CN105849545A - 具有印制导线和参考气体通道的传感器元件 - Google Patents

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Abstract

传感器元件，尤其用于验证气体的物理特性，尤其用于验证内燃机废气的气体组分浓度或温度或固体成分或液体成分，其中，该传感器元件(20)具有固体电解质膜(23)和在其纵长方向上相对置的第一端部区域和第二端部区域(202)，该传感器元件(20)在该第一端部区域中在传感器元件(20)内部具有功能元件，该功能元件与在第二端部区域(202)中布置在该传感器元件(20)外表面上的接触面导电连接，功能元件和接触面之间的导电连接具有在传感器元件(20)内部基本在纵长方向上延伸的印制导线(328)，该传感器元件(20)还具有基本在传感器元件(20)纵长方向上延伸的、经参考气体开口与传感器元件(20)之外的参考气体连通的参考气体通道，其中，印制导线(328)和参考气体通道这样布置，使得在俯视该传感器元件(20)时在它们之间至少部分地发生重叠，其特征在于，印制导线(328)在其背离传感器元件(20)端部区域(201)的端部上向传感器元件(20)外侧折曲一个角度(α)，该角度不大于25°、尤其不大于14°。印制导线(328)可以由馈入导线(327)和环圈(329)组成。

Description

具有印制导线和参考气体通道的传感器元件
技术领域
本发明从已知的传感器元件出发，该传感器元件例如作为废气传感器被投入使用，尤其作为在机动车中得到非常广泛应用的λ传感器。但本发明也能够应用在其它种类的传感器元件上，例如用在用于验证废气的其它气体形式成份的传感器上和用在颗粒传感器或类似传感器上。
本发明尤其涉及烧结的或可烧结的陶瓷传感器元件，该陶瓷传感器元件通过将各个必要时被印刷的陶瓷生坯膜组合、尤其相互堆叠来制造。
本发明尤其还涉及在其内部构造有参考气体通道的传感器元件。
背景技术
所述传感器元件在该传感器元件通常朝向废气的第一端部区域中尤其还包括至少一个电气的、电化学的和/或电子的功能元件。传感器元件的可供电性当前通过在传感器元件的通常背离废气的第二区域内的外表面上的接触面来设置。
传感器元件的可供电性当前通过功能元件与接触面的导电连接实现，该导电连接具有在传感器元件的内部基本在传感器元件的纵长方向上延伸的印制导线。
为了在运行中在传感器元件的内部减少烧结变形并优化热传导，有吸引力的做法是，印制导线在俯视传感器元件时与参考气体通道完全地或者部分地(例如至少宽度的10％)重叠地构型。通过这样的方式可以就整个传感器元件而言补偿完全或者部分地未填充的参考气体通道的较小烧结收缩和较小导热性的作用。
有问题的是，通过上述措施，参考气体通道的棱边与印制导线在俯视传感器元件时发生重叠，从而就相交棱边而言在制造过程期间能够潜在引起印制导线在该区域的挤压。
这种传感器元件例如由文献DE 101 57 733 B4已知。
发明内容
具有权利要求1的特征的本发明传感器元件具有这样的优点，即，在俯视传感器元件时参照通道的一个棱边与印制导线发生重叠的区域在传感器元件的纵长方向上延伸得相对远。参考气体通道棱边的潜在相交作用因此分布到该较远的延伸段上，印制导线在该区域内的挤压最终以不一样地减小的程度出现。
为此，根据本发明设置，印制导线在它的背离传感器元件的第一端部区域的端部上向该传感器元件20的外侧折曲成一个不大于25°、尤其不大于14°的角度α地延伸。
为了使印制导线在俯视传感器元件时完全地或部分地与参考气体通道重叠的区域在其长度和/或面积上并非没必要地减小，可以为角度α尤其也设置一下限，该角度不应低于该下限，该下限可例如为2°或者5°。
优选，印制导线在其中折曲地延伸的区域在纵长方向上有最小延伸尺度，该最小延伸尺度例如可为2mm、3mm或者甚至4mm，或者可通过印制导线的宽度给出。
印制导线的背离传感器元件第一端部区域的端部的由所述折曲引起的侧向偏错量尤其作为印制导线在其中折曲地延伸的区域中的延伸尺度与角度α的反正切的乘积而得出。优选，该侧向偏错量不小于印制导线和参考气体通道之间的重叠的一半宽度或者全宽度。该优选的偏错量尤其也可以不小于0.3mm或者不小于0.5mm。
在本发明的特定实施方式中，参考气体通道不填充，即尤其形成与传感器元件相关地宏观构造的、具有例如矩形横截面的空腔。在这种情况下，虽然一方面原则上改善了参考气体到传感器元件的进入，但是首先还使上面解释的参考气体通道棱边潜在相交作用的问题尖锐化。
在本发明的特定实施方式中，功能元件和接触面之间的导电连接除了印制导线外还具有与印制导线共同作用的穿通部，所述穿通部基本垂直于传感器元件的纵长方向延伸。所述穿通部尤其由传感器元件的过孔的径向壁的导电覆层组成。参考气体通道在俯视传感器元件时与所述穿通部尤其无重叠地布置，这首先导致的优势是，传感器元件的断裂强度仅被该穿通部轻微地减弱。
当前，如果提到印制导线，则它包括馈入导线和环圈，该环圈布置在馈入导线的背离废气侧，该馈入导线整体地或者至少在其背离废气的部分中具有恒定的宽度和/或该环圈构造成环形，例如圆环形。
印制导线的背离传感器元件第一端部区域的端部尤其也可以通过馈入导线的背离传感器元件第一端部区域的端部和/或通过馈入导线的背离传感器元件第一端部区域的端部加上该印制导线的环圈的总体来给出。
