CN105729295A - 液晶模组玻璃基板全自动研磨机 - Google Patents

液晶模组玻璃基板全自动研磨机 Download PDF

Info

Publication number
CN105729295A
CN105729295A CN201610243465.9A CN201610243465A CN105729295A CN 105729295 A CN105729295 A CN 105729295A CN 201610243465 A CN201610243465 A CN 201610243465A CN 105729295 A CN105729295 A CN 105729295A
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixture block
fore
inverted
lobe
block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610243465.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105729295B (zh
Inventor
胡钦华
郭鹏
衡利斌
张晓宁
刘亚欣
郑彦
石毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC Fenghua Information Equipment Co Ltd
Original Assignee
TAIYUAN FENGHUA INFORMATION EQUIPMENT CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TAIYUAN FENGHUA INFORMATION EQUIPMENT CO Ltd filed Critical TAIYUAN FENGHUA INFORMATION EQUIPMENT CO Ltd
Priority to CN201610243465.9A priority Critical patent/CN105729295B/zh
Publication of CN105729295A publication Critical patent/CN105729295A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105729295B publication Critical patent/CN105729295B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/02Frames; Beds; Carriages
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
    • B24B41/047Grinding heads for working on plane surfaces
    • B24B41/053Grinding heads for working on plane surfaces for grinding or polishing glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B45/00Means for securing grinding wheels on rotary arbors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/02Drives or gearings; Equipment therefor for performing a reciprocating movement of carriages or work- tables
    • B24B47/04Drives or gearings; Equipment therefor for performing a reciprocating movement of carriages or work- tables by mechanical gearing only

Abstract

本发明公开了一种液晶模组玻璃基板全自动研磨机,解决了现有技术存在的玻璃基板研磨清理污垢不干净彻底的问题。本发明机构固定在一个设计有X、Y、Z、θ四轴的运动机构上,在可编程控制器(PLC)的控制下X、Y、Z、θ四轴相互配合可以实现对玻璃基板1全部表面的旋转研磨。本发明的研磨头机构由上、下两部分组成,由联接轴(12)连接起来。上部的倒L形右瓣上夹块(13)与I字形左瓣上夹块(14)主要起到了将联接轴(12)夹紧的作用,在磨头插块(4)的底端面上设置有弹性垫块(3),在弹性垫块(3)的下底面上设置有研磨片(2)。本发明特别适合清除玻璃基板上附着力较强的脏污。

Description

液晶模组玻璃基板全自动研磨机
技术领域
本发明涉及一种旋转式研磨机,特别涉及一种LCD(LiquidCrystalDisplay)液晶模组玻璃基板在贴膜前的去除脏污的研磨过程中使用的全自动研磨机。
背景技术
电子信息产业是当今最具活力、高速发展的行业,LCD制造技术是信息产业链中的关键技术。在LCD制造过程中,要对玻璃基板进行研磨,以去除其上的污渍。现有技术是通过人工研磨或机械研磨带研磨来完成的,研磨带研磨是通过一根研磨带的往复水平运动,来研磨水平运动的玻璃基板来达到去污的。人工研磨费用高,效率低;用机械操纵研磨带研磨,效率有所提高,但玻璃基板在水平方向受研磨带的力作用,所以导致玻璃基板跑偏;研磨带与玻璃基板接触时间短,附着力较强的脏污不容易清除干净,特别是在玻璃基板启始位置存在研磨死区,使玻璃基板研磨清理污垢不干净彻底。
发明内容
本发明提供了一种液晶模组玻璃基板全自动研磨机,解决了现有技术存在的玻璃基板研磨清理污垢不干净彻底的技术问题。
本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的:
一种液晶模组玻璃基板全自动研磨机,包括左支架、右支架和可编程控制器,在左支架上设置有前后方向从动导轨,在右支架上固定设置有前后方向丝杠电机固定板,在前后方向丝杠电机固定板的前端设置有前后方向丝杠电机,在前后方向丝杠电机上连接有前后方向丝杠,在前后方向丝杠上设置有前后方向丝杠螺母,在前后方向丝杠螺母与前后方向从动导轨之间设置有前后方向移动板,在前后方向移动板上设置有左右方向丝杠螺母固定板,在左右方向丝杠螺母固定板的右端设置有左右方向丝杠电机,在左右方向丝杠电机上连接有左右方向丝杠,在左右方向丝杠上设置有左右方向丝杠螺母,在左右方向丝杠螺母上设置有上下方向丝杠电机固定板,在上下方向丝杠电机固定板的顶端设置有上下方向丝杠电机,在上下方向丝杠电机上连接有上下方向丝杠,在上下方向丝杠上设置有上下方向丝杠螺母,在上下方向丝杠螺母上设置有基板,在基板上设置有研磨驱动电机安装架,在研磨驱动电机安装架上设置有研磨驱动电机,在研磨驱动电机安装架的下端连接有旋转轴承套,在旋转轴承套中设置有旋转轴,旋转轴的上端通过联轴器与研磨驱动电机的输出轴连接在一起,在旋转轴的下端连接有旋转轴连接法兰盘,旋转轴连接法兰盘固定设置在倒L形右瓣上夹块的顶面上,联接轴的下端通过槽形座法兰盘与倒置槽形座的顶板固定连接在一起,倒L形右瓣上夹块与I字形左瓣上夹块是活动扣接在一起的,在倒L形右瓣上夹块与I字形左瓣上夹块之间设置有联接轴的夹持孔,联接轴的上端是设置在夹持孔中的,在倒L形右瓣上夹块上固定设置有T形连接块,在I字形左瓣上夹块上设置有一对卡块,合页轴穿过T形连接块和一对卡块将倒L形右瓣上夹块与I字形左瓣上夹块铰接在一起,在倒L形右瓣上夹块上设置有弹簧卡舌,在I字形左瓣上夹块上设置有弹簧卡座;在倒置槽形座中活动插接有带燕尾槽插块座,在倒置槽形座的两侧板与带燕尾槽插块座之间插接有销轴,在销轴前侧的带燕尾槽插块座的顶面与倒置槽形座的顶端板内侧面之间设置有前侧压力调整弹簧,在销轴后侧的带燕尾槽插块座的顶面与倒置槽形座的顶端板内侧面之间设置有后侧压力调整弹簧,磨头插块上的燕尾插条是插接在带燕尾槽插块座上的燕尾槽中的;可编程控制器分别与前后方向丝杠电机、左右方向丝杠电机、上下方向丝杠电机和研磨驱动电机电连接在一起。
在磨头插块的底端面上设置有弹性垫块,在弹性垫块的下底面上设置有研磨片,研磨片的右端通过右压板与磨头插块的右端侧面固定连接在一起,研磨片的左端通过左压板与磨头插块的左端侧面固定连接在一起,在磨头插块的正下方设置有被研磨玻璃基板。
在倒L形右瓣上夹块与联接轴的上端侧面之间设置有联接轴右内六角圆头紧定螺钉,在I字形左瓣上夹块与联接轴的上端侧面之间设置有联接轴左内六角圆头紧定螺钉。
本发明实现了玻璃基板上污垢的自动化研磨清理,避免了玻璃基板启始位置研磨死区的产生,特别适合清除玻璃基板上附着力较强的脏污。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明的研磨头在主视方向上的结构示意图;
图3是本发明的研磨头在后视方向上的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细说明:
一种液晶模组玻璃基板全自动研磨机,包括左支架40、右支架39和可编程控制器,在左支架40上设置有前后方向从动导轨41,在右支架39上固定设置有前后方向丝杠电机固定板38,在前后方向丝杠电机固定板38的前端设置有前后方向丝杠电机37,在前后方向丝杠电机37上连接有前后方向丝杠,在前后方向丝杠上设置有前后方向丝杠螺母36,在前后方向丝杠螺母36与前后方向从动导轨41之间设置有前后方向移动板,在前后方向移动板上设置有左右方向丝杠螺母固定板35,在左右方向丝杠螺母固定板35的右端设置有左右方向丝杠电机34,在左右方向丝杠电机34上连接有左右方向丝杠,在左右方向丝杠上设置有左右方向丝杠螺母33,在左右方向丝杠螺母33上设置有上下方向丝杠电机固定板32,在上下方向丝杠电机固定板32的顶端设置有上下方向丝杠电机31,在上下方向丝杠电机31上连接有上下方向丝杠,在上下方向丝杠上设置有上下方向丝杠螺母30,在上下方向丝杠螺母30上设置有基板29,在基板29上设置有研磨驱动电机安装架28,在研磨驱动电机安装架28上设置有研磨驱动电机27,在研磨驱动电机安装架28的下端连接有旋转轴承套25,在旋转轴承套25中设置有旋转轴24,旋转轴24的上端通过联轴器26与研磨驱动电机27的输出轴连接在一起,在旋转轴24的下端连接有旋转轴连接法兰盘16,旋转轴连接法兰盘16固定设置在倒L形右瓣上夹块13的顶面上,联接轴12的下端通过槽形座法兰盘11与倒置槽形座8的顶板固定连接在一起,倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14是活动扣接在一起的,在倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14之间设置有联接轴12的夹持孔,联接轴12的上端是设置在夹持孔中的,在倒L形右瓣上夹块13上固定设置有T形连接块21,在I字形左瓣上夹块14上设置有一对卡块22,合页轴23穿过T形连接块21和一对卡块22将倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14铰接在一起,在倒L形右瓣上夹块13上设置有弹簧卡舌17,在I字形左瓣上夹块14上设置有弹簧卡座18;在倒置槽形座8中活动插接有带燕尾槽插块座7,在倒置槽形座8的两侧板与带燕尾槽插块座7之间插接有销轴9,在销轴9前侧的带燕尾槽插块座7的顶面与倒置槽形座8的顶端板内侧面之间设置有前侧压力调整弹簧10,在销轴9后侧的带燕尾槽插块座7的顶面与倒置槽形座8的顶端板内侧面之间设置有后侧压力调整弹簧19,磨头插块4上的燕尾插条是插接在带燕尾槽插块座7上的燕尾槽中的;可编程控制器分别与前后方向丝杠电机37、左右方向丝杠电机34、上下方向丝杠电机31和研磨驱动电机27电连接在一起。
在磨头插块4的底端面上设置有弹性垫块3,在弹性垫块3的下底面上设置有研磨片2,研磨片2的右端通过右压板6与磨头插块4的右端侧面固定连接在一起,研磨片2的左端通过左压板5与磨头插块4的左端侧面固定连接在一起,在磨头插块4的正下方设置有被研磨玻璃基板1。
在倒L形右瓣上夹块13与联接轴12的上端侧面之间设置有联接轴右内六角圆头紧定螺钉15,在I字形左瓣上夹块14与联接轴12的上端侧面之间设置有联接轴左内六角圆头紧定螺钉20。
本发明的研磨头机构由上、下两部分组成,由联接轴12连接起来。上部的倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14主要起到了将联接轴12夹紧的作用,传递扭矩以及方便拆装下部的作用。在倒L形右瓣上夹块13上固定设置有T形连接块21,在I字形左瓣上夹块14上设置有一对卡块22,合页轴23穿过T形连接块21和一对卡块22将倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14铰接在一起,倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14可以绕合页轴23运动。在倒L形右瓣上夹块13上设置有弹簧卡舌17,在I字形左瓣上夹块14上设置有弹簧卡座18,这样既能夹紧联接轴12又可以方便安装拆卸下部的研磨执行机构。同时,在倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14上都设置了一个螺孔,联接轴12上设置有两个半圆凹槽,这样倒L形右瓣上夹块13与I字形左瓣上夹块14和联接轴12通过安装两个内六角圆头紧定螺钉锁死,不会使轴与其发生相对转对,更好的传递了扭矩。研磨头下部主要起到了研磨、更换研磨片的作用。它的优点是可以自适应研磨,使玻璃基板与研磨片更加充分的接触,提高研磨效率和质量。倒置槽形座8的两个侧板通过销轴9与带燕尾槽插块座7相连,带燕尾槽插块座7可以绕销轴9转动,在带燕尾槽插块座7前后对称设置两根弹簧,弹簧的另一端安装在倒置槽形座8的顶端板内侧面上。这样即使研磨片2与玻璃基板1不平行,通过两弹簧的调节,也可以是研磨片2与玻璃基板1全部接触研磨,提高了研磨的效率和质量。磨头插块4的下方与弹性垫块3粘贴起来,磨头插块4两侧设置有压板。
本发明机构固定在一个设计有X、Y、Z、θ四轴的运动机构上,在可编程控制器(PLC)的控制下X、Y、Z、θ四轴相互配合可以实现对玻璃基板1全部表面的旋转研磨。

Claims (3)

1.一种液晶模组玻璃基板全自动研磨机,包括左支架(40)、右支架(39)和可编程控制器,在左支架(40)上设置有前后方向从动导轨(41),在右支架(39)上固定设置有前后方向丝杠电机固定板(38),在前后方向丝杠电机固定板(38)的前端设置有前后方向丝杠电机(37),在前后方向丝杠电机(37)上连接有前后方向丝杠,在前后方向丝杠上设置有前后方向丝杠螺母(36),在前后方向丝杠螺母(36)与前后方向从动导轨(41)之间设置有前后方向移动板,在前后方向移动板上设置有左右方向丝杠螺母固定板(35),在左右方向丝杠螺母固定板(35)的右端设置有左右方向丝杠电机(34),在左右方向丝杠电机(34)上连接有左右方向丝杠,在左右方向丝杠上设置有左右方向丝杠螺母(33),在左右方向丝杠螺母(33)上设置有上下方向丝杠电机固定板(32),在上下方向丝杠电机固定板(32)的顶端设置有上下方向丝杠电机(31),在上下方向丝杠电机(31)上连接有上下方向丝杠,在上下方向丝杠上设置有上下方向丝杠螺母(30),在上下方向丝杠螺母(30)上设置有基板(29),在基板(29)上设置有研磨驱动电机安装架(28),在研磨驱动电机安装架(28)上设置有研磨驱动电机(27),在研磨驱动电机安装架(28)的下端连接有旋转轴承套(25),在旋转轴承套(25)中设置有旋转轴(24),旋转轴(24)的上端通过联轴器(26)与研磨驱动电机(27)的输出轴连接在一起,在旋转轴(24)的下端连接有旋转轴连接法兰盘(16),其特征在于,旋转轴连接法兰盘(16)固定设置在倒L形右瓣上夹块(13)的顶面上,联接轴(12)的下端通过槽形座法兰盘(11)与倒置槽形座(8)的顶板固定连接在一起,倒L形右瓣上夹块(13)与I字形左瓣上夹块(14)是活动扣接在一起的,在倒L形右瓣上夹块(13)与I字形左瓣上夹块(14)之间设置有联接轴(12)的夹持孔,联接轴(12)的上端是设置在夹持孔中的,在倒L形右瓣上夹块(13)上固定设置有T形连接块(21),在I字形左瓣上夹块(14)上设置有一对卡块(22),合页轴(23)穿过T形连接块(21)和一对卡块(22)将倒L形右瓣上夹块(13)与I字形左瓣上夹块(14)铰接在一起,在倒L形右瓣上夹块(13)上设置有弹簧卡舌(17),在I字形左瓣上夹块(14)上设置有弹簧卡座(18);在倒置槽形座(8)中活动插接有带燕尾槽插块座(7),在倒置槽形座(8)的两侧板与带燕尾槽插块座(7)之间插接有销轴(9),在销轴(9)前侧的带燕尾槽插块座(7)的顶面与倒置槽形座(8)的顶端板内侧面之间设置有前侧压力调整弹簧(10),在销轴(9)后侧的带燕尾槽插块座(7)的顶面与倒置槽形座(8)的顶端板内侧面之间设置有后侧压力调整弹簧(19),磨头插块(4)上的燕尾插条是插接在带燕尾槽插块座(7)上的燕尾槽中的;可编程控制器分别与前后方向丝杠电机(37)、左右方向丝杠电机(34)、上下方向丝杠电机(31)和研磨驱动电机(27)电连接在一起。
2.根据权利要求1所述的一种液晶模组玻璃基板全自动研磨机,其特征在于,在磨头插块(4)的底端面上设置有弹性垫块(3),在弹性垫块(3)的下底面上设置有研磨片(2),研磨片(2)的右端通过右压板(6)与磨头插块(4)的右端侧面固定连接在一起,研磨片(2)的左端通过左压板(5)与磨头插块(4)的左端侧面固定连接在一起,在磨头插块(4)的正下方设置有被研磨玻璃基板(1)。
3.根据权利要求1所述的一种液晶模组玻璃基板全自动研磨机,其特征在于,在倒L形右瓣上夹块(13)与联接轴(12)的上端侧面之间设置有联接轴右内六角圆头紧定螺钉(15),在I字形左瓣上夹块(14)与联接轴(12)的上端侧面之间设置有联接轴左内六角圆头紧定螺钉(20)。
CN201610243465.9A 2016-04-19 2016-04-19 液晶模组玻璃基板全自动研磨机 Active CN105729295B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610243465.9A CN105729295B (zh) 2016-04-19 2016-04-19 液晶模组玻璃基板全自动研磨机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610243465.9A CN105729295B (zh) 2016-04-19 2016-04-19 液晶模组玻璃基板全自动研磨机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105729295A true CN105729295A (zh) 2016-07-06
CN105729295B CN105729295B (zh) 2017-08-11

Family

ID=56255831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610243465.9A Active CN105729295B (zh) 2016-04-19 2016-04-19 液晶模组玻璃基板全自动研磨机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105729295B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110014363A (zh) * 2017-12-20 2019-07-16 株式会社荏原制作所 基板处理装置、基板处理方法、储存程序的存储介质
CN111002145A (zh) * 2019-12-17 2020-04-14 涡阳县幸福门业有限公司 一种金属门的边角打磨装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001138190A (ja) * 1999-11-10 2001-05-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 平面研削盤
CN203751907U (zh) * 2014-03-11 2014-08-06 台州赛诺克机械科技有限公司 一种动梁式五轴工具磨床
CN204053699U (zh) * 2014-07-03 2014-12-31 东莞市众度机械设备有限公司 一种双工位全自动倒角机
CN204686643U (zh) * 2015-04-02 2015-10-07 贺尔碧格阀业(常州)有限公司 一种操作方便的阀板密封区域研磨机
CN205600500U (zh) * 2016-04-19 2016-09-28 太原风华信息装备股份有限公司 液晶模组玻璃基板全自动研磨机

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001138190A (ja) * 1999-11-10 2001-05-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 平面研削盤
CN203751907U (zh) * 2014-03-11 2014-08-06 台州赛诺克机械科技有限公司 一种动梁式五轴工具磨床
CN204053699U (zh) * 2014-07-03 2014-12-31 东莞市众度机械设备有限公司 一种双工位全自动倒角机
CN204686643U (zh) * 2015-04-02 2015-10-07 贺尔碧格阀业(常州)有限公司 一种操作方便的阀板密封区域研磨机
CN205600500U (zh) * 2016-04-19 2016-09-28 太原风华信息装备股份有限公司 液晶模组玻璃基板全自动研磨机

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110014363A (zh) * 2017-12-20 2019-07-16 株式会社荏原制作所 基板处理装置、基板处理方法、储存程序的存储介质
CN111002145A (zh) * 2019-12-17 2020-04-14 涡阳县幸福门业有限公司 一种金属门的边角打磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105729295B (zh) 2017-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106270813B (zh) 一种电动机齿轮加工装置
EP2762272A2 (en) Wafer polishing apparatus and method
CN101934492B (zh) 高平整度区熔硅抛光片的抛光工艺
US8808061B2 (en) Method and apparatus for dressing polishing pad
KR20110038422A (ko) 유리판 연마 시스템 및 방법
KR20150094246A (ko) 글라스 측면 광택장치 및 그 장치를 이용한 광택방법
KR100776014B1 (ko) 인라인 연마 시스템
CN105729295A (zh) 液晶模组玻璃基板全自动研磨机
CN205600500U (zh) 液晶模组玻璃基板全自动研磨机
CN107303649A (zh) 全自动研磨机的研磨头机构
WO2014049844A1 (ja) 板状体の研磨方法及び板状体の研磨装置
SG165292A1 (en) Method of manufacturing a substrate for a magnetic disk
CN207629808U (zh) 一种龙门式小型圆柱面抛光装置
CN102806517A (zh) 板状体的研磨装置及板状体的研磨方法
KR100926025B1 (ko) 직사각형 기판의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법
CN204135864U (zh) 一种刮胶研磨机
CN210209887U (zh) 一种用于罐体表面打磨的可调式打磨头机构
KR20100104795A (ko) 연마패드 압착장치
CN113927474A (zh) 研磨组件、研磨装置及全自动化光纤连接器研磨装置
KR20110103924A (ko) 기판 세정 장치 및 이를 이용한 기판 세정 설비
WO2013118578A1 (ja) 研磨パッド及び研磨装置
CN205201294U (zh) 研磨清洗装置
CN213999046U (zh) 再生晶圆低磨耗的均质化研磨系统
CN219837603U (zh) 一种用于晶圆抛光过程中的压力环的固定装置
CN215920037U (zh) 一种输送平皮带接头打磨装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 030024 Taiyuan Heping Road, Shanxi, No. 115

Patentee after: CETC Fenghua information equipment Limited by Share Ltd

Address before: 030024 Taiyuan Heping Road, Shanxi, No. 115

Patentee before: Taiyuan Fenghua Information Equipment Co., Ltd.

CP01 Change in the name or title of a patent holder