CN105866181B - 检查方法和检查系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及检查方法和检查系统，能够对层叠膜中的未贯通层叠膜的缺陷进行检查，该层叠膜是通过在金属层的两面层叠绝缘层而形成的。检查方法是对层叠膜的缺陷进行检查的检查方法，该层叠膜是通过在金属层的两面上层叠绝缘层而形成的，该检查方法包括电压施加步骤工序和检测步骤工序。在电压施加步骤工序中，一边向层叠膜的表面提供导电性液体，一边在对第一电极与第二电极之间施加电压，该第一电极与被提供该液体的层叠膜的表面相接触，该第二电极与从层叠膜的端部暴露的金属层的端部相接触。在检测步骤工序中，对被施加电压的第一与第二电极之间的通电状态进行检测。
Description
本申请是申请日为2012年12月26日、申请号为201210576496.8、发明名称为“检查方法和检查系统”的中国发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及对在金属层的两面层叠绝缘层而形成的层叠膜的缺陷进行检查的检查方法以及检查系统。
背景技术
近年来，在环境保护运动高涨这种背景下，加快开发着电动汽车(EV)和混合动力电动汽车(HEV)。作为这些电动机驱动用电源，关注可重复充放电的锂离子二次电池。锂离子二次电池是将发电元件收容到绝缘性外壳部件而形成的，其中该发电元件是将薄片状的正极与负极隔着隔膜层来叠多层而形成的。
作为与此相关的技术，基于提高薄膜状的绝缘性部件的可靠性这种观点，提出了以下专利文献1示出那样的检查装置。专利文献1所公开的检查装置具有：第一电极，其载置作为检查对象的绝缘性部件；电解液提供部，其对绝缘性部件的上部提供电解液；以及第二电极，其与绝缘性部件的表面相接触。根据这种结构，在绝缘性部件形成了贯通孔的情况下，如果在第一电极与第二电极之间施加电压，则第一电极与第二电极通过电解液通电，因此能够检测出贯通绝缘性部件的针孔、损伤等缺陷。
专利文献1：日本特开2006-275816号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在上述检查装置中，在绝缘性部件的表面侧和背面侧分别配置有第一和第二电极。因此，在上述检查装置中，存在以下问题：无法针对在金属层的两面层叠绝缘层而成的绝缘性的层叠膜来检测未贯通层叠膜的针孔、损伤等缺陷。
本发明是用于解决上述问题而完成的。因而，其目的在于提供一种检查方法以及检查系统，能够针对在金属层的两面层叠绝缘层而成的层叠膜来检查未贯通层叠膜的缺陷。
用于解决问题的方案
通过以下方法来达到本发明的上述目的。
本发明的检查方法是对层叠膜的缺陷进行检查的检查方法，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查方法包括：电压施加工序，一边向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体，一边对第一电极与第二电极之间施加电压，其中，该第一电极与被提供该液体的上述层叠膜的表面相接触，该第二电极与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；以及检测工序，检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态。在此，在上述液体渗透到上述绝缘层并到达上述金属层时，在上述第一电极与上述第二电极之间发生振荡，上述检查方法还包括：测量工序，检测从对上述层叠膜的表面开始提供上述液体起到发生上述振荡为止的时间；以及计算工序，参照表示缺陷的深度与检测时间之间的关系的关系表，根据检测得到的上述时间来计算上述绝缘层中存在的未贯通该绝缘层的缺陷的深度。
另外，本发明的检查方法是对层叠膜的缺陷进行检查的检查方法，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查方法包括：电压施加工序，一边向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体，一边对第一电极与第二电极之间施加电压，其中，该第一电极与被提供该液体的上述层叠膜的表面相接触，该第二电极与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；以及检测工序，检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态。在此，以防止发生振荡的方式对上述第一电极与上述第二电极之间施加上述电压，在上述检测工序中，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷，另一方面，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后没有检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在未贯通上述绝缘层的缺陷。
