CN105690579B - 保持具、保持具单元及刻划装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供保持具、保持具单元及刻划装置。鉴于由于刻划轮沿销轴方向移动而导致划线的形成位置偏离的问题点，提供使划线的形成位置稳定、不产生从所希望的位置偏离的保持具、保持具单元及刻划装置。保持具单元(30)包括：刻划轮(40)；销轴(50)，贯通刻划轮的贯通孔；一对保持部(63a)、(63b)，形成于保持具(60)的主体下部(62)；以及销孔(66a)、(66b)，所述销轴插入穿过所述销孔。保持部(63a)形成有通气孔(70)，用于向与刻划轮的侧面(41a)相对的位置排出或吸入空气。

Description

保持具、保持具单元及刻划装置

技术领域

本发明涉及在玻璃基板等脆性材料基板的分断过程中在脆性材料基板的表面上形成划线时使用的保持具、保持具单元及刻划装置。

背景技术

当将玻璃基板等的脆性材料基板分断为所希望尺寸时，通常使用刻划装置。该刻划装置在保持具上安装刻划轮而使用，所述保持具用于保持刻划轮。此外，该刻划轮通过将圆柱状的销轴插入形成于保持具的保持部的销孔与形成于刻划轮的侧面的贯通孔而保持于保持部之间(保持槽)。

于是，安装于保持具的刻划轮被旋转自由地保持，通过边旋转边前进于脆性材料基板的表面，从而在脆性材料基板上形成划线。此外，作为这样的刻划装置，例如有由专利文献1所述的刻划装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国际专利公开WO2007/063979号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

安装于保持具的刻划轮为了如上述形成划线而需要在保持槽旋转。因此，保持槽的宽度比刻划轮的厚度稍宽，从而刻划轮与保持部之间确保有间隙。具体而言，在刻划轮的厚度为0.65mm的情况下，保持槽的宽度变宽了0.02mm左右。如此，由于刻划轮与保持部之间存在间隙，因此刻划轮旋转自由地保持于保持部上。

另一方面，通过该间隙，导致刻划轮能够在保持具槽内沿着销轴进行0.02mm左右的移动。因此，当形成划线时，由于刻划轮沿销轴方向移动，使得划线的形成位置变得不稳定，在以往的刻划装置中，划线偏离所希望的位置已经成为了技术问题。

本发明的目的在于，鉴于通过上述刻划轮在销轴方向移动而导致划线的形成位置偏离的问题，本发明提供使划线的形成位置稳定，不产生划线从所希望位置的偏离的保持具、保持具单元及刻划装置。

用于解决技术问题的方案

为了达成上述目的，本发明的保持具包括：主体部；一对保持部，形成于所述主体部的下方；以及销孔，位于同轴上并分别形成于所述保持部，所述保持具借助贯通刻划轮的贯通孔并插入穿过所述销孔的销轴，将所述刻划轮旋转自由地保持在所述保持部之间，其特征在于，所述保持部上形成有通气孔，所述通气孔用于当所述保持部保持所述刻划轮时，向与所述刻划轮的侧面相对的位置排出或吸入空气。

根据本发明的保持具，通过刻划轮在被保持部保持的状态下经由通气孔排出或者吸入空气，则由于刻划轮与保持部之间的间隙限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，保持具能够使划线的形成位置稳定。

此外，本发明的保持具，其特征在于，所述通气孔仅形成于一对所述保持部中的一方。

根据本发明的保持具，由于刻划轮被吸引向一对保持部中的一个所述保持部上，因此更限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，保持具能够使划线的形成位置稳定。

此外，本发明的保持具，其特征在于，所述通气孔与形成在所述保持部的外侧侧面的侧面通气通道连接，所述侧面通气通道与形成在所述主体部的内部的主体通气通道连接。

根据本发明的保持具，与通气孔连接的通气通道能够简单地通过保持具的加工而形成。

此外，本发明的保持具，其特征在于，所述销孔兼作为所述通气孔。

根据本发明的保持具，由于在销孔内产生空气流动，因此能够防止形成划线时产生的玻璃屑附着于销轴。此外，由于刻划轮的中央部产生空气的流动，从而抑制划线过程中的刻划轮倾斜。

此外，本发明的保持具单元具有保持具。所述保持具包括刻划轮；销轴，贯通所述刻划轮的贯通孔；以及保持具，所述保持具具有：主体部；一对保持部，形成在所述主体部的下方，保持所述刻划轮；以及销孔，位于同轴上，并分别形成于所述保持部，所述销轴插入穿过所述销孔，所述保持具单元的特征在于，所述保持部形成有通气孔，用于向与所述刻划轮的侧面相对的位置排出或吸入空气。

根据本发明的保持具单元，经由通气孔排出或吸入空气，由于刻划轮与保持部之间的间隙，限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，保持具单元能够使划线的形成位置稳定。

此外，本发明的保持具单元，其特征在于，所述通气孔仅形成于一对所述保持部中的一方。

根据本发明的保持具单元，由于刻划轮被吸引向一对所述保持部中的一个所述保持部上，更加限制刻划轮向销轴方向移动。因此，保持具单元能够使划线的形成位置稳定。

此外，本发明的保持具单元，其特征在于，所述通气孔与形成在所述保持部的外侧侧面的侧面通气通道连接，所述侧面通气通道与形成在所述主体部的内部的主体通气通道连接。。

根据本发明的保持具单元，连接通气孔的通气通道能够简单地通过保持具的加工而形成。

此外，本发明的保持具单元，其特征在于，所述侧面通气通道的表面被固定于所述保持部的外侧侧面的止动件闭塞。

根据本发明的保持具单元，能够比用树脂或熔接等更简单地闭塞侧面通气通道的表面。此外，该止动件也能够作为防止销轴脱落而利用。

此外，本发明的保持具单元，其特征在于所述通气孔兼作为所述销孔。

根据本发明的保持具单元，由于在销孔内产生空气流动，能够防止形成划线时产生的玻璃屑附着于销轴。此外，通过刻划轮的中央部产生空气的流动，抑制划线过程中的刻划轮的倾斜。

此外，本发明的刻划装置，其特征在于，包括上述保持具，并且具有通过所述通气孔进行空气的排出或吸入的吸气排气部。此外，本发明的刻划装置，其特征在于，包括上述保持具单元，并且具有通过所述通气孔进行空气的排出或吸入的吸气排气部。

根据本发明的刻划装置，经由吸气排气部进行空气的排出或者吸入，由于刻划轮与保持部之间的间隙，限制刻划轮向销轴方向的移动。因此，刻划装置能够使划线的形成位置稳定。

附图说明

图1是实施方式一的刻划装置的概略图。

图2的(A)是实施方式一的保持具单元的主视图，图2的(B)是保持具单元的侧面图。

图3的(A)是构成实施方式一的保持具单元的保持具的主视图，图3的(B)是保持具的侧面图，图3的(C)是图3的(B)中IIIC-IIIC线的截面图。

图4的(A)是图3的(B)的区域P的放大图，图4的(B)是由图4的(A)示出位置的下方侧观察的立体图，图4的(C)是图4的(A)的IVC-IVC线的截面图。

图5是实施方式二的保持具的主要部分放大侧面图。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的实施方式进行说明。但是，以下示出的实施方式是示出用于使本发明的技术方案具体化的一个例子，目的并不在于通过该实施方式限定本发明。本发明也能够适用于包含在权利要求内的其他实施方式。

[实施方式一]

图1是本发明的实施方式的刻划装置1的概略图。刻划装置1包括移动台10。移动台10与滚珠螺杆11螺合，通过马达的驱动来使该滚珠螺杆11旋转，从而可沿着一对导轨12移动于y轴方向。

在移动台10的上表面设置马达13。马达13用于使位于上部的桌台14以xy平面旋转而将所述桌台定位于预定角度。通过马达13可水平旋转的桌台14包括未图示的真空吸附单元，通过该真空吸附单元保持载置于桌台14上的脆性材料基板15。

该脆性材料基板15为玻璃基板、由低温烧成陶瓷或高温烧成陶瓷构成的陶瓷基板、硅基板、化合物半导体基板、蓝宝石基板、和石英基板等。此外，脆性材料基板15可以使薄膜或者半导体材料附着或被包含于基板的表面或内部。并且，脆性材料基板15的表面也可以附着不与脆性材料对应的薄膜等。

刻划装置1包括两台CCD照相机16，在载置在桌台14上的脆性材料基板15的上方，用于拍摄在该脆性材料基板15的表面形成的对准标记。桥架17被支柱18a和18b架设，使得横跨移动台10与其上部的桌台14。

桥架17安装有导引件19，刻划头20设置成被该导引件19引导而沿x轴方向移动。刻划头20的下端安装有使刻划轮40保持于保持具60上的保持具单元30。

在此，概略地说明使用刻划装置1在脆性材料基板15上形成划线的工序。首先，在被安装在刻划头20的保持具60上安装有刻划轮40。然后，刻划装置1通过一对CCD照相机16确定脆性材料基板15的位置。接着，刻划装置1使刻划头20向预定的位置移动，对刻划轮40施加预定的负荷而使其接触于脆性材料基板15。于是，刻划装置1通过使刻划头20沿x轴方向移动，从而在脆性材料基板15的表面形成预定的划线。此外，刻划装置1根据需要不旋转桌台14而沿y轴方向移动，并与上述情况相同而形成划线。

接着，使用附图详细说明保持具单元30。图2的(A)是保持具单元30的主视图，图2的(B)是保持具单元30的侧面图。此外，图3的(A)是构成保持具单元30的保持具60的主视图，图3的(B)是保持具60的侧面图，图3的(C)是图3的(B)中沿IIIC-IIIC线的截面图。此外，图4的(A)是图3的(B)由点划线围成的区域P的放大图，图4的(B)是由图4的(A)示出位置的下方侧观察的立体图，图4的(C)是图4的(A)中沿IVC-IVC线的截面图。此外，图4的(C)是保持具30的截面图并且也示出了构成保持具单元30的其他元件的一部分。此外，形成划线时保持具单元30的行进方向是图2的(B)的箭头D所示的方向。

保持具单元30是由刻划轮40、图4的(C)示出的销轴50、和保持具60呈一体的单元。此外，图2示出了构成内置于刻划头20且用于将保持具单元30安装于刻划头20的保持具接头(未图示)的两个轴承21a、21b和圆筒形间隔片22。

刻划轮40是由例如烧结金刚石或硬质合金等而形成的圆板状的构件。此外，在刻划轮40上以圆板的两侧表面41a、41b的中心形成有贯通孔，所述贯通孔用于销轴50贯通。此外，形成棱线的呈V字状的刃部形成于刻划轮40的外周部。此外，本实施方式的刻划轮40的厚度大约为0.65mm，外径大约为2.0mm，贯通孔41的径大约为0.8mm，刃部43的刃前缘角度大约为130°。

此外，刻划轮40除了由烧结金刚石或硬质合金形成之外，也可由单晶金刚石或多晶金刚石构成。

销轴50是例如由烧结金刚石或硬质合金等形成的圆柱形的构件，如图4的(C)所示一端为尖头形状的尖头部51。此外，本实施方式的销轴50的直径大约为0.8mm。

保持具60由例如SUS303等的金属形成。保持具60由形成于主体部的上方侧的保持具上部61和下方侧的保持具下部62构成。保持具上部61插入构成上述保持具接头的两个轴承21a、21b与间隔片22。

保持具下部62是例如如图3的(B)所示在侧面观察下下方侧逐渐变窄的梯形。如图3的(A)所示在正面观察下，开放保持具下部62的梯形部分的下方，形成一对保持部63a、63b与位于保持部63a、63b之间的保持槽64。

此外，保持部63a、63b通过硬焊在同轴位置分别固定有圆柱体65a、65b。于是，圆柱体65a、65b在同轴位置形成有插入穿过销轴50的销孔66a、66b。因此，刻划轮40的侧面41a与保持部63a的圆柱体65a相对，侧面41b与保持部63b的圆柱体65b相对，与侧面41a相对的圆柱体65a的相对面为保持壁67a，与侧面41b相对的圆柱体65b的相对面为保持壁67b。此外，各图中圆柱体65a、65b通过向左向右的斜线呈阴影表示。

此外，该圆柱体65a、65b是用于抑制与刻划轮40的侧面41的摩擦且实现旋转精度的维持而安装，由烧结金刚石或硬质合金构成。因此，该圆柱体65a、65b不是必要的结构，按照与刻划轮40的材质等的关系而设置于保持部63a、63b。此外，该圆柱体65a、65b的安装方法等具体来说能够采用日本特开2011-240540号公报所记载的方法。此外，圆柱体65a、65b在安装工序中切断下端侧。因此，在各图中示出圆柱体65a、65b被切断下端后的状态。

为了防止由于刻划轮40在销轴50方向上移动而导致划线的形成位置的偏离，如上构成的保持具60还具有通气孔70，所述通气孔70能够用于排除空气使刻划轮40的侧面41a经常从保持壁67a分离、或所述通气孔70能够用于吸入空气使侧面41a向保持壁67a吸附。以下说明通气孔70。

首先，保持具上部61和保持具下部62的内部形成有主体通气通道71。

如图3的(C)所示，该主体通气通道71上下延伸于保持具上部61的内部中央，并且延伸到稍高于保持具下部62的保持槽64为止。此外，与构成保持具接头的间隔片22的位置对应的位置等间隔地形成有四个与主体通气通道71连接的分支通气通道71a。

此外，保持具下部62形成有贯通右侧面与左侧面的之间的螺丝安装孔68。此外，如图3的(B)所示，保持部63a的外侧侧面S形成有连结销孔66a与螺丝安装孔68之间的侧面通气通道72，该侧面通气通道72由成形放电加工而成。

并且，该侧面通气通道72的中途上形成有连接主体通气通道71的连结孔73。

如此，保持具60形成有通气路径，所述通气路径从保持具上部61的分支通气通道71a开始，从分支通气通道71a到主体通气通道71，主体通气通道71到连结孔73，连结孔73到侧面通气通道72为止。然后，通过侧面通气通道72与销孔66a的重合，从而保持具60成为通气路径与销孔66a连接的构成。于是，本实施方式中的销孔66a是兼作为通气孔70的构成。

使用这种保持具60，使销轴50通过刻划轮40的贯通孔后将其插入穿过一对保持部63a、63b的销孔66a、66b，并如图2所示，使用螺丝安装孔68和固定螺丝80a、80b分别安装止动件81a、81b，从而构成保持具单元30。

此外，如图4的(C)所示，该止动件81a、81b是分别闭塞销孔66a、66b而使销轴50不脱落。

然后，进一步地，止动件81a在闭塞销孔66a时，塞住露出于保持部63a的外侧侧面的侧面通气通道72的表面。此外，侧面通气通道72的表面不是止动件81，也可以通过树脂或熔接等其他方法塞住，但通过利用止动件81a来闭塞销孔66a能够很简单地就塞住。

保持具单元30通过安装止动件81a来使通气路径成为密闭状态，能够从兼作为通气孔70的销孔66a经由通气路径来进行空气的排出或者吸入。

于是，通过保持具单元30从外部向分支通气通道71a送入空气，则能够经由保持具60的通气路径从作为通气孔70的销孔66a排出空气。由于从该销孔66a排出的空气沿着销轴50按压刻划轮40的侧面41a，因此，侧面41a从保持壁67a分离，侧面41b向保持壁67b侧推压。

因此，刻划轮40的侧面41b与保持壁67b的间隙逐渐为零，形成划线时由于沿着销轴50的刻划轮40的移动受到限制，因此刻划装置1的划线的形成位置变得稳定，能够在所希望的位置形成划线。此外，图4的(C)的虚线箭头E为示意性示出利用通气路径从通气孔70排出空气时的空气流动。

此外相反地，保持具单元30通过由分支通气通道71a抽出空气，能够经由保持具60的通气路径从作为通气孔70的销孔66a吸入空气。由于通过从该销孔66a吸入的空气使沿着销轴50吸附刻划轮40的侧面41a，从而侧面41a向保持壁67a吸附。

因此，刻划轮40的侧面41a与保持壁67a的间隙逐渐为零，形成划线时由于沿着销轴50的刻划轮40的移动受到限制，因此刻划装置1的划线的形成位置变得稳定，能够在所希望位置形成划线。

如上所述，为了使成为通气孔70的销孔66a排出或者吸入空气，刻划装置1利用图3的(C)所示的由主体通气通道71、侧面通气通道72等构成的通气路径。因此，刻划装置1包括用于向通气孔70送入空气并从通气孔70吸入空气的吸气排气部23，和从吸气排气部23连接到刻划头20内的导管24。此外，如图2所示，在间隔片22上设置有连通孔25。刻划头20内的保持具上部61容纳于良好密闭性的刻划头20内。因此，保持具60的通气路径与刻划头20内，通过从吸气排气部23到刻划头20内送入空气或者从吸气排气部23吸入空气来空气经由连通孔25和分支通气通道71a流动。

此外，如果由通气孔70排出时的风压过强，反而也可能妨碍刻划轮40的旋转。因此，排出或者吸入空气时，考虑到这些点等来决定吸气排气部的风量。在本实施方式中，试着以0.05MPa左右的风压送入空气时，刻划装置1能够形成良好的划线。

此外，吸气排气部23使用例如提供压缩空气的压缩机。其他还可使用真空泵、吸气扇或排气扇等。此外，也可以在吸气排气部223与刻划头20之间设置压力传感器或压力调整用的调节器。此外，与经由本实施方式的这种通气孔70在刻划轮40的侧面41a排出或吸入空气的刻划装置1完全不同，作为从保持具或从保持具周围排出或者吸入空气的刻划装置，公知是例如在日本特开2000-247667号公报或特开2008-94635号公报所记载的刻划装置。因此，作为刻划装置1包括的吸气排气部23或导管24的具体构成能够采用这样的文献中所记载的构成。

如此，本实施方式的保持具60具有在形成主体部的保持具下部62形成的一对保持部63a、63b，当保持刻划轮40时，该保持部63a在与刻划轮40的侧面41a相对位置的形成有用于排出或者吸入空气的通气孔70。因此，保持具单元30通过在保持刻划轮40的状态下从通气孔70向刻划轮40的侧面41a排出空气，来使刻划轮40的侧面41b和保持壁67b的间隙逐渐为零，当形成划线时，刻划轮40沿着销轴50的移动受到限制。因此，刻划装置1的划线的形成位置稳定，并能够在所希望的位置形成划线。

此外，相反地在保持刻划轮40的状态下从通气孔70向刻划轮40的侧面41a吸入空气，保持具单元30中，刻划轮40的侧面41a和保持壁67a的间隙逐渐为零，当形成划线时，刻划轮40沿着销轴50的移动受到限制。因此，刻划装置1的划线的形成位置稳定，能够在所希望的位置形成划线。

此外，在本实施方式中，是将销孔66a作为通气孔70而利用的构成。因此，刻划装置1在销孔66a内产生空气的流动，能够防止形成划线时产生的玻璃屑(カレット)附着于销轴50。此外，刻划装置1通过从销孔66a进行空气的排出或吸入，能够向刻划轮40的侧面41a施加均等的力。

此外，如果在刻划轮40倾斜的状态下形成划线，则在与基板的厚度方向相对的倾斜方向上形成裂纹，发生所谓的碎片(ソゲ)现象。然后，如果产生碎片现象，由于脆性材料基板15的切断面也变得倾斜，因此就不能在所希望的位置分断。但是，在本实施方式的保持具单元30中，是将销孔66a作为通气孔70利用的构成。因此，保持具单元30通过从销孔66a进行空气的排出或者吸入，能够相对刻划轮40的侧面41a施加均等的力，并能够使刻划轮40垂直。因此，刻划装置1能够形成难以发生碎片的划线。

[实施方式二]

接着，使用附图详细说明其他实施方式的保持具单元。图5是构成实施方式二的保持具单元的保持具160的保持具下部162的主要部分的放大侧面图。

该保持具单元是与实施方式一的保持具单元30大致相同的构成。因此，说明与保持具单元30不同的点。此外，对与实施方式一相同的构成使用相同的符号进行说明。

实施方式一的保持具单元30是将形成于保持具60的销孔66a兼作为通气孔70的构成。另一方面，本实施方式中的保持具单元中，形成于保持具160的保持具下部162的销孔166a与通气孔170分开设置。

销孔166a与实施方式一的销孔66a同样地形成在被硬焊于保持部163a的圆柱体165a处。另一方面，在销孔166a的周围等间隔地形成三个通气孔170。

并且，实施方式一的侧面通气通道72是形成在保持部63a外侧侧面使得销孔66a与螺丝安装孔68之间连结，本实施方式的侧面通气通道172是如图5所示，通过成形放电加工而形成，在保持部163a的外侧侧面使得螺丝安装孔168与三个通气孔170之间连结。并且，该侧面通气通道172的中途形成有连接到主体通气通道的连结孔173。

保持具单元安装有止动件，所述止动件利用保持具160的螺丝安装孔168而未图示。保持具单元通过止动件闭塞销孔166a，并塞住侧面通气通道172的表面，从而经由由侧面通气通道172构成的通气通道进行从三个通气孔170的空气的排出或者吸入。

因此，保持具单元通过从形成保持具160的通气孔170排出空气，刻划轮40的侧面41b和与保持部163a相反侧的保持部的保持壁(未图示)的间隙逐渐为零，当形成划线时，刻划轮40沿着销轴50的移动受到限制。因此，包括该保持具单元的刻划装置能够使划线的形成位置稳定，能够在所希望的位置形成划线。

此外，相反地保持具单元中，通过从形成通气孔170吸入空气，刻划轮40的侧面41a和与保持部163a侧的保持壁的间隙逐渐为零，当形成划线时，刻划轮40沿着销轴50的移动受到限制。因此，包括该保持具单元的刻划装置能够使划线的形成位置稳定，能够在所希望的位置形成划线。

此外，本实施方式的保持具单元与实施方式一的通气孔70不同，保持具160具有区别销孔166a的此外的通气孔170。因此，通过通气孔170的空气的流动难以影响销轴50。此外，由于与销孔166a分开设计，本实施方式的保持具单元的通气孔170的数量、位置以及形状能够自由地形成。因此，该保持具单元能够采用更适于空气的排出或吸入的通气孔170。

此外，在上述实施方式中，例如，实施方式一的通气孔70形成于一对保持部63a、63b内的保持部63a。也就是说，通气孔70仅形成于保持部63a侧，本发明也可以是通气孔70在保持部63a、63b的两方形成的构成。这种情况下，与保持部63b侧的侧面通气通道72经由将此侧面通气通道72与主体通气通道71连结的连结孔73而连通。

如此，从保持部63a、63b的两侧在刻划轮40的侧面41a、41b分别从保持部63a、63b的通气孔70排出或吸入空气，刻划轮40的位置是稳定于保持槽64的大致中央的位置。此外，由于在刻划轮40的侧面41a、41b的两侧产生空气的流动，所以在刻划轮40的表面或销轴50的表面难以形成玻璃屑的附着。

此外，例如，实施方式一的保持具60构成为形成主体通气通道71或侧面通气通道72等，并具有连结通气孔70的通气路径。但是，本发明也可是例如形成于保持具的通气孔与刻划装置1的吸气排气部23通过直接软管等的导管24连接，在保持具不设置通气路径的构成。

符号说明

1 刻划装置

10 移动台

11 滚珠螺杆

12 导轨

13 马达

14 桌台

15 脆性材料基板

16 CCD照相机

17 桥架

18a、18b 支柱

19 导引件

20 刻划头

21a、21b 轴承

22 间隔片

23 吸气排气部

24 导管

25 连通孔

30 保持具单元

40 刻划轮

41a、41b 侧面

50 销轴

51 尖头部

60、160 保持具

61 保持具上部

62、162 保持具下部

63a、63b、163a 保持部

64 保持槽

65a、65b、165a 圆柱体

66a、66b、166a 销孔

67a、67b 保持壁

68、168 螺丝安装孔

70、170 通气孔

71 主体通气通道

71a 分支通气通道

72、172 侧面通气通道

73、173 连结孔

80a、80b 固定螺丝

81a、81b 止动件

Claims (10)

1.一种保持具，包括：主体部；一对保持部，形成于所述主体部的下方；以及销孔，位于同轴上并分别形成于所述保持部，所述保持具借助贯通刻划轮的贯通孔并插入穿过所述销孔的销轴，将所述刻划轮旋转自由地保持在所述保持部之间，其特征在于，

所述保持部上形成有通气孔，所述通气孔用于当所述保持部保持所述刻划轮时，向与所述刻划轮的侧面相对的位置排出或吸入空气，

所述通气孔与形成在所述保持部的外侧侧面的侧面通气通道连接，

所述侧面通气通道与形成在所述主体部的内部的主体通气通道连接。

2.根据权利要求1所述的保持具，其特征在于，

所述通气孔仅形成于一对所述保持部中的一方。

3.根据权利要求1或2所述的保持具，其特征在于，

所述销孔兼作为所述通气孔。

4.一种保持具单元，包括：

刻划轮；

销轴，贯通所述刻划轮的贯通孔；以及

保持具，

所述保持具具有：

主体部；

一对保持部，形成在所述主体部的下方，保持所述刻划轮；以及

销孔，位于同轴上，并分别形成于所述保持部，所述销轴插入穿过所述销孔，

所述保持具单元的特征在于，

所述保持部形成有通气孔，所述通气孔用于向与所述刻划轮的侧面相对的位置排出或吸入空气，

所述通气孔与形成于所述保持部的外侧侧面的侧面通气通道连接，

所述侧面通气通道与形成于所述主体部的内部的主体通气通道连接。

5.根据权利要求4所述的保持具单元，其特征在于，

所述通气孔仅形成于一对所述保持部中的一方。

6.根据权利要求4或5所述的保持具单元，其特征在于，

所述侧面通气通道的表面被固定于所述保持部的外侧侧面的止动件闭塞。

7.根据权利要求4或5所述的保持具单元，其特征在于，

所述销孔兼作为所述通气孔。

8.根据权利要求6所述的保持具单元，其特征在于，

所述销孔兼作为所述通气孔。

9.一种刻划装置，其特征在于，

包括权利要求1至3中任一项所述的保持具，并

具有经由所述通气孔进行空气的排出或吸入的吸气排气部。

10.一种刻划装置，其特征在于，

包括权利要求4至8中任一项所述的保持具单元，并

具有经由所述通气孔进行空气的排出或吸入的吸气排气部。