CN105683763B - 悬臂安装夹具及具备该悬臂安装夹具的扫描探针显微镜 - Google Patents

Abstract

提供能够容易地将悬臂安装于悬臂保持件的悬臂安装夹具。一种悬臂安装夹具(100)，其具有：安装台(21a)，其上表面用于载置悬臂(1)；按压构件(21b)，其用于将悬臂(1)按压于安装台(21a)的上表面；以及上推机构(21c)，其用于使按压构件(21b)自安装台(21a)的上表面向上方移动，该悬臂安装夹具(100)包括：滑台(120)，其具有滑面(121)，通过人的操作使悬臂(1)在该滑面(121)上朝向安装台(21a)滑动；基部(110)，其以安装台(21a)相对于滑台(120)位于规定位置方式将悬臂保持件(20)在水平方向上固定；以及按压部(130)，其用于将固定于基部(110)的悬臂保持件(20)向下方按压。

Description

悬臂安装夹具及具备该悬臂安装夹具的扫描探针显微镜

技术领域

本发明涉及悬臂安装夹具及具备该悬臂安装夹具的扫描探针显微镜，特别是涉及以原子力显微镜(AFM)等为代表的扫描探针显微镜。

背景技术

扫描探针显微镜通过使试样和与该试样相对配置的探针相接近，并对探针或试样进行扫描，从而检测在探针与试样表面之间的相互作用下产生的物理量，以原子级别的分辨率测量试样表面的形状，扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)等属于该扫描探针显微镜。

原子力显微镜(AFM)通过使由悬臂等支承的探针靠近试样表面，从而测量探针顶端的原子与试样表面的原子之间产生的微小的原子力，并利用原子力根据探针与试样之间的距离而唯一地确定这样的性质，在沿着试样表面进行扫描的同时以使该原子力恒定的方式调整探针与试样之间的距离，从而根据探针或试样在高度方向上的轨迹来测量试样表面的凹凸形状。

另外，扫描隧道显微镜(STM)通过在试样和与该试样相对配置的探针之间施加电压，并以使在两者之间流动的隧道电流恒定的方式对探针或试样进行扫描，从而以原子级别的分辨率观察试样表面的形状。即，利用隧道电流根据探针与试样之间的距离而唯一地确定这样的性质，以使该隧道电流恒定的方式利用压电元件等的精密驱动机构控制探针或试样的高度，并测量该控制量，从而测量试样表面的凹凸。

在此，图7是表示通常的原子力显微镜(AFM)的结构的概略图。另外，将与地面水平的一个方向设定为X方向(左右方向)，将与地面水平且与X方向垂直的方向设定为Y方向(前后方向)，将与X方向和Y方向垂直的方向设定为Z方向(上下方向)。

另外，图8是通常的悬臂保持件20的俯视图，图9是图8所示的C-C线的剖视图。另外，图9的(a)是完成了在悬臂保持件20上安装悬臂1时的图，图9的(b)是在悬臂保持件20上安装悬臂1时的图。

原子力显微镜(AFM)包括用于支承悬臂1的悬臂保持件20、用于测量悬臂1的位移的位移测量部3、4、5、6、用于载置试样S的圆板状的载置台8、上表面安装有载置台8的压电扫描器(扫描单元)7以及控制部(未图示)。

控制部存储有接触模式、恒定高度接触模式、非接触模式以及动态模式等各种测量模式。

“接触模式”是控制部在以使作用于悬臂1与试样S之间的排斥力恒定的方式进行反馈控制的同时对试样S的表面进行扫描，并根据反馈量测量高度的模式。另外，“恒定高度接触模式”是在将悬臂1的高度保持为恒定的同时对试样S的表面进行扫描，并根据悬臂1的挠曲量测量高度的模式。另外，“非接触模式”是在以使作用于试样S与在谐振点附近振动的悬臂1之间的引力恒定的方式进行反馈控制的同时对试样S的表面进行扫描，并根据反馈量测量高度的模式。另外，“动态模式”是在以使作用于试样S与在谐振点附近振动的悬臂1之间的排斥力恒定的方式进行反馈控制的同时对试样S的表面进行扫描，并根据反馈量测量高度的模式。

悬臂1例如是长度为100μm、厚度为0.8μm的板状体，在悬臂1的顶端部的表面形成有尖锐的探针1a。而且，悬臂1的另一端部安装于悬臂保持件20的规定位置。

位移测量部3～6包括：激光光源3，其用于照射出激光束；分束器4，其使照射出的激光束朝向悬臂1的背面；反射镜5，其用于调节由悬臂1的背面反射来的激光束的方向；以及光电二极管6，其用于检测反射激光束。由此，在上述的各种测量模式中，利用来自悬臂1的背面的反射光的反射方向根据悬臂1的挠曲(位移)而变化这一点，检测试样S的表面的形状。

载置台8例如俯视呈直径为15mm的圆形状，侧视厚度为4mm。

在压电扫描器7的上表面一体地安装有载置台8，使用压电元件在X方向、Y方向以及Z方向上对载置台8进行扫描。也就是说，能够利用控制部在X、Y、Z方向上对载置于载置台8的试样S进行扫描。

然而，测量者在利用原子力显微镜测量试样S表面的凹凸形状之前，根据试样S、测量目的，从收纳于悬臂箱的多种悬臂1中选择一个悬臂1进行使用。即，测量者需要将所选择的悬臂1的另一端部安装于悬臂保持件20的规定位置(后述的安装部21)。

悬臂保持件20包括：主体部22，其具有供悬臂1安装的安装部21；以及把持部23，其在测量者将悬臂保持件20安装于原子力显微镜等时供测量者进行把持。

主体部22形成为日文假名コ字状，该主体部22具有左侧主体部22a、右侧主体部22b以及将左侧主体部22a的后部和右侧主体部22b的后部在X方向上连结起来的后侧主体部22c，在左侧主体部22a的中部的上表面形成有安装部21。

安装部21具有长方体形状(例如2mm×4mm×3mm)的安装台21a、Y字形状的板簧(按压构件)21b以及沿Z方向配置的圆柱形状的上推构件(上推机构)21c(例如参照专利文献1)。

另外，安装台21a的上表面成为朝向-X方向去逐渐降低的倾斜面，该倾斜面的角度例如为7°。

板簧21b的右端部形成为日文假名コ字状，该板簧21b的右端具有后侧板状体、前侧板状体、将后侧板状体的左部和前侧板状体的左部在Y方向上连结起来的左侧板状体。前侧板状体与后侧板状体之间的距离例如为3mm，在该后侧板状体的右部与前侧板状体的右部之间配置有将它们在Y方向上连结起来的一根丝线21e(例如直径0.3mm×长度5mm)。另一方面，板簧21b的左端部利用螺丝21d固定于左侧主体部22a的上表面，通过板簧21b以板簧21b的左端部为轴线弯曲，从而使板簧21b的右端部能够向上方(Z方向)移动。另外，板簧21b的右端部的丝线21e以在板簧21b的弹力的作用下被按压于安装台21a的上表面的方式配置。

另外，在左侧主体部22a的位于板簧21b的中部下方的位置的内部形成有沿Z方向贯通的圆柱形状的贯通孔22d，在贯通孔22d内配置有圆柱形状的上推构件21c。上推构件21c的高度大于贯通孔22d的高度，通过使上推构件21c的上端部自左侧主体部22a的上表面突出，从而将板簧21b的中部向上方(Z方向)推压。即，通过将板簧21b的中部向上方(Z方向)推压，从而在安装台21a的上表面与丝线21e的下表面之间形成用于配置悬臂1的间隙。另外，在上推构件21c的上端部未自左侧主体部22a的上表面突出时，上推构件21c的下端部自左侧主体部22a的下表面突出。

接着，说明将悬臂1安装于悬臂保持件20的安装方法。首先，测量者根据试样S的大小等选择最合适的种类的悬臂1，接着，以悬臂保持件20的上表面位于上方的方式将悬臂保持件20放置在桌子上。此时，由于上推构件21c的下端部自左侧主体部22a的下表面突出，因此，悬臂保持件20的上表面成为相对于水平面(桌子的表面)倾斜的状态。接着，用左手的手指将悬臂保持件20的左侧主体部22a的前部的上表面和后部的上表面向下方按压。由此，悬臂保持件20的上表面与水平面平行，上推构件21c的下端部被桌子的表面向上方推压，随着上推构件21c自左侧主体部22a的上表面突出，板簧21b的右端部向上方移动。也就是说，在安装台21a的上表面与丝线21e的下表面之间形成间隙(参照图9的(b))。

在该状态下，由右手把持镊子(未图示)，将所选择的悬臂1用镊子捏住。然后，将用镊子捏住的悬臂1插入到安装台21a的上表面与丝线21e的下表面之间的间隙并进行配置。此时，以悬臂1的位置和角度没有偏移的方式对悬臂1进行定位。

最后，在对悬臂1进行了定位的状态下，缓慢地停止用左手的手指将悬臂保持件20的左侧主体部22a的前部的上表面和后部的上表面向下方按压这一操作，从而以将悬臂1夹在安装台21a的上表面与丝线21e的下表面之间的方式固定悬臂1(参照图9的(a))。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-146013号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，将悬臂1安装于上述那样的悬臂保持件20的作业对于初学者(测量者)而言非常难以操作。

用于解决问题的方案

为了解决上述课题，本发明的发明人对将悬臂1安装于悬臂保持件20的安装方法进行了研究。在观察初学者失败的情况时，最多的情况为在将悬臂1配置在安装台21a的上表面与丝线21e的下表面之间时悬臂1掉落。这是因为，需要在用左手的手指将悬臂保持件20的左侧主体部22a的前部的上表面和后部的上表面向下方按压的状态下，以悬臂1的位置和角度没有偏移的方式对由右手的镊子捏住的悬臂1进行定位。

另外，在对悬臂1进行了定位的状态下，在停止用左手的手指将悬臂保持件20的左侧主体部22a的前部的上表面和后部的上表面向下方按压这一操作时，若不是缓慢停止而是突然停止，则有时会导致丝线21e的下表面急剧地与悬臂1相接触，而使悬臂1飞出。

于是，研发了一种能够只专注于以悬臂1的位置和角度没有偏移的方式对悬臂1进行定位的悬臂安装夹具。

即，本发明的悬臂安装夹具应用于悬臂保持件，该悬臂保持件具有：安装台，其上表面用于载置悬臂；按压构件，其用于将该悬臂按压于安装台的上表面；以及上推机构，其用于使该按压构件自安装台的上表面向上方移动，该悬臂安装夹具包括：滑台，其具有用于使所述悬臂朝向所述安装台滑动的滑面；基部，其以所述安装台相对于所述滑台位于规定位置的方式将所述悬臂保持件在水平方向上固定；以及按压部，其用于将固定于所述基部的所述悬臂保持件向下方按压。

在此，“按压构件”只要是能够将悬臂按压于安装台的构件即可，例如，可列举出具有丝线的板簧(弹性构件)、用螺丝固定的板状体等。

另外，“上推机构”只要是能够使安装台与按压构件之间形成间隙的机构即可，例如，可列举出使按压构件的全部、局部等向上方移动的上推构件(棒状体)、在具有丝线的构件中用于放松丝线的机构等。

另外，悬臂保持件以安装悬臂时的上表面在该悬臂保持件被安装于扫描探针显微镜(SPM)等时成为下表面的方式翻转使用(参照图7和图9)。

根据本发明的悬臂安装夹具，首先，测量者以悬臂保持件的上表面位于上方的位置的方式将悬臂保持件固定于悬臂安装夹具的基部。接着，用按压部将悬臂保持件向下方按压。也就是说，不需要像以往那样在用手将悬臂保持件向下方按压的同时进行其他的操作。

然后，使用上推机构使按压构件向上方移动，从而在安装台的上表面与按压构件之间形成间隙。

接着，把持镊子，用镊子捏住悬臂。然后，将用镊子捏住的悬臂暂时载置于滑面的上表面。然后，使用镊子使悬臂在滑面的上表面上缓慢滑动，从而将悬臂插入到安装台的上表面与按压构件之间的间隙并进行配置。此时，作业人员需要以悬臂的位置以及角度没有偏移的方式对悬臂进行定位，但是只专注于该定位作业即可。

然后，在对悬臂进行了定位的状态下，使用上推机构利用安装台的上表面与按压构件夹住悬臂而固定悬臂。

最后，停止用按压部将悬臂保持件向下方按压，从而将悬臂保持件从悬臂安装夹具的基部上拆下。

发明的效果

如上所述，采用本发明的悬臂安装夹具，能够将悬臂载置于滑面的上表面，而且只专注于定位作业即可，因此，即使是初学者(测量者)也能够容易地将悬臂安装于悬臂保持件。

用于解决其他课题的方法和效果

另外，在本发明的悬臂安装夹具中，也可以是，该悬臂安装夹具应用于悬臂保持件，在该悬臂保持件中，所述上推机构为在上下方向上移动的上推构件，所述基部形成有供所述上推构件的下端部插入的孔，在该孔内配置有能够在上下方向上移动的上下移动构件，该悬臂安装夹具包括移动机构，该移动机构用于使所述上下移动构件在上下方向上移动。

采用本发明的悬臂安装夹具，在将悬臂保持件固定于悬臂安装夹具的基部时，上推构件的下端部插入到孔中。另外，通过控制利用移动机构使上下移动构件在上下方向上移动的速度、移动量，从而能够恰当地控制悬臂保持件的上推构件在上下方向上移动的速度、移动量。

另外，在本发明的悬臂安装夹具中，也可以是，所述移动机构包括水平移动构件，该水平移动构件为了使所述上下移动构件在上下方向上移动而进行移动，利用杠杆原理使该水平移动构件进行移动。

采用本发明的悬臂安装夹具，能够利用杠杆原理容易地控制上下移动构件在上下方向上移动的速度、移动量，因此，能够容易且恰当地控制悬臂保持件的上推构件在上下方向上移动的速度、移动量。

另外，也可以是，本发明的扫描探针显微镜包括：所述那样的悬臂安装夹具；所述悬臂保持件；位移测量部，其用于测量所述悬臂的位移；载置台，其用于载置试样；以及扫描单元，其使所述载置台或所述悬臂保持件移动而进行扫描。

在此，“扫描单元”是指能够使所述载置台或所述悬臂保持件在X、Y、Z方向中的至少一个方向上移动的构件，例如，可列举出压电扫描器等。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的悬臂安装夹具的俯视图。

图2是本发明的一实施方式的悬臂安装夹具的俯视图。

图3是图1所示的A-A线的剖视图。

图4是图1所示的B-B线的剖视图。

图5是图2所示的A-A线的剖视图。

图6是图2所示的B-B线的剖视图。

图7是表示通常的原子力显微镜的结构的概略图。

图8是通常的悬臂保持件的俯视图。

图9是图8所示的C-C线的剖视图。

图10是图1所示的悬臂安装夹具的立体图。

具体实施方式

以下，使用附图说明本发明的实施方式。另外，本发明并不限定于以下所说明的那样的实施方式，本发明还包含在不偏离本发明的主旨的范围内的各种方式，这一点是不言自明的。

图1和图2是本发明的一实施方式的悬臂安装夹具的俯视图，图1是正在将悬臂安装于悬臂保持件时的图，图2是已将悬臂保持件安装于悬臂安装夹具时的图。另外，图3是图1所示的A-A线的剖视图，图4是图1所示的B-B线的剖视图。另外，图5是图2所示的A-A线的剖视图，图6是图2所示的B-B线的剖视图。另外，图10是图1所示的悬臂安装夹具的立体图。

悬臂安装夹具100包括大致长方体形状(例如67mm×75mm×15mm)的基部110、设于基部110的上表面的滑台120和按压部130以及设于基部110的后表面的移动机构140。

基部110的上表面形成有L字形状的左侧突出部112(例如高度为7mm)、L字形状的右侧突出部111(例如高度为5mm)以及大致长方体形状(例如35mm×20mm×10mm)的中空部115。由此，悬臂保持件20通过使左侧主体部22a的左侧面与左侧突出部112的右侧面相接触、使左侧主体部22a的后侧面与左侧突出部112的前侧面相接触、使左侧主体部22a的右侧面与右侧突出部111的左侧面相接触，从而在水平方向上固定于规定位置。另外，在使用电流放大器内置型的悬臂保持件的情况下，能够在中空部115配置该悬臂保持件的电源部等。

滑台120具有两个螺纹部122和用于使悬臂1滑动的滑面121。滑面121为朝向-X方向去逐渐降低的倾斜面，倾斜面的角度例如为与安装台21a的上表面相同的7°，在Y方向上，滑面121的左端部的宽度略大于安装台21a的宽度，且滑面121的宽度自滑面121的左端部朝向右端部去逐渐变大。另外，在滑面121的宽度方向上的两端形成有向上方突出的引导部(未图示)，以使悬臂1不会自滑面121落下。而且，滑台120固定于右侧突出部111的上表面，在悬臂保持件20固定于基部110的规定位置时，悬臂保持件20的安装台21a配置于滑面121的左方(X方向)的规定位置。另外，能够利用两个螺纹部122调整滑台120的滑面121的高度。

按压部130具有：固定部134，其形成于基部110的上表面的左部；圆柱形状的旋转轴部131，其以能够旋转的方式安装于固定部134；圆柱形状的旋转部132，其用于将悬臂保持件20的上表面向下方按压；以及板状的连结部133，其将旋转轴部131和旋转部132在水平方向上以规定距离连结起来。

固定部134具有长方体形状的下部固定部134a和安装于下部固定部134a的上方的上部固定部134b。上部固定部134b形成为大致椭圆柱形状，在其上表面中央部形成有正方形的凹坑。

旋转轴部131安装于上部固定部134b的凹坑中，能够以Z方向为旋转轴线进行旋转。由此，通过旋转轴部131旋转，从而使旋转部132配置于旋转轴部131的右方，或配置于旋转轴部131的前方。

另外，旋转轴部131在凹坑的内侧相对于固定部134能够沿Z方向移动至上方位置和下方位置，通过将旋转轴部131配置于上方位置，从而使旋转部132不会被左侧突出部112等妨碍而能够360°旋转。另外，通过将旋转部132配置于右方，并将旋转轴部131配置于下方位置(凹坑的内部)，从而能够利用旋转部132将悬臂保持件20的上表面向下方按压。

基部110的内部形成有沿Z方向贯通的圆柱形状(例如直径为1.5mm、高度为15mm)的贯通孔113和沿Y方向贯通的圆柱形状(例如直径为4mm)的插入孔114，贯通孔113和插入孔114相连通。另外，在插入孔114内的中央部形成有向上方(Z方向)突出的突起部114a。

移动机构140具有配置于贯通孔113内的圆柱形状(例如直径为1.5mm、高度为6mm)的上下移动构件141、配置于插入孔114内的圆柱形状的水平移动构件142以及用于使水平移动构件142移动的杠杆部143。

上下移动构件141为与贯通孔113大致相同高度的圆柱状体。另外，水平移动构件142具有：顶端部142a，其直径小于插入孔114的直径；基端部142b，其直径与插入孔113的直径相同；以及连结部142c，其为自顶端部142a朝向基端部142b去直径逐渐变大的形状。由此，在上下移动构件141的下端部载置于顶端部142a的侧面时，上下移动构件141的上表面位于基部110的内部，另一方面，在上下移动构件141的下端部载置于基端部142b的侧面时，上下移动构件141的上表面成为与基部110的上表面相同的高度。另外，在基端部142b的下表面形成有沿轴线方向延伸的槽142d，通过使突起部114a配置于槽142d内，从而能够控制水平移动构件142的移动量。

杠杆部143具有固定于基部110的后表面的固定部143a和中央部以能够旋转的方式安装于固定部143a的日文假名く字状体部143b。日文假名く字状体部143b的一端部安装于水平移动构件142的后端部，日文假名く字状体部143b的另一端部配置于基部110的右后部。由此，测量者通过将日文假名く字状体部143b的另一端部向前方牵拉，从而使日文假名く字状体部143b的一端部向后方移动，并使水平移动构件142向后方移动。另外，测量者通过将水平移动构件142的后端部向前方推压，从而使日文假名く字状体部143b的一端部向前方移动，并且使日文假名く字状体部143b的另一端部向后方移动。

在此，说明将悬臂1安装于悬臂保持件20的安装方法。首先，测量者根据试样S的大小等选择最合适的种类的悬臂1。接着，准备悬臂安装夹具100。然后，通过将日文假名く字状体部143b的另一端部向前方牵拉，从而使日文假名く字状体部143b的一端部向后方移动，并且使水平移动构件142向后方移动。由此，能够将上推构件21c的下端部插入到贯通孔113内。

接着，以悬臂保持件20的上表面位于上方的方式将悬臂保持件20固定于悬臂安装夹具100的基部110(参照图2、图4、图6)。此时，通过将上推构件21c的下端部插入到贯通孔113内，从而使悬臂保持件20的上表面与水平面平行。

接着，将旋转轴部131配置于上方位置，使旋转轴部131旋转从而将旋转部132配置于右方。然后，通过将旋转轴部131配置于下方位置，从而将旋转部132配置于下方位置，将悬臂保持件20的上表面向下方按压。

接着，通过将水平移动构件142的后端部向前方推压，使得上下移动构件141的下端部被向上方推压，随着上推构件21c自左侧主体部22a的上表面突出，板簧21b的右端部向上方移动。其结果，在安装台21a的上表面与丝线21e的下表面之间形成间隙(参照图1、图3、图5)。

接着，把持镊子(未图示)，将悬臂1用镊子捏住。然后，将用镊子捏住的悬臂1暂时载置于滑面121的上表面。然后，通过使用镊子使悬臂1在滑面121的上表面上缓慢滑动，从而将悬臂1插入到安装台21a的上表面与丝线21e的下表面之间的间隙并进行配置。此时，作业人员需要以悬臂1的位置以及角度没有偏移的方式对悬臂1进行定位，但是只专注于该定位作业即可。

接着，在对悬臂1进行了定位的状态下，通过将日文假名く字状体部143b的另一端部向前方牵拉，使得日文假名く字状体部143b的一端部向后方移动，从而使水平移动构件142向后方移动。由此，上推构件21c的下端部插入到贯通孔113内，从而利用安装台21a的上表面与丝线21e的下表面夹住悬臂1并固定该悬臂1。此时，能够利用杠杆原理容易地控制上下移动构件141在上下方向上移动的速度、移动量，因此，能够容易且恰当地控制上推构件21c在上下方向上移动的速度、移动量。

接着，将旋转轴部131配置于上方位置，并使旋转轴部131旋转，将旋转部132配置于前方(参照图2、图4、图6)。

最后，将悬臂保持件20从悬臂安装夹具100的基部110上拆下。

如上所述，采用悬臂安装夹具100，能够将悬臂1载置于滑面121的上表面，而且只专注于定位作业即可，因此，即使是初学者(测量者)也能够容易地将悬臂1安装于悬臂保持件20。

产业上的可利用性

本发明能够应用于适合观察试样表面的扫描探针显微镜等。

附图标记说明

1、悬臂；20、悬臂保持件；21a、安装台；21b、板簧(按压构件)；21c、上推构件(上推机构)；100、悬臂安装夹具；110、基部；120、滑台；121、滑面；130、按压部。

Claims (4)

1.一种悬臂安装夹具，其应用于悬臂保持件，该悬臂保持件具有：安装台，其上表面用于载置悬臂；按压构件，其用于将该悬臂按压于安装台的上表面；以及上推机构，其用于使该按压构件自安装台的上表面向上方移动，该悬臂安装夹具的特征在于，

该悬臂安装夹具包括：

滑台，其具有滑面，通过人的操作使所述悬臂在该滑面上朝向所述安装台滑动；

基部，其以所述安装台相对于所述滑台位于规定位置的方式将所述悬臂保持件在水平方向上固定；以及

按压部，其用于将固定于所述基部的所述悬臂保持件向下方按压。

2.根据权利要求1所述的悬臂安装夹具，其特征在于，

该悬臂安装夹具应用于悬臂保持件，在该悬臂保持件中，所述上推机构为在上下方向上移动的上推构件，

所述基部形成有供所述上推构件的下端部插入的孔，在该孔内配置有能够在上下方向上移动的上下移动构件，

该悬臂安装夹具包括移动机构，该移动机构用于使所述上下移动构件在上下方向上移动。

3.根据权利要求2所述的悬臂安装夹具，其特征在于，

所述移动机构包括水平移动构件，该水平移动构件为了使所述上下移动构件在上下方向上移动而进行移动，利用杠杆原理使该水平移动构件进行移动。

4.一种扫描探针显微镜，其特征在于，

该扫描探针显微镜包括：

悬臂安装夹具，其为权利要求1～3中任一项所述的悬臂安装夹具；

所述悬臂保持件；

位移测量部，其用于测量所述悬臂的位移；

载置台，其用于载置试样；以及

扫描单元，其使所述载置台或所述悬臂保持件移动而进行扫描。