概念“纵长方向”、“横向方向”和“高度方向”在本申请范围内原则上仅在直角参考系统的意义上使用。但此外尤其可以是涉及由传感器元件标志的方向，例如在尤其六方体传感器元件的情况下，纵长方向可以是该传感器元件的最长侧棱边所指向的方向，高度方向可以是该传感器元件的最短侧棱边所指向的方向，和/或横向方向是该传感器元件的具有中等长度的侧棱边所指向的方向。例如在小棒形传感器元件的情况下，纵长方向是该小棒形传感器元件围绕其旋转对称或者基本上旋转对称的轴线所指向的方向。
在基本上仅对一个方向进行参考的地方，除了狭义的该方向外，也考虑与该方向略微有偏差的方向，例如偏差不大于15°的方向和/或与该方向至少不正交的方向。当一个结构仅在一个例如包括该结构的不大于10％的小部分区域内有偏差，则通过该相关结构附加地也基本上实现了该方向。
在本申请范围内，“传感器元件的长度”应理解为传感器元件在纵长方向上的延伸，“传感器元件的宽度”应理解为传感器元件在横向方向上的延伸，而“传感器元件的高度”应理解为传感器元件在高度方向上的延伸。该方向对于传感器元件的俯视也有决定作用。
概念“传感器元件的端部区域”在本申请范围内参考纵长方向看原则上仅应理解为传感器元件的一个相连的部分区域，该部分区域包括传感器的相关端部并且占该传感器元件的长度不大于50％。就此而言，一个端部区域与对置的端部区域例如仅在一个面上相交。更限制性地，传感器元件的端部区域尤其也可理解为传感器元件的一个相连的部分区域，该部分区域包括传感器的相关端部并且占该传感器元件的长度不大于三分之一或者甚至不大于四分之一。
概念“功能元件”当前原则上不应被狭义地解释。它例如可以是与传感器元件的外部空间连通的贵金属电极或金属陶瓷电极，和/或是在20℃时尤其具有最大30欧姆电阻的电阻加热器，和/或是这类似元件。
在电阻加热器作为功能元件的情况下，当前说明的实施方式的两个印制导线并排地、尤其镜像对称地设置。
在金属陶瓷电极作为功能元件的情况下，通往该金属陶瓷电极的印制导线或者馈入导线可以尤其直接地与参考气体通道对置。由于该原因可以有利的是，所述印制导线或者馈入导线在其折曲延伸的区域中和/或在其在俯视传感器元件时与参考气体通道的棱边相交的区域中具有与该印制导线或者馈入导线的朝向废气的区域相比增大的宽度，尤其大至少25％和/或大至少0.1mm。
在本发明中，为印制导线、馈入导线、穿通部和接触面选择特定的材料可能还是主要目标。原则上在此优选具有83％重量百分比或更多的贵金属成份的材料，使得能够以最少的贵金属投入获得预给定的欧姆电阻。对于通往加热装置的至少一个馈入导线甚至优选95％重量百分比或者更多例如98％重量百分比的贵金属成份。至少1％重量百分比Al2O3，更好地甚至至少1.5％重量百分比Al2O3，优选最大2.5％重量百分比Al2O3成份被证明有利于该结构的电阻的精确的可设定性。通往加热装置的至少一个馈入导线可与该加热装置一体地并且由同样的材料构型。
附加地或者替换地，对通往金属陶瓷电极的馈入导线和/或对至少一个接触面比对通往加热装置的至少一个馈入导线设置较少的贵金属成份，优选例如83％重量百分比至87％重量百分比，其中，尤其在通往金属陶瓷电极的馈入导线中设置总共12％重量百分比至16％重量百分比的ZrO2和Y2O3成份。优势是，通往金属陶瓷电极的馈入导线能够与金属陶瓷电极一起在一个工艺步骤中并且由同样的材料制造。对于通往金属陶瓷电极的馈入导线或者对于金属陶瓷电极来说，Al2O3成份优选0.2％重量百分比至1％重量百分比是有利的。
附加地或者替换地，对至少一个穿通部设置比对至少一个通往加热装置的馈入导线甚至更少的贵金属成份，优选例如83％重量百分比至87％重量百分比，其中，在该穿通部中设置总共3％重量百分比至8％重量百分比的ZrO2和Y2O3成份以及附加地甚至6％重量百分比至12％重量百分比的Nb2O5成份，穿通部能够在制造工艺中更好地被操作。尤其是相应的膏料具有更好的流变性能并且使得能够在传感器元件内部实现穿通部的更好的陶瓷附接。在与主要由钇稳定化的二氧化锆构成的传感器元件相关地，还在穿通部的边缘区域中构成减小的氧离子导电性能，这使传感器元件的功能改良。
上述贵金属成份可尤其由铂组成。替换地，尤其关于至少一个穿通部而言，可以为了稳定金属相，就材料的总组成而言优选0.2％重量百分比至0.8％重量百分比的成份由铑构成，和/或，就材料的总组成而言优选0.2％重量百分比至1％重量百分比的成份由钯构成。
始终还可以设置其它贵金属成份。
附图说明
图1以分解图中透视地并且示意地示出根据本发明的传感器元件。
其它附图示出放大的细节视图。
具体实施方式
图1示出作为本发明实施例的传感器元件20的总视图，该传感器元件可以布置在气体测量探头的壳体(未示出)中，该气体测量探头用于确定内燃机(未示出)的废气中的氧浓度。通过设置相应的功能元件，本发明当然也适合用在用于别的传感器、例如用于颗粒测量传感器的传感器元件上。
该传感器元件在图1中在纵长方向上从左向右延伸，其中，传感器元件20的第一端部区域201在右边绘出而传感器元件20的第二端部区域202在左边绘出。在符合规定地安装和运行时，传感器元件20的第一端部区域201朝向废气而传感器元件20的第二端部区域202背离废气。
此外，在图1中传感器元件20在横向方向上从前向后并且在高度方向上从下向上延伸。
传感器元件20由印刷的陶瓷层构造，这些陶瓷层在本例中构造为第一、第二和第三固体电解质膜21、22、23并且包含氧化钇稳定化的二氧化锆(YSZ)。在本例中，在烧结工序前，第一、第二和第三固体电解质膜21、22、23具有72mm的长度、5mm的宽度和540μm的高度。烧结后的传感器元件20的膜具有缩小了20％的棱边长度。
第一固体电解质膜21在它的从传感器元件20看向外指向的大面上(图1中下面)在传感器元件20的第二端部区域202中设置有、在此印刷有接触面43和另一接触面44；也参见图3。
第一固体电解质膜21在它的从传感器元件20看向内指向的大面上(图1中上面)在传感器元件20的第一端部区域201中设置有回曲形的加热装置311作为功能元件31，该功能元件用于加热该传感器元件20的第一端部区域201。在该回曲形的加热装置311的延续部中，在该装置的端部上分别连接有一个印制导线321、323，结构宽度和/或结构高度的增加或者每单位长度电阻的减小标志着从加热装置311到印制导线321、323的过渡。
印制导线321、323在废气侧具有被称为馈入导线323、325的区段，该区段当前具有恒定的宽度。印制导线321、323还在背离废气侧具有被称为环圈324、326的区段，该区段当前构造成环形；也参见图4。
第一固体电解质膜21在它的从传感器元件20看向内指向的大面上(图1中上面)还设置有、在此印有隔离层330和密封框架331，以及膜复合层333。
第一固体电解质膜21在第二端部区域202内具有两个穿通部501、502，这些穿通部在垂直方向上穿过该第一固体电解质膜21延伸并且各使一个接触面43、44与印制导线321、323的一个环圈324、326导电地连接；参见图6。
第二固体电解质膜22在两侧分别设置有膜复合层333，该第二固体电解质膜22还具有参考气体通道35，该参考气体通道从背离废气地布置的参考气体开口351延伸到传感器元件20的第一端部区域201，并且在此在横向上居中地延伸。该参考气体通道35构造成不被填充的，尤其在它里面不设置多孔填充物。
第三固体电解质膜23在它的从传感器元件20看向内指向的大面上(图1中下面)与参考气体通道35对置地设置有金属陶瓷电极312，作为用于测量氧浓度的功能元件31。在该金属陶瓷电极312的延续部中，在它的端部上衔接有印制导线328，其中，结构宽度的减小标志着从该金属陶瓷电极到该印制导线328的过渡。
印制导线328在废气侧具有被称为馈入导线327的区段，该区段当前具有恒定的宽度。印制导线328在背离废气侧还具有被称为环圈329的区段，该区段当前构造成环形；也参见图5。在第三固体电解质膜23的该侧，至少在否则不被印刷的地方，设置有膜复合层333。
第三固体电解质膜23在它的从传感器元件20看向外指向的大面上(图1中上面)在传感器元件20的第二端部区域202内设置有、在这里印刷有接触面45和另一接触面46；也参见图2。
在该另一接触面46上衔接有具有例如恒定宽度的印制导线320，该印制导线一直延伸到布置在传感器元件20的第一端部区域201内的另一金属陶瓷电极313。印制导线320用例如密封的覆盖层361覆盖，该另一金属陶瓷电极313设置有多孔层362，以保证外部空间和该另一金属陶瓷电极313之间的连通。
第三固体电解质膜23在第二端部区域内具有穿通部503，该穿通部在垂直方向上穿过该第三固体电解质膜23延伸并且使接触面45与环圈329导电连接；参见图6。
在图2中，在看向第三固体电解质膜23的俯视图示出传感器元件20的背离废气的第二端部区域202。在那里，对着传感器元件20的朝向废气的第一端部区域201看，接触面45布置在左边。
接触面45有三个部分区域共同组成，即本体区域451、头部区域452和颈部区域453。本体区域451布置在接触面45的背离废气的一侧上。它具有长形的基本形状，该基本形状由长和宽相等的矩形通过对角部最大程度地修圆形成，即通过以曲率半径R修圆，该曲率半径相当于本体区域451或者接触面45的一半宽度。因而以这种方式在接触面45的背离废气的一侧上形成本体区域451的或者接触面45的半圆形端部区域。
就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，本体区域451的长度在本例中为2.5mm或更多，本体区域451的宽度为1.5mm或更多。本体区域451距离传感器元件20的左侧外棱边0.4mm或更少并且距离传感器元件20的前面外棱边1.3mm或更少。
头部区域452布置在接触面45的朝向废气的一侧上。就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，头部区域452例如构造成环形，具有0.5mm或更小的内直径和1mm或更大的外直径。
颈部区域453构造在本体区域451和头部区域452之间。就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，该颈部区域相对于本体区域451和头部区域452形成接触面45的缩颈，该缩颈具有在本例中0.3mm的最小宽度和0.3mm的长度。
本体区域451在本例中具有关于在传感器元件20的纵长方向上指向的轴线的镜像对称性。头部区域452和颈部区域453同样具有镜像对称性，不过是关于相对于传感器元件20的纵轴线在俯视传感器元件20时在数学上的负旋转方向上旋转90°的轴线而言，使得头部区域452和颈部区域453总体略微朝向传感器中心倾斜。
接触面45的头部区域452与穿过第三固体电解质膜23的穿通部503以导电的方式共同作用。
此外在图2中，朝向传感器元件20的朝向废气的第一端部区域201看，所述另一接触面46布置在接触面45右侧旁边。该另一接触面46的布置和大小在该意义上，即在左右调换的情况下，与接触面45的本体区域451的布置和大小相当，附有这样的条件：就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，在接触面45和该另一接触面46之间存在至少0.6mm的间距。
该另一接触面46仅由与接触面45的本体区域451相当的部分构成，即既不具有头部区域也不具有颈部区域。它也不与穿通部共同作用，取而代之，它直接与引向另一金属陶瓷电极313的印制导线328接触。就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，该印制导线328在纵向上的中轴线在此相对于所述另一接触面46在纵向上的中轴线而言在横向上向内偏移0.1至0.4mm，在本例中0.2mm。
接触面45、46具有83％重量百分比至87％重量百分比的贵金属成份，和总共12％重量百分比至16％重量百分比的ZrO2和Y2O3成份。
图3以在图1中向下指向的第一固体电解质膜21下面的仰视图示出传感器元件20的背离废气的第二端部区域202。在那里，朝向传感器元件20的朝向废气的第一端部区域201看，接触面43布置在左侧。
接触面43由三个部分区域组成，即本体区域431、头部区域432和颈部区域433。本体区域431布置在接触面43的背离废气的一侧上。它有长形的基本形状，该基本形状由长和宽相等的矩形通过对角部最大程度地修圆形成，即通过以曲率半径R修圆，该曲率半径相当于本体区域431或者接触面43的一半宽度。因而以这种方式在接触面43的背离废气的一侧上形成本体区域431的或者接触面43的半圆形端部区域
就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，本体区域431的长度在本例中为2.5mm或更多，本体区域431的宽度为1.5mm或更多。本体区域431距离传感器元件20的左侧外棱边0.4mm或更少并且距离传感器元件20的前面外棱边1.3mm或更少。
头部区域432布置在接触面43朝向废气的一侧上。就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，头部区域432例如构造成环形，具有0.5mm或更小的内直径和1mm或更大的外直径。
颈部区域433构造在本体区域431和头部区域432之间。就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，该颈部区域相对本体区域431和头部区域432形成接触面43的缩颈，该缩颈具有在本例中为0.9mm的最小宽度和0.3mm的长度。
接触面43的颈部区域433比图2中的接触面45的颈部区域451宽得多，在此大2倍。背景是，通过加热装置311的接触面43输入大的电流，而通过金属陶瓷电极312的接触面45仅输入相对小的电流。因此，接触面43构型有更小的欧姆电阻或者更宽的颈部区域433。
本体区域431在本例中具有关于在传感器元件20的纵长方向上指向的轴线的镜像对称性。头部区域432和颈部区域433同样具有镜像对称形，不过是关于相对于传感器元件20的纵轴线在俯视传感器元件20时在数学上的负旋转方向上旋转90°的轴线而言，使得头部区域452和颈部区域453总体略微朝向传感器中心倾斜。
接触面43的头部区域432与穿过第一固体电解质膜21的穿通部501导电地共同作用。
此外在图3中，朝向传感器元件20的朝向废气的第一端部区域201看，所述另一接触面44布置在接触面43右侧旁边。该另一接触面46的布置和大小在该意义上，即在左右调换以及正向旋转和负向旋转调换的情况下，与接触面43的布置和大小相当，附有这样的条件：就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，在接触面43和该另一接触面44之间存在至少0.6mm的间距。
接触面43、44具有83％重量百分比至87％重量百分比的贵金属成份，和总共12％重量百分比至16％重量百分比的ZrO2和Y2O3成份。
在图4中以朝向第一固体电解质膜21、在图1中从上看的俯视图中示出传感器元件20的背离气体的第二端部区域202。在那里，朝向传感器元件20的朝向废气的第一端部区域201看，印制导线322布置在右边。该印制导线322由两个部分区域组合成，即馈入导线325和环圈326。
馈入导线325形成印制导线322的废气侧部分并且从在废气侧的加热装置311一直延伸至在馈入导线325的背离废气侧布置的环圈326。当前，分别就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，馈入导线325具有1.2mm的宽度B，并且在废气侧相对于传感器元件20的中心纵轴线在横向上间隔0.25。馈入导线325在背离废气的端部区域内向右、即向外折曲成一个18°的角度。
环圈326构造成环形，当前划过180°的弧，该弧的外直径与馈入导线325的宽度B一样并且它的内直径为0.4mm。因此，分别就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，环圈326的宽度为0.3mm。环圈宽度b与馈入导线宽度B的宽度比为0.33。
关于在传感器运行中可能出现或者典型地可能出现的温度分布而言，穿通部501的电阻与印制导线322的电阻相同或者大致相同。除了均匀的温度分布、例如20℃外，在此替换地也可适应不均匀的温度分布。例如可以基于在纵向上在加热装置311的区域中1100℃而在穿通部501的区域中200℃、300℃或者甚至400℃的均匀温度升高。
功能元件(尤其加热装置311)与接触面43的电连接的电阻例如在20℃时在2.5欧姆范围内。
此外在图4中，朝向传感器元件20的朝向废气的第一端部区域201看，印制导线321关于中心纵轴线与印制导线322对称地布置。印制导线321的布置和大小在该意义上，即在左右调换的情况下，与印制导线322的布置和大小相当。
馈入导线325、323具有大于95％重量百分比、例如98％重量百分比的贵金属成份，和至少1％重量百分比的Al2O3。
关于在传感器运行中可能出现或者典型地可能出现的温度分布而言，穿通部502的电阻与印制导线321的电阻相同或者大致相同。除了均匀的温度分布、例如20℃外，在此替换地也可适应不均匀的温度分布。例如可以基于在纵向上在加热装置311的区域中1100℃而在穿通部501的区域中200℃、300℃或者甚至400℃的均匀温度升高。
图4a示出具有略微改动的馈入导线325、323的传感器元件20，作为一种变型，其中，改动仅在于，馈入导线325、323的宽度B只有1.08mm而不是1.2mm，即与环圈324、326相比稍微(10％)地减小。该米制尺寸是就未烧结的传感器元件20而言的(烧结后：-20％)。
在图5中以在第三固体电解质膜23下面、在图3中从下看的仰视图中示出传感器元件20的背离气体的第二端部区域202。在那里，朝向传感器元件20的朝向废气的第一端部区域201看，印制导线322布置在右边。该印制导线322由两个部分区域组合成，即馈入导线327和环圈329。
馈入导线327形成印制导线的废气侧部分并且从在废气侧的金属陶瓷电极312一直延伸至在馈入导线327的背离废气侧布置的环圈329。当前，该馈入导线具有0.4mm的宽度B(未烧结；烧结后：-20％)，并且在废气侧这样走向，使得它在传感器元件20的俯视图中的垂直投影图中布置在参考气体通道35内部。因而馈入导线327的该部分在制造过程期间很大程度上受到保护以免被挤压。
馈入导线327在背离废气的端部区域内向右、即向外折曲一个不大于25°、在此为8°的角度。馈入导线在该背离废气的端部区域内与参考气体通道35的棱边在传感器元件20的俯视图中的垂直投影图中相交。由于比较小的相交角度，得到印制导线328和参考气体通道35的棱边之间的长的重叠区，从而在制造过程期间又良好地保护馈入导线327免被挤压。
环圈329构造成环形。就未烧结的传感器元件20而言(烧结后：-20％)，环圈的宽度b为0.3mm。环圈宽度b与馈入导线宽度B的宽度比为0.75。
馈入导线327具有83％重量百分至87％重量百分比的贵金属成份和总共12％重量百分比至16％重量百分比的ZrO2和Y2O3成份。
关于在传感器运行中可能出现或者典型地可能出现的温度分布而言，穿通部503的电阻与印制导线328的电阻相同或者大致相同。除了均匀的温度分布、例如20℃外，在此替换地也可适应不均匀的温度分布。例如可以基于在纵向上在金属陶瓷电极312的区域中750℃而在穿通部503的区域中200℃、300℃或者甚至400℃的均匀温度升高。
图5a示出具有略微改动的馈入导线328的传感器元件20，作为一种变型，其中，改动仅在于，馈入导线328在背离废气端部中的宽度B与馈入导线328的朝向废气的区域相比提高40％，从0.4mm提高到0.6mm。该米制尺寸是就未烧结的传感器元件20而言的(烧结后：-20％)。
在图6中纯粹示意地示出在前面的附图1至5中所示的传感器元件20在垂直于传感器元件20的纵长方向穿过穿通部501、502、503的平面中的剖面。
穿通部501、502、503构造成传感器元件20的过孔601、602、603的径向壁的导电覆层。就未烧结的传感器元件20而言，过孔601、602、603的直径在本例中为0.6mm(烧结后：-20％，即0.48mm)。
可看到，穿通部501、502、503在传感器元件20的俯视图中分别与参考气体通道35无重叠地实施。
穿通部501、502、503具有83％重量百分至87％重量百分比的贵金属成份和总共3％重量百分比至8％重量百分比的ZrO2和Y2O3成份以及附加具有6％重量百分比至12％重量百分比的Nb2O5成份。
在图7中纯粹示意地示出在前面的附图1至5中所示的传感器元件20在垂直于传感器元件20的纵长方向大致在传感器元件20的纵向延伸的一半的区域中的平面中的剖面。
如可看到的那样，在传感器元件20的俯视图中，引向金属陶瓷电极312的印制导线328或者馈入导线327在它们的整个宽度上与参考气体通道35发生重叠703。此外，引向电阻加热器的印制导线321、322或者馈入导线323、325分别在它们的大约10％宽度上与参考气体通道35发生重叠701、702。

Claims (10)

1.传感器元件，尤其用于验证气体的物理特性，尤其用于验证内燃机废气的气体组分浓度或温度或固体成分或液体成分，其中，该传感器元件(20)具有在它的纵长方向上相互对置的第一端部区域(201)和第二端部区域(202)，其中，该传感器元件(20)在该第一端部区域(201)中在该传感器元件(20)的内部具有功能元件(31、311、312)，该功能元件与在所述第二端部区域(202)中布置在该传感器元件(20)的外表面上的接触面(43、44、45)导电连接，其中，所述功能元件(31、311、312)和所述接触面(43、44、45)之间的所述导电连接具有在该传感器元件(20)内部的基本在纵长方向上延伸的印制导线(321、322、328)，其中，该传感器元件(20)还具有基本在该传感器元件(20)的纵长方向上延伸的、经过参考气体开口(351)与处于该传感器元件(20)之外的参考气体连通的参考气体通道(35)，其中，所述印制导线(321、322、328)和所述参考气体通道(35)这样布置，使得在俯视该传感器元件(20)时在它们之间发生至少部分的重叠(701、702、703)，其特征在于，所述印制导线(321、322、328)在它的背离所述传感器元件(20)的第一端部区域(201)的端部上向该传感器元件(20)的外侧折曲成一个不大于25°、尤其不大于14°的角度(α)地延伸。
2.根据权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，所述功能元件(31、311、312)和所述接触面(43、44、45)之间的导电连接具有穿通部(501、502、503)，所述穿通部基本垂直于所述传感器元件(20)的纵长方向延伸，其中，所述穿通部(501、502、503)由所述传感器元件(20)的过孔(601、602、603)的径向壁的导电覆层组成，并且，所述参考气体通道(35)在俯视该传感器元件(20)时与所述穿通部(501、502、503)无重叠地布置。
3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于，所述参考气体通道(35)不填充地构造。
4.根据权利要求1至3之一所述的传感器元件，其特征在于，所述功能元件(31)是电阻加热器(311)，尤其是，该电阻加热器在20℃时具有最大30欧姆的电阻。
5.根据权利要求4所述的传感器元件，其特征在于，所述电阻加热器(311)与在所述第二端部区域(202)中布置在传感器元件(20)的外表面上的两个接触面(43、44)导电连接，其中，所述电阻加热器(311)和所述接触面(43、44)之间的这两个导电连接分别具有一在所述传感器元件(20)的内部基本在纵长方向上延伸的印制导线(321、322)，其中，所述印制导线(321、322)和所述参考气体通道(35)这样布置，使得在俯视该传感器元件(20)时在所述印制导线(321、322)中的至少一个与所述参考气体通道(35)之间、优选在两个印制导线(321、322)与所述参考气体通道(35)之间分别发生至少部分的重叠(701、702)，其中，所述印制导线(321、322)在它们的背离所述传感器元件(20)的端部区域(201)的端部上分别向该传感器元件(20)的外侧折曲成一个不大于25°、尤其不大于14°的角度(α)地延伸。
6.根据权利要求5所述的传感器元件，其特征在于，所述电阻加热器(311)和接触面(43、44)之间的导电连接分别具有穿通部(501、502)，所述穿通部基本垂直于所述传感器元件(20)的纵长方向延伸，其中，所述穿通部(501、502)由所述传感器元件(20)的过孔(601、602)的径向壁的导电覆层组成，并且，所述参考气体通道(35)在俯视该传感器元件(20)时与一个或两个穿通部(501、502)无重叠地布置。
7.根据权利要求1至6之一所述的传感器元件，其特征在于，所述功能元件(31)是平面地构造的金属陶瓷电极(312)，该金属陶瓷电极经过所述参考气体通道(35)与所述传感器元件(20)的外部空间连通。
8.根据权利要求7所述的传感器元件，其特征在于，发生重叠(703)，该重叠局部地在所述传感器元件(20)的横向方向上延伸到所述参考气体通道(35)的局部宽度和/或所述印制导线(328)的局部宽度的不小于5％、尤其不小于20％、优选甚至不小于35％。
9.根据权利要求7所述的传感器元件，其特征在于，发生重叠(703)，该重叠局部地在所述传感器元件(20)的横向方向上延伸到所述参考气体通道(35)的局部宽度和/或至少所述印制导线(328)的局部宽度的100％。
10.根据权利要求1至9之一所述的传感器元件，其特征在于，所述印制导线(321、322、328)在它折曲地延伸的区域中和/或在它在俯视所述传感器元件时与所述参考气体通道(901)的棱边相交的区域中具有宽度，该宽度与该印制导线(321、322、328)的朝向废气的区域相比增大，尤其大至少25％。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3284513B8 (en) * 2016-08-17 2020-03-11 Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG Cermet feedthrough in ceramic multilayer body
JP7382857B2 (ja) * 2020-03-09 2023-11-17 日本碍子株式会社 ガスセンサ
DE102020207877A1 (de) * 2020-06-25 2021-12-30 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Sensorelement mit vier Kontaktflächen und drei Durchkontaktierungen
CN114577985A (zh) * 2022-02-11 2022-06-03 深圳市卡普瑞环境科技有限公司 小型化气体传感装置的恒温模块和小型化气体传感装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2535372B2 (ja) * 1988-03-09 1996-09-18 日本碍子株式会社 セラミック・ヒ―タ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置
US20020112958A1 (en) * 2000-02-04 2002-08-22 Lothar Diehl Electrochemical sensor and method for the production thereof
CN101191784A (zh) * 2006-11-27 2008-06-04 罗伯特·博世有限公司 用于确定测量气体的物理特性的气体传感器的传感单元
JP2009133808A (ja) * 2007-11-08 2009-06-18 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ及びガスセンサ制御装置
US20100000293A1 (en) * 2008-07-04 2010-01-07 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor
WO2011153523A1 (en) * 2010-06-04 2011-12-08 Delphi Technologies, Inc. Exhaust sensor heater circuit for non-calibrated replacement in existing applications

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4880519A (en) * 1988-05-24 1989-11-14 Gte Laboratories Incorporated Gas sensor element
JP3802168B2 (ja) * 1996-12-10 2006-07-26 日本碍子株式会社 ガスセンサおよびそれを用いた排ガス浄化装置の劣化診断方法
US6303011B1 (en) * 1997-06-23 2001-10-16 Kabushiki Kaisha Riken Gas sensor
DE19833862A1 (de) * 1998-07-28 2000-02-03 Bosch Gmbh Robert Heizelement für Lambda-Sonden
US6572747B1 (en) * 1999-03-08 2003-06-03 Delphi Technologies, Inc. Method for making a wide range sensor element
EP1120645A3 (en) * 2000-01-27 2004-07-07 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor
DE10011562C2 (de) * 2000-03-09 2003-05-22 Daimler Chrysler Ag Gassensor
DE10157733B4 (de) 2001-11-24 2004-02-26 Robert Bosch Gmbh Sensor zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch
DE10220783B4 (de) * 2002-05-10 2004-07-01 Robert Bosch Gmbh Meßfühler
CA2485605C (en) * 2002-05-14 2012-08-28 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Method of starting, stopping and operating gas sensor with built-in heater
DE10222789B4 (de) * 2002-05-23 2006-12-07 Robert Bosch Gmbh Gasmeßfühler
EP1703278B1 (en) * 2004-01-09 2017-07-05 NGK Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor production method and gas sensor
JP4407373B2 (ja) * 2004-05-13 2010-02-03 株式会社デンソー ガスセンサ素子
US7771576B2 (en) * 2006-07-18 2010-08-10 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor and method for manufacturing gas sensor
US8042380B2 (en) * 2007-09-14 2011-10-25 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor
JP5647188B2 (ja) * 2011-07-21 2014-12-24 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ
JP5403017B2 (ja) * 2011-08-30 2014-01-29 株式会社デンソー セラミックヒータ及びそれを用いたガスセンサ素子
JP5706376B2 (ja) * 2011-09-27 2015-04-22 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ
US9551684B2 (en) * 2013-01-08 2017-01-24 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor element and gas sensor
JP6169946B2 (ja) * 2013-10-29 2017-07-26 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子、ガスセンサおよびガスセンサ素子の製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2535372B2 (ja) * 1988-03-09 1996-09-18 日本碍子株式会社 セラミック・ヒ―タ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置
US20020112958A1 (en) * 2000-02-04 2002-08-22 Lothar Diehl Electrochemical sensor and method for the production thereof
CN101191784A (zh) * 2006-11-27 2008-06-04 罗伯特·博世有限公司 用于确定测量气体的物理特性的气体传感器的传感单元
JP2009133808A (ja) * 2007-11-08 2009-06-18 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ及びガスセンサ制御装置
US20100000293A1 (en) * 2008-07-04 2010-01-07 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor
WO2011153523A1 (en) * 2010-06-04 2011-12-08 Delphi Technologies, Inc. Exhaust sensor heater circuit for non-calibrated replacement in existing applications

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Publication number Publication date
KR20160019456A (ko) 2016-02-19
US20160153929A1 (en) 2016-06-02
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US9841397B2 (en) 2017-12-12
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ES2700522T3 (es) 2019-02-18
EP3011326A1 (de) 2016-04-27
BR112015031483A2 (pt) 2017-07-25

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