CN105865402A - 硅片盒检测架 - Google Patents

硅片盒检测架 Download PDF

Info

Publication number
CN105865402A
CN105865402A CN201610367919.3A CN201610367919A CN105865402A CN 105865402 A CN105865402 A CN 105865402A CN 201610367919 A CN201610367919 A CN 201610367919A CN 105865402 A CN105865402 A CN 105865402A
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon
sliding support
silicon chip
silicon wafer
chip template
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610367919.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105865402B (zh
Inventor
林玉往
常清
吴宝佳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YOUZE TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
YOUZE TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YOUZE TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical YOUZE TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201610367919.3A priority Critical patent/CN105865402B/zh
Publication of CN105865402A publication Critical patent/CN105865402A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105865402B publication Critical patent/CN105865402B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/32Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring the deformation in a solid
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004Supports

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

本发明公开了一种硅片盒检测架,包括:滑动支架,滑动支架上连接有硅片模板,并带动硅片模板上下移动;导向柱,导向柱插在滑动支架上,并对滑动支架的运动导向;用于连接待检测硅片盒的定位板,定位板固定在导向柱的末端,且定位板具有与硅片模板位置相对应并用于通过硅片模板的通孔,滑动支架沿导向柱滑动以使硅片模板穿过上述通孔并插入待检测硅片盒。本发明能快速检查出每个硅片盒的每条轨道的变形点,以便及时修复或更换,大大降低了硅片的不良破损,提高硅片的成品良率。

Description

硅片盒检测架
技术领域
本发明涉及一种硅片盒检测架,属于光伏制造技术领域,主要应用于光伏行业硅片制造端的硅片插片盒内变形检测。
背景技术
现在硅片切割产能原来越大,普通的人工插片已经跟不上机器的清洗节奏,所以硅片制造企业逐步使用自动插片机取代普通的人工插片。使用自动插片机则对现在使用的片盒又提出了新的要求,一般片盒可以插25片硅片,手工插片可以通过人工调节片子的进出速度以及调整错位,以保护硅片不损坏;然而自动插片机速度比人工快了近一倍,片子直接插入轨道内,一旦片盒内部变形就会导致片子破损,所以变形的片盒就不能在自动插片机上使用,必须挑出变形的片盒。因此设计一种硅片盒检测装置是提高插片效率与插片质量所亟待解决的问题。
发明内容
本发明的所要解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供一种硅片盒检测架,以解决检测硅片盒是否存在变形的技术问题。
为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是,一种硅片盒检测架,包括:
滑动支架,滑动支架上连接有硅片模板,并带动硅片模板上下移动;
导向柱,导向柱插在滑动支架上,并对滑动支架的运动导向;
用于连接待检测硅片盒的定位板,定位板固定在导向柱的末端,且定位板具有与硅片模板位置相对应并用于通过硅片模板的通孔,滑动支架沿导向柱滑动以使硅片模板穿过上述通孔并插入待检测硅片盒。
进一步为了精细检出变形的片盒、变形的槽数及变形的深度,所述硅片模板的顶部连接有弹簧,所述滑动支架上设有弹簧接口,硅片模板通过所述弹簧安装在所述滑动支架的弹簧接口上。
进一步提供一种硅片模板与弹簧的连接结构,所述的硅片模板的顶部通过一夹片块与所述弹簧连接,夹片块具有与硅片模板相配合的开槽,硅片模板固定在上述开槽内,夹片块的顶部与弹簧固定连接。
进一步为了增加稳定性,所述的导向柱设有两个,所述滑动支架的两端开有滑动通孔,导向柱穿过上述滑动通孔,以便滑动支架沿导向柱上下移动。
进一步,所述硅片盒检测架还包括用于驱动滑动支架上下移动的动力机构。
进一步,所述滑动支架的上部设有把手。
进一步为了对滑动支架限位并锁紧,所述的导向柱的顶端安装有限位板,限位板上设有锁紧销。
进一步为了方便定位板与待检测硅片盒连接,所述定位板与待检测硅片盒连接处设有用于与待检测硅片盒上的定位孔相配合的定位块。
采用了上述技术方案后,本发明具有以下有益效果:
1)将待检测硅片盒安装在定位板上,滑动支架向下移动,带动硅片模板穿过定位板上的通孔,并进入待检测硅片盒内,通过每一个硅片模板检测每条轨道的形状;若硅片模板顶部的弹簧出现挤压变形,则说明此硅片盒内部存在变形,且变形的轨道即是与变形的硅片模板对应的轨道,从而迅速定位变形硅片盒的变形位置,以便及时剔除和修复;
2)本发明的硅片模板顶部通过弹簧与滑动支架连接,变形的轨道使对应位置的硅片模板受挤压并压缩弹簧,将硅片模板的挤压变形转化为弹簧的伸缩,从而能更直观的观察硅片盒的变形;
3)本发明能快速检查出每个硅片盒的每条轨道的变形点,以便及时修复或更换,大大降低了硅片的不良破损,提高硅片的成品良率。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图;
图2为本发明的立体结构示意图;
图3为本发明的定位板的立体结构示意图;
图4为本发明的定位板的主视示意图;
图5为本发明的滑动支架的主视示意图;
图6为本发明的硅片模板的立体结构示意图;
图7为本发明安装有待检测硅片盒时的装配图;
图中,1、锁紧销,2、限位板,3、把手,4、滑动支架,5、导向柱,6、定位板,6-1、通孔,6-2、定位块,7、硅片模板,8、弹簧接口,9、弹簧,10、待检测硅片盒。
具体实施方式
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明。
实施例一:
如图1、图2所示,一种硅片盒检测架,包括:
滑动支架4,滑动支架4上连接有硅片模板7,并带动硅片模板7上下移动;
导向柱5,导向柱5插在滑动支架4上,并对滑动支架4的运动导向;
用于连接待检测硅片盒10的定位板6,定位板6固定在导向柱5的末端,且定位板6上设有与硅片模板7位置相对应并用于通过硅片模板7的通孔6-1,滑动支架4沿导向柱5滑动以使硅片模板7穿过上述通孔6-1并插入待检测硅片盒10。
优选地,如图1、图2、图5、图6所示,为了直观地观察硅片模板7的挤压变形,硅片模板7的顶部连接有弹簧9,滑动支架4上设有弹簧接口8,硅片模板7通过所述弹簧9安装在所述滑动支架4的弹簧接口8上。
若待检测硅片盒10内存在变形的轨道,则变形的轨道使对应位置的硅片模板7受挤压并压缩弹簧9,将硅片模板7的挤压变形转化为弹簧9的伸缩,从而更直观的观察硅片盒的形变。
可选地,如图1、图2、图6所示,硅片模板7的顶部通过一夹片块与所述弹簧9连接,夹片块具有与硅片模板7相配合的开槽,硅片模板7固定在上述开槽内,夹片块的顶部与弹簧9固定连接。
优选地,如图1、图2、图7所示,导向柱5设有两个,所述滑动支架4的两端开有滑动通孔,导向柱5穿过上述滑动通孔,以便滑动支架4沿导向柱5上下移动。
可选地,滑动支架4的上部设有把手3,上下移动滑动支架4时,通过手扶住滑动支架4上的把手3,匀速往下压或向上拉使硅片模板7进出待检测硅片盒10。
优选地,如图1、图2、图7所示,导向柱5的顶端安装有限位板2,限位板2上设有锁紧销1,限位板2用于支架的整体限位及复位锁紧,锁紧销1用于支架的整体锁紧。
进一步,如图3所示,定位板6与待检测硅片盒10连接处设有用于与待检测硅片盒10上的定位孔相配合的定位块6-2。
实施例二:
如图1、图2所示,一种硅片盒检测架,包括:
滑动支架4,滑动支架4上连接有硅片模板7,并带动硅片模板7上下移动;
导向柱5,导向柱5插在滑动支架4上,并对滑动支架4的运动导向;
用于连接待检测硅片盒10的定位板6,定位板6固定在导向柱5的末端,且定位板6上设有与硅片模板7位置相对应并用于通过硅片模板7的通孔6-1,滑动支架4沿导向柱5滑动以使硅片模板7穿过上述通孔6-1并插入待检测硅片盒10。
优选地,如图1、图2、图5、图6所示,为了直观地观察硅片模板7的挤压变形,硅片模板7的顶部连接有弹簧9,滑动支架4上设有弹簧接口8,硅片模板7通过所述弹簧9安装在所述滑动支架4的弹簧接口8上。
若待检测硅片盒10内存在变形的轨道,则变形的轨道使对应位置的硅片模板7受挤压并压缩弹簧9,将硅片模板7的挤压变形转化为弹簧9的伸缩,从而更直观的观察硅片盒的形变。
优选地,如图1、图2、图7所示,导向柱5设有两个,所述滑动支架4的两端开有滑动通孔,导向柱5穿过上述滑动通孔,以便滑动支架4沿导向柱5上下移动。
可选地,所述硅片盒检测架还包括动力机构,动力机构驱动滑动支架4上下移动,不仅节省人力,而且能够提高检测效率。
可选地,滑动支架4的上部设有把手3,上下移动滑动支架4时,通过手扶住滑动支架4上的把手3,匀速往下压或向上拉使硅片模板7进出待检测硅片盒10。
优选地,如图1、图2、图7所示,导向柱5的顶端安装有限位板2,限位板2上设有锁紧销1,限位板2用于支架的整体限位及复位锁紧,锁紧销1用于支架的整体锁紧。
本发明的工作原理如下:
将本发明的定位板6的定位块6-2与待检测硅片盒10的定位孔连接,打开锁紧销1,手扶住滑动支架4的把手3,匀速往下压硅片模板7使硅片模板7穿过定位板6上的通孔6-1进入待检测硅片盒10内,通过每一个硅片模板7检测每条轨道的形状;如果待检测硅片盒10内存在变形的轨道,变形的轨道则会挤压硅片模板7从而使弹簧9伸缩变形,且变形的轨道即是与变形的弹簧9对应的轨道,进而判断出变形的片盒、变形的轨道数以及变形的深度,以便及时剔除和修复。
本发明的硅片模板7顶部通过弹簧9与滑动支架4连接,变形的轨道使对应位置的硅片模板7受挤压并压缩弹簧9,将硅片模板7的挤压变形转化为弹簧9的伸缩,从而能更直观的观察硅片盒的变形。
本发明能快速检查出每个硅片盒的每条轨道的变形点,以便及时修复或更换,大大降低了硅片的不良破损,提高硅片的成品良率。
以上所述的具体实施例,对本发明解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种硅片盒检测架,其特征在于,包括:
滑动支架(4),滑动支架(4)上连接有硅片模板(7),并带动硅片模板(7)上下移动;
导向柱(5),导向柱(5)插在滑动支架(4)上,并对滑动支架(4)的运动导向;
用于连接待检测硅片盒(10)的定位板(6),定位板(6)固定在导向柱(5)的末端,且定位板(6)上设有与硅片模板(7)位置相对应并用于通过硅片模板(7)的通孔(6-1),滑动支架(4)沿导向柱(5)滑动以使硅片模板(7)穿过上述通孔(6-1)并插入待检测硅片盒(10)。
2.根据权利要求1所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述硅片模板(7)的顶部连接有弹簧(9),所述滑动支架(4)上设有弹簧接口(8),硅片模板(7)通过所述弹簧(9)安装在所述滑动支架(4)的弹簧接口(8)上。
3.根据权利要求2所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述的硅片模板(7)的顶部通过一夹片块与所述弹簧(9)连接,夹片块具有与硅片模板(7)相配合的开槽,硅片模板(7)固定在上述开槽内,夹片块的顶部与弹簧(9)固定连接。
4.根据权利要求3所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述的导向柱(5)设有两个,所述滑动支架(4)的两端开有滑动通孔,导向柱(5)穿过上述滑动通孔,以便滑动支架(4)沿导向柱(5)上下移动。
5.根据权利要求4所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述硅片盒检测架还包括用于驱动滑动支架(4)上下移动的动力机构。
6.根据权利要求5所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述滑动支架(4)的上部设有把手(3)。
7.根据权利要求6所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述的导向柱(5)的顶端安装有限位板(2),限位板(2)上设有锁紧销(1)。
8.根据权利要求1至7任一项所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述定位板(6)与待检测硅片盒(10)连接处设有用于与待检测硅片盒(10)上的定位孔相配合的定位块(6-2)。
CN201610367919.3A 2016-05-30 2016-05-30 硅片盒检测架 Expired - Fee Related CN105865402B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610367919.3A CN105865402B (zh) 2016-05-30 2016-05-30 硅片盒检测架

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610367919.3A CN105865402B (zh) 2016-05-30 2016-05-30 硅片盒检测架

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105865402A true CN105865402A (zh) 2016-08-17
CN105865402B CN105865402B (zh) 2018-04-17

Family

ID=56641626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610367919.3A Expired - Fee Related CN105865402B (zh) 2016-05-30 2016-05-30 硅片盒检测架

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105865402B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113701613A (zh) * 2021-11-01 2021-11-26 邳州千润模具有限公司 硅片盒检测夹持架

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101409245A (zh) * 2008-11-20 2009-04-15 陈百捷 一种自动控制的硅片检查系统
US20110024325A1 (en) * 2008-03-06 2011-02-03 Matthias Winderlich Wafer box for the transport of solar cell wafers
CN202585365U (zh) * 2012-02-28 2012-12-05 常州天合光能有限公司 硅片片盒
CN102969262A (zh) * 2012-12-07 2013-03-13 上海集成电路研发中心有限公司 硅片倒片装置
CN205785162U (zh) * 2016-05-30 2016-12-07 江苏有则科技集团有限公司 硅片盒检测架

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110024325A1 (en) * 2008-03-06 2011-02-03 Matthias Winderlich Wafer box for the transport of solar cell wafers
CN101409245A (zh) * 2008-11-20 2009-04-15 陈百捷 一种自动控制的硅片检查系统
CN202585365U (zh) * 2012-02-28 2012-12-05 常州天合光能有限公司 硅片片盒
CN102969262A (zh) * 2012-12-07 2013-03-13 上海集成电路研发中心有限公司 硅片倒片装置
CN205785162U (zh) * 2016-05-30 2016-12-07 江苏有则科技集团有限公司 硅片盒检测架

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113701613A (zh) * 2021-11-01 2021-11-26 邳州千润模具有限公司 硅片盒检测夹持架

Also Published As

Publication number Publication date
CN105865402B (zh) 2018-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10697487B2 (en) Device for automatically assembling shell and middle frame by glue and use method thereof
CN103461455B (zh) 鱼脑提取装置
CN205785162U (zh) 硅片盒检测架
CN202701849U (zh) 一种用于端盖侧向定位的钻孔夹具
CN111646283A (zh) 一种吊牌标签全自动堆叠穿绳叠放系统
CN209580630U (zh) 一种金刚石串珠拆分装置及全自动金刚石串珠卸模机
CN105865402A (zh) 硅片盒检测架
CN107812841B (zh) 一种全自动银点铆合机
CN206868920U (zh) 一种万能无导柱冲模
CN206065241U (zh) 一种铁片与底座的铆压机
CN106891123A (zh) 焊带定位装置及定位方法
CN107460653B (zh) 袖叉机夹紧装置
CN115921657A (zh) 一种集送料和落料于一体的零件生产装置及方法
CN205130216U (zh) 底座去飞边夹具
CN209579905U (zh) 扇骨卧式钻孔穿钉一体设备
CN211841112U (zh) 一种加工中心夹具
CN106001799A (zh) 一种攻牙工件顶出装置
CN209175232U (zh) 一种钢珠压装机
CN209304483U (zh) 一种销轴抱紧拖拽机构
CN206883140U (zh) 一种自锁型自动压螺栓装置
CN206999093U (zh) 板材裁切机
CN206588536U (zh) 焊带定位装置
CN207709733U (zh) 一种整流桥引脚弯折装置
CN206937160U (zh) 一种连接端子装配防偏位的夹具结构
CN107378430B (zh) 太阳能电池组件测试夹具的自动拆卸机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180417

Termination date: 20200530