CN105843000A - 烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法。烘烤炉包括：炉体，支撑针，升降装置。炉体包括烘烤室，烘烤室用于对经过光阻材料涂布制程后的显示器件实施烘烤制程；升降装置与支撑针连接，升降装置用于通过支撑针提升或降低显示器件中与支撑针对应的预定部分的位置，以在烘烤室对显示器件进行烘烤的过程中调节预定部分的温度，进而调整显示器件上位于预定部分处的光阻线的线宽。本发明能对经过黄光制程后的显示器件上的预定部分的光阻材料的线宽进行调整，以确保显示器件的光阻材料的线宽均匀。

Description

烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法

【技术领域】

本发明涉及烘烤炉领域，特别涉及一种烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法。

【背景技术】

传统的显示器件中一般都设置有多根导线(例如，扫描线或数据线)，这些导线用于传输信号，这些导线的线宽的均一性对TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)器件的性能有较大的影响。

上述导线是对经过黄光制程后的显示器件中的金属层进行蚀刻来形成的，其中，所述金属层上方设置有光阻材料，所述光阻材料在所述黄光制程中的曝光制程和显影制程后图形化，以形成与所述金属层中待形成的导线对应的部分，图形化后的所述光阻材料(光阻线)的线宽与所述导线的线宽对应。

在实践中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

显示器件在经过传统的黄光制程后，往往会出现图形化后的光阻材料线宽不均匀的情况，由于传统的黄光制程一般包括多个子制程，因此很难获知究竟是哪一个制程导致图形化后的光阻材料出现线宽不均匀的情况。

因此，难以通过对传统的黄光制程中的子制程进行调整以避免在经过黄光制程后显示器件上的经过图形化的光阻材料线宽不均匀。

故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种烘烤炉及其调整显示器件上的光阻线的线宽的方法，其能对经过黄光制程后的显示器件上的预定部分的光阻线的线宽进行调整，以确保显示器件上的光阻线的线宽均匀。

为解决上述问题，本发明的技术方案如下：

一种烘烤炉，所述烘烤炉包括：炉体，所述炉体包括烘烤室，所述烘烤室用于容置显示器件，以及用于对经过光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为黄光制程中的子制程；支撑针组合，所述支撑针组合设置于所述烘烤室内，所述支撑针组合包括至少三支撑针，所述支撑针用于在所述烘烤室内支撑所述显示器件；升降装置组合，所述升降装置组合包括至少三升降装置，所述升降装置与所述支撑针连接，所述升降装置用于通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。

在上述烘烤炉中，所述烘烤炉还包括：控制电路，所述控制电路与所述升降装置组合电性连接，所述控制电路用于根据控制指令控制所述升降装置作业，以控制所述预定部分的位置升高或降低。

在上述烘烤炉中，所述支撑针组合中的至少三所述支撑针以阵列的形式排列。

在上述烘烤炉中，所述烘烤炉还包括：加热装置，所述加热装置设置于所述烘烤室的底部或顶部，所述加热装置用于向所述显示器件施加烘烤热量。

在上述烘烤炉中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

在上述烘烤炉中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

一种上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法，所述方法包括以下步骤：A、所述支撑针组合对所述烘烤室内的所述显示器件进行支撑；B、所述烘烤室对经过所述光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程；C、所述升降装置通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的所述预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。

在上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法中，在所述步骤C之前，所述方法还包括以下步骤：D、控制电路根据控制指令控制所述升降装置作业。

在上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述步骤C包括：c1、所述升降装置通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；c2、所述升降装置通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

在上述烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述步骤C包括：c3、所述升降装置通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；c4、所述升降装置通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

相对现有技术，本发明能对经过黄光制程后的显示器件上的预定部分的光阻线的线宽进行调整，以确保显示器件的光阻线的线宽均匀。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

【附图说明】

图1和图2为本发明的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方式的示意图；

图3为本发明的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方法的第一实施例的流程图；

图4为本发明的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方法的第二实施例的流程图。

【具体实施方式】

本说明书所使用的词语“实施例”意指实例、示例或例证。此外，本说明书和所附权利要求中所使用的冠词“一”一般地可以被解释为“一个或多个”，除非另外指定或从上下文可以清楚确定单数形式。

参考图1和图2，图1和图2为本发明的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件上的光阻线的线宽的方式的示意图。

在本发明的烘烤炉的第一实施例中，所述烘烤炉用于对经过光阻材料涂布制程后的显示器件103进行烘烤(包括预烘烤和后烘烤)，所述烘烤炉包括炉体101、支撑针组合、升降装置组合、控制电路。本发明的显示器件103可以是设置有金属层的玻璃基板，所述金属层用于通过黄光制程形成扫描线、数据线等。

