CN105830553A - 对基板作业装置 - Google Patents

Abstract

安装机(16)具备：用于以两个路径搬运电路基板的一对输送机装置(40、42)、进行安装作业的安装头(24)，安装机(16)能够执行安装作业控制和准备作业控制，安装作业控制是对由一对输送机装置中的一个输送机装置搬运的电路基板执行基于安装头的安装作业的控制，准备作业控制是对由一对输送机装置中的另一个输送机装置搬运的电路基板执行使用安装头来准备执行安装作业所需的换产调整的准备作业的控制。并且，在由于与对由一对输送机装置中的一个输送机装置搬运的电路基板的作业相关联的作业而安装作业控制中断的时刻，执行准备作业控制。由此，能够利用安装作业时的各种等待时间，来执行准备作业，能够在不使安装作业的生产节拍时间下降的情况下进行准备作业。

Description

对基板作业装置

技术领域

本发明涉及具备用于以两个路径搬运电路基板的一对基板搬运装置的对基板作业装置。

背景技术

对基板作业装置有的具备用于以两个路径搬运电路基板的一对基板搬运装置，并能够对由各个路径搬运的电路基板进行各种作业，比较方便。具体而言，如下述专利文献记载那样，能够对由一对基板搬运装置中的一个基板搬运装置搬运的电路基板执行电子元件的安装作业，对由另一个基板搬运装置搬运的电路基板进行准备作业。另外，准备作业是预先准备安装作业等所需的换产调整的作业，是对电路基板进行支撑的支撑销的配置更换、与电子元件对应的吸嘴的准备、电子元件的准备等。

专利文献1：日本特开2012-129449号公报

发明内容

发明要解决的课题

根据上述专利文献记载的对基板作业装置，能够执行安装作业同时还执行准备作业，比较方便。但是，上述专利文献记载的对基板作业装置具备两台作业头，两台作业头中的一个作业头执行安装作业，另一个作业头执行准备作业。另一方面，也存在具有一对基板搬运装置但仅具有一台作业头的对基板作业装置。在这样的对基板作业装置中，在执行使用了作业头的准备作业时，无法进行安装作业，因此生产节拍时间可能会下降。本发明鉴于这样的实际情况而作出，本发明的课题为提供一种能够在不使生产节拍时间下降的情况下进行安装作业及准备作业的对基板作业装置。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，本申请的第一方案记载的对基板作业装置具备：一对基板搬运装置，用于以两个路径搬运电路基板；作业头，对由上述一对基板搬运装置各自搬运的电路基板进行作业；移动装置，使上述作业头向基座上的任意位置移动；及控制装置，对上述作业头和上述移动装置的工作进行控制，该对基板作业装置的特征在于，上述控制装置具有：对基板作业执行部，对由上述一对基板搬运装置中的一个基板搬运装置搬运的电路基板执行基于上述作业头的对基板作业；及执行准备作业的准备作业执行部，上述准备作业使用上述作业头来准备对由上述一对基板搬运装置中的另一个基板搬运装置搬运的电路基板执行上述对基板作业所需的换产调整，在基于上述对基板作业执行部的上述对基板作业由于与对由上述一对基板搬运装置中的一个基板搬运装置搬运的电路基板的作业相关联的作业而中断的时刻，上述准备作业执行部开始执行上述准备作业。

另外，在第二方案记载的对基板作业装置中，以第一方案记载的对基板作业装置为基础，其特征在于，上述控制装置具有执行对基板作业优先控制的对基板作业优先控制执行部，上述对基板作业优先控制是如下的控制：在基于上述对基板作业执行部的上述对基板作业的中断原因已消除的情况下，中断基于上述准备作业执行部的上述准备作业，并重新进行基于上述对基板作业执行部的上述对基板作业。

另外，在第三方案记载的对基板作业装置中，以第二方案记载的对基板作业装置为基础，其特征在于，上述控制装置具有执行准备作业优先控制的准备作业优先控制执行部，上述准备作业优先控制是如下的控制：即使在基于上述对基板作业执行部的上述对基板作业的中断原因已消除的情况下，也继续进行基于上述准备作业执行部的上述准备作业。

另外，在第四方案记载的对基板作业装置中，以第三方案记载的对基板作业装置为基础，其特征在于，上述控制装置在由上述对基板作业优先控制执行部执行上述对基板作业优先控制时，以输入了预定信号为条件，取代基于上述对基板作业优先控制执行部的上述对基板作业优先控制，而执行基于上述准备作业优先控制执行部的上述准备作业优先控制。

另外，在第五方案记载的对基板作业装置中，以第四方案记载的对基板作业装置为基础，其特征在于，上述预定信号是报知向上述一对基板搬运装置中的另一个基板搬运装置搬入电路基板的信号。

发明效果

在第一方案记载的对基板作业装置中，在为了进行与向成为对基板作业的对象的电路基板的作业相关联的作业，而在对基板作业中断的时刻开始准备作业。在安装作业等对基板作业时，由于与对于电路基板的作业相关联的作业，换言之，进行对于电路基板的作业所需的作业，例如电路基板的搬运作业、电子元件的补给作业、粘接剂等的温度调整作业、数据的收发作业等，而作业头的对基板作业发生中断。因此，在第一方案记载的对基板作业装置中，利用对基板作业时的各种等待时间来执行准备作业。由此，能够在不降低对基板作业的生产节拍时间的情况下进行准备作业。

另外，在第二方案记载的对基板作业装置中，执行对基板作业优先控制，该对基板作业优先控制是如下的控制：在对基板作业的中断原因已消除的情况下，中断准备作业并重新进行对基板作业。由此，能够适当地确保防止对基板作业的生产节拍时间下降。

另外，在第三方案记载的对基板作业装置中，执行准备作业优先控制，该准备作业优先控制是如下的控制：即使在对基板作业的中断原因已消除的情况下，也继续执行准备作业。由此，能够快速地完成准备作业。

另外，在第四方案记载的对基板作业装置中，在执行对基板作业优先控制时，以输入了预定信号为条件，取代对基板作业优先控制而执行准备作业优先控制。由此，能够在通常时优先执行对基板作业，在想要提前完成准备作业的情况下，优先执行准备作业。

另外，在第五方案记载的对基板作业装置中，在报知了向执行了准备作业的基板搬运装置搬入电路基板的情况下，取代对基板作业优先控制而执行准备作业优先控制。在向执行了准备作业的基板搬运装置搬入电路基板的情况下，需要尽量早地对该电路基板执行作业。因此，根据第五方案记载的对基板作业装置，能够快速完成准备作业，并对新搬入的电路基板进行作业。

附图说明

图1是表示作为本发明的实施例的对基板作业系统的立体图。

图2是表示对基板作业系统具备的安装装置的立体图。

图3是表示对基板作业系统具备的安装装置的俯视图。

图4是表示安装机具备的搬运装置的立体图。

图5是表示安装机具备的控制装置的框图。

具体实施方式

以下，作为本发明的具体实施方式，参照附图，详细地对本发明的实施例进行说明。

<对基板作业系统的结构>

图1表示对基板作业系统10。图1所示的系统10是用于向电路基板安装电子元件的系统。对基板作业系统10由四台电子元件安装装置(以下，有时简称为“安装装置”)12构成。四台安装装置12以相邻的状态沿一列配置。另外，在以下的说明中，将安装装置12的排列方向称为X轴方向，将与该方向垂直的水平的方向称为Y轴方向。

四台安装装置12为相互大致相同的结构。因此，以四台安装装置12中的一台为代表进行说明。如图2及图3所示，安装装置12具有一个系统基座14和在该系统基座14的上方相邻的两个安装机16。各安装机16主要具备：安装机主体20、搬运装置22、安装头24、安装头移动装置(以下，有时简称为“移动装置”)26及供给装置28。安装机主体20由框架部30和架设于该框架部30的梁部32构成。

搬运装置22具备两台输送机装置40、42。上述两台输送机装置40、42以相互平行且沿X轴方向延伸的方式配置于框架部30。如图4所示，各输送机装置40、42具有一对输送带44，上述一对输送带44通过电磁电动机46的驱动而旋转。由此，输送机装置40、42沿X轴方向搬运支撑在输送带44上的电路基板。

另外，一对输送带44中的一个输送带44能够沿Y轴方向移动，通过电磁电动机48的驱动而移动到Y轴方向上的任意位置。即，能够通过电磁电动机48的驱动，而能够控制地变更一对输送带44之间的距离。由此，输送机装置40、42根据电路基板的尺寸来变更一对输送带44之间的距离，由此能够搬运各种尺寸的电路基板。

此外，输送机装置40、42具有基板保持装置50。基板保持装置50具有：设于一对输送带44之间的基板支撑台52、使该基板支撑台52升降的升降装置54、立设于基板支撑台52的上表面的多个支撑销56。基板保持装置50通过作为升降装置54的驱动源的电磁电动机(参照图5)58的工作而使基板支撑台52上升。由此，支撑于输送带44的电路基板被多个支撑销56抬起。并且，通过设置在输送带44上的突缘部(图示省略)和支撑销56来夹持电路基板，由此被固定地保持。另外，支撑销56通过磁力而固定于基板支撑台52的上表面，相对于基板支撑台52可拆装。因此，支撑销56可根据电路基板的尺寸、形状等而固定于基板支撑台52上的任意位置。

安装头24用于向电路基板安装电子元件。如图3所示，在安装头24的下端面设有两个吸嘴60。各吸嘴60经由负压空气、正压空气通路而与正负压供给装置(参照图5)62连通。各吸嘴60通过负压来吸附保持电子元件，并通过正压来使保持的电子元件脱离。另外，安装头24具有使吸嘴60升降的吸嘴升降装置(参照图5)64。安装头24通过该吸嘴升降装置64而对保持的电子元件的上下方向的位置进行变更。另外，吸嘴60相对于安装头24可拆装，能够根据电子元件的尺寸等而更换。

移动装置26是XY机器人型的移动装置。移动装置26具备：使滑动件70沿X轴方向滑动的电磁电动机(参照图5)72、使滑动件70沿Y轴方向滑动的电磁电动机(参照图5)74。在滑动件70安装有安装头24，该安装头24通过两个电磁电动机72、74的工作而移动到框架部30上的任意位置。

供给装置28是供料器型的供给装置，配置在框架部30的前方侧的端部。供给装置28具有带式供料器78。带式供料器78将带化元件以卷绕的状态收纳。带化元件是对电子元件进行卷带化而成的元件。并且，带式供料器78通过送出装置(参照图5)80而送出带化元件。由此，供料器型的供给装置28通过带化元件的送出，而在供给位置处供给电子元件。另外，带式供料器78相对于框架部30可拆装，能够应对电子元件的更换等。

另外，安装机16具备：标记相机84、零件相机86、吸嘴变更件88。标记相机84以朝向下方的状态固定于滑动件70的下表面。由此，滑动件70通过移动装置26而移动，由此标记相机84能够拍摄框架部30上的任意位置。另外，零件相机86以朝上的状态设于搬运装置22与供给装置28之间，能够拍摄由安装头24保持的电子元件。

另外，在吸嘴变更件88中收纳有多个吸嘴60，吸嘴变更件88能够自动地对安装于安装头24的吸嘴60与收纳于吸嘴变更件88的吸嘴60进行更换。另外，安装于安装头24的两个吸嘴60之间的距离与收纳于吸嘴变更件88的多个吸嘴60中的相邻的两个吸嘴60之间的距离相同。由此，在更换吸嘴时，能够同时地更换两个吸嘴60。

另外，在吸嘴变更件88中还收纳有用于把持支撑销56的销把持件(图示省略)，吸嘴变更件88能够自动地对安装于安装头24的吸嘴60与收纳于吸嘴变更件88的销把持件进行更换。

此外，如图5所示，安装机16具备控制装置100。控制装置100具备控制器102和多个驱动电路106。多个驱动电路106与上述电磁电动机46、48、58、72、74、正负压供给装置62、吸嘴升降装置64、送出装置80连接。控制器102具备CPU、ROM、RAM等，以计算机为主体，且与多个驱动电路106连接。由此，搬运装置22、移动装置26等的工作由控制器102控制。另外，控制器102也与图像处理装置108连接。图像处理装置108对由标记相机84及零件相机86得到的图像数据进行处理，控制器102从图像数据取得各种信息。

<基于基板作业系统的安装作业>

通过上述结构，在对基板作业系统10中，电路基板在八台安装机16的内部由搬运装置22搬运，通过各安装机16向电路基板安装电子元件。

具体而言，首先，向八台安装机16中的配置于最上游的安装机16内搬入电路基板。并且，在该安装机16中，根据控制器102的指令，而将电路基板搬运至作业位置，在该位置处，由基板保持装置50固定地保持。接下来，标记相机84根据控制器102的指令而移动至电路基板的上方，并拍摄电路基板。由此，控制器102取得与电路基板的保持位置的误差相关的信息。

另外，带式供料器78根据控制器102的指令，送出带化元件，并在供给位置处供给电子元件。并且，安装头24根据控制器102的指令而移动至电子元件的供给位置的上方，通过吸嘴60吸附保持电子元件。接下来，安装头24根据控制器102的指令而移动至零件相机86的上方，零件相机86拍摄由吸嘴60吸附保持的电子元件。由此，控制器102取得与电子元件的吸附位置的误差相关的信息。

并且，安装头24根据控制器102的指令而移动至电路基板的上方，对于保持的电子元件，修正保持位置的误差、吸附位置的误差等，并向电路基板上安装。当电子元件向电路基板的安装作业结束时，电路基板被向下游搬运，而被搬入到配置于下游侧的安装机16内。并且，在各安装机16中依次执行上述安装作业，由此生产出安装有电子元件的电路基板。

<对基板作业系统的准备作业>

为了执行上述安装作业，需要预先准备安装作业所需的换产调整。作为安装作业所需的换产调整的准备作业，存在：一对输送带44之间的距离(以下，有时简称为输送机间距离)的调整作业、支撑销56向基板支撑台52的配置作业、吸嘴60向吸嘴变更件88的收纳作业、带式供料器78向框架部30的安装作业等。

输送机间距离的调整作业是根据作为安装作业的对象的电路基板的尺寸来控制电磁电动机48的工作，由此来调整输送机间距离的作业。具体而言，首先，标记相机84根据控制器102的指令，对一对输送带44中的能够沿Y轴方向移动的输送带44进行拍摄。在该输送带44上记有能够识别输送带44的位置的记号，并基于该记号的摄像数据来运算输送机间距离。并且，以使运算出的输送机间距离成为与作为安装作业的对象的电路基板对应的距离的方式控制电磁电动机48的工作。

支撑销56向基板支撑台52的配置作业是根据作为安装作业的对象的电路基板的形状、尺寸等而变更支撑销56向基板支撑台52的配置位置的作业。具体而言，首先，安装头24根据控制器102的指令而移动至吸嘴变更件88的上方，并使吸嘴60向下方移动。接下来，安装头24根据控制器102的指令，将吸嘴60拆下并放置于吸嘴变更件88的预定空闲位置，并取代吸嘴60而安装销把持件。

接下来，安装有销把持件的安装头24根据控制器102的指令，移动至配置于基板支撑台52的支撑销56的上方，并通过销把持件来把持支撑销56。并且，安装头24根据控制器102的指令，移动至基板支撑台52的预定位置的上方，并将销把持件把持的支撑销56配置于该预定位置。由此，支撑销56配置在与作为安装作业的对象的电路基板的形状、尺寸等对应的位置。

吸嘴60向吸嘴变更件88的收纳作业是以预定排列顺序收纳在安装作业中使用的吸嘴60的作业。具体而言，安装头24根据控制器102的指令，移动至吸嘴变更件88的上方，并使吸嘴60向下方移动。接下来，安装头24根据控制器102的指令，将吸嘴60拆下并放置于吸嘴变更件88的预定空闲位置，对收纳于吸嘴变更件88的吸嘴60进行安装。这样，反复进行吸嘴更换，由此将在安装作业中使用的吸嘴60以预定排列顺序收纳于吸嘴变更件88。尤其是，在安装机16中，如上所述，由于同时进行两个吸嘴60的更换作业，因此将在安装作业中使用的吸嘴60以预定排列顺序收纳于吸嘴变更件88很重要。

带式供料器78向框架部30的安装作业是作业者将收纳在安装作业中使用的电子元件的带式供料器78向框架部30安装的作业。另外，由作业者从框架部30拆下安装于框架部30的带式供料器78中的安装作业不需要的带式供料器78。

<安装作业中断的时刻下的准备作业的执行>

在安装机16中设有两台输送机装置40、42，能够以两个路径搬运电路基板。因此，有时对由两台输送机装置40、42中的一台输送机装置例如输送机装置40(以下，在与输送机装置42进行区分时，有时记载为第一输送机装置40)搬运的电路基板(以下，有时记载为第一电路基板)执行安装作业，对由两台输送机装置40、42中的另一台输送机装置例如输送机装置42(以下，在与第一输送机运装置40进行区分时，有时记载为第二输送机装置42)搬运的电路基板(以下，有时记载为第二电路基板)执行准备作业。

但是，在安装机16中仅设有一台安装头24，因此由于对第二电路基板的准备作业而无法适当地进行对第一电路基板的安装作业，可能会导致生产节拍时间下降。具体而言，在执行对第二电路基板的准备作业中的输送机间距离的调整作业、支撑销56的配置作业、吸嘴60向吸嘴变更件88的收纳作业时，由于使用安装头24，因此无法进行对第一电路基板的安装作业，对第一电路基板的安装作业的生产节拍时间下降。另外，在执行对第二电路基板的准备作业中的带式供料器78向框架部30的安装作业时，未使用安装头24，因此能够执行对第一电路基板的安装作业。

鉴于这样的情况，在安装机16中，在对第一电路基板的安装作业由于与对第一电路基板的作业相关联的作业而中断的时刻，进行对第二电路基板的使用了安装头24的准备作业。具体而言，在安装作业时，由于执行与安装作业相关联的作业即安装作业所需的作业而安装作业中断。作为与安装作业关联的作业，存在例如电路基板的搬运作业、电子元件的补给作业、进行粘接剂等的涂敷作业时的粘接剂等的温度调整作业、数据的收发作业等。在由于上述与安装作业相关联的作业而对第一电路基板的安装作业中断的时刻，开始进行对第二电路基板的准备作业。即，利用对第一电路基板的安装作业时的各种等待时间，来执行对第二电路基板的准备作业。由此，能够在不降低对第一电路基板的安装作业的生产节拍时间的情况下进行对第二电路基板的准备作业。

但是，有时在对第一电路基板的安装作业的中断期间，对第二电路基板的准备作业没有完成。即，有时在对第一电路基板的安装作业的中断原因已消除时，对第二电路基板的准备作业未完成。在这样的情况下，执行如下的控制(以下，有时记载为安装作业优先控制)：使对第一电路基板的安装作业优先于对第二电路基板的准备作业。具体而言，在对第一电路基板的安装作业的中断原因已消除时，在对第二电路基板的准备作业未完成的情况下，中断对第二电路基板的准备作业，并重新进行对第一电路基板的安装作业。由此，能够优先执行对第一电路基板的安装作业，能够适当地确保防止生产节拍时间下降。

另一方面，也存在应快速地完成对第二电路基板的准备作业的情况，在这样的情况下，执行如下的控制(以下，有时记载为准备作业优先控制)：使对第二电路基板的准备作业优先于对第一电路基板的安装作业。具体而言，在执行安装作业优先控制时，有时由第二搬运装置42向安装机16内搬入电路基板。在这样的情况下，若未完成对第二电路基板的准备作业，则对第二电路基板的安装作业的生产节拍时间可能会下降。

因此，在执行安装作业优先控制时，在由第二搬运装置42向安装机16内搬入电路基板的情况下，在对第一电路基板的安装作业的中断原因已消除时，若对第二电路基板的准备作业未完成，则继续执行对第二电路基板的准备作业。由此，也能够确保对第二电路基板的安装作业的生产节拍时间。另外，能够通过来自上游侧的安装机16的信号来判定第二搬运装置42将电路基板向安装机16内的搬入。另外，例如，也可以在第二搬运装置42搬入电路基板的搬入口设置传感器，并根据来自该传感器的信号进行判定。

另外，如图5所示，控制装置100的控制器102具有安装作业执行部120作为用于执行对第一电路基板的安装作业的功能部。另外，控制器102具有准备作业执行部122作为用于执行对第二电路基板的准备作业的功能部。另外，控制器102具有安装作业优先控制执行部124作为用于执行安装作业优先控制的功能部。另外，控制器102具有准备作业优先控制执行部126作为用于执行准备作业优先控制的功能部。

此外，在上述实施例中，安装机16是对基板作业装置的一例。安装头24是作业头的一例。移动装置26是移动装置的一例。框架部30是基座的一例。输送机装置40、42是一对基板搬运装置的一例。控制装置100是控制装置的一例。安装作业执行部120是对基板作业执行部的一例。准备作业执行部122是准备作业执行部的一例。安装作业优先控制执行部124是对基板作业优先控制执行部的一例。准备作业优先控制执行部126是准备作业优先控制执行部的一例。

另外，本发明不限定于上述实施例，能够以基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更、改良的各种形态实施。具体而言，例如，在上述实施例中，基于报知电路基板的搬入的信号，将安装作业优先控制切换为准备作业优先控制，但也可以基于各种信号，将安装作业优先控制切换成准备作业优先控制。作为成为切换的触发的信号，可以采用例如通过作业者的按钮操作而产生的信号、随着经过预定时间而产生的信号等各种信号。

另外，在上述实施例中，作为与对第一电路基板的作业相关联的作业，列举了：电路基板的搬运作业、电子元件的补给作业、进行粘接剂等的涂敷作业时的粘接剂等的温度调整作业、数据的收发作业等，但也包括用于应对对第一电路基板的安装作业的错误、故障的作业。即，在对第一电路基板的安装作业由于该安装作业的错误、故障等而中断的时刻，能够进行对第二电路基板的准备作业。

另外，在上述实施例中，本发明的技术被应用于用于执行安装作业的安装机16，但是在用于执行对电路基板的各种作业的装置中都可以应用本发明的技术。详细而言，例如，在用于向电路基板上涂敷膏状焊料等的装置、用于向电路基板上喷出粘接剂等的装置、用于检查对电路基板的作业结果的装置、用于对电路基板实施各种处理的装置等中能够应用本发明的技术。

附图标记说明

16：安装机(对基板作业装置)24：安装头(作业头)26：移动装置30：框架部(基座)40：输送机装置(基板搬运装置)42：输送机装置(基板搬运装置)100：控制装置120：安装作业执行部(对基板作业执行部)122：准备作业执行部124：安装作业优先控制执行部(对基板作业优先控制执行部)126：准备作业优先控制执行部。

Claims (5)

1.一种对基板作业装置，具备：

一对基板搬运装置，用于以两个路径搬运电路基板；

作业头，对由所述一对基板搬运装置各自搬运的电路基板进行作业；

移动装置，使所述作业头向基座上的任意位置移动；及

控制装置，对所述作业头和所述移动装置的工作进行控制，

所述对基板作业装置的特征在于，

所述控制装置具有：

对基板作业执行部，对由所述一对基板搬运装置中的一个基板搬运装置搬运的电路基板执行基于所述作业头的对基板作业；及

执行准备作业的准备作业执行部，所述准备作业使用所述作业头来准备对由所述一对基板搬运装置中的另一个基板搬运装置搬运的电路基板执行所述对基板作业所需的换产调整，

在基于所述对基板作业执行部的所述对基板作业由于与对由所述一对基板搬运装置中的一个基板搬运装置搬运的电路基板的作业相关联的作业而中断的时刻，所述准备作业执行部开始执行所述准备作业。

2.根据权利要求1所述的对基板作业装置，其特征在于，

所述控制装置具有执行对基板作业优先控制的对基板作业优先控制执行部，

所述对基板作业优先控制是如下的控制：在基于所述对基板作业执行部的所述对基板作业的中断原因已消除的情况下，中断基于所述准备作业执行部的所述准备作业，并重新进行基于所述对基板作业执行部的所述对基板作业。

3.根据权利要求2所述的对基板作业装置，其特征在于，

所述控制装置具有执行准备作业优先控制的准备作业优先控制执行部，

所述准备作业优先控制是如下的控制：即使在基于所述对基板作业执行部的所述对基板作业的中断原因已消除的情况下，也继续进行基于所述准备作业执行部的所述准备作业。

4.根据权利要求3所述的对基板作业装置，其特征在于，

所述控制装置在由所述对基板作业优先控制执行部执行所述对基板作业优先控制时，以输入了预定信号为条件，取代基于所述对基板作业优先控制执行部的所述对基板作业优先控制，而执行基于所述准备作业优先控制执行部的所述准备作业优先控制。

5.根据权利要求4所述的对基板作业装置，其特征在于，

所述预定信号是报知向所述一对基板搬运装置中的另一个基板搬运装置搬入电路基板的信号。