本发明的检查系统是用于检查层叠膜的缺陷的检查系统，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查系统具有：液体提供部，其向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体；第一电极，其与被提供上述液体的上述层叠膜的表面相接触；第二电极，其与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；电压施加部，其对上述第一电极与上述第二电极之间施加电压；以及检测部，其检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态。在此，在上述液体渗透到上述绝缘层并到达上述金属层时，在上述第一电极与上述第二电极之间发生振荡，上述检查系统还具有：测量部，其检测从对上述层叠膜的表面开始提供上述液体起到发生上述振荡为止的时间；以及计算部，其参照表示缺陷的深度与检测时间之间的关系的关系表，根据检测得到的上述时间来计算上述绝缘层中存在的未贯通该绝缘层的缺陷的深度。
另外，本发明的检查系统是用于检查层叠膜的缺陷的检查系统，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查系统具有：液体提供部，其向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体；第一电极，其与被提供上述液体的上述层叠膜的表面相接触；第二电极，其与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；电压施加部，其对上述第一电极与上述第二电极之间施加电压；以及检测部，其检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态。在此，以防止发生振荡的方式对上述第一电极与上述第二电极之间施加上述电压，上述检查系统还具有运算装置，该运算装置在上述检测部在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷，另一方面，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后没有检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在未贯通上述绝缘层的缺陷。
发明的效果
根据本发明，检测层叠膜的表面与从层叠膜的端部暴露的金属层的端部之间的通电状态，因此能够检查未贯通层叠膜的缺陷。
附图说明
图1A～图1C是用于说明利用本发明的一个实施方式所涉及的检查系统来检查的层叠膜以及层叠膜的缺陷的图。
图2是表示本发明的一个实施方式所涉及的检查系统的概要结构的图。
图3A～图3B是图2的局部放大图。
图4是表示由图2示出的检查系统执行的检查处理的过程的流程图。
图5A～图5B是用于说明第一探头与第二探头之间的振荡的图。
图6是表示电极液的渗透时间与缺陷的深度之间的关系的图。
图7是表示变形例所涉及的检查处理的过程的流程图。
图8A～图8B是表示施加低电压的情况下的第一探头与第二探头之间的阻抗波形的图。
附图标记说明
10：层叠膜；20：金属层；30：密封层(绝缘层)；40：保护层(绝缘层)；41：第一绝缘层(第一绝缘层)；42：第二绝缘层(第二绝缘层)；50a、50b、50c：缺陷；100：检查系统；110：第一探头(第一电极，液体提供部)；111：液箱部；112：电极固定部；113：多孔质橡胶部(多孔质部件)；120：第二探头(第二电极)；130：电压施加装置(电压施加部，检测部)；140：运算装置(检测部、计算部)
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式。在本实施方式中，举例说明使用本发明的检查系统和检查方法来检查在锂离子二次电池的层叠膜存在的缺陷的种类及其深度。此外，在图中，对相同的部件使用了相同的附图标记。
图1A～图1C是用于说明利用本发明的一种实施方式所涉及的检查系统来检查的层叠膜以及层叠膜的缺陷的图。如图1所示，本实施方式的层叠膜10具有金属层20、形成于金属层20的一面的密封层30以及形成于金属层20的另一面的保护层40。
金属层20由铝形成，阻止电解液、气体。密封层30由聚丙烯(PP)形成，用于将两个层叠膜10相互熔接。
保护层40具有保护金属层20的第一绝缘层41以及在第一绝缘层41与金属层20之间形成的第二绝缘层42。第一绝缘层41由聚对苯二甲酸乙酯(PET)形成。第二绝缘层42由尼龙形成，用于提高第一绝缘层41与金属层20之间的接合性。此外，构成金属层20、密封层30、第一绝缘层41以及第二绝缘层42的材料并不限定于上述材料。
在具有这种结构的层叠膜10中形成针孔、损伤等缺陷50a、50b、50c。根据其深度，这些缺陷50a、50b、50c分类为三种。
在此，第一缺陷为未贯通第一绝缘层41的缺陷50a(参照图1A)，第二缺陷为贯通第一绝缘层41到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b(参照图1B)，第三缺陷为贯通第一和第二绝缘层41、42到达金属层20的缺陷50c(参照图1C)。
将薄片状的正极与负极隔着隔膜层叠多层而成的发电元件收容在粘贴层叠膜10而形成的外壳部件中，由此形成锂离子二次电池200(参照图2)。在本实施方式中，检查锂离子二次电池200表面的层叠膜10的缺陷。下面说明检查上述层叠膜10的缺陷的检查系统。
图2是表示本发明的一个实施方式所涉及的检查系统的概要结构的图，图3A～图3B是图2的局部放大图。如图2和图3所示，本实施方式的检查系统100具备第一和第二探头110、120、电压施加装置130以及运算装置140。
第一探头110一边提供导电性液体一边与层叠膜10的表面相接触。第一探头10具有液箱部111、电极固定部112以及多孔质橡胶部113。液箱部111收容以乙醇为主要成分的导电性液体(下面称为电极液)。电极固定部112由铁氧体形成，内部保持有铜线(未图示)。另外，电极固定部112防止来自液箱部111的电极液挥发、排出。多孔质橡胶部113由多孔质橡胶材料形成，保持电极液。多孔质橡胶部113被压入到层叠膜10的表面(参照图3A)，向层叠膜10的表面提供电解液。
第二探头120与从层叠膜10的端面10e暴露的金属层20的端面20e(图3B)接触。第二探头120由具有V字状槽部的导电性橡胶材料形成，夹持锂离子二次电池200的端部，与从层叠膜10的端面10e暴露的金属层20的端面20e接触。
电压施加装置130在第一探头110与第二探头120之间施加固定的电压。电压施加装置130的正侧与第一探头110相连接，电压施加装置130的负侧与第二探头120相连接。另外，电压施加装置130具有作为阻抗测量机的功能，能够测量第一和第二探头110、120之间的阻抗值。
运算装置140检测层叠膜10中存在的缺陷。运算装置140根据第一和第二探头110、120之间的阻抗值来确定层叠膜10中存在的缺陷的种类。另外，运算装置140检测从第一探头110接触锂离子二次电池200的表面起至第一和第二探头110、120之间的阻抗值发生振荡为止的时间(下面称为振荡开始时间)。在运算装置140中存储了表示缺陷的深度与振荡开始时间之间的关系的缺陷深度-振荡开始时间变换表，能够根据振荡开始时间来算出缺陷的深度。
在具有上述结构的检查系统100中，通过检测第一和第二探头110、120之间的通电状态，来检查层叠膜10的缺陷的种类和深度。下面，参照图4～图6说明在本实施方式的检查系统100中检查锂离子二次电池200表面的缺陷的方法。
图4是表示由检查系统执行的检查处理的过程的流程图。在图4示出的检查处理之前，使用照相机对锂离子二次电池进行外观检查，分类为观察到缺陷的锂离子二次电池和未观察到缺陷的锂离子二次电池。在本实施方式的检查处理中，针对观察到缺陷的锂离子二次电池检查该缺陷的种类和深度。
首先，第二探头120与锂离子二次电池200的端部相接触(步骤S101)。在本实施方式中，由具有V字状槽部的导电性橡胶材料构成的第二探头120夹持锂离子二次电池200的端部。第二探头120夹持锂离子二次电池200的端部，由此从层叠膜10的端面10e暴露的金属层20的端面20e与第二探头120相接触。
接着，第一探头110与锂离子二次电池200的表面相接触(步骤S102)。在本实施方式中，第一探头110的多孔质橡胶部113被压入到包含层叠膜10的缺陷的区域。多孔质橡胶部113保持电极液，因此通过多孔质橡胶部113被压入到层叠膜10，从多孔质橡胶部113渗出电极液被提供到层叠膜10的表面。第一探头110与锂离子二次电池200的表面相接触，并且通过电压施加装置130在第一和第二探头110、120之间施加固定的电压。
接着，判断第一和第二探头110、120之间的阻抗值是否为规定值以下(步骤S103)。在本实施方式中，测量出施加了固定电压的第一和第二探头110、120之间的阻抗值，判断阻抗值是否为规定值(判断水平)以下。在此，规定值是用于判断第一和第二探头110、120之间的通电状态和绝缘状态的值，例如为50Ω。
在判断为第一和第二探头110、120之间的阻抗值并非规定值以下的情况下(步骤S103：“否”)，作为第一和第二探头110、120之间处于绝缘状态，转移到步骤S105的处理。
另一方面，在判断为第一和第二探头110、120之间的阻抗值为规定值以下的情况下(步骤S103：“是”)，则判断为次品(步骤S104)，结束处理。在本实施方式中，第一和第二探头110、120之间处于通电状态，判断为层叠膜10中存在贯通第一和第二绝缘层41、42到达金属层20的缺陷50c(参照图1C)。存在到达金属层20的缺陷50c的锂离子二次电池200被判断为次品。
如上所述，根据图4的步骤S101～S104示出的处理，检测出第一和第二探头110、120之间的通电状态。通过检测第一和第二探头110、120之间的通电状态，来检测层叠膜10中存在贯通第一和第二绝缘层41、42到达金属层20的缺陷50c。
另一方面，在步骤S103示出的处理中，在判断为第一和第二探头110、120之间的阻抗值并非规定值以下的情况下(步骤S103：“否”)，判断是否发生了振荡(步骤S105)。在本实施方式中，判断是否发生了第一和第二探头110、120之间的阻抗值大变动的振荡。
图5是用于说明第一和第二探头之间的振荡的图。图5A是表示没有发生振荡的阻抗波形的图，图5B是表示发生振荡的阻抗波形的图。图5A和图5B的纵轴为阻抗值，横轴为时间。在层叠膜10中存在贯通第一绝缘层41到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b(参照图1B)的情况下会发生振荡。以乙醇为主要成分的电极液渗透到由尼龙构成的第二绝缘层42，因此如果电极液渗透到第二绝缘层42并到达金属层20，则第一和第二探头110、120之间从绝缘状态变化为通电状态。在第一和第二探头110、120之间从绝缘状态变化为通电状态时会发生振荡。电极液要经过一些时间才渗透到第二绝缘层42，如果经过一定时间(例如几分钟)，则第一和第二探头110、120之间的阻抗值大致变为零。振荡是由金属层20和第二绝缘层42之间的剥离状态导致的。
步骤S105示出的处理中，在判断为没有发生振荡的情况下(步骤S105：“否”)，转移到步骤S109的处理。
另一方面，在判断为发生了振荡的情况下(步骤S105：“是”)，检测振荡发生时间(步骤S106)。在本实施方式中，为了算出到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b的深度，检测从第一探头110接触锂离子二次电池200的表面起至发生振荡为止的时间(振荡开始时间)。
接着，算出缺陷50b的深度(步骤S107)。在本实施方式中，根据在步骤S106示出的处理中检测出的振荡开始时间，来算出到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b的深度。
图6是表示电极液的渗透时间与缺陷的深度之间的关系的图。图6的纵轴为缺陷的深度，横轴为电极液的渗透时间。如图6所示，到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b的深度与电极液渗透到第二绝缘层42的渗透时间具有如下关系：缺陷50b的深度越深则渗透时间越短。因而，预先制作表示缺陷的深度与振荡开始时间之间的关系的缺陷深度-振荡开始时间变换表，由此能够根据通过在步骤S106示出的处理而检测出的振荡开始时间，来算出缺陷50b的深度。
接着，指示进行修复(步骤S108)，结束处理。在本实施方式中，层叠膜10中存在到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b时，指示进行修复。此外，在层叠膜10中存在到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b的情况下，得不到充分的阻水特性。
如上所述，根据图4的步骤S105～步骤S108示出的处理，电极液透过第二绝缘层42并到达金属层20，由此检测出第一和第二探头110、120之间从绝缘状态变化为通电状态。通过检测出第一和第二探头110、120之间从绝缘状态变化为通电状态，来检测出层叠膜10中存在到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b。以外，通过检测振荡开始时间来算出缺陷50b的深度。
另一方面，在步骤S105示出的处理中，在判断为未发生振荡的情况下(步骤S105：“否”)，判断是否经过规定时间(步骤S109)。在此，规定时间是足够确认第一和第二探头110、120之间未发生振荡的时间，例如为五分钟。
在判断为未经过规定时间的情况下(步骤S109：“否”)，返回到步骤S105的处理。
另一方面，在判断为经过规定时间的情况下(步骤S109：“是”)，指示进行修复(步骤S110)，结束处理。在本实施方式中，第一和第二探头110、120之间保持绝缘状态(参照图5A)，层叠膜10中存在未贯通第一绝缘层41的缺陷50a(参照图1A)，指示进行修复。
如上所述，根据图4的步骤S109和步骤S110示出的处理，未检测出第一和第二探头110、120之间的通电状态，由此检测为层叠膜10中存在未贯通第一绝缘层41的缺陷50a。
而且，根据本实施方式的检查系统和检查方法，通过检测层叠膜10的表面与从层叠膜10的端面10e暴露的金属层20的端面20e之间的通电状态，来检查有未贯通层叠膜10的缺陷。具体地说，检查有未贯通第一和第二绝缘层41、42到达金属层20的缺陷50c、贯通第一绝缘层41到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b以及未贯通第一绝缘层41的缺陷50a。
(变形例)
在上述实施方式中，通过利用第一和第二探头110、120之间的振荡，来算出贯通第一绝缘层41到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b的深度。然而，还可以省略计算缺陷50b的深度的处理。
图7是表示变形例所涉及的检查处理的过程的流程图。在变形例所涉及的检查处理中，将低于上述实施方式中的施加电压(例如50V)的施加电压(例如25V)施加到第一和第二探头110、120之间。由于施加低电压，因此浪涌电流变小，在第一和第二探头110、120之间不会发生振荡。
步骤S201～S204示出的处理与图4的步骤S101～S104示出的处理相同，因此省略说明。根据图7的步骤S201～S204示出的处理，检测出层叠膜10中存在贯通第一和第二绝缘层41、42到达金属层20的缺陷50c(参照图1C)。
另一方面，在步骤S203示出的处理中，在判断为阻抗值并非规定值以下的情况下(步骤S203：“否”)，指示进行修复(步骤S205)，结束处理。在本变形例中，层叠膜10中存在作为贯通第一绝缘层41到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b(参照图1B)或者未贯通第一绝缘层41的缺陷50a(参照图1A)，指示进行修复。
图8A～图8B是表示施加低电压的情况下的第一和第二探头之间的阻抗波形的图。在层叠膜10中存在到达第二绝缘层42的一部分的缺陷50b的情况下，如果在第一和第二探头110、120之间施加电压，则第一和第二探头110、120之间从绝缘状态变化为通电状态(参照图8B)。在本变形例中，通过在第一和第二探头110、120之间施加低电压，防止在第一和第二探头110、120之间从绝缘状态变化为通电状态时发生振荡。此外，在层叠膜10中存在未贯通第一绝缘层41的缺陷50a的情况下，第一和第二探头110、120之间保持绝缘状态(参照图8A)。
根据这种结构，不发生振荡而得到稳定的阻抗波形，因此能够在短时间内(例如一秒钟以内)高精度地判断次品或者进行修复。
如上所述的本实施方式起到以下效果。
(a)在本实施方式的检查系统和检查方法中，检测出层叠膜的表面与从层叠膜的端面暴露的金属层的端面之间的通电状态，因此能够检查未贯通层叠膜的缺陷。
(b)在检测出第一和第二探头之间的通电状态的情况下，判断为存在贯通第一和第二绝缘层到达金属层的缺陷。因而能够检查未贯通层叠膜但到达金属层的缺陷。
(c)通过电极液渗透到第二绝缘层并到达金属层，在检测出第一和第二探头之间从绝缘状态变化为通电状态的情况下，判断为存在贯通第一绝缘层到达第二绝缘层的一部分的缺陷。因而能够检查未到达金属层的缺陷。
(d)通过检测从对层叠膜的表面开始提供电极液起至发生振荡为止的时间，来算出缺陷的深度。因而不破坏层叠膜，就能够算出贯通第一绝缘层到达第二绝缘层的一部分的缺陷的深度。
(e)以防止发生振荡的方式在第一和第二探头之间施加电压。因而，能够在短时间内高精度地检查贯通第一和第二绝缘层到达金属层的缺陷和未到达金属层的缺陷。其结果，能够应用于锂离子二次电池的安装工序中的在线检查。
(f)第一探头包含保持电极液的多孔质橡胶部，因此通过将第一探头的多孔质橡胶部压入到层叠膜的表面，能够向层叠膜提供电极液。
(g)第二探头为夹持层叠膜的端部的具有V字状槽部的导电性弹性部件，因此不损伤层叠膜的端部，就能够与从层叠膜的端面暴露的金属层的端面相接触。
在如上所述的一个实施方式中，说明了本发明的检查系统以及检查方法。然而，当然能够在其技术思想的范围内，本领域技术人员适当地对本发明进行追加、变形以及省略。
例如，在上述实施方式中，通过使用照相机进行外观检查来预先确认了存在缺陷的层叠膜，通过本发明的检查系统对这些存在缺陷的层叠膜进行缺陷的种类和深度的检查。然而，也可以通过本发明的检查系统来直接检查是否存在缺陷，而不进行照相机的外观检查。
另外，在上述实施方式中，通过测量出第一和第二探头之间阻抗值，来检测出第一和第二探头之间的通电状态。然而，也可以通过测量出第一和第二探头之间的电流值来检测第一和第二探头之间的通电状态。
另外，在上述实施方式中，第二探头与从层叠膜的端部的端面暴露的金属层的端部的端面相接触。然而，还可以去除层叠膜的端部的第一和第二绝缘层而使金属层的端部从层叠膜的端部暴露，使第二探头与金属层的端部相接触。
另外，在上述实施方式中，第一探头具有液箱部和多孔质橡胶部，向层叠膜的表面提供电极液。然而，也可以与第一探头分开地设置液体提供装置，从该液体提供装置向层叠膜的表面提供电极液。
另外，在上述实施方式中，第二探头由具有V字状槽部的导电性橡胶材料形成。然而，第二探头也可以是金属制探头。
另外，在上述实施方式中，使用乙醇作为导电性液体。然而，导电性液体并不限定于乙醇，能够使用具有导电性的各种液体。
Claims (10)
1.一种检查方法，对层叠膜的缺陷进行检查，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查方法的特征在于，包括：
电压施加工序，一边向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体，一边对第一电极与第二电极之间施加电压，其中，该第一电极与被提供该液体的上述层叠膜的表面相接触，该第二电极与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；以及
检测工序，检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态，
其中，在上述液体渗透到上述绝缘层并到达上述金属层时，在上述第一电极与上述第二电极之间发生振荡，
上述检查方法还包括：
测量工序，检测从对上述层叠膜的表面开始提供上述液体起到发生上述振荡为止的时间；以及
计算工序，参照表示缺陷的深度与检测时间之间的关系的关系表，根据检测得到的上述时间来计算上述绝缘层中存在的未贯通该绝缘层的缺陷的深度。
2.根据权利要求1所述的检查方法，其特征在于，
在上述检测工序中检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述层叠膜中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷。
3.一种检查方法，对层叠膜的缺陷进行检查，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查方法的特征在于，包括：
电压施加工序，一边向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体，一边对第一电极与第二电极之间施加电压，其中，该第一电极与被提供该液体的上述层叠膜的表面相接触，该第二电极与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；以及
检测工序，检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态，
其中，以使浪涌电流减小而防止发生振荡的方式对上述第一电极与上述第二电极之间施加上述电压，
在上述检测工序中，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷，另一方面，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后没有检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在未贯通上述绝缘层的缺陷。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的检查方法，其特征在于，
上述第一电极包括用于保持上述液体的多孔质部件。
5.根据权利要求1～3中的任一项所述的检查方法，其特征在于，
上述第二电极为用于夹持上述层叠膜的端部的具有V字状槽部的导电性弹性部件。
6.一种检查系统，用于检查层叠膜的缺陷，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查系统的特征在于，具有：
液体提供部，其向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体；
第一电极，其与被提供上述液体的上述层叠膜的表面相接触；
第二电极，其与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；
电压施加部，其对上述第一电极与上述第二电极之间施加电压；以及
检测部，其检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态，
其中，在上述液体渗透到上述绝缘层并到达上述金属层时，在上述第一电极与上述第二电极之间发生振荡，
上述检查系统还具有：
测量部，其检测从对上述层叠膜的表面开始提供上述液体起到发生上述振荡为止的时间；以及
计算部，其参照表示缺陷的深度与检测时间之间的关系的关系表，根据检测得到的上述时间来计算上述绝缘层中存在的未贯通该绝缘层的缺陷的深度。
7.根据权利要求6所述的检查系统，其特征在于，
还具有运算装置，该运算装置在上述检测部检测为上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述层叠膜中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷。
8.一种检查系统，用于检查层叠膜的缺陷，该层叠膜是在金属层的两面上层叠绝缘层而得到的，该检查系统的特征在于，具有：
液体提供部，其向上述层叠膜的表面提供向上述绝缘层渗透的导电性液体；
第一电极，其与被提供上述液体的上述层叠膜的表面相接触；
第二电极，其与从上述层叠膜的端部暴露的上述金属层的端部相接触；
电压施加部，其对上述第一电极与上述第二电极之间施加电压；以及
检测部，其检测被施加了上述电压的上述第一电极与上述第二电极之间的通电状态，
其中，以使浪涌电流减小而防止发生振荡的方式对上述第一电极与上述第二电极之间施加上述电压，
上述检查系统还具有运算装置，该运算装置在上述检测部在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在贯通上述绝缘层到达上述金属层的缺陷，另一方面，在紧接对上述层叠膜开始提供上述液体之后没有检测出上述第一电极与上述第二电极之间为通电状态的情况下，判断为上述绝缘层中存在未贯通上述绝缘层的缺陷。
9.根据权利要求6～8中的任一项所述的检查系统，其特征在于，
上述第一电极包括用于保持上述液体的多孔质部件。
10.根据权利要求6～8中的任一项所述的检查系统，其特征在于，
上述第二电极为用于夹持上述层叠膜的端部的具有V字状槽部的导电性弹性部件。
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