bandwidth for vibratory rate gyroscope
WO2007111978A2 (en) 2006-03-24 2007-10-04 Custom Sensors & Technologies, Inc. Inertial measurement system and method with bias cancellation
US8151641B2 (en) 2009-05-21 2012-04-10 Analog Devices, Inc. Mode-matching apparatus and method for micromachined inertial sensors
JP2011203028A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Hitachi Automotive Systems Ltd 角速度および加速度の検出装置
JP2011242257A (ja) * 2010-05-18 2011-12-01 Murata Mfg Co Ltd 振動ジャイロ
JP5454408B2 (ja) * 2010-07-30 2014-03-26 セイコーエプソン株式会社 センシング装置及び電子機器
JP5714388B2 (ja) * 2011-04-01 2015-05-07 シチズンホールディングス株式会社 センサ駆動回路、及びそれを用いた物理量センサ
US9705450B2 (en) * 2011-06-24 2017-07-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Apparatus and methods for time domain measurement of oscillation perturbations
JP2013011539A (ja) * 2011-06-30 2013-01-17 Hitachi Automotive Systems Ltd 角速度検出装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06109475A (ja) * 1992-09-30 1994-04-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 信号検出回路
US5487015A (en) * 1993-09-13 1996-01-23 Rockwell International Corporation Self-oscillating driver circuit for a quartz resonator of an angular rate sensor
CN1206110A (zh) * 1997-07-14 1999-01-27 利顿系统有限公司 惯性传感器的信号处理系统
US20060260382A1 (en) * 2004-02-04 2006-11-23 Fell Christopher P Method for reducing bias error in a vibrating structure gyroscope
US20070240486A1 (en) * 2005-03-04 2007-10-18 Moore Robert H Inertial measurement system and method with bias cancellation
US20090064781A1 (en) * 2007-07-13 2009-03-12 Farrokh Ayazi Readout method and electronic bandwidth control for a silicon in-plane tuning fork gyroscope
CN102089620A (zh) * 2008-07-12 2011-06-08 大西洋惯性系统有限公司 振动结构陀螺仪的或者涉及振动结构陀螺仪的改进
CN101799479A (zh) * 2009-02-10 2010-08-11 罗伯特·博世有限公司 用于转速传感器的振动补偿
US20110192226A1 (en) * 2010-02-08 2011-08-11 Hayner David A Generation, Injection and Use of Pilot Tones for Gyro System Characterization
CN102401653A (zh) * 2010-09-07 2012-04-04 精工爱普生株式会社 角速度检测装置以及电子设备

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108253953A (zh) * 2016-12-29 2018-07-06 深迪半导体(上海)有限公司 一种mems陀螺仪的解调系统和解调装置
CN108253953B (zh) * 2016-12-29 2023-09-08 深迪半导体(绍兴)有限公司 一种mems陀螺仪的解调系统和解调装置
CN114152266A (zh) * 2020-09-08 2022-03-08 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 Mems陀螺正交误差校正系统
CN114152266B (zh) * 2020-09-08 2024-04-02 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 Mems陀螺正交误差校正系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP6345252B2 (ja) 2018-06-20
WO2015069359A2 (en) 2015-05-14
KR102068973B1 (ko) 2020-02-24
EP3039379A4 (en) 2017-08-30
KR20180103195A (ko) 2018-09-19
TWI646308B (zh) 2019-01-01
CN105874303B (zh) 2020-04-14
US20150057959A1 (en) 2015-02-26
US9410806B2 (en) 2016-08-09
TW201514447A (zh) 2015-04-16
EP3039379A2 (en) 2016-07-06
EP3039379B1 (en) 2019-03-13
JP2016529520A (ja) 2016-09-23
WO2015069359A3 (en) 2015-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105874303A (zh) 用于通过解调相位误差校正的陀螺仪零速率偏移漂移降低的系统和方法
US8156805B2 (en) MEMS inertial sensor with frequency control and method
US8578775B2 (en) Generation, injection and use of pilot tones for gyro system characterization
US9482553B2 (en) Calibration systems and methods for gyroscopes
TWI427272B (zh) 以振動感測器測量轉速的設備
USRE45439E1 (en) Microelectromechanical gyroscope with self-test function and control method
US9212910B2 (en) Microelectromechanical gyroscope with self-calibration function and method of calibrating a microelectromechanical gyroscope
JP5011098B2 (ja) 同期処理回路、発振センサーからの信号処理方法
US9109901B2 (en) System and method for monitoring a gyroscope
US8667842B2 (en) Variable capacitance electronic device and microelectromechanical device incorporating such electronic device
US9869552B2 (en) Gyroscope that compensates for fluctuations in sensitivity
WO2013078165A1 (en) Method and apparatus for self-calibration of gyroscopes
Yang et al. Digital control system for the MEMS tuning fork gyroscope based on synchronous integral demodulator
TW201740084A (zh) 用於處理信號的方法與裝置
CN105716596B (zh) 压电半球谐振微陀螺仪的数字控制检测系统
CN116929322A (zh) 一种全角模式半球谐振陀螺精确控制方法及系统
Miyazaki et al. A 0.1 DEG/H Module-Level Silicon Mems Rate Integrating Gyroscope Using Virtually Rotated Donut-Mass Structure and Demonstration of the Earth's Rotation Detection
Liu et al. Digital closed-loop control based on adaptive filter for drive mode of a MEMS gyroscope
US10302672B2 (en) Angular velocity detection circuit, angular velocity detection device, electronic apparatus, and moving object
JP2019174368A (ja) 回路装置、物理量測定装置、電子機器、移動体及び位相調整方法
US20230160696A1 (en) 4-points phase and sensitivity estimation algorithm and related architecture
JP6478034B2 (ja) 角速度検出装置の評価方法、信号処理回路、角速度検出装置、電子機器及び移動体
JP2013104707A (ja) 角速度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant