CN105739235A - 掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置 - Google Patents

掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置 Download PDF

Info

Publication number
CN105739235A
CN105739235A CN201610169973.7A CN201610169973A CN105739235A CN 105739235 A CN105739235 A CN 105739235A CN 201610169973 A CN201610169973 A CN 201610169973A CN 105739235 A CN105739235 A CN 105739235A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sucker
mask plate
suction cup
backlight
mask
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610169973.7A
Other languages
English (en)
Inventor
陈新宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Hongkai Electron Technology Co Ltd
Original Assignee
Changzhou Hongkai Electron Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Hongkai Electron Technology Co Ltd filed Critical Changzhou Hongkai Electron Technology Co Ltd
Priority to CN201610169973.7A priority Critical patent/CN105739235A/zh
Publication of CN105739235A publication Critical patent/CN105739235A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G03F1/84—Inspecting

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明公开了一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，包括底板、固定在底板两端的定位侧板，位于所述定位侧板之间的底板上相距设有：一对可作相近或相远移动而吸附住待检测掩膜板的吸盘体，所述吸盘体之间的底板上设有背光源，吸盘体内设有气体通道，吸盘体侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头，搁置掩膜板处的吸盘体上表面具有与气体通道相通的长凹槽，所述的定位侧板上设有从吸盘体两端将吸盘体夹紧固定的紧固旋钮。本发明通过吸盘体作相远或相近的移动及内设的背光源,满足了不同尺寸规格掩模板光刻检测的定位和背景光要求，实现了真空吸附不同规格掩膜板及背景采光目的，节省了作业时间，提高了检测效率和检测质量。

Description

掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置
技术领域
本发明涉及一种用于掩膜板光刻检测的带背光多功能吸盘装置。
背景技术
吸盘装置是半导体光刻检测设备中用于吸附固定掩模板或硅片，以便对其进行初步定位，保证在光刻检测过程中，掩模板能随工件台以正确的路线和速度移动，并准确到达设定的位置。常用的吸盘装置一般都是只能吸附一种尺寸规格的掩模板，不同尺寸规格的掩模板则需要更换不同规格的吸盘装置才能使用。另外,常用的吸盘装置都不带背光结构,对部分掩模板或硅片无法实现实时检测,或者使得检测质量大幅下降。而目前半导体光刻检测行业发展的实际状况是小批量、多样化生产及多种检测要求等逐渐增多，需要能够在同一套吸盘装置上对多种不同尺寸规格和特殊背光要求的掩模板进行光刻检测。而相关光刻检测设备价值不菲，在实际光刻检测生产过程中，设备的调试过程和调整工艺复杂而繁琐，如果一套吸盘装置只能对应一种尺寸规格或要求的掩模板或硅片，将给实际光刻检测生产加工带来很大困扰，并且将严重降低生产加工效率。并且频繁的部件更换还会给光刻检测设备带来不同程度的损害。因此迫切需要一种能够适应多种尺寸规格掩模板检测需要且具有背光的吸盘装置。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，既能有效可靠吸附掩模板，提供必要的背景光需求,满足掩模板加工或检测工艺条件，又能非常便捷开闭背光源和可靠地更换不同规格的掩模板。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，具有底板，所述的底板两端分别设有定位侧板，位于所述定位侧板之间的底板上相距设有：一对可作相近或相远移动而吸附住待检测掩膜板的吸盘体，所述吸盘体之间的底板上设有背光源，吸盘体内设有气体通道，吸盘体侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头，搁置掩膜板处的吸盘体上表面具有与气体通道相通的长凹槽，所述的定位侧板上设有从吸盘体两端将已定位好位置的吸盘体夹紧固定的紧固旋钮。
具体说，所述的底板上位于吸盘体两端分设有直线导轨，吸盘体底面与直线导轨滑动连接。
为方便不同规格掩膜板的定位，所述的定位侧板上开设有对应不同规格掩膜板的限位孔，吸盘体两端具有与所述限位孔对应的凹坑，限位孔内设有卡入凹坑而定位吸盘体的限位销。
进一步地，所述的定位侧板上对应限位孔位置具有长槽孔，紧固旋钮通过长槽孔与吸盘体两端螺纹连接而将吸盘体固定。
为更好地定位掩膜板，所述的吸盘体上位于长凹槽两端设有通过位置移动而定位不同规格掩膜板的定位挡销。
所述的吸盘体上位于长凹槽外侧设有确保吸盘体上表面气体通道密封性的吸盘盖。
本发明的有益效果是：本发明通过两个相距设置的吸盘体在底板上作相远或相近的移动，满足了不同尺寸规格掩模板或硅片光刻检测的定位要求，而设置在两个吸盘体之间的背光源，可以为掩模板检测过程提供背景光照明,便于掩模板实时清晰的检测要求,从而实现了真空吸附不同规格掩膜板或硅片的目的，减少了诸如更换机台或零部件以及安装调整的麻烦，也解决了因为缺少背光导致的检测失败难题,节省了作业时间，提高了检测效率和检测质量。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构示意图。
图中1.底板2.定位侧板3.吸盘体4.背光源5.气接头6.长凹槽7.紧固旋钮8.直线导轨9.限位孔10.限位销11.长槽孔12.定位挡销13.吸盘盖
具体实施方式
现在结合附图和优选实施例对本发明作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示的一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，具有底板1，所述的底板1两端分别固定有定位侧板2，位于所述定位侧板2之间的底板1上相距设有一对吸盘体3，所述吸盘体3垂直定位侧板2且对称于底板1中心设置，底板1上位于吸盘体3两端分固定有直线导轨8，吸盘体3底面与直线导轨8滑动连接，从而使得吸盘体3在直线导轨8可作相近或相远的移动，以吸附住不同规格的待检测掩膜板，位于吸盘体3之间的底板1上通过螺钉固定有检测时发光的背光源4，保证相关光刻检测采图的可靠稳定与可行性。
所述吸盘体3内设有气体通道，吸盘体3侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头5，放置掩膜板处的吸盘体3上表面具有与气体通道相通的长凹槽6，所述的定位侧板2上设有从吸盘体3两端将已定位好位置的吸盘体3夹紧固定的紧固旋钮7，同时，在吸盘体3上位于长凹槽6外侧设有确保吸盘体3上表面气体通道密封性的吸盘盖13。
本实施例中，选用了四英寸、五英寸以及六英寸三种规格的掩膜板，因此，在所述定位侧板2上开设有对应这三种规格掩膜板的三个限位孔9，吸盘体3两端分别具有与所述限位孔9对应的凹坑，限位孔9内设有卡入凹坑而定位吸盘体3的限位销10。
所述的定位侧板2上对应三个限位孔9位置开有长槽孔11，紧固旋钮7通过长槽孔11与吸盘体3两端螺纹连接而将吸盘体3固定。
为了更好地定位上述三种规格的掩膜板，所述的吸盘体3上位于长凹槽6两端分别设有三个通过位置移动而定位三种规格掩膜板的定位挡销12，检测哪种规格掩膜板，就把定位挡销12放置在对应位置的销孔内，从侧面对掩膜板进行定位。
如果需要光刻检测四英寸规格的掩模板，则先将定位挡销12放置于吸盘体3上对应四英寸规格掩膜板的最里面的销孔中，以便掩模板在吸盘体3上准确定位；然后将两个吸盘体3沿直线导轨8向内移动，靠近离底板1中心最近的第一个限位孔9位置，将限位销10通过该限位孔9插入吸盘体3两端的凹坑内初步定位，然后将紧固旋钮7通过长槽孔11与吸盘体3两端螺纹连接而将吸盘体3固定牢靠，最后打开真空泵抽取长凹槽6内真空，吸附住掩膜板，开启背光源4即可进行四英寸掩模板的光刻检测工作。
如果需要光刻检测五英寸规格的掩模板，则先将定位挡销12放置于吸盘体3上对应五英寸规格掩膜板的中间的销孔中，以便掩模板在吸盘体3上准确定位；然后将两个吸盘体3沿直线导轨8向外移动，靠近中间的第二个限位孔9位置，将限位销10通过该限位孔9插入吸盘体3两端的凹坑内初步定位，然后将紧固旋钮7通过长槽孔11与吸盘体3两端螺纹连接而将吸盘体3固定牢靠，最后打开真空泵抽取长凹槽6内真空，吸附住掩膜板，开启背光源4即可进行五英寸掩模板的光刻检测工作。
如果需要光刻检测六英寸规格的掩模板，则先将定位挡销12放置于吸盘体3上对应六英寸规格掩膜板的最外的销孔中，以便掩模板在吸盘体3上准确定位；然后将两个吸盘体3沿直线导轨8继续向外移动，靠近最外边的第三个限位孔9位置，将限位销10通过该限位孔9插入吸盘体3两端的凹坑内初步定位，然后将紧固旋钮7通过长槽孔11与吸盘体3两端螺纹连接而将吸盘体3固定牢靠，最后打开真空泵抽取长凹槽6内真空，吸附住掩膜板，开启背光源4即可进行六英寸掩模板的光刻检测工作。
当然本发明的结构还可以依据实际需要，设计出更多符合不同尺寸规格掩模板的结构，以便用于吸附不同尺寸规格的掩模板，满足市场需求的多样性。
本发明通过两个相距设置的吸盘体3在底板1上作相远或相近的移动，满足了不同尺寸规格掩模板或硅片光刻检测的定位要求，而设置在两个吸盘体3之间的背光源4，可以为掩模板检测过程提供背景光照明,便于掩模板实时清晰的检测要求,背光源4通过电控来实现即时开启,使用便捷方便，从而实现了真空吸附不同规格掩膜板或硅片的目的，减少了诸如更换机台或零部件以及安装调整的麻烦，也解决了因为缺少背光导致的检测失败难题,节省了作业时间，提高了检测效率和检测质量。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (6)

1.一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，具有底板(1)，其特征是：所述的底板(1)两端分别设有定位侧板(2)，位于所述定位侧板(2)之间的底板(1)上相距设有：一对可作相近或相远移动而吸附住待检测掩膜板的吸盘体(3)，所述吸盘体(3)之间的底板(1)上设有背光源(4)，吸盘体(3)内设有气体通道，吸盘体(3)侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头(5)，搁置掩膜板处的吸盘体(3)上表面具有与气体通道相通的长凹槽(6)，所述的定位侧板(2)上设有从吸盘体(3)两端将已定位好位置的吸盘体(3)夹紧固定的紧固旋钮(7)。
2.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的底板(1)上位于吸盘体(3)两端分设有直线导轨(8)，吸盘体(3)底面与直线导轨(8)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的定位侧板(2)上开设有对应不同规格掩膜板的限位孔(9)，吸盘体(3)两端具有与所述限位孔(9)对应的凹坑，限位孔(9)内设有卡入凹坑而定位吸盘体(3)的限位销(10)。
4.根据权利要求3所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的定位侧板(2)上对应限位孔(9)位置具有长槽孔(11)，紧固旋钮(7)通过长槽孔(11)与吸盘体(3)两端螺纹连接而将吸盘体(3)固定。
5.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的吸盘体(3)上位于长凹槽(6)两端设有通过位置移动而定位不同规格掩膜板的定位挡销(12)。
6.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的吸盘体(3)上位于长凹槽(6)外侧设有确保吸盘体(3)上表面气体通道密封性的吸盘盖(13)。
CN201610169973.7A 2016-03-23 2016-03-23 掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置 Pending CN105739235A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610169973.7A CN105739235A (zh) 2016-03-23 2016-03-23 掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610169973.7A CN105739235A (zh) 2016-03-23 2016-03-23 掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105739235A true CN105739235A (zh) 2016-07-06

Family

ID=56251272

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610169973.7A Pending CN105739235A (zh) 2016-03-23 2016-03-23 掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105739235A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110039343A (zh) * 2019-03-28 2019-07-23 杭州电子科技大学 一种用于射流加工的掩膜板夹具
CN116880137A (zh) * 2023-07-31 2023-10-13 苏州天准科技股份有限公司 一种掩膜支撑装置和非接触式曝光设备

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2653554Y (zh) * 2003-11-14 2004-11-03 海泰超导通讯科技（天津）有限公司 黄光微影设备曝光机之可调节型掩膜版吸附台
CN101063810A (zh) * 2007-05-29 2007-10-31 中国科学院光电技术研究所 紫外光照微纳图形气压压印和光刻两用复制装置
CN201402364Y (zh) * 2009-01-15 2010-02-10 上海广电电子股份有限公司 掩膜板承座及曝光设备
CN102472978A (zh) * 2009-07-17 2012-05-23 株式会社尼康 图案形成设备、图案形成方法及装置制造方法
CN102472901A (zh) * 2009-07-22 2012-05-23 夏普株式会社 液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法
CN103223760A (zh) * 2012-01-26 2013-07-31 旭硝子株式会社 粘贴装置及粘贴方法
CN103984202A (zh) * 2014-04-23 2014-08-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板和彩膜基板的制作方法
CN203786431U (zh) * 2014-04-25 2014-08-20 深圳商巨工业设备有限公司 液晶面板吸附夹具
CN104007609A (zh) * 2014-05-15 2014-08-27 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板盒
CN204558441U (zh) * 2015-04-10 2015-08-12 江苏嘉盛光伏科技有限公司 光伏电池生产线组件吸附装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2653554Y (zh) * 2003-11-14 2004-11-03 海泰超导通讯科技（天津）有限公司 黄光微影设备曝光机之可调节型掩膜版吸附台
CN101063810A (zh) * 2007-05-29 2007-10-31 中国科学院光电技术研究所 紫外光照微纳图形气压压印和光刻两用复制装置
CN201402364Y (zh) * 2009-01-15 2010-02-10 上海广电电子股份有限公司 掩膜板承座及曝光设备
CN102472978A (zh) * 2009-07-17 2012-05-23 株式会社尼康 图案形成设备、图案形成方法及装置制造方法
CN102472901A (zh) * 2009-07-22 2012-05-23 夏普株式会社 液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法
CN103223760A (zh) * 2012-01-26 2013-07-31 旭硝子株式会社 粘贴装置及粘贴方法
CN103984202A (zh) * 2014-04-23 2014-08-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板和彩膜基板的制作方法
CN203786431U (zh) * 2014-04-25 2014-08-20 深圳商巨工业设备有限公司 液晶面板吸附夹具
CN104007609A (zh) * 2014-05-15 2014-08-27 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板盒
CN204558441U (zh) * 2015-04-10 2015-08-12 江苏嘉盛光伏科技有限公司 光伏电池生产线组件吸附装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110039343A (zh) * 2019-03-28 2019-07-23 杭州电子科技大学 一种用于射流加工的掩膜板夹具
CN116880137A (zh) * 2023-07-31 2023-10-13 苏州天准科技股份有限公司 一种掩膜支撑装置和非接触式曝光设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106814550B (zh) 工件台基板交接装置与预对准方法
CN102080683B (zh) 一种多功能真空吸盘
JP2011029456A (ja) 半導体検査用ウエハプローバ及び検査方法
JP5291687B2 (ja) 吸着テーブル
TWI677936B (zh) 治具、測試裝置及方法
CN105739235A (zh) 掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置
JPH01100508A (ja) 顕微鏡の万能型対象物保持装置
JP2001267271A (ja) 吸着装置
CN203324648U (zh) 用于半导体晶片的双面对线曝光装置
CN209027768U (zh) 一种oled屏幕上料视觉对位系统
US8632063B2 (en) Positioning fixture
JP4608638B2 (ja) ペリクル装着装置、ペリクル装着方法及びパターン基板の製造方法
CN218867040U (zh) 一种可快速更换晶圆检测载台的固定装置
CN205485272U (zh) 掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置
TWM594613U (zh) 基板承載裝置及基板裝載系統
CN105082165A (zh) 一种机械臂夹具
TWM592968U (zh) 一種承片臺及探針臺
CN103309178B (zh) 一种用于半导体晶片的双面对线曝光装置
CN219591366U (zh) 一种可切换的半导体芯片载盘
TW201508857A (zh) 電子元件的定位裝置
CN217562542U (zh) 一种双工位分区吸附系统及光刻机
CN110640651A (zh) 通用针孔型腔式真空吸附夹具
CN210605357U (zh) 下光源曝光装置
CN220903092U (zh) 一种快换型铁环自动定位吸附平台
CN220821487U (zh) 一种晶圆片压平机构

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20160706

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication