TW201623171A - 保持具、保持具單元及刻劃裝置 - Google Patents

保持具、保持具單元及刻劃裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW201623171A
TW201623171A TW104135767A TW104135767A TW201623171A TW 201623171 A TW201623171 A TW 201623171A TW 104135767 A TW104135767 A TW 104135767A TW 104135767 A TW104135767 A TW 104135767A TW 201623171 A TW201623171 A TW 201623171A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
holder
pin
holding
wheel
hole
Prior art date
Application number
TW104135767A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI675808B (zh
Inventor
Takahiro Jinushi
Yoshinari Sasaki
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd
Publication of TW201623171A publication Critical patent/TW201623171A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI675808B publication Critical patent/TWI675808B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • B28D1/225Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising for scoring or breaking, e.g. tiles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
    • B28D7/04Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for supporting or holding work or conveying or discharging work
    • B28D7/046Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups for supporting or holding work or conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/027Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037Controlling or regulating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/10Glass-cutting tools, e.g. scoring tools

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

本發明係有鑑於因刻劃輪於銷軸方向移動而導致刻劃線之形成位置偏移之問題點而完成,目的在於提供一種使刻劃線之形成位置穩定,且不會產生從所欲之位置偏移的保持具、保持具單元及刻劃裝置。 保持具單元30,具備刻劃輪40、貫通於刻劃輪之貫通孔的銷軸50、形成於保持具60之本體下部62的一對保持部63a、63b、及插通有銷軸的銷孔66a、66b,在保持部63a,形成有用於在與刻劃輪之側面41a對向之位置排出或吸引空氣的通氣孔70。

Description

保持具、保持具單元及刻劃裝置
本發明係有關於一種在玻璃基板等脆性材料基板之分斷中,於脆性材料基板之表面形成刻劃線時使用之保持具、保持具單元及刻劃裝置。
在將玻璃基板等脆性材料基板分斷成所欲之尺寸時,一般而言係使用刻劃裝置。該刻劃裝置,在用於保持刻劃輪之保持具安裝刻劃輪而使用。此外,該刻劃輪,藉由在形成於保持具之保持部的銷孔、與形成於刻劃輪之側面的貫通孔插入圓柱狀之銷軸,而被保持於保持部間(保持槽)。
而且,安裝於保持具之刻劃輪,被保持成旋轉自如,藉由在脆性材料基板之表面一邊旋轉一邊前進,而在脆性材料基板形成刻劃線。另外,作為這種刻劃裝置,例如有專利文獻1中記載般之刻劃裝置。
專利文獻1:國際專利公開WO2007/063979號公報
安裝於保持具之刻劃輪,如上述般為了形成刻劃線而必須在保持槽中進行旋轉。因此,保持槽之寬度稍微較刻劃輪之厚度寬,以在刻劃輪與保持部之間確保間隙。具體而言,在刻劃輪之厚度為0.65mm的情形時,使保持槽之寬度再寬0.02mm左右。如此,藉由在刻劃輪與保持部之間 存在有間隙,而將刻劃輪保持成旋轉自如。
另一方面,由於該間隙,將使刻劃輪可在保持槽內沿銷軸移動0.02mm左右。因此,在形成刻劃線時,因刻劃輪於銷軸方向移動,而使刻劃線之形成位置變不穩定,在習知的刻劃裝置中,存在有刻劃線從所欲之位置偏移的問題。
本發明係有鑑於上述之因刻劃輪於銷軸方向移動而導致刻劃線之形成位置偏移之問題點而完成的發明,目的在於提供一種使刻劃線之形成位置穩定,且不會產生從所欲之位置偏移的保持具、保持具單元及刻劃裝置。
為了達成上述目的,本發明之保持具,具備本體部、形成在該本體部下方的一對保持部、及位於同軸上且分別形成在該保持部的銷孔,用於藉由貫通於刻劃輪之貫通孔並且插通於該銷孔之銷軸,將該刻劃輪旋轉自如地保持在該保持部間,其特徵在於:在該保持部,形成有用於在保持該刻劃輪時,在與該刻劃輪之側面對向之位置排出或吸引空氣的通氣孔。
根據本發明之保持具,藉由在刻劃輪被保持於保持部之狀態下透過通氣孔排出或吸引空氣,能限制因刻劃輪與保持部之間的間隙而導致的刻劃輪於銷軸方向之移動。因此,保持具能夠使刻劃線之形成位置穩定。
此外,在本發明之保持具中,該通氣孔僅形成在一對該保持部之一方。
根據本發明之保持具,由於刻劃輪往一方之保持部貼近,因 此更能限制刻劃輪於銷軸方向之移動。因此,保持具能夠使刻劃線之形成位置穩定。
此外,在本發明之保持具中,該通氣孔與形成在該保持部之外側側面的側面通氣路連接,該側面通氣路與形成在該本體部之內部的本體通氣路連接。
根據本發明之保持具,能夠藉由保持具之加工簡單地形成與通氣孔連接之通氣路。
此外,在本發明之保持具中,該銷孔兼為該通氣孔。
根據本發明之保持具,由於在銷孔內產生空氣流動,因此能夠防止在形成刻劃線時所產生之碎屑往銷軸附著。此外,藉由在刻劃輪之中央部產生空氣流動,而能抑制刻劃中之刻劃輪傾斜。
此外,本發明之保持具單元,具備刻劃輪、貫通於該刻劃輪之貫通孔的銷軸、及保持具,該保持具具備本體部、形成在該本體部下方且保持該刻劃輪的一對保持部、及位於同軸上且分別形成在該保持部並且插通有該銷軸的銷孔,其特徵在於:在該保持部,形成有用於在與該刻劃輪之側面對向之位置排出或吸引空氣的通氣孔。
根據本發明之保持具單元,藉由透過通氣孔排出或吸引空氣,能限制因刻劃輪與保持部之間的間隙而導致的刻劃輪於銷軸方向之移動。因此,保持具能夠使刻劃線之形成位置穩定。
此外,在本發明之保持具單元中,該通氣孔僅形成在一對該保持部之一方。
根據本發明之保持具單元,由於刻劃輪往一方之保持部貼 近,因此更能限制刻劃輪於銷軸方向之移動。因此,保持具單元能夠使刻劃線之形成位置穩定。
此外,在本發明之保持具單元中,該通氣孔與形成在該保持部之外側側面的側面通氣路連接,該側面通氣路與形成在該本體部之內部的本體通氣路連接。
根據本發明之保持具單元,能夠藉由保持具之加工簡單地形成與通氣孔連接之通氣路。
此外,在本發明之保持具單元中,該側面通氣路,藉由固定在該保持部之外側側面的止擋件而封住表面。
根據本發明之保持具單元,與以樹脂或熔接(焊接)等封住側面通氣路之表面的情形相比,能夠更簡單地封住該表面。此外,該止擋件亦可作為防止銷軸拔出而利用。
此外,在本發明之保持具單元中,該銷孔兼為該通氣孔。
根據本發明之保持具單元,由於在銷孔內產生空氣流動,因此能夠防止在形成刻劃線時所產生之碎屑往銷軸附著。此外,藉由在刻劃輪之中央部產生空氣流動,而能抑制刻劃中之刻劃輪傾斜。
此外,本發明之刻劃裝置,具備上述之保持具,且具有透過該通氣孔進行空氣之排出或吸引的吸排氣部。此外,本發明之刻劃裝置,具備上述之保持具單元,且具有透過該通氣孔進行空氣之排出或吸引的吸排氣部。
根據本發明之刻劃裝置,藉由吸排氣部進行空氣之排出或吸引,藉此能限制因刻劃輪與保持部之間的間隙而導致的刻劃輪於銷軸方向 之移動。因此,刻劃裝置能夠使刻劃線之形成位置穩定。
1‧‧‧刻劃裝置
10‧‧‧移動台
11‧‧‧滾珠螺桿
12‧‧‧導軌
13‧‧‧馬達
14‧‧‧平台
15‧‧‧脆性材料基板
16‧‧‧CCD攝影機
17‧‧‧橋架
18a、18b‧‧‧支柱
19‧‧‧導件
20‧‧‧刻劃頭
21a、21b‧‧‧軸承
22‧‧‧隔片
23‧‧‧吸排氣部
24‧‧‧導管
25‧‧‧連通孔
30‧‧‧保持具單元
40‧‧‧刻劃輪
41a、41b‧‧‧側面
50‧‧‧銷軸
51‧‧‧尖頭部
60、160‧‧‧保持具
61‧‧‧保持具上部
62、162‧‧‧保持具下部
63a、63b、163a‧‧‧保持部
64‧‧‧保持槽
65a、65b、165a‧‧‧圓柱體
66a、66b、166a‧‧‧銷孔
67a、67b‧‧‧保持壁
68、168‧‧‧螺釘安裝孔
70、170‧‧‧通氣孔
71‧‧‧本體通氣路
71a‧‧‧分歧通氣路
72、172‧‧‧側面通氣路
73、173‧‧‧連結孔
80a、80b‧‧‧固定螺釘
81a、81b‧‧‧止擋件
圖1,係實施形態1之刻劃裝置之概略圖。
圖2(A),係實施形態1之保持具單元之前視圖;圖2(B),係保持具單元之側視圖。
圖3(A),係構成實施形態1之保持具單元的保持具之前視圖;圖3(B),係保持具之側視圖;圖3(C),係圖3(B)之IIIC-IIIC線之剖面圖。
圖4(A),係圖3(B)之區域P之放大圖;圖4(B),係圖4(A)中所示之情形之從下方側觀看之立體圖;圖4(C),係圖4(A)之IVC-IVC線之剖面圖。
圖5,係實施形態2之保持具之要部放大側視圖。
以下,使用圖式說明本發明之實施形態。但是,以下所示之實施形態,係表示用於具體化本發明之技術思想的一例,並無意圖將本發明特定在該實施形態。本發明亦可適用於包含在申請專利範圍內的其他實施形態。
[實施形態1]
圖1係本發明之實施形態之刻劃裝置1的概略圖。刻劃裝置1,具備移動台10。移動台10,與滾珠螺桿11螺合,該滾珠螺桿11藉由馬達之驅動旋轉,藉此可沿一對導軌12於y軸方向移動。
在移動台10之上面,設置有馬達13。馬達13,使位於上部 之平台14在xy平面旋轉以定位於既定角度。可藉由馬達13水平旋轉之平台14,具備未圖示之真空吸附手段,藉由該真空吸附手段保持已載置於平台14上之脆性材料基板15。
該脆性材料基板15,係玻璃基板、由低溫燒成陶瓷或高溫燒成陶瓷構成之陶瓷基板、矽基板、化合物半導體基板、藍寶石基板、石英基板等。此外,脆性材料基板15,亦可為使薄膜或半導體材料附著、或包含在基板之表面或內部而成者。此外,脆性材料基板15,亦可在其表面附著有非相當於脆性材料的薄膜等。
刻劃裝置1,在載置於平台14之脆性材料基板15的上方,具備拍攝形成於該脆性材料基板15表面之對準標記的二台CCD攝影機16。以跨越移動台10與其上部之平台14的方式,將橋架17架設於支柱18a、18b。
在橋架17安裝有導件19,將刻劃頭20設置成由該導件19引導而於X軸方向移動。在刻劃頭20之下端,安裝有於保持具60保持刻劃輪40的保持具單元30。
此處,概略地說明使用刻劃裝置1對脆性材料基板15形成刻劃線的步驟。首先,在安裝於刻劃頭20之保持具60安裝刻劃輪40。然後,刻劃裝置1,藉由一對CCD攝影機16進行脆性材料基板15之定位。接著,刻劃裝置1,使刻劃頭20移動至既定之位置,對刻劃輪40施加既定的負載,並使其接觸脆性材料基板15。然後,刻劃裝置1,藉由使刻劃頭20於X軸方向移動,而在脆性材料基板15的表面形成既定的刻劃線。另外,刻劃裝置1,視需要而使平台14旋動或於Y軸方向移動,以與上述之情形 同樣之方式形成刻劃線。
接下來,針對保持具單元30之細節,使用圖式進行說明。圖2(A)係保持具單元30之前視圖,圖2(B)係保持具單元30之側視圖。此外,圖3(A)係構成保持具單元30之保持具60之前視圖,圖3(B)係保持具60之側視圖,圖3(C)係沿圖3(B)之IIIC-IIIC線之剖面圖。此外,圖4(A)係圖3(B)之以一點鏈線圍繞之區域P之放大圖,圖4(B)係從圖4(A)中所示之部位之下方側觀看之立體圖,圖4(C)係沿圖4(A)之IVC-IVC線之剖面圖。另外,圖4(C)除了顯示保持具30之剖面外,同時亦顯示一部分構成保持具單元30之其他零件。此外,形成刻劃線時之保持具單元30之行進方向,係圖2(B)之以箭頭D所示之方向。
保持具單元30,係刻劃輪40、圖4(C)所示之銷軸50、與保持具60成為一體而成。另外,在圖2中顯示有內藏於刻劃頭20且構成用於將保持具單元30安裝於刻劃頭20之保持具接頭(未圖示)的二個軸承21a、21b,以及圓筒形之隔片(spacer)22。
刻劃輪40,例如係以燒結金剛石或超硬合金等形成之圓板狀的構件。此外,在刻劃輪40,於圓板之兩側面41a、41b之中心形成有用於供銷軸50貫通之貫通孔。此外,在刻劃輪40,於外周部形成有形成稜線之V字狀刀刃。此外,本實施形態之刻劃輪40,厚度約0.65mm,外徑約2.0mm,貫通孔41之直徑約0.8mm,刀刃43之刃前角約130°。
另外,刻劃輪40,除了以燒結金剛石或超硬合金形成之外,亦可由單結晶金剛石或多結晶金剛石構成。
銷軸50,例如係以燒結金剛石或超硬合金等形成之圓柱狀 的構件,如圖4(C)所示般其一端成為尖頭形狀之尖頭部51。此外,本實施形態之銷軸50之直徑約為0.8mm。
保持具60,例如係以SUS303等金屬形成。保持具60,以形成本體部之上方側之保持具上部61、及下方側之保持具下部62構成。保持具上部61,插入於構成上述之保持具接頭的二個軸承21a、21b、與隔片22。
保持具下部62,例如圖3(B)所示般在側視觀察下,在下方側成為寬度逐漸變窄之梯形狀。保持具下部62之梯形狀部分,如圖3(A)所示般在前視觀察下,下方開放,形成有一對保持部63a、63b、及位於保持部63a、63b之間的保持槽64。
此外,在保持部63a、63b,藉由硬焊(brazing)(熔接)分別在同軸位置固定有圓柱體65a、65b。而且,在圓柱體65a、65b,於同軸位置形成有供銷軸50插通之銷孔66a、66b。因此,刻劃輪40之側面41a與保持部63a之圓柱體65a對向,側面41b與保持部63b之圓柱體65b對向,與側面41a對向之圓柱體65a之對向面成為保持壁67a,與側面41b對向之圓柱體65b之對向面成為保持壁67b。另外,在各圖中,圓柱體65a、65b,以左右斜線產生之影線(hatching)顯示。
此外,該圓柱體65a、65b,係為了抑制與刻劃輪40之側面41的摩擦並謀求旋轉精度之維持而安裝,由燒結金剛石或超硬合金構成。因此,該圓柱體65a、65b並非為必需,而是依據與刻劃輪40之材質等的關係而設於保持部63a、63b。另外,該圓柱體65a、65b之安裝方法等,具體而言可採用日本特開2011-240540號公報中記載之方法。此外,圓柱體65a、65b,在安裝步驟中,下端側被切斷。因此,圓柱體65a、65b,在各圖中以 下端被切斷之狀態顯示。
如上述般之構成的保持具60,為了防止刻劃輪40於銷軸50方向移動所導致的刻劃線之形成位置之偏移,進一步具備為了使刻劃輪40之側面41a始終與保持壁67a分離而能夠排出空氣的通氣孔70、或為了將側面41a拉往保持壁67a而能夠吸引空氣的通氣孔70。以下,針對通氣孔70進行說明。
首先,在保持具上部61與保持具下部62之內部形成有本體通氣路71。該本體通氣路71,如圖3(C)所示,上下延伸於保持具上部61之內部中央,並且抵達至保持具下部62之保持槽64之稍微上方。此外,在與構成保持具接頭之隔片22的位置對應之位置,等間隔地形成4個連接本體通氣路71之分歧通氣路71a。
此外,在保持具下部62,形成有貫通右側面與左側面之間的螺釘安裝孔68。此外,如圖3(B)所示,在保持部63a之外側側面S藉由形雕放電加工(die sinking EDM)形成連結銷孔66a與螺釘安裝孔68之間的側面通氣路72。
而且,在該側面通氣路72之中途形成有連接本體通氣路71之連結孔73。
如此,在保持具60,形成有從保持具上部61之分歧通氣路71a開始,從分歧通氣路71a到達本體通氣路71、從本體通氣路71到達連結孔73、從連結孔73到達側面通氣路72之通氣路徑。而且,藉由側面通氣路72與銷孔66a重疊,保持具60成為通氣路徑與銷孔66a連接的構成。而且,在本實施形態中,通氣孔70成為兼為銷孔66a的構成。
使用這種保持具60,將銷軸50插通於刻劃輪40之貫通孔並插通於一對保持部63a、63b之銷孔66a、66b,如圖2所示,使用螺釘安裝孔68與固定螺釘80a、80b分別安裝止擋件81a、81b,藉此構成保持具單元30。
另外,該止擋件81a、81b,如圖4(C)所示,係以銷軸50不脫落的方式用於分別閉塞銷孔66a、66b。
而且,進一步地,止擋件81a,在閉塞銷孔66a時,封住露出於保持部63a之外側側面的側面通氣路72之表面。另外,側面通氣路72之表面亦可非藉由止擋件81a而是藉由樹脂或熔接等其他方法封住,但可藉由利用閉塞銷孔66a之止擋件81a而簡單地封住。
保持具單元30,通氣路徑藉由安裝止擋件81a而成為氣密狀態,以能夠從兼為銷孔66a之通氣孔70透過通氣路徑進行空氣之排出或吸引。
而且,保持具單元30,能夠藉由從外部往分歧通氣路71a送入空氣而透過保持具60之通氣路徑從通氣孔70即銷孔66a排出空氣。由於從該銷孔66a排出之空氣,沿銷軸50按壓刻劃輪40之側面41a,因此,側面41a從保持壁67a離開,側面41b則被按壓在保持壁67b側。
因此,使刻劃輪40之側面41b與保持壁67b之間的間隙為零,且由於在形成刻劃線時,限制刻劃輪40沿銷軸50移動,因此刻劃裝置1能夠使刻劃線之形成位置穩定,而往所欲之位置形成刻劃線。另外,圖4(C)之虛線箭頭E,係概略性地顯示利用通氣路徑從通氣孔70排出空氣時之空氣之流動。
此外,相反地,保持具單元30,能夠藉由從分歧通氣路71a引出空氣,而透過保持具60之通氣路徑從通氣孔70即銷孔66a吸引空氣。由於藉由從該銷孔66a吸引空氣,而沿銷軸50拉引刻劃輪40之側面41a,因此側面41a被往保持壁67a拉近。
因此,使刻劃輪40之側面41a與保持壁67a之間的間隙為零,由於在形成刻劃線時,限制刻劃輪40沿銷軸50移動,因此刻劃裝置1能夠使刻劃線之形成位置穩定,而往所欲之位置形成刻劃線。
如以上所述,由於從成為通氣孔70之銷孔66a排出或吸引空氣,因此刻劃裝置1如圖3(C)所示般,利用由本體通氣路71、側面通氣路72等構成之通氣路徑。為此,刻劃裝置1,具備用於往通氣孔70送入空氣或從通氣孔70吸出空氣之吸排氣部23、與從吸排氣部23往刻劃頭20內連接之導管24。此外,如圖2所示,在隔片22設有連通孔25。在刻劃頭20內,保持具上部61氣密性相對較佳地收容於刻劃頭20內。因此,保持具60之通氣路徑與刻劃頭20內,成為藉由從吸排氣部23往刻劃頭20內送入空氣或從吸排氣部23吸出空氣而透過連通孔25與分歧通氣路71a使空氣流動。
另外,當從通氣孔70排出時之風壓過強時,反而有可能妨礙刻劃輪40之旋轉。因此,在排出或吸引空氣時,亦考慮這類的問題點等以決定來自吸排氣部之風量。在本實施形態中,在以0.05MPa左右之風壓送出空氣時,刻劃裝置1能夠形成良好的刻劃線。
此外,在吸排氣部23例如使用供應壓縮空氣的壓縮機(compressor)。除此之外,可使用真空泵、吸氣風扇或排氣風扇等。另外, 在吸排氣部23與刻劃頭20之間亦可設置壓力感測器或壓力調整用之調節器(regulator)。此外,雖與本實施形態般之透過通氣孔70對刻劃輪40之側面41a排出或吸引空氣之刻劃裝置1完全不同,但作為從保持具或保持具周圍排出或吸引空氣之刻劃裝置,例如已知有日本特開2000-247667號公報或日本特開2008-94635號公報記載的刻劃裝置。因此,作為刻劃裝置1所具備之吸排氣部23或導管24之具體的構成,可採用如上述文獻記載之構成。
如此,本實施形態之保持具60,具有形成於形成本體部之保持具下部62之一對保持部63a、63b,在該保持部63a,形成有用於在保持刻劃輪40時在與刻劃輪40之側面41a對向之位置排出或吸引空氣的通氣孔70。因此,保持具單元30,藉由在保持刻劃輪40的狀態下從通氣孔70往刻劃輪40之側面41a排出空氣,而使刻劃輪40之側面41b與保持壁67b之間的間隙為零,使得在形成刻劃線時,限制刻劃輪40沿銷軸50移動。因此,刻劃裝置1,能夠使刻劃線之形成位置穩定,而往所欲之位置形成刻劃線。
此外,相反地,保持具單元30,藉由在保持刻劃輪40的狀態下從通氣孔70從刻劃輪40之側面41a吸引空氣,而使刻劃輪40之側面41a與保持壁67a之間的間隙為零,使得在形成刻劃線時,限制刻劃輪40沿銷軸50移動。因此,刻劃裝置1,能夠使刻劃線之形成位置穩定,而往所欲之位置形成刻劃線。
此外,在本實施形態中,為利用銷孔66a作為通氣孔70的構成。因此,刻劃裝置1,在銷孔66a內產生空氣流動,能夠防止在形成刻劃線時所產生之碎屑附著於銷軸50。此外,刻劃裝置1,藉由從銷孔66a 進行空氣之排出或吸引,能夠對刻劃輪40之側面41a均勻地施加力。
此外,當在刻劃輪40成為傾斜之狀態下形成刻劃線時,即將產生在相對於基板厚度方向傾斜之方向形成裂紋之所謂的裂變現象。而且,一旦裂變產生,則脆性材料基板15之切斷面亦成為傾斜,而無法在所欲之位置分斷。但是,本實施形態之保持具單元30,為利用銷孔66a作為通氣孔70之構成。因此,保持具單元30,藉由從銷孔66a進行空氣之排出或吸引,能夠對刻劃輪40之側面41a均勻地施加力,能夠使刻劃輪40直立。因此,刻劃裝置1,能夠形成裂變難以產生之刻劃線。
[實施形態2]
接下來,使用圖式針對其他實施形態進行說明。圖5係構成實施形態2之保持具單元的保持具160之保持具下部162的要部放大側視圖。
該保持具單元,為與實施形態1之保持具單元30大致同樣的構成。因此,針對與保持具單元30不同的地方進行說明。此外,關於與實施形態1同樣之構成,使用一部分相同的符號進行說明。
實施形態1之保持具單元30之構成,係銷孔66a兼為形成於保持具60之通氣孔70。另一方面,本實施形態之保持具單元,則為形成於保持具160之保持具下部162的銷孔166a與通氣孔170個別地設置。
銷孔166a與實施形態1之銷孔66a同樣地形成於被硬焊在保持部163a之圓柱體165a。另一方面,通氣孔170,在銷孔166a之周圍等間隔地形成有三個。
而且,實施形態1之側面通氣路72,係以連結銷孔66a與螺 釘安裝孔68間之方式形成在保持部63a之外側側面,但本實施形態之側面通氣路172,如圖5所示,藉由形雕放電加工以連結螺釘安裝孔168與三個通氣孔170之方式形成於保持部163a之外側側面。此外,在該側面通氣路172之中途形成有連接本體通氣路之連結孔173。
保持具單元,利用保持具160之螺釘安裝孔168安裝未圖示之止擋件。保持具單元,藉由止擋件閉塞銷孔166a,並且封住側面通氣路172之表面,而能夠透過以側面通氣路172構成之通氣路,從三個通氣孔170進行空氣之排出或吸引。
因此,保持具單元,藉由從形成於保持具160之通氣孔170排出空氣,使刻劃輪40之側面41b、和與保持部163a相反側之保持部之保持壁(未圖示)之間的間隙為零,使得在形成刻劃線時,限制刻劃輪40沿銷軸50移動。而且,具備該保持具單元之刻劃裝置,能夠使刻劃線之形成位置穩定,而能夠往所欲之位置形成刻劃線。
此外,相反地,保持具單元,藉由從通氣孔170吸引空氣,使刻劃輪40之側面41a、與保持部163a側之保持壁之間的間隙為零,使得在形成刻劃線時,限制刻劃輪40沿銷軸50移動。而且,具備該保持具單元之刻劃裝置,能夠使刻劃線之形成位置穩定,而能夠往所欲之位置形成刻劃線。
此外,本實施形態之保持具單元,與實施形態1之通氣孔70不同,為與銷孔166a個別地在保持具160具有通氣孔170之構成。因此,通過通氣孔170之空氣流動難以對銷軸50造成影響。此外,由於與銷孔166a為個別的設計,因此本實施形態之保持具單元,能夠自由地形成通氣孔170 之數量或位置、形狀。因此,該保持具單元,能夠採用更適合於空氣之排出或吸引的通氣孔170。
另外,在上述之實施形態中,例如,實施形態1之通氣孔70,形成於一對保持部63a、63b之中的保持部63a。也就是,通氣孔70僅形成於保持部63a側,但本發明亦可為通氣孔70形成於保持部63a、63b之兩方的構成。在該情形,成為在保持部63b側透過連結孔73連接側面通氣路72與本體通氣路71。
如此,從保持部63a、63b兩側,分別對刻劃輪40之側面41a、41b從保持部63a、63b之通氣孔70排出或吸引空氣,藉此,使刻劃輪40之位置,穩定地位於保持槽64之大致中央。此外,由於在刻劃輪40之側面41a、41b兩側產生空氣流動,因此碎屑難以附著在刻劃輪40之表面或銷軸50之表面。
此外,例如,實施形態1之保持具60之構成,為形成本體通氣路71或側面通氣路72等、且具備連接通氣孔70之通氣路徑。因此,本發明,例如亦可為如形成於保持具之通氣孔與刻劃裝置1之吸排氣部23直接以管(tube)等之導管24連接般,在保持具不設置通氣路徑的構成。
40‧‧‧刻劃輪
41a‧‧‧側面
50‧‧‧銷軸
51‧‧‧尖頭部
62‧‧‧保持具下部
63a、63b‧‧‧保持部
64‧‧‧保持槽
65a、65b‧‧‧圓柱體
66a、66b‧‧‧銷孔
67a、67b‧‧‧保持壁
68‧‧‧螺釘安裝孔
70‧‧‧通氣孔
71‧‧‧本體通氣路
72‧‧‧側面通氣路
73‧‧‧連結孔
80a、80b‧‧‧固定螺釘
81a、81b‧‧‧止擋件
E‧‧‧空氣之流動
P‧‧‧區域

Claims (11)

  1. 一種保持具,具備:本體部、形成在該本體部下方的一對保持部、及位於同軸上且分別形成在該保持部的銷孔,用於藉由貫通於刻劃輪之貫通孔並且插通於該銷孔之銷軸,將該刻劃輪旋轉自如地保持在該保持部間,其特徵在於:在該保持部,形成有用於在保持該刻劃輪時,在與該刻劃輪之側面對向之位置排出或吸引空氣的通氣孔。
  2. 如申請專利範圍第1項之保持具,其中,該通氣孔,僅形成在一對該保持部之一方。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之保持具,其中,該通氣孔,與形成在該保持部之外側側面的側面通氣路連接;該側面通氣路,與形成在該本體部之內部的本體通氣路連接。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之保持具,其中,該銷孔兼為該通氣孔。
  5. 一種保持具單元,具備:刻劃輪、貫通於該刻劃輪之貫通孔的銷軸、及保持具,該保持具具有本體部、形成在該本體部下方且保持該刻劃輪的一對保持部、及位於同軸上且分別形成在該保持部並且插通有該銷軸的銷孔,其特徵在於: 在該保持部,形成有用於在與該刻劃輪之側面對向之位置排出或吸引空氣的通氣孔。
  6. 如申請專利範圍第5項之保持具單元,其中,該通氣孔,僅形成在一對該保持部之一方。
  7. 如申請專利範圍第5或6項之保持具單元,其中,該通氣孔,與形成在該保持部之外側側面的側面通氣路連接;該側面通氣路,與形成在該本體部之內部的本體通氣路連接。
  8. 如申請專利範圍第5或6項之保持具單元,其中,該側面通氣路,藉由固定在該保持部之外側側面的止擋件而封住表面。
  9. 如申請專利範圍第5或6項之保持具單元,其中,該銷孔兼為該通氣孔。
  10. 一種刻劃裝置,其特徵在於:具備申請專利範圍第1至4項中任一項之保持具;具有透過該通氣孔進行空氣之排出或吸引的吸排氣部。
  11. 一種刻劃裝置,其特徵在於:具備申請專利範圍第5至9項中任一項之保持具單元;具有透過該通氣孔進行空氣之排出或吸引的吸排氣部。
TW104135767A 2014-12-12 2015-10-30 保持具、保持具單元及刻劃裝置 TWI675808B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP2014-252233 2014-12-12
JP2014252233A JP6515518B2 (ja) 2014-12-12 2014-12-12 ホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201623171A true TW201623171A (zh) 2016-07-01
TWI675808B TWI675808B (zh) 2019-11-01

Family

ID=56140454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104135767A TWI675808B (zh) 2014-12-12 2015-10-30 保持具、保持具單元及刻劃裝置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6515518B2 (zh)
KR (1) KR20160072016A (zh)
CN (1) CN105690579B (zh)
TW (1) TWI675808B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI782079B (zh) * 2017-09-29 2022-11-01 日商三星鑽石工業股份有限公司 刀輪保持具安裝構造、刀輪保持具及保持具接頭

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7015070B2 (ja) * 2020-02-17 2022-02-02 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブヘッドおよびスクライブ装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6018416Y2 (ja) * 1979-03-02 1985-06-04 三星ダイヤモンド工業株式会社 ガラス等のスクライバ用カッタ−ヘッド
US4571828A (en) * 1984-03-19 1986-02-25 Fletcher-Terry Company Lubricated glass cutter
JPH08174539A (ja) * 1994-12-21 1996-07-09 Rohm Co Ltd ホイールカッタ
JP3667108B2 (ja) * 1998-08-31 2005-07-06 京セラ株式会社 糸状体のガイドローラ
JP4191304B2 (ja) * 1999-03-03 2008-12-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 チップホルダー
JP2005082413A (ja) * 2003-09-04 2005-03-31 St Lcd Kk スクライブ装置
KR101381094B1 (ko) * 2005-12-01 2014-04-04 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 팁홀더
TWI456647B (zh) * 2011-05-09 2014-10-11 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd 刻劃裝置
JP6076775B2 (ja) * 2013-02-27 2017-02-08 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライビングホイール、ホルダーユニット、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法
JP2014188729A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライビングホイール、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI782079B (zh) * 2017-09-29 2022-11-01 日商三星鑽石工業股份有限公司 刀輪保持具安裝構造、刀輪保持具及保持具接頭

Also Published As

Publication number Publication date
TWI675808B (zh) 2019-11-01
JP2016112745A (ja) 2016-06-23
CN105690579A (zh) 2016-06-22
KR20160072016A (ko) 2016-06-22
CN105690579B (zh) 2019-08-20
JP6515518B2 (ja) 2019-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201623171A (zh) 保持具、保持具單元及刻劃裝置
TW201444776A (zh) 刀具單元、切斷裝置、切斷方法及保持具
JP6154202B2 (ja) 穿孔治具、穿孔ユニット及び穿孔方法
KR20160052433A (ko) 레이저 가공 장치
JP2009130011A (ja) 基板位置決め装置
JP2008091770A (ja) ウェハ位置合わせ装置、ウェハ位置合わせシステム、ウェハ位置合わせ方法
TWI652235B (zh) Holder, holder unit and scoring device
TW201811525A (zh) 刻劃裝置及保持具單元
JP2005213116A (ja) スクライブ装置
TW201429901A (zh) 刻劃輪用保持具、保持具單元及刻劃裝置
JP2009269158A (ja) 切削ブレード
JP2007271680A (ja) 光学フィルム剥離装置
JP2021086944A (ja) 加工装置
TW201633438A (zh) 黏著帶貼附方法及黏著帶貼附裝置
JP2016056074A (ja) スクライブ装置、スクライブ方法、ホルダユニット及びホルダ
TWI663133B (zh) Holder, holder unit and scribing device
CN107571410A (zh) 刻划装置及支持器单元
TWI778179B (zh) 劃線裝置以及支架單元
TWI650293B (zh) 刻劃工具
TW201305075A (zh) 刻劃痕線裝置
TW201009410A (en) Capillary for fixing optical fiber
JP2005082413A (ja) スクライブ装置
JP4602224B2 (ja) 反射鏡の穿孔方法
JP6058300B2 (ja) 吸着ノズル、吸着装置及び機器製造方法
TW201942080A (zh) 劃線裝置及劃線方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees