CN105734664B - 一种用于单晶炉的称重系统 - Google Patents

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    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method

Abstract

本发明专利涉及一种用于单晶炉的称重系统,包括底座、导流箱体、分料机构和称重装置,所述的导流箱体倾斜的安装在底座上,所述的导流箱体的左右两端分别开设有进料口和出料,所述的导流箱体内开设有导流通道,所述的进料口和出料分别与导流通道相连通,所述的分料机构安装在导流箱体内,所述的分料机构的下端伸入至导流通道内,所述的分料机构右侧的导流通道的底部开设有凹槽,所述的称重装置安装在凹槽内,所述的导流箱体上的进料口的高度要高于出料口的高度。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

Description

一种用于单晶炉的称重系统
技术领域
本发明专利涉及单晶炉技术领域,特别是一种用于单晶炉的称重系统。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
在硅单晶拉制过程中,需要测量晶棒的重量,便于计算石英锅内剩余硅料的质量,所以需要一套单晶炉称重装置。现有的称重装置,都是采用复杂的机械动作来实现,比较费力,而且测量的精度不高,易造成硅料的浪费等现象。
发明内容
本发明的目的是通过分料机构进行逐一放料,然后在输送的过程中对单晶硅进行逐一称量,大大提高了其的工作效率;而发明了一种用于单晶炉的称重系统。
为解决上述的技术问题,本发明提供了一种用于单晶炉的称重系统,包括
底座,
导流箱体,所述的导流箱体倾斜的安装在底座上,所述的导流箱体的左右两端分别开设有进料口和出料口,所述的导流箱体内开设有导流通道,所述的进料口和出料口分别与导流通道相连通,
分料机构,所述的分料机构安装在导流箱体内,所述的分料机构的下端伸入至导流通道内,
称重装置,所述的分料机构右侧的导流通道的底部开设有凹槽,所述的称重装置安装在凹槽内。
进一步:所述的分料机构包括气缸、垂直升降杆、摆头、摆头挡板和垂直挡板,所述的气缸安装在导流箱体的顶部,所述的垂直升降杆的上端穿过导流箱体与气缸的出轴端相连,所述的垂直升降杆的下端伸入至导流通道内,所述的摆头通过支撑横梁杆旋转连接在导流通道内,所述的摆头的左端活动连接在垂直升降杆上,所述的垂直挡板连接在垂直升降杆的下端,所述的摆头挡板固定连接在摆头右端的底部。
又进一步:所述的导流箱体上的进料口的高度要高于出料口的高度。
再进一步:所述的称重装置包括称重平台、液压缸和称重传感器,所述的称重传感器安装在凹槽的底部,所述的液压缸安装在称重传感器,所述的称重平台安装在液压缸的上方,所述的称重平台的上表面与导流通道底部的平面相匹配,所述的称重平台的上表面开设有半圆形卡槽,所述的半圆形卡槽的底部还开设有导向槽,所述的液压缸的出轴端活动连接在导向槽内。
采用上述结构后本发明通过分料机构进行逐一放料,然后在输送的过程中对单晶硅进行逐一称量,大大提高了其的工作效率;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图2为图1中A的放大图。
图3为称重装置的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示的一种用于单晶炉的称重系统,包括底座1、导流箱体2、分料机构和称重装置4,所述的导流箱体2倾斜的安装在底座1上,所述的导流箱体2的左右两端分别开设有进料口和出料口,所述的导流箱体2内开设有导流通道3,所述的进料口和出料口分别与导流通道3相连通,所述的分料机构安装在导流箱体2内,所述的分料机构的下端伸入至导流通道3内,所述的分料机构右侧的导流通道3的底部开设有凹槽,所述的称重装置4安装在凹槽内,所述的导流箱体2上的进料口的高度要高于出料口的高度。工作时把单晶硅棒会从进料口进入导流箱体2内并沿着导流通道3向下滚动,此时启动分料机构对进入的单晶硅棒进行逐一输送,单个下落的物料会沿着导流通道3进入称重装置4内进行称量,当称量结束后单晶硅棒会继续沿着导流通道3向下滚落,最终从出料口滚出;本发明通过分料机构进行逐一放料,然后在输送的过程中对单晶硅进行逐一称量,大大提高了其的工作效率。
如图1和图2所示的分料机构包括气缸5、垂直升降杆6、摆头7、摆头挡板10和垂直挡板9,所述的气缸5安装在导流箱体2的顶部,所述的垂直升降杆6的上端穿过导流箱体2与气缸5的出轴端相连,所述的垂直升降杆6的下端伸入至导流通道3内,所述的摆头7通过支撑横梁杆8旋转连接在导流通道3内,所述的摆头7的左端活动连接在垂直升降杆6上,所述的垂直挡板9连接在垂直升降杆6的下端,所述的摆头挡板10固定连接在摆头7右端的底部。单晶硅棒沿着导流通道3下落的过程中,第一根单晶硅棒在摆头挡板10的阻挡下停留在导流通道3内,此时启动气缸5使其推动垂直升降杆6向下运动,垂直挡板9在垂直升降杆6的带动下会插入第一根单晶硅棒与第二根单晶硅棒之间,挡住第二根单晶硅棒,此时摆头7在垂直升降杆6的带动下会绕着支撑横梁杆8进行逆时针转动,摆头挡板10在摆头7的作用下会进行摆动,当摆头挡板10的下端离相对应导流通道3底部的距离大于单晶硅棒的直径时,第一根单晶硅棒在自身重力的作用下会沿着摆头挡板10下端与导流通道3底部之间的间隙滚出。本发明通过分料机构可以做到逐一放料,大大提高了其的工作效率。
如图3所示的称重装置4包括称重平台11、液压缸14和称重传感器15,所述的称重传感器15安装在凹槽的底部,所述的液压缸14安装在称重传感器15,所述的称重平台11安装在液压缸14的上方,所述的称重平台11的上表面与导流通道3底部的平面相匹配,所述的称重平台11的上表面开设有半圆形卡槽12,所述的半圆形卡槽12的底部还开设有导向槽,所述的液压缸14的出轴端活动连接在导向槽内。当单晶硅棒滚到半圆形卡槽12处时会自动卡入,从而通过称重传感器15对单晶硅棒的重量进行测量,当测量完毕后启动液压缸14利用其顶出测量好的单晶硅棒,使其继续沿着导流通道3向下滚动。本发明通过称重传感器15对滚入半圆形卡槽12内的单晶硅棒进行逐一测量,其具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

Claims (3)

1.一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:包括
底座(1),
导流箱体(2),所述的导流箱体(2)倾斜的安装在底座(1)上,所述的导流箱体(2)的左右两端分别开设有进料口和出料口,所述的导流箱体(2)内开设有导流通道(3),所述的进料口和出料口分别与导流通道(3)相连通,
分料机构,所述的分料机构安装在导流箱体(2)内,所述的分料机构的下端伸入至导流通道(3)内,
称重装置(4),所述的分料机构右侧的导流通道(3)的底部开设有凹槽,所述的称重装置(4)安装在凹槽内;
所述的称重装置(4)包括称重平台(11)、液压缸(14)和称重传感器(15),所述的称重传感器(15)安装在凹槽的底部,所述的液压缸(14)安装在称重传感器(15),所述的称重平台(11)安装在液压缸(14)的上方,所述的称重平台(11)的上表面与导流通道(3)底部的平面相匹配,所述的称重平台(11)的上表面开设有半圆形卡槽(12),所述的半圆形卡槽(12)的底部还开设有导向槽,所述的液压缸(14)的出轴端活动连接在导向槽内。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的分料机构包括气缸(5)、垂直升降杆(6)、摆头(7)、摆头挡板(10)和垂直挡板(9),所述的气缸(5)安装在导流箱体(2)的顶部,所述的垂直升降杆(6)的上端穿过导流箱体(2)与气缸(5)的出轴端相连,所述的垂直升降杆(6)的下端伸入至导流通道(3)内,所述的摆头(7)通过支撑横梁杆(8)旋转连接在导流通道(3)内,所述的摆头(7)的左端活动连接在垂直升降杆(6)上,所述的垂直挡板(9)连接在垂直升降杆(6)的下端,所述的摆头挡板(10)固定连接在摆头(7)右端的底部。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的导流箱体(2)上的进料口的高度要高于出料口的高度。
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