所述炉体101包括烘烤室102，所述烘烤室102用于容置所述显示器件103，以及用于对经过所述光阻材料涂布制程后的所述显示器件103实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为所述黄光制程中的子制程。其中，所述黄光制程包括以下子制程：清洗制程、去水干燥制程、涂胶(涂布光阻/光阻材料涂布)制程、真空干燥制程、预烘烤制程、显影制程、曝光制程、后烘烤制程等。所述烘烤制程包括所述预烘烤制程和所述后烘烤制程。

所述支撑针组合设置于所述烘烤室102内，所述支撑针组合包括至少三支撑针104，所述支撑针104用于在所述烘烤室102内支撑所述显示器件103。

所述升降装置组合包括至少三升降装置106，所述，所述升降装置106与所述支撑针104连接，具体地，所述支撑针104竖立于所述烘烤室102内，所述支撑针104包括第一末端和第二末端，所述第一末端用于与所述显示器件103接触，所述第二末端与所述升降装置106连接，所述升降装置106用于通过所述支撑针104提升或降低所述显示器件103中与所述支撑针104对应的预定部分201的位置，即，所述升降装置106用于调节所述预定部分201与所述烘烤室102的底面的距离，以在所述烘烤室102对所述显示器件103进行烘烤的过程中调节所述预定部分201的温度，以调整所述预定部分201处的所述光阻材料的软硬程度(以在对所述显示器件103实施所述黄光制程中的所述曝光制程和所述显影制程之前调整所述预定部分201处的所述光阻材料的软硬程度)，进而调整所述显示器件103上位于所述预定部分201处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件103上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件103上待形成的导线对应。所述光阻线的线宽是经过所述黄光制程后的所述光阻材料上与所述显示器件103中待形成的导线对应的部分的宽度。所述图形化部分是通过对设置于所述显示器件103上的所述光阻材料实施所述黄光制程中的所述曝光制程和所述显影制程来形成的。所述导线可例如为扫描线(栅极线)、数据线等。

其中，所述预定部分是通过预先检测或预先试验获知的。

所述控制电路与所述升降装置组合电性连接，所述控制电路用于根据控制指令控制所述升降装置106作业，以控制所述预定部分201的位置升高或降低。

在本实施例中，所述升降装置106可包括电动机(马达)与升降(螺旋)齿轮的组合。所述支撑针104与所述升降齿轮连接，所述电动机与所述升降齿轮耦合，所述电动机用于带动所述升降齿轮旋转，以带动所述支撑针104升降，从而提升或降低所述显示器件103的所述预定部分201的位置。

在本实施例中，所述支撑针组合中的至少三所述支撑针104以阵列的形式排列。

在本实施例中，所述升降装置106设置于所述炉体101的底部外侧，所述炉体101的底部设置有通孔组合，所述通孔组合包括至少三通孔105。

所述支撑针104穿过所述通孔105与所述升降装置106连接。

所述升降装置106还可以设置于所述炉体101的底部内侧。

在本实施例中，所述烘烤炉还包括加热装置，所述加热装置设置于所述烘烤室102的底部或顶部，所述加热装置用于向所述显示器件103施加烘烤热量。所述烘烤室102内的温度自靠近所述加热装置的部位向远离所述加热装置的部位递减。

在所述加热装置设置于所述烘烤室102的底部的情况下，所述升降装置106用于通过所述支撑针104提升所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以降低所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以增大所述光阻线的线宽。在所述加热装置设置于所述烘烤室102的底部的情况下，所述升降装置106用于通过所述支撑针104降低所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以提高所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

本发明的烘烤炉的第二实施例与上述第一实施例相似，不同之处在于：

在本实施例中，在所述加热装置设置于所述烘烤室102的顶部的情况下，所述升降装置106用于通过所述支撑针104降低所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以降低所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以增大所述光阻线的线宽。在所述加热装置设置于所述烘烤室102的顶部的情况下，所述升降装置106用于通过所述支撑针104提升所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以提高所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

参考图3，图3为本发明的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件103中的光阻线的线宽的方法的第一实施例的流程图。

本发明的上述烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件103中的光阻线的线宽的方法的第一实施例包括以下步骤：

A(步骤301)、所述支撑针组合对所述烘烤室102内的所述显示器件103进行支撑。

B(步骤302)、所述烘烤室102对经过所述光阻材料涂布制程后的所述显示器件103实施烘烤制程。

C、所述升降装置106通过所述支撑针104提升或降低所述显示器件103中与所述支撑针104对应的所述预定部分201的位置，即，所述升降装置106调节所述预定部分201与所述烘烤室102的底面的距离，以在所述烘烤室102对所述显示器件103进行烘烤的过程中调节所述预定部分201的温度，以调整所述预定部分201处的所述光阻材料的软硬程度(以在对所述显示器件103实施所述黄光制程中的所述曝光制程和所述显影制程之前调整所述预定部分201处的所述光阻材料的软硬程度)，进而调整所述显示器件103上位于所述预定部分201处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件103上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件103上待形成的导线对应。具体地，所述升降装置106中的电动机带动所述升降装置106中的升降齿轮旋转，以带动所述支撑针104升降，从而提升或降低所述显示器件103的所述预定部分201的位置。

在本实施例中，在所述步骤C之前，所述方法还包括以下步骤：

D(步骤303)、控制电路根据控制指令控制所述升降装置106作业。

在本实施例中，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述步骤C包括：

c1(步骤304)、所述升降装置106通过所述支撑针104提升所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以降低所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以增大所述光阻线的线宽。

c2(步骤305)、所述升降装置106通过所述支撑针104降低所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以提高所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

参考图4，图4为本发明的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件103中的光阻线的线宽的方法的第二实施例的流程图。

本发明的烘烤炉调整经过黄光制程后的显示器件103中的光阻线的线宽的方法的第二实施例与上述第一实施例相似，不同之处在于：

在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述步骤C包括：

c3(步骤401)、所述升降装置106通过所述支撑针104降低所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以降低所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以增大所述光阻线的线宽。

c4(步骤402)、所述升降装置106通过所述支撑针104提升所述显示器件103的所述预定部分201的位置，以提高所述显示器件103的所述预定部分201的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

通过上述技术方案，本发明能对经过所述黄光制程后的所述显示器件103中的所述预定部分201的所述光阻线的线宽进行调整，以确保所述显示器件103的光阻线的线宽均匀，从而确保所述显示器件中待形成(待通过蚀刻制程来形成)的导线的线宽均匀。

尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本发明，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本发明包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件执行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结构上与执行本文所示的本说明书的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本说明书的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉包括：

炉体，所述炉体包括烘烤室，所述烘烤室用于容置显示器件，以及用于对经过光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程，其中，所述光阻材料涂布制程和所述烘烤制程均为黄光制程中的子制程；

支撑针组合，所述支撑针组合设置于所述烘烤室内，所述支撑针组合包括至少三支撑针，所述支撑针用于在所述烘烤室内支撑所述显示器件；

升降装置组合，所述升降装置组合包括至少三升降装置，所述升降装置与所述支撑针连接，所述升降装置用于通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。

2.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉还包括：

控制电路，所述控制电路与所述升降装置组合电性连接，所述控制电路用于根据控制指令控制所述升降装置作业，以控制所述预定部分的位置升高或降低。

3.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述支撑针组合中的至少三所述支撑针以阵列的形式排列。

4.根据权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述烘烤炉还包括：

加热装置，所述加热装置设置于所述烘烤室的底部或顶部，所述加热装置用于向所述显示器件施加烘烤热量。

5.根据权利要求4所述的烘烤炉，其特征在于，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；

在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

6.根据权利要求4所述的烘烤炉，其特征在于，在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；

在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述升降装置用于通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

7.一种如权利要求1所述的烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

A、所述支撑针组合对所述烘烤室内的所述显示器件进行支撑；

B、所述烘烤室对经过所述光阻材料涂布制程后的所述显示器件实施烘烤制程；

C、所述升降装置通过所述支撑针提升或降低所述显示器件中与所述支撑针对应的所述预定部分的位置，以在所述烘烤室对所述显示器件进行烘烤的过程中调节所述预定部分的温度，进而调整所述显示器件上位于所述预定部分处的光阻线的线宽，其中，所述光阻线为设置于所述显示器件上的光阻材料在经过所述黄光制程后所形成的图形化部分，所述图形化部分与所述显示器件上待形成的导线对应。

8.根据权利要求7所述的烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法，其特征在于，在所述步骤C之前，所述方法还包括以下步骤：

D、控制电路根据控制指令控制所述升降装置作业。

9.根据权利要求7所述的烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法，其特征在于，在所述加热装置设置于所述烘烤室的底部的情况下，所述步骤C包括：

c1、所述升降装置通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；

c2、所述升降装置通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。

10.根据权利要求7所述的烘烤炉调整经过所述黄光制程后的所述显示器件上的所述光阻线的线宽的方法，其特征在于，在所述加热装置设置于所述烘烤室的顶部的情况下，所述步骤C包括：

c3、所述升降装置通过所述支撑针降低所述显示器件的所述预定部分的位置，以降低所述显示器件的所述预定部分的温度，以增大所述光阻线的线宽；

c4、所述升降装置通过所述支撑针提升所述显示器件的所述预定部分的位置，以提高所述显示器件的所述预定部分的温度，以缩小所述光阻线的线